JPWO2018207819A1 - 絶縁性シート及び積層体 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、熱硬化性成分と熱伝導性フィラーとを含む絶縁性シートに関する。また、本発明は、上記絶縁性シートを用いた積層体に関する。
近年、電子及び電気機器の小型化及び高性能化が進行しており、電子部品の実装密度が高くなっている。このため、狭いスペースの中で電子部品から発生する熱を、如何に放熱するかが問題となっている。電子部品から発生した熱は、電子及び電気機器の信頼性に直結するので、発生した熱の効率的な放散が緊急の課題となっている。
上記の課題を解決する一つの手段としては、パワー半導体デバイス等を実装する放熱基板に、高い熱伝導性を有するセラミックス基板を用いる手段が挙げられる。このようなセラミックス基板としては、アルミナ基板及び窒化アルミニウム基板等が挙げられる。
しかしながら、上記セラミックス基板を用いる手段では、多層化が困難であり、加工性が悪く、コストが非常に高いという課題がある。さらに、上記セラミックス基板と銅回路との線膨張係数の差が大きいので、冷熱サイクル時に銅回路が剥がれやすいという課題もある。
そこで、線膨張係数が低い窒化ホウ素、特に六方晶窒化ホウ素を用いた樹脂組成物が、放熱材料として注目されている。六方晶窒化ホウ素の結晶構造は、グラファイトに類似した六角網目の層状構造であり、六方晶窒化ホウ素の粒子形状は、鱗片状である。このため、六方晶窒化ホウ素は、面方向の熱伝導率が厚さ方向の熱伝導率よりも高く、かつ熱伝導率に異方性がある性質を有することが知られている。上記樹脂組成物は、樹脂シート等に成形されて用いられることがある。
窒化ホウ素を含む樹脂シートの一例として、下記の特許文献1には、樹脂組成物層と接着材層とを有する多層樹脂シートが開示されている。上記樹脂組成物層は、熱硬化性樹脂とフィラーとを含む。上記接着材層は、上記樹脂組成物層の少なくとも一方の表面上に配置される。上記樹脂組成物層とは対向しない表面の、上記接着材層の算術平均粗さRaは1.5μm以下である。上記フィラーは窒化ホウ素フィラーを含む。
特許文献1に記載のような従来の窒化ホウ素を含む樹脂シートは、銅箔や金属板等と積層されて、積層体として用いられることがある。
特許文献1に記載のような従来の窒化ホウ素を含む樹脂シートでは、窒化ホウ素を用いているために熱伝導性を高めることはできるものの、樹脂シートと銅箔との接着性を高めることは困難である。従来の窒化ホウ素を含む樹脂シートでは、熱伝導性と接着性とを両立させることは困難である。
本発明の目的は、熱伝導性を効果的に高めることができ、かつ、接着性を効果的に高めることができる絶縁性シートを提供することである。また、本発明の目的は、上記絶縁性シートを用いた積層体を提供することである。
本発明の広い局面によれば、熱硬化性成分と、熱伝導性フィラーとを含み、前記熱伝導性フィラーが、窒化ホウ素を含み、厚み方向の一方側の第1の表面と、厚み方向の他方側の第2の表面とを有し、前記第1の表面から前記第2の表面に向かって厚み10%の領域の100体積%中における前記窒化ホウ素の第1の含有量が、前記第2の表面から前記第1の表面に向かって厚み90%の領域の100体積%中における前記窒化ホウ素の第2の含有量よりも少ない、絶縁性シートが提供される。
本発明に係る絶縁性シートのある特定の局面では、前記第1の含有量と前記第2の含有量との差の絶対値が、5体積%以上60体積%以下である。
本発明に係る絶縁性シートのある特定の局面では、絶縁性シート全体での前記窒化ホウ素の平均アスペクト比が、2以上20以下である。
本発明に係る絶縁性シートのある特定の局面では、絶縁性シート全体での前記窒化ホウ素の平均長径が、1μm以上40μm以下である。
本発明に係る絶縁性シートのある特定の局面では、前記絶縁性シート100体積%中、前記窒化ホウ素の含有量が、20体積%以上80体積%以下である。
本発明に係る絶縁性シートのある特定の局面では、前記熱伝導性フィラー100体積%中、前記窒化ホウ素の含有量が、50体積%以上100体積%以下である。
本発明の広い局面によれば、熱伝導体と、前記熱伝導体の一方の表面に積層された絶縁層と、前記絶縁層の前記熱伝導体とは反対側の表面に積層された導電層とを備え、前記絶縁層の材料が、上述した絶縁性シートである、積層体が提供される。
本発明に係る絶縁性シートは、熱硬化性成分と、熱伝導性フィラーとを含む。本発明に係る絶縁性シートでは、上記熱伝導性フィラーが、窒化ホウ素を含む。本発明に係る絶縁性シートは、厚み方向の一方側の第1の表面と、厚み方向の他方側の第2の表面とを有する。本発明に係る絶縁性シートでは、上記第1の表面から上記第2の表面に向かって厚み10%の領域の100体積%中における上記窒化ホウ素の第1の含有量が、上記第2の表面から上記第1の表面に向かって厚み90%の領域の100体積%中における上記窒化ホウ素の第2の含有量よりも少ない。本発明に係る絶縁性シートでは、上記の構成が備えられているので、熱伝導性を効果的に高めることができ、かつ、接着性を効果的に高めることができる。
以下、本発明を詳細に説明する。
(絶縁性シート)
本発明に係る絶縁性シートは、熱硬化性成分と熱伝導性フィラーとを含む。本発明に係る絶縁性シートでは、上記熱伝導性フィラーは窒化ホウ素を含む。本発明に係る絶縁性シートは、厚み方向の一方側の第1の表面と、厚み方向の他方側の第2の表面とを有する。本発明に係る絶縁性シートでは、上記第1の表面と上記第2の表面とは対向している。本発明に係る絶縁性シートでは、上記第1の表面から上記第2の表面に向かって厚み10%の領域の100体積%中における上記窒化ホウ素の第1の含有量は、上記第2の表面から上記第1の表面に向かって厚み90%の領域の100体積%中における上記窒化ホウ素の第2の含有量よりも少ない。
本発明に係る絶縁性シートでは、上記の構成が備えられているので、熱伝導性を効果的に高めることができ、かつ、接着性を効果的に高めることができる。
絶縁性シートの第1の表面上に銅箔等の導電層が積層された積層体(積層体では絶縁性シートは絶縁層である)において、絶縁性シートと導電層との剥離が生じる際の剥離の形態を観察した。そして、その剥離の形態に関して、1)絶縁性シートと導電層との界面において剥離が生じる場合と、2)絶縁性シートの第1の表面近傍領域にて窒化ホウ素の凝集部が破断されることによって、絶縁性シートの第1の表面近傍領域内で剥離が生じる場合とがあることを、本発明者らは見出した。
本発明に係る絶縁性シートでは、絶縁性シートの第1の表面近傍領域の窒化ホウ素の含有量を少なくすることで、絶縁性シートの第1の表面近傍領域の熱硬化性成分の含有量が多くなるので、絶縁性シートと導電層との界面において剥離を生じ難くすることができる。
さらに、本発明に係る絶縁性シートでは、絶縁性シートの第1の表面近傍領域の窒化ホウ素の含有量を少なくすることで、絶縁性シートの第1の表面近傍領域にて窒化ホウ素の凝集部が破断され難くなり、絶縁性シートの第1の表面近傍領域内での剥離も生じ難くすることができる。
結果として、本発明に係る絶縁性シートでは、絶縁性シートと導電層との接着性をより一層効果的に高めることができる。
さらに、本発明に係る絶縁性シートでは、絶縁性シートの第1の表面近傍領域以外の領域の窒化ホウ素の含有量を増加させることで、絶縁性シートの熱伝導性をより一層効果的に高めることができる。
本発明では、上記第1の表面から上記第2の表面に向かって厚み10%の領域(R1)の100体積%中における上記窒化ホウ素の第1の含有量は、上記第2の表面から上記第1の表面に向かって厚み90%の領域(R2)の100体積%中における上記窒化ホウ素の第2の含有量よりも少ない。上記領域(R1)は、図3において、第1の表面1aと破線L1との間の領域である。上記領域(R2)は、図3において、第2の表面1bと破線L1との間の領域である。
熱伝導性をより一層効果的に高める観点、及び接着性をより一層効果的に高める観点からは、上記領域(R1)100体積%中における窒化ホウ素の上記第1の含有量は、好ましくは10体積%以上、より好ましくは20体積%以上であり、好ましくは65体積%以下、より好ましくは55体積%以下である。
熱伝導性をより一層効果的に高める観点、及び接着性をより一層効果的に高める観点からは、上記領域(R2)100体積%中における窒化ホウ素の上記第2の含有量は、好ましくは20体積%以上、より好ましくは35体積%以上であり、好ましくは85体積%以下、より好ましくは75体積%以下である。
熱伝導性をより一層効果的に高める観点、及び接着性をより一層効果的に高める観点からは、上記第1の含有量と上記第2の含有量との差の絶対値は、好ましくは5体積%以上、より好ましくは10体積%以上、さらに好ましくは15体積%以上である。熱伝導性をより一層効果的に高める観点、及び接着性をより一層効果的に高める観点からは、上記第1の含有量と上記第2の含有量との差の絶対値は、好ましくは60体積%以下、より好ましくは55体積%以下、さらに好ましくは50体積%以下である。
上記第1の表面から上記第2の表面に向かって厚み10%の領域(R1)の100体積%中における上記窒化ホウ素の第1の含有量は、上記第1の表面から上記第2の表面に向かって厚みの1/10の位置から厚みの9/10の位置までの厚み80%の領域(R3)の100体積%中における上記窒化ホウ素の第3の含有量よりも少ないことが好ましい。上記領域(R1)は、図4において、第1の表面1aと破線L1との間の領域である。上記領域(R3)は、図4において、破線L1と破線L2との間の領域である。
熱伝導性をより一層効果的に高める観点、及び接着性をより一層効果的に高める観点からは、上記領域(R3)100体積%中における窒化ホウ素の上記第3の含有量は、好ましくは20体積%以上、より好ましくは25体積%以上であり、好ましくは85体積%以下、より好ましくは75体積%以下である。
熱伝導性をより一層効果的に高める観点、及び接着性をより一層効果的に高める観点からは、上記第1の含有量と上記第3の含有量との差の絶対値は、好ましくは5体積%以上、より好ましくは10体積%以上、さらに好ましくは15体積%以上である。熱伝導性をより一層効果的に高める観点、及び接着性をより一層効果的に高める観点からは、上記第1の含有量と上記第3の含有量との差の絶対値は、好ましくは60体積%以下、より好ましくは55体積%以下、さらに好ましくは50体積%以下である。
上記第2の表面から上記第1の表面に向かって厚み10%の領域(R4)の100体積%中における上記窒化ホウ素の第4の含有量は、上記第1の表面から上記第2の表面に向かって厚みの1/10の位置から厚みの9/10の位置までの厚み80%の領域(R3)の100体積%中における上記窒化ホウ素の第3の含有量よりも少ないことが好ましい。上記領域(R4)は、図4において、第2の表面1bと破線L2との間の領域である。上記領域(R3)は、図4において、破線L1と破線L2との間の領域である。
熱伝導性をより一層効果的に高める観点、及び接着性をより一層効果的に高める観点からは、上記領域(R4)100体積%中における窒化ホウ素の上記第4の含有量は、好ましくは10体積%以上、より好ましくは20体積%以上であり、好ましくは65体積%以下、より好ましくは55体積%以下、さらに好ましくは50体積%以下である。
熱伝導性をより一層効果的に高める観点、及び接着性をより一層効果的に高める観点からは、上記第4の含有量と上記第3の含有量との差の絶対値は、好ましくは5体積%以上、より好ましくは10体積%以上であり、好ましくは40体積%以下、より好ましくは35体積%以下である。
上記領域(R1)100体積%中における窒化ホウ素の上記第1の含有量は、上記絶縁性シートをプレスして作製したシート又は積層体の断面の電子顕微鏡画像から算出することができる。上記領域(R2)100体積%中における窒化ホウ素の上記第2の含有量は、上記絶縁性シートをプレスして作製したシート又は積層体の断面の電子顕微鏡画像から算出することができる。上記領域(R3)100体積%中における窒化ホウ素の上記第3の含有量は、上記絶縁性シートをプレスして作製したシート又は積層体の断面の電子顕微鏡画像から算出することができる。上記領域(R4)100体積%中における窒化ホウ素の上記第4の含有量は、上記絶縁性シートをプレスして作製したシート又は積層体の断面の電子顕微鏡画像から算出することができる。
本明細書では、以下の第1〜第3の構成を備える絶縁性シートも提供する。
第1の構成:1つの絶縁性シートとして、熱硬化性成分と、熱伝導性フィラーとを含み、上記熱伝導性フィラーが、窒素ホウ素を含む。
第2の構成:絶縁性シートは、厚み方向の一方側の第1の表面と、厚み方向の他方側の第2の表面とを有する。
第3の構成:上記第1の表面から上記第2の表面に向かって厚み10%の領域の100体積%中における上記窒化ホウ素の第1の含有量が、上記第1の表面から上記第2の表面に向かって厚みの1/10の位置から厚みの9/10の位置までの厚み80%の領域の100体積%中における上記窒化ホウ素の第3の含有量よりも少ない。
上記第1〜第3の構成を備える絶縁性シートでは、上記第1の表面から上記第2の表面に向かって厚み10%の領域の100体積%中における上記窒化ホウ素の第1の含有量は、上記第2の表面から上記第1の表面に向かって厚み90%の領域の100体積%中における上記窒化ホウ素の第2の含有量よりも少ない構成が備えられなくてもよい。
(熱伝導性フィラー)
本発明に係る絶縁性シートは、熱伝導性フィラーを含む。上記熱伝導性フィラーとしては特に限定されない。上記熱伝導性フィラーは、絶縁性を有することが好ましい。上記熱伝導性フィラーは、絶縁性フィラーであることが好ましい。
本発明に係る絶縁性シートでは、上記熱伝導性フィラーは、窒化ホウ素を含む。上記窒化ホウ素としては特に限定されず、六方晶窒化ホウ素、立方晶窒化ホウ素、ホウ素化合物とアンモニアとの還元窒化法により作製された窒化ホウ素、ホウ素化合物とメラミン等の含窒素化合物とから作製された窒化ホウ素、及び、ホウ水素ナトリウムと塩化アンモニウムとから作製された窒化ホウ素等が挙げられる。熱伝導性をより一層効果的に高める観点からは、上記窒化ホウ素は、六方晶窒化ホウ素であることが好ましい。
上記窒化ホウ素は、窒化ホウ素凝集粒子を構成していてもよい。上記窒化ホウ素凝集粒子は、窒化ホウ素(一次粒子)が凝集した凝集粒子である。
上記窒化ホウ素凝集粒子を構成する一次粒子は、鱗片状であってもよく、屈曲した形状であってもよい。
熱伝導性をより一層効果的に高める観点、及び接着性をより一層効果的に高める観点からは、絶縁性シート全体での上記窒化ホウ素の平均アスペクト比は、好ましくは2以上、より好ましくは4以上であり、好ましくは20以下、より好ましくは15以下である。なお、上記窒化ホウ素の平均アスペクト比は、上記窒化ホウ素が窒化ホウ素凝集粒子を構成している場合には、該窒化ホウ素凝集粒子を構成する窒化ホウ素(一次粒子)の平均アスペクト比を意味する。
上記窒化ホウ素のアスペクト比は、長径/短径を示す。上記窒化ホウ素の平均アスペクト比は、上記窒化ホウ素又は上記窒化ホウ素凝集粒子を構成する一次粒子と熱硬化性樹脂等とを混合し、プレスして作製したシート又は積層体の断面の電子顕微鏡画像から、任意に選択された50個の各窒化ホウ素(一次粒子)の長径/短径を測定し、平均値を算出することにより求められる。なお、上記一次粒子が屈曲した形状を有する場合には、屈曲箇所で該一次粒子を2つに分け、分けられた2つの部位について長径を測定し、長径の大きな方の部位から算出される長径/短径を該一次粒子の長径/短径とする。
熱伝導性をより一層効果的に高める観点、及び接着性をより一層効果的に高める観点からは、絶縁性シート全体での上記窒化ホウ素の平均長径は、好ましくは1μm以上、より好ましくは2μm以上であり、好ましくは40μm以下、より好ましくは30μm以下である。なお、上記窒化ホウ素の平均長径は、上記窒化ホウ素が窒化ホウ素凝集粒子を構成している場合には、該窒化ホウ素凝集粒子を構成する窒化ホウ素(一次粒子)の平均長径を意味する。
上記窒化ホウ素の平均長径は、上記窒化ホウ素又は上記窒化ホウ素凝集粒子を構成する一次粒子と熱硬化性樹脂等とを混合し、プレスして作製したシート又は積層体の断面の電子顕微鏡画像から、任意に選択された50個の各窒化ホウ素(一次粒子)の長径を測定し、平均値を算出することにより求められる。なお、上記一次粒子が屈曲した形状を有する場合には、屈曲箇所で該一次粒子を2つに分け、分けられた2つの部位について長径を測定し、長径の大きな方の部位の長径を該一次粒子の長径とする。
上記絶縁性シート100体積%中、上記窒化ホウ素の含有量は、好ましくは20体積%以上、より好ましくは25体積%以上、さらに好ましくは30体積%以上、特に好ましくは40体積%以上であり、好ましくは80体積%以下、より好ましくは75体積%以下、さらに好ましくは70体積%以下、特に好ましくは65体積%以下である。上記窒化ホウ素の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、熱伝導性をより一層効果的に高めることができ、また、接着性をより一層効果的に高めることができる。
熱伝導性をより一層効果的に高める観点、及び接着性をより一層効果的に高める観点からは、上記熱伝導性フィラー100体積%中、上記窒化ホウ素の含有量は、好ましくは50体積%以上、より好ましくは70体積%以上であり、好ましくは100体積%以下、より好ましくは97体積%以下である。
(熱硬化性成分:熱硬化性化合物)
本発明に係る絶縁性シートは、熱硬化性成分を含む。上記熱硬化性成分は、熱硬化性化合物を含むことが好ましく、熱硬化剤を含むことが好ましい。上記熱硬化性成分は、上記熱硬化性化合物と上記熱硬化剤とを含むことが好ましい。上記熱硬化性化合物は特に限定されない。上記熱硬化性化合物としては、スチレン化合物、フェノキシ化合物、オキセタン化合物、エポキシ化合物、エピスルフィド化合物、(メタ)アクリル化合物、フェノール化合物、アミノ化合物、不飽和ポリエステル化合物、ポリウレタン化合物、シリコーン化合物及びポリイミド化合物等が挙げられる。上記熱硬化性化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
熱伝導性をより一層効果的に高める観点、及び接着性をより一層効果的に高める観点からは、上記熱硬化性化合物は、エポキシ化合物を含むことが好ましい。上記エポキシ化合物は、少なくとも1個のエポキシ基を有する有機化合物である。上記エポキシ化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、ビフェノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、フルオレン型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、アントラセン型エポキシ化合物、アダマンタン骨格を有するエポキシ化合物、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ化合物、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ化合物等が挙げられる。
熱伝導性をより一層効果的に高める観点、及び接着性をより一層効果的に高める観点からは、上記エポキシ化合物は、ビスフェノールA型エポキシ化合物であることが好ましい。
熱伝導性をより一層効果的に高める観点、及び接着性をより一層効果的に高める観点からは、上記絶縁性シート100体積%中、上記熱硬化性化合物の含有量は、好ましくは20体積%以上、より好ましくは25体積%以上であり、好ましくは80体積%以下、より好ましくは70体積%以下である。
(熱硬化性成分:熱硬化剤)
本発明に係る絶縁性シートでは、上記熱硬化性化合物とともに熱硬化剤を用いることが好ましい。上記熱硬化剤は特に限定されない。上記熱硬化剤として、上記熱硬化性化合物を硬化させることができる熱硬化剤を適宜用いることができる。また、本明細書において、熱硬化剤には、硬化触媒が含まれる。熱硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
上記熱硬化剤としては、シアネートエステル化合物(シアネートエステル硬化剤)、フェノール化合物(フェノール熱硬化剤)、アミン化合物(アミン熱硬化剤)、チオール化合物(チオール熱硬化剤)、イミダゾール化合物、ホスフィン化合物、酸無水物、活性エステル化合物及びジシアンジアミド等が挙げられる。上記熱硬化剤は、上記エポキシ化合物のエポキシ基と反応可能な官能基を有することが好ましい。
上記シアネートエステル化合物としては、ノボラック型シアネートエステル樹脂、ビスフェノール型シアネートエステル樹脂、並びにこれらが一部三量化されたプレポリマー等が挙げられる。上記ノボラック型シアネートエステル樹脂としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂及びアルキルフェノール型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。上記ビスフェノール型シアネートエステル樹脂としては、ビスフェノールA型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールE型シアネートエステル樹脂及びテトラメチルビスフェノールF型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。
上記シアネートエステル化合物の市販品としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン社製「PT−30」及び「PT−60」)、及びビスフェノール型シアネートエステル樹脂が三量化されたプレポリマー(ロンザジャパン社製「BA−230S」、「BA−3000S」、「BTP−1000S」及び「BTP−6020S」)等が挙げられる。
上記フェノール化合物としては、ノボラック型フェノール、ビフェノール型フェノール、ナフタレン型フェノール、ジシクロペンタジエン型フェノール、アラルキル型フェノール及びジシクロペンタジエン型フェノール等が挙げられる。
上記フェノール化合物の市販品としては、ノボラック型フェノール(DIC社製「TD−2091」)、ビフェニルノボラック型フェノール(明和化成社製「MEHC−7851」)、アラルキル型フェノール化合物(明和化成社製「MEH−7800」)、並びにアミノトリアジン骨格を有するフェノール(DIC社製「LA1356」及び「LA3018−50P」)等が挙げられる。
上記絶縁性シート100体積%中、上記熱硬化性化合物と上記熱硬化剤との合計の含有量は、好ましくは20体積%以上、より好ましくは25体積%以上であり、好ましくは50体積%以下、より好ましくは45体積%以下である。上記熱硬化性化合物と上記熱硬化剤との合計の含有量が、上記下限以上及び上記上限以下であると、熱伝導性をより一層効果的に高めることができ、接着性をより一層効果的に高めることができる。上記熱硬化性化合物と上記熱硬化剤との含有量比は、熱硬化性化合物が硬化するように適宜選択される。
上記熱硬化性化合物が良好に硬化するように、上記熱硬化剤の含有量は適宜選択される。上記熱硬化性化合物100重量部に対して、上記熱硬化剤の含有量は、好ましくは1重量部以上、より好ましくは3重量部以上であり、好ましくは50重量部以下、より好ましくは30重量部以下である。上記熱硬化剤の含有量が、上記下限以上であると、熱硬化性化合物を十分に硬化させることがより一層容易になる。上記熱硬化剤の含有量が、上記上限以下であると、硬化に関与しない余剰な熱硬化剤が発生し難くなる。このため、硬化物の耐熱性及び接着性がより一層高くなる。
(絶縁性フィラー)
本発明に係る絶縁性シートでは、上記熱伝導性フィラーは、絶縁性フィラーを含むことが好ましい。上記絶縁性フィラーは、上記窒化ホウ素ではない。上記絶縁性フィラーは、絶縁性を有する。上記絶縁性フィラーは、有機フィラーであってもよく、無機フィラーであってもよい。上記絶縁性フィラーは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
熱伝導性をより一層効果的に高める観点からは、上記絶縁性フィラーは、無機フィラーであることが好ましい。熱伝導性をより一層効果的に高める観点からは、上記絶縁性フィラーは、10W/m・K以上の熱伝導率を有することが好ましい。
熱伝導性をより一層効果的に高める観点からは、上記絶縁性フィラーの熱伝導率は、好ましくは10W/m・K以上、より好ましくは20W/m・K以上である。上記絶縁性フィラーの熱伝導率の上限は特に限定されない。熱伝導率が300W/m・K程度である無機フィラーは広く知られており、また熱伝導率が200W/m・K程度である無機フィラーは容易に入手できる。
上記絶縁性フィラーの材質は特に限定されない。絶縁性フィラーの材質としては、窒素化合物(窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化炭素、及び窒化チタン等)、炭素化合物(炭化ケイ素、炭化フッ素、炭化ホウ素、炭化チタン、炭化タングステン、及びダイヤモンド等)、並びに金属酸化物(シリカ、アルミナ、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、及び酸化ベリリウム等)等が挙げられる。上記絶縁性フィラーの材質は、上記窒素化合物、上記炭素化合物、又は上記金属酸化物であることが好ましく、アルミナ、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化亜鉛又は酸化マグネシウムであることがより好ましい。これらの好ましい絶縁性フィラーの使用により、硬化物の熱伝導性がより一層高くなる。
上記絶縁性フィラーは、球状粒子、又はアスペクト比が2を超える非凝集粒子及び凝集粒子であることが好ましい。これら絶縁性フィラーの使用により、硬化物の熱伝導性がより一層高くなる。上記球状粒子のアスペクト比は、2以下である。
上記絶縁性フィラーの材質の新モース硬度は、好ましくは12以下、より好ましくは9以下である。絶縁性フィラーの材質の新モース硬度が9以下であると、硬化物の加工性がより一層高くなる。
硬化物の加工性をより一層高める観点からは、上記絶縁性フィラーの材質は、窒化ホウ素、合成マグネサイト、結晶シリカ、酸化亜鉛、又は酸化マグネシウムであることが好ましい。これらの絶縁性フィラーの材質の新モース硬度は9以下である。
熱伝導性をより一層高める観点からは、絶縁性フィラーの粒子径は、好ましくは0.1μm以上、好ましくは50μm以下である。上記絶縁性フィラーの粒子径が、上記下限以上であると、絶縁性フィラーを高密度で容易に充填できる。上記絶縁性フィラーの粒子径が、上記上限以下であると、硬化物の熱伝導性がより一層高くなる。
上記絶縁性フィラーの粒子径は、レーザー回折式粒度分布測定装置により測定した体積平均での粒子径を平均した平均粒子径であることが好ましい。上記絶縁性フィラーの平均粒子径は、任意に選択された50個の絶縁性フィラーの粒子径を平均し、算出することにより求めることもできる。
熱伝導性をより一層効果的に高める観点からは、上記絶縁性シート100体積%中、上記絶縁性フィラーの含有量は、好ましくは1体積%以上、より好ましくは3体積%以上であり、好ましくは50体積%以下、より好ましくは30体積%以下である。
(他の成分)
上記絶縁性シートは、上述した成分の他に、分散剤、キレート剤、酸化防止剤等の樹脂シート、及び硬化性シートに一般に用いられる他の成分を含んでいてもよい。
(積層体)
本発明に係る積層体は、熱伝導体と、絶縁層と、導電層とを備える。上記絶縁層は、上記熱伝導体の一方の表面に積層されている。上記導電層は、上記絶縁層の上記熱伝導体とは反対側の表面に積層されている。上記熱伝導体の他方の表面にも、上記絶縁層が積層されていてもよい。本発明に係る積層体では、上記絶縁層の材料は、上述した絶縁性シートである。
熱伝導体:
上記熱伝導体の熱伝導率は、好ましくは10W/m・K以上である。上記熱伝導体としては、適宜の熱伝導体を用いることができる。上記熱伝導体は、金属材であることが好ましい。上記金属材としては、金属箔及び金属板等が挙げられる。上記熱伝導体は、上記金属箔又は上記金属板であることが好ましく、上記金属板であることがより好ましい。
上記金属材の材料としては、アルミニウム、銅、金、銀、及びグラファイトシート等が挙げられる。熱伝導性をより一層効果的に高める観点からは、上記金属材の材料は、アルミニウム、銅、又は金であることが好ましく、アルミニウム又は銅であることがより好ましい。
導電層:
上記導電層を形成するための金属は特に限定されない。上記金属としては、例えば、金、銀、パラジウム、銅、白金、亜鉛、鉄、錫、鉛、アルミニウム、コバルト、インジウム、ニッケル、クロム、チタン、アンチモン、ビスマス、タリウム、ゲルマニウム、カドミウム、ケイ素、タングステン、モリブデン及びこれらの合金等が挙げられる。また、上記金属としては、錫ドープ酸化インジウム(ITO)及びはんだ等が挙げられる。熱伝導性をより一層効果的に高める観点からは、上記金属は、アルミニウム、銅又は金であることが好ましく、アルミニウム又は銅であることがより好ましい。
上記導電層を形成する方法は特に限定されない。上記導電層を形成する方法としては、例えば、無電解めっきによる方法、電気めっきによる方法、並びに、上記絶縁層と金属箔とを加熱圧着する方法等が挙げられる。導電層の形成が簡便であるので、上記絶縁層と金属箔とを加熱圧着する方法が好ましい。
図1は、本発明の一実施形態に係る絶縁性シートを模式的に示す断面図である。なお、図1では、図示の便宜上、実際の大きさ及び厚みとは異なっている。
図1に示す絶縁性シート1は、熱硬化性成分11と、窒化ホウ素12とを含む。窒化ホウ素12は、上述した窒化ホウ素であることが好ましい。
本実施形態に係る絶縁性シート1は、一方の表面(第1の表面)1aと、他方の表面(第2の表面)1bとを有する。本実施形態に係る絶縁性シート1では、第1の表面1aから第2の表面1bに向かって厚み10%の領域の100体積%中における窒化ホウ素12の第1の含有量は、第2の表面1bから第1の表面1aに向かって厚み90%の領域の100体積%中における窒化ホウ素12の第2の含有量よりも少ない。第1の表面1aから第2の表面1bに向かって厚み10%の領域の100体積%中における窒化ホウ素12の第1の含有量は、第1の表面1aから第2の表面1bに向かって厚みの1/10の位置から厚みの9/10の位置までの厚み80%の領域の100体積%中における窒化ホウ素12の第3の含有量よりも少ないことが好ましい。
本実施形態に係る絶縁性シート1では、熱硬化性成分11は、熱硬化剤を含んでいてもよい。上記熱硬化性成分は、完全に硬化していないことが好ましい。上記熱硬化性成分は、加熱等によりBステージ化していてもよい。上記熱硬化性成分は、Bステージ化させたBステージ化物であってもよい。
図2は、本発明の一実施形態に係る絶縁性シートを用いて得られる積層体を模式的に示す断面図である。なお、図2では、図示の便宜上、実際の大きさ及び厚みとは異なっている。
図2に示す積層体21は、絶縁層22と、導電層23と、熱伝導体24とを備える。絶縁層22、導電層23及び熱伝導体24は、上述した絶縁層、導電層及び熱伝導体である。図2では、絶縁層22として、図1に示す絶縁性シート1が用いられている。
絶縁層22は、一方の表面(第1の表面)22aと、他方の表面(第2の表面)22bとを有する。導電層23は、一方の表面(第1の表面)23aと、他方の表面(第2の表面)23bとを有する。絶縁層24は、一方の表面(第1の表面)24aと、他方の表面(第2の表面)24bとを有する。
絶縁層22の一方の表面(第1の表面)22a側に、導電層23が積層されている。絶縁層22の他方の表面(第2の表面)22b側に、熱伝導体24が積層されている。導電層23の他方の表面(第2の表面)23b側に、絶縁層22が積層されている。熱伝導体24の一方の表面(第1の表面)24a側に、絶縁層22が積層されている。導電層23と熱伝導体24との間に絶縁層22が配置されている。
上記積層体の製造方法は、特に限定されない。上記積層体の製造方法としては、上記熱伝導体と、上記絶縁層と、上記導電層とを積層し、真空プレス等により加熱圧着する方法等が挙げられる。
本実施形態に係る積層体21では、絶縁層22は、硬化物部25と、窒化ホウ素12とを含む。絶縁層22は、図1に示す絶縁性シート1により形成されている。上記絶縁層は、上述した絶縁性シートを真空プレス等により加熱圧着することにより形成されることが好ましい。
本実施形態に係る積層体21では、絶縁層22の第1の表面22aから第2の表面22bに向かって厚み10%の領域の100体積%中における窒化ホウ素12の第1の含有量は、絶縁層22の第2の表面22bから第1の表面22aに向かって厚み90%の領域の100体積%中における窒化ホウ素12の第2の含有量よりも少ない。
本実施形態において、硬化物部25は、図1における熱硬化性成分11が硬化した部分である。硬化物部25は、熱硬化性成分11を硬化させることにより得られる。硬化物部25は、熱硬化性化合物及び熱硬化剤を含む熱硬化性成分が硬化した部分であってもよい。
上記絶縁性シートは、熱伝導性及び機械的強度等が高いことが求められる様々な用途に用いることができる。上記積層体は、例えば、電子機器において、発熱部品と放熱部品との間に配置されて用いられる。例えば、上記積層体は、CPUとフィンとの間に設置される放熱体、又は電気自動車のインバーター等で利用されるパワーカードの放熱体として用いられる。また、上記積層体の導電層をエッチング等の手法により回路形成することで、上記積層体を絶縁回路基板として用いることができる。
以下、本発明の具体的な実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を明らかにする。本発明は以下の実施例に限定されない。
熱硬化性成分(熱硬化性化合物):
(1)三菱化学社製「エピコート828US」、エポキシ化合物
熱硬化性成分(熱硬化剤):
(1)東京化成工業社製「ジシアンジアミド」
(2)四国化成工業社製「2MZA−PW」、イソシアヌル変性固体分散型イミダゾール
熱伝導性フィラー(窒化ホウ素):
(1)水島合金鉄社製「HP−40」、平均アスペクト比:6、平均長径:7μm
(2)昭和電工社製「UHP−G1H」、平均アスペクト比:6、平均長径:3μm
熱伝導性フィラー(アルミナ:絶縁性フィラー):
(1)昭和電工社製「A20S」、平均アスペクト比:1、平均長径:20μm、粒子径20μm
(熱伝導性フィラーの平均アスペクト比)
熱伝導性フィラーの平均アスペクト比を以下のようにして測定した。
熱伝導性フィラーの平均アスペクト比の測定方法:
上記窒化ホウ素、アルミナ又は上記窒化ホウ素凝集粒子を構成する一次粒子と熱硬化性樹脂等とを混合し、プレスして作製したシート又は積層体の断面の電子顕微鏡画像から、任意に選択された50個の各熱伝導性フィラー(窒化ホウ素又はアルミナ)の長径/短径を測定し、平均値を算出することにより求めた。なお、上記一次粒子が屈曲した形状を有する場合には、屈曲箇所で該一次粒子を2つに分け、分けられた2つの部位について長径を測定し、長径の大きな方の部位から算出される長径/短径を該一次粒子の長径/短径とした。
(熱伝導性フィラーの平均長径)
熱伝導性フィラーの平均長径を以下のようにして測定した。
熱伝導性フィラーの平均長径の測定方法:
上記窒化ホウ素、アルミナ又は上記窒化ホウ素凝集粒子を構成する一次粒子と熱硬化性樹脂等とを混合し、プレスして作製したシート又は積層体の断面の電子顕微鏡画像から、任意に選択された50個の各熱伝導性フィラー(窒化ホウ素又はアルミナ)の長径を測定し、平均値を算出することにより求めた。なお、上記一次粒子が屈曲した形状を有する場合には、屈曲箇所で該一次粒子を2つに分け、分けられた2つの部位について長径を測定し、長径の大きな方の部位の長径を該一次粒子の長径とした。
(実施例1)
(1)硬化性材料A及びBの作製
熱硬化性化合物と熱硬化剤とを、三菱化学社製「エピコート828US」100重量部に対して、東京化成工業社製「ジシアンジアミド」10重量部、四国化成工業社製「2MZA−PW」1重量部となるように配合した。次に、下記の表1に示す熱伝導性フィラーを下記の表1に示す配合量(体積%)で配合し、遊星式攪拌機を用いて500rpmで25分間攪拌することにより、硬化性材料A及びBを得た。
(2)積層体の作製
得られた硬化性材料Aを離型PETシート(厚み50μm)上に、厚み100μmになるように塗工し、50℃のオーブン内で20分間乾燥して第1の硬化性材料層を形成した。次に、得られた硬化性材料Bを第1の硬化性材料層上に、厚み250μmとなるように塗工し、50℃のオーブン内で20分間乾燥して第2の硬化性材料層を形成し、絶縁性シートを得た。得られた絶縁性シートは、第1の硬化性材料層が形成されている第1の表面と、第2の硬化性材料層が形成されている第2の表面とを有する。
その後、離型PETシートを剥がして、絶縁性シートの第1の表面に銅箔を積層し、絶縁性シートの第2の表面にアルミニウム板を積層して、温度200℃、圧力10MPaの条件で真空プレスすることにより積層体を作製した。すなわち、得られた積層体は、熱伝導体と、上記熱伝導体の一方の表面に積層された絶縁層と、上記絶縁層の上記熱伝導体とは反対側の表面に積層された導電層とを備え、上記絶縁層の材料が、得られた絶縁性シートである。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例2)
硬化性材料Bの作製の際に、「HP−40」の配合量を60体積%から70体積%に変更したこと以外は、実施例1と同様にして積層体を作製した。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例3)
硬化性材料Aの作製の際に、「HP−40」の配合量を50体積%から30体積%に変更したこと以外は、実施例2と同様にして積層体を作製した。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例4)
実施例2と同様にして、硬化性材料A及びBを得た。得られた硬化性材料Aを離型PETシート(厚み50μm)上に、厚み50μmになるように塗工し、50℃のオーブン内で20分間乾燥して第1の硬化性材料層を形成した。次に、得られた硬化性材料Bを第1の硬化性材料層上に、厚み200μmとなるように塗工し、50℃のオーブン内で20分間乾燥して第2の硬化性材料層を形成した。さらに、得られた硬化性材料Aを第2の硬化性材料層上に、厚み50μmになるように塗工し、50℃のオーブン内で20分間乾燥して第3の硬化性材料層を形成し、絶縁性シートを得た。得られた絶縁性シートは、第1の硬化性材料層が形成されている第1の表面と、第3の硬化性材料層が形成されている第2の表面とを有する。
その後、離型PETシートを剥がして、絶縁性シートの第1の表面に銅箔を積層し、絶縁性シートの第2の表面にアルミニウム板を積層して、温度200℃、圧力10MPaの条件で真空プレスすることにより積層体を作製した。すなわち、得られた積層体は、熱伝導体と、上記熱伝導体の一方の表面に積層された絶縁層と、上記絶縁層の上記熱伝導体とは反対側の表面に積層された導電層とを備え、上記絶縁層の材料が、得られた絶縁性シートである。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例5)
硬化性材料Aの作製の際に、「HP−40」の配合量を50体積%から30体積%に変更したこと、及び「A20S」を配合し、その配合量を40体積%にしたこと以外は、実施例2と同様にして積層体を作製した。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例6)
硬化性材料Aの作製の際に、「HP−40」の配合量を50体積%から30体積%に変更したこと、及び「A20S」を配合し、その配合量を45体積%にしたこと以外は、実施例2と同様にして積層体を作製した。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例7)
硬化性材料Bの作製の際に、「A20S」を配合し、その配合量を10体積%にしたこと以外は、実施例1と同様にして積層体を作製した。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例8)
硬化性材料Aの作製の際に、「HP−40」の配合量を50体積%から30体積%に変更したこと、「A20S」を配合し、その配合量を30体積%にしたこと、硬化性材料Bの作製の際に、「A20S」を配合し、その配合量を10体積%にしたこと以外は、実施例1と同様にして積層体を作製した。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例9)
硬化性材料Aの作製の際に、窒化ホウ素を「HP−40」から「UHP−G1H」に変更したこと以外は、実施例1と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例10)
硬化性材料Aの作製の際に、窒化ホウ素を「HP−40」から「UHP−G1H」に変更したこと以外は、実施例2と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例11)
硬化性材料Aの作製の際に、窒化ホウ素を「HP−40」から「UHP−G1H」に変更したこと以外は、実施例3と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例12)
硬化性材料Aの作製の際に、窒化ホウ素を「HP−40」から「UHP−G1H」に変更したこと以外は、実施例4と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例13)
硬化性材料Aの作製の際に、窒化ホウ素を「HP−40」から「UHP−G1H」に変更したこと以外は、実施例5と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例14)
硬化性材料Aの作製の際に、窒化ホウ素を「HP−40」から「UHP−G1H」に変更したこと以外は、実施例6と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例15)
硬化性材料Aの作製の際に、窒化ホウ素を「HP−40」から「UHP−G1H」に変更したこと以外は、実施例7と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例16)
硬化性材料Aの作製の際に、窒化ホウ素を「HP−40」から「UHP−G1H」に変更したこと以外は、実施例8と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例17)
硬化性材料Aの作製の際に、窒化ホウ素を「HP−40」から「UHP−G1H」に変更したこと、硬化性材料Bの作製の際に、「HP−40」の配合量を60体積%から50体積%に変更したこと、「UHP−G1H」を配合し、その配合量を10体積%にしたこと以外は、実施例1と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例18)
硬化性材料Aの作製の際に、窒化ホウ素を「HP−40」から「UHP−G1H」に変更したこと、硬化性材料Bの作製の際に、「HP−40」の配合量を70体積%から50体積%に変更したこと、「UHP−G1H」を配合し、その配合量を20体積%にしたこと以外は、実施例2と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例19)
硬化性材料Aの作製の際に、窒化ホウ素を「HP−40」から「UHP−G1H」に変更したこと、硬化性材料Bの作製の際に、「HP−40」の配合量を70体積%から50体積%に変更したこと、「UHP−G1H」を配合し、その配合量を20体積%にしたこと以外は、実施例3と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例20)
硬化性材料Aの作製の際に、窒化ホウ素を「HP−40」から「UHP−G1H」に変更したこと、硬化性材料Bの作製の際に、「HP−40」の配合量を70体積%から50体積%に変更したこと、「UHP−G1H」を配合し、その配合量を20体積%にしたこと以外は、実施例4と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例21)
硬化性材料Aの作製の際に、窒化ホウ素を「HP−40」から「UHP−G1H」に変更したこと、硬化性材料Bの作製の際に、「HP−40」の配合量を70体積%から50体積%に変更したこと、「UHP−G1H」を配合し、その配合量を20体積%にしたこと以外は、実施例5と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例22)
硬化性材料Aの作製の際に、窒化ホウ素を「HP−40」から「UHP−G1H」に変更したこと、硬化性材料Bの作製の際に、「HP−40」の配合量を70体積%から50体積%に変更したこと、「UHP−G1H」を配合し、その配合量を20体積%にしたこと以外は、実施例6と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例23)
硬化性材料Aの作製の際に、窒化ホウ素を「HP−40」から「UHP−G1H」に変更したこと、硬化性材料Bの作製の際に、「HP−40」の配合量を60体積%から40体積%に変更したこと、「UHP−G1H」を配合し、その配合量を20体積%にしたこと以外は、実施例7と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例24)
硬化性材料Aの作製の際に、窒化ホウ素を「HP−40」から「UHP−G1H」に変更したこと、硬化性材料Bの作製の際に、「HP−40」の配合量を60体積%から40体積%に変更したこと、「UHP−G1H」を配合し、その配合量を20体積%にしたこと以外は、実施例8と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例25)
硬化性材料Aの作製の際に、「HP−40」の配合量を50体積%から20体積%に変更したこと、「UHP−G1H」を配合し、その配合量を30体積%にしたこと以外は、実施例1と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例26)
硬化性材料Aの作製の際に、「HP−40」の配合量を50体積%から20体積%に変更したこと、「UHP−G1H」を配合し、その配合量を30体積%にしたこと以外は、実施例2と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例27)
硬化性材料Aの作製の際に、「HP−40」の配合量を30体積%から10体積%に変更したこと、「UHP−G1H」を配合し、その配合量を20体積%にしたこと以外は、実施例3と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例28)
硬化性材料Aの作製の際に、「HP−40」の配合量を50体積%から20体積%に変更したこと、「UHP−G1H」を配合し、その配合量を30体積%にしたこと以外は、実施例4と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例29)
硬化性材料Aの作製の際に、「HP−40」の配合量を30体積%から10体積%に変更したこと、「UHP−G1H」を配合し、その配合量を20体積%にしたこと以外は、実施例5と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例30)
硬化性材料Aの作製の際に、「HP−40」の配合量を30体積%から10体積%に変更したこと、「UHP−G1H」を配合し、その配合量を20体積%にしたこと以外は、実施例6と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例31)
硬化性材料Aの作製の際に、「HP−40」の配合量を50体積%から20体積%に変更したこと、「UHP−G1H」を配合し、その配合量を30体積%にしたこと以外は、実施例7と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(実施例32)
硬化性材料Aの作製の際に、「HP−40」の配合量を30体積%から10体積%に変更したこと、「UHP−G1H」を配合し、その配合量を20体積%にしたこと以外は、実施例8と同様にして、積層体を得た。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(比較例1)
硬化性材料Aの作製の際に、「HP−40」の配合量を50体積%から58体積%に変更したこと、及び硬化性材料Bを作製せず、硬化性材料Bの代わりに硬化性材料Aを用いたこと以外は、実施例1と同様にして、積層体を作製した。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(比較例2)
硬化性材料Aの作製の際に、「HP−40」の配合量を30体積%から58体積%に変更したこと、硬化性材料Aの作製の際に、「A20S」の配合量を40体積%から20体積%に変更したこと、及び硬化性材料Bの作製の際に、「HP−40」の配合量を70体積%から58体積%に変更したこと以外は、実施例5と同様にして、積層体を作製した。得られた積層体の絶縁層の厚みは245μmであった。
(評価)
(1)窒化ホウ素の含有量
得られた積層体の断面をクロスセクションポリッシャー(日本電子社製「IB−19500CP」)にて平滑に加工し、加工後の積層体の断面を電界放出形走査電子顕微鏡(日立ハイテクノロジーズ社製「S−4800」)で観察した。エネルギー分散型X線分光器(日立ハイテクノロジーズ社製「S−4800EN−EDS」)により窒化ホウ素を特定した。得られた電子顕微鏡画像から、絶縁性シートの第1の表面から絶縁性シートの第2の表面に向かって厚み10%の領域の100体積%中における窒化ホウ素の第1の含有量と、絶縁性シートの第2の表面から絶縁性シートの第1の表面に向かって厚み90%の領域の100体積%中における窒化ホウ素の第2の含有量とを算出した。また、絶縁性シートの第1の表面から絶縁性シートの第2の表面に向かって厚みの1/10の位置から厚みの9/10の位置までの厚み80%の領域の100体積%中における上記窒化ホウ素の第3の含有量を算出した。さらに、絶縁性シートの第2の表面から絶縁性シートの第1の表面に向かって厚み10%の領域の100体積%中における窒化ホウ素の第4の含有量を算出した。
(2)熱伝導率
得られた積層体を1cm角にカットした後、両面にカーボンブラックをスプレーすることで測定サンプルを作製した。得られた測定サンプルを用いて、レーザーフラッシュ法により熱伝導率を算出した。熱伝導率は、比較例1の値を1.0とした相対値を算出し、以下の基準で判定した。
[熱伝導率の判定基準]
○○:熱伝導率が1.5以上
○:熱伝導率が1.0を超え1.5未満
△:比較例1(1.0)、又は熱伝導率が比較例1(1.0)と同等
×:熱伝導率が1.0未満
(3)90度ピール強度(引きはがし強さ)
得られた積層体を50mm×120mmの大きさに切り出して、テストサンプルを得た。得られたテストサンプルの中央幅10mmの銅箔が残るように銅箔を剥がし、中央幅10mmの銅箔に対して、JIS C 6481に準拠して、銅箔の引きはがし強さを測定した。上記ピール強度測定装置としては、オリエンテック社製「テンシロン万能試験機」を用いた。20個のテストサンプルについて、銅箔の引きはがし強さを測定し、20個の90度ピール強度の測定値を得た。20個の90度ピール強度の測定値の平均値を、90度ピール強度とした。90度ピール強度は、比較例1の値を1.0とした相対値を算出し、以下の基準で判定した。
[90度ピール強度(引きはがし強さ)の判定基準]
○○:90度ピール強度が1.5以上
○:90度ピール強度が1.0を超え1.5未満
△:比較例1(1.0)、又は90度ピール強度が比較例1(1.0)と同等
×:90度ピール強度が1.0未満
絶縁性シートの構成及び結果を表1〜4に示す。
1…絶縁性シート
1a…一方の表面(第1の表面)
1b…他方の表面(第2の表面)
11…熱硬化性成分
12…窒化ホウ素
21…積層体
22…絶縁層
22a…一方の表面(第1の表面)
22b…他方の表面(第2の表面)
23…導電層
23a…一方の表面(第1の表面)
23b…他方の表面(第2の表面)
24…熱伝導体
24a…一方の表面(第1の表面)
24b…他方の表面(第2の表面)
25…硬化物部(熱硬化性成分が硬化した部分)
Claims (7)
-
熱硬化性成分と、熱伝導性フィラーとを含み、
前記熱伝導性フィラーが、窒化ホウ素を含み、
厚み方向の一方側の第1の表面と、厚み方向の他方側の第2の表面とを有し、
前記第1の表面から前記第2の表面に向かって厚み10%の領域の100体積%中における前記窒化ホウ素の第1の含有量が、前記第2の表面から前記第1の表面に向かって厚み90%の領域の100体積%中における前記窒化ホウ素の第2の含有量よりも少ない、絶縁性シート。
-
前記第1の含有量と前記第2の含有量との差の絶対値が、5体積%以上60体積%以下である、請求項1に記載の絶縁性シート。
-
絶縁性シート全体での前記窒化ホウ素の平均アスペクト比が、2以上20以下である、請求項1又は2に記載の絶縁性シート。
-
絶縁性シート全体での前記窒化ホウ素の平均長径が、1μm以上40μm以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の絶縁性シート。
-
前記絶縁性シート100体積%中、前記窒化ホウ素の含有量が、20体積%以上80体積%以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の絶縁性シート。
-
前記熱伝導性フィラー100体積%中、前記窒化ホウ素の含有量が、50体積%以上100体積%以下である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の絶縁性シート。
-
熱伝導体と、前記熱伝導体の一方の表面に積層された絶縁層と、前記絶縁層の前記熱伝導体とは反対側の表面に積層された導電層とを備え、
前記絶縁層の材料が、請求項1〜6のいずれか1項に記載の絶縁性シートである、積層体。
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