JPWO2018155115A1 - 変形測定方法、変形測定装置、及びそのプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2017年2月23日に出願された日本特許出願第2017−32645号の優先権を主張し、その内容を参照することにより、本出願に取り込む。
変形の測定は、材料及び構造における残留応力、機械的性質、不安定挙動、クラックの発生と伝播を評価するために欠かせない。現在、全視野、非接触、かつ非破壊の主な変形測定技法としては、モアレ法、デジタル画像相関法(DIC)、幾何学位相解析(GPA)、フーリエ変換法(FT)、電子スペックルパターン干渉法(ESPI)などがある。これらの技法の中で、DIC法はシンプルであるが、変形キャリアがスペックルであるためにノイズに弱い。GPA及びFTは複数の周波数が混在するような格子画像では精度よく解析できないため、複雑な変形測定には向かない。またESPIは振動の影響を受けやすい欠点がある。
・応力集中、転位の発生、すべり形成の可視化
・クラック発生位置、クラック成長経路、及び層間剥離位置の予測
・座屈、不安定性、及び欠陥発生メカニズム解析のための内部応力又は残留応力の評価
・材料の強化に関する指針を与えるための、変形レベルの評価
・境界面の最適設計のための変形分布特性の評価
・生産品質管理のためのひずみ及び残留ひずみ状態の監視
・インフラストラクチャ、マイクロエレメカシステムの構造的な健全性のモニタリング
まず、本発明の実施形態の前提となっている測定基本原理について必要な数式を用いて説明する。
2次元周期的パターン(以下、前記の周期的パターンを「格子」と略称する。)は、2つの1次元格子、X格子とY格子との組み合わせと考えることができる。負荷印加前に試料格子を作成するとき、格子Xのx方向(水平右方向)、y方向(垂直上方向)のピッチをpXx,pXy、格子Yのx方向(水平右方向)、y方向(垂直上方向)のピッチをpYx,pYyとする。このとき、負荷印加前の2次元格子の輝度は、式(1)で表すことができる。
次に、熱変形及び熱ひずみに関する測定原理について説明する。図4に、熱変形及び熱ひずみに関する測定原理を模式的に示している。
x方向の垂直ひずみは、ピッチの変化、すなわちεx=(p'x-px)/pxから求めることができるので、負荷印加前(F0)に対する任意の負荷(F)印加後、及び穴あけ、スロット加工等による、残留応力を解放後の無残留ひずみ状態(Ff)におけるx方向のひずみまたは熱ひずみは、格子ピッチ間の関係から式(27)のように表すことができる。
ひずみと残留ひずみを測定した後、主ひずみ及び残留主ひずみを、ひずみ状態を解析することによって求めることができる。平面応力問題について、残留主ひずみは、以下の数式により計算することができる。
ひずみ又は残留ひずみの測定に関する2次元位相同時解析モアレ法のフローチャートの一例を、図5に示している。2次元位相同時解析モアレ法を実行する際、処理の開始後(S501)、試料の表面上に周期的パターンが存在しない場合、まずその試料の上に格子を作成する(S502)。次いで、作成した格子の画像を、顕微鏡、画像センサ等の画像記録手段によって記録する(S503)。この画像記録は、負荷印加前とは異なる負荷において実施される。残留ひずみを測定する場合、残留応力解放後の格子画像も記録する。次いで、記録した格子の画像について、試料格子のピッチに近似するピッチでダウンサンプリング処理する。なお前記ピッチは試料格子の整数倍又は整数分の一であってもよい。さらに、記録した格子画像について、輝度の補間を行い、試料のモアレ縞(x方向、y方向)を生成する(S504)。その後、フーリエ変換アルゴリズムを用いた空間位相シフトによって、変形前のモアレ縞の位相(x方向、y方向)を計算する(S505)。
次に、本発明の実施形態による変形測定装置について説明する。図8に変形測定装置1の構成例を示している。図8に示すように、変形測定装置1は、格子画像記録装置10、及びコンピュータ20を備え、負荷印加装置30により負荷をかけられて変形する試料の変形度合いを測定する機能を有する。格子画像記録装置10は、顕微鏡、画像センサ等を含み、光学的に取得した格子画像をデジタルデータとしてメモリに一時的に記録し、コンピュータ20に供給する機能を有する。コンピュータ20は、MPU、CPU等の適宜のプロセッサ21と、ROM、RAM、NVRAM等の記憶デバイス22とを備えた情報処理装置であり、キーボード等の入力装置23と、出力装置24とを有している。図8の例では出力装置24は適宜の形式のモニタ・ディスプレイであるが、プリンタ等の他の出力デバイスでもよい。コンピュータ20には外部通信ネットワークと接続可能な通信モジュールを設け、他の情報処理装置と通信可能に構成することができる。
本実施例では、本願提案の方法と従来方法とを比較するため、シミュレーションから本願提案方法による2次元変形測定の精度を検証した。まずx方向、y方向とも10ピクセルピッチの格子を異なる角度で回転させて、一連の傾斜した格子を得た。格子画像のサイズは480×400ピクセルであった。これらの傾斜した格子は、理論上のx方向ひずみ、y方向ひずみ、及びせん断ひずみを加えて変形させた。変形の測定は本願提案の方法によった。
本実施例では、本発明によるx方向、y方向残留ひずみ、及びせん断残留ひずみ測定の測定精度をシミュレーションにより検証した。使用した格子は実施例1の場合と同様である。残留ひずみの理論値は、モールの残留ひずみ円から求めた。
本実施例では、ランダムノイズを含む傾斜した格子からひずみ及び残留ひずみを求める場合について説明する。傾斜した格子は、互いに直交する格子Xと格子Yとに分離することができる。図15に示すように、格子Yのx方向からの傾斜角、格子Xのy方向からの傾斜角は10°である。格子Xのx方向、y方向の格子ピッチは、それぞれ10.1543ピクセルと57.5877ピクセル、格子Yのx方向、y方向の格子ピッチは、それぞれ57.5877ピクセルと10.1543ピクセルであった。格子画像のサイズは480×400ピクセル、格子振幅に対して標準偏差σが2%のランダムノイズを傾斜した格子に加えた。
本実施例では、本発明の方法を用いたチタン合金の2次元ひずみ測定について説明する。図18に、本実施例における測定対象の試料の形状寸法と、測定に用いた機械的負荷印加装置を示している。試料の厚さと最小幅は、それぞれ1mm、1.8mmであった。この試料の表面の1.8×15mm2の範囲に、UVナノインプリントリソグラフィーにより、格子間隔3μmの直交格子を作成した。一つの格子ラインと試料の軸方向(x方向)のなす角度は2°である。引張試験は、走査型レーザー顕微鏡の下で実施した。図19に示すように、この引張試験では、測定対象領域として、試料の一端において旧β相粒界を含む219×204μm2の範囲を選定した。
10 格子画像記録装置
20 コンピュータ
21 プロセッサ
22 メモリ
221 モアレ縞発生部
222 位相処理部
223 変形計算部
23 入力装置
24 出力装置
30 負荷印加装置
Claims (7)
- 試料に負荷を印加したときに当該試料に生じる変形を測定するための変形測定方法であって、
試料の表面に存在する周期的パターンの画像を、前記試料へ当該試料作成後最初に負荷を印加する前後において画像記録手段によって記録し、
記録した各前記周期的パターンの画像に基づいてモアレ縞を生成し、
前記試料に最初に負荷を印加する前の前記モアレ縞の位相を計算し、
前記試料に負荷を印加した後の前記モアレ縞の位相を計算し、
前記試料に負荷を印加する前後の前記モアレ縞の位相差を取得し、当該位相差に2次元位相同時解析を適用することによって前記試料の変位分布とひずみ分布とを算出する、
変形測定方法。 - 請求項1に記載の変形測定方法であって、
前記試料に残留応力を解放後での前記周期的パターン画像も記録し、モアレ縞を生成し、モアレ縞の位相を計算し、
前記試料に最初に負荷が印加される前の前記モアレ縞の位相との位相差を計算し、
当該位相差に2次元位相同時解析を適用することによって前記試料の残留ひずみ分布を算出する、
変形測定方法。 - 請求項1に記載の変形測定方法であって、
前記周期的パターンは1次元格子又は2次元格子であり、
前記試料上に1次元格子が形成されている場合、前記試料の1次元変位及び1次元ひずみを算出し、
前記試料上に2次元格子が形成されている場合に、当該2次元格子の交差するラインが互いに直交していない場合、当該2次元格子を構成する各1次元格子の格子間ピッチ及び基準軸となす角度とを用いて、前記試料に負荷が印加されているときの変位分布及びひずみ分布を算出する、
変形測定方法。 - 請求項2に記載の変形測定方法であって、
前記周期的パターンは1次元格子又は2次元格子であり、
前記試料上に1次元格子が形成されている場合、前記試料の1次元残留ひずみを算出し、
前記試料上に2次元格子が形成されている場合に、当該2次元格子の交差するラインが互いに直交していない場合、当該2次元格子を構成する各1次元格子の格子間ピッチ及び基準軸となす角度とを用いて、前記試料に負荷が印加前と印加されているときの残留ひずみ分布を算出する、
変形測定方法。 - 請求項1から4までのいずれか1項に記載の変形測定方法であって、
前記試料の表面に前記周期的パターンが存在しない場合に、当該試料にその作成後最初に負荷を印加する前に、その表面に周期的パターンを作成することを含む、
変形測定方法。 - 試料に負荷を印加するための負荷印加手段と、
前記試料の表面に存在する周期的パターンの画像を、前記試料へ当該試料作成後最初に負荷を印加する前後において記録するための画像記録手段と、
記録した各前記周期的パターンの画像に基づいてモアレ縞を生成し、
前記試料に最初に負荷を印加する前の前記モアレ縞の位相を計算し、
前記試料に負荷を印加した後の前記モアレ縞の位相を計算し、
前記試料に負荷を印加する前後の前記モアレ縞の位相差を取得し、当該位相差に2次元位相同時解析を適用することによって前記試料の変位分布とひずみ分布とを算出するように構成されている変形測定手段と、
前記算出結果を出力するための出力手段と、
を備えている変形測定装置。 - プロセッサとメモリとを備えるコンピュータに、
試料表面にある周期的パターンの前記試料へ当該試料作成後最初に負荷を印加する前後における画像データと解析パラメータとの入力を受け付け、
試料上の同一領域にある同一サイズの前記周期的パターンを検索し、
各前記周期的パターンの画像に基づいてモアレ縞を生成し、
前記試料に最初に負荷を印加する前の前記モアレ縞の位相を計算し、
前記試料に負荷を印加した後の前記モアレ縞の位相を計算し、
前記試料に負荷を印加する前後の前記モアレ縞の位相差を取得し、当該位相差に2次元位相同時解析を適用することによって前記試料の変位分布とひずみ分布とを算出し、
前記算出結果を出力する、
処理を実行させるコンピュータプログラム。
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