JPWO2018042700A1 - Plasma generation device - Google Patents
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Abstract
プラズマ生成素子(2)は、導電線(11)および導電線(11)を絶縁被覆する被覆部(12)を含む被覆導線(10)と、被覆部(12)に少なくとも一部が接触するように被覆導線(10)に隣接して配置された導電部材(20)と、を備え、導電部材(20)は、被覆導線(10)の延在方向と交差する方向において被覆導線(10)を挟み込んで保持する挟持部を少なくとも1つ以上有し、導電線(10)および導電部材(20)の間に電圧が印加されることにより挟持部近傍においてプラズマが生成される。The plasma generating element (2) is at least partially in contact with the coated wire (10) including the conductive wire (11) and the coated portion (12) insulatingly coating the conductive wire (11) And a conductive member (20) disposed adjacent to the coated lead (10), the conductive member (20) covering the coated lead (10) in a direction intersecting the extending direction of the coated lead (10) It has at least one sandwiching part which sandwiches and holds it, and a voltage is applied between the conductive wire (10) and the conductive member (20) to generate plasma in the vicinity of the sandwiching part.
Description
本発明は、誘電体バリア放電を生じさせてプラズマを生成するプラズマ生成素子に関する。本出願は、2016年9月2日に出願した日本特許出願である特願2016−171797号に基づく優先権を主張し、当該日本特許出願に記載された全ての記載内容を援用するものである。 The present invention relates to a plasma generating element that generates a dielectric barrier discharge to generate plasma. This application claims the priority of Japanese Patent Application No. 2016-171797 filed on Sep. 2, 2016, which is the Japanese patent application, and uses the entire contents described in the Japanese Patent Application. .
窒素や酸素を含む空気を環境下であってかつ大気圧下でプラズマを生成することができるプラズマ生成素子が開示された文献として、特許第4982851号公報(特許文献1)が挙げられる。 Japanese Patent No. 4982851 (Patent Document 1) is mentioned as a document disclosing a plasma generating element capable of generating a plasma under atmospheric pressure and under an atmosphere containing nitrogen and oxygen.
特許文献1に記載のプラズマ生成素子は、芯線が絶縁層で被覆された複数の導線を撚り合わせて撚線構造とすること、または、複数の導線を編み込んで組み合わせた組紐構造とすることにより構成される。
The plasma generating element described in
このように構成することにより、導線同士が接触する部分の近傍に微小の隙間が形成される。この状態で、導線間に電圧を印加することにより、当該隙間において誘電体バリア放電が発生する。この結果、プラズマを生成することができる。 By this configuration, a minute gap is formed in the vicinity of the portion where the conducting wires are in contact with each other. In this state, a dielectric barrier discharge is generated in the gap by applying a voltage between the conducting wires. As a result, plasma can be generated.
しかしながら、特許文献1に開示のプラズマ生成素子においては、複数の導線を撚り合わせたり編み込んだりする必要があるため、構造が複雑となり、生産性の面で難がある。また、1本の導線が破損したような場合には、撚線構造および組紐構造を構成する導線を分解して組み直す必要が生じる。
However, in the plasma generating element disclosed in
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、簡易な構成を有するプラズマ生成素子を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a plasma generating element having a simple configuration.
本発明の第1の局面に基づくプラズマ生成素子は、導電線および上記導電線を絶縁被覆する被覆部を含む被覆導線と、上記被覆部に少なくとも一部が接触するように上記被覆導線に隣接して配置された導電部材と、を備え、上記導電部材は、上記被覆導線の延在方向と交差する方向において上記被覆導線を挟み込んで保持する挟持部を少なくとも1つ以上有し、上記導電線および上記導電部材の間に電圧が印加されることにより上記挟持部近傍においてプラズマが生成される。 A plasma generating device according to a first aspect of the present invention comprises a coated wire including a conductive wire and a coating portion coating the conductive wire and a coating wire adjacent to the coated wire such that at least a part is in contact with the coating portion. And the conductive member has at least one sandwiching portion for sandwiching and holding the coated conductive wire in a direction crossing the extending direction of the coated conductive wire, and the conductive wire and By applying a voltage between the conductive members, plasma is generated in the vicinity of the sandwiching portion.
上記本発明の第1の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記導電部材は、上記被覆導線から見て一方側に配置される第1板状部と、上記被覆導線から見て他方側に配置される第2板状部とを含んでいてもよい。この場合には、上記第1板状部は、上記被覆導線に接触する第1接触部を有する事が好ましく、上記第2板状部は、上記被覆導線に接触する第2接触部を有することが好ましい。さらに、上記挟持部は、上記第1接触部および上記第2接触部によって構成されていることが好ましい。 In the plasma generating element according to the first aspect of the present invention, the conductive member is a first plate-like portion disposed on one side as viewed from the coated wire, and the other side viewed from the coated wire. And the second plate-like portion disposed in In this case, it is preferable that the first plate-like portion have a first contact portion to be in contact with the coated conducting wire, and the second plate-like portion have a second contact portion to be in contact with the coated conducting wire. Is preferred. Furthermore, it is preferable that the said clamping part is comprised by the said 1st contact part and the said 2nd contact part.
上記本発明の第1の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第1板状部および上記第2板状部は、上記被覆導線の上記延在方向に沿って延在していてもよい。 In the plasma generation device according to the first aspect of the present invention, the first plate-like portion and the second plate-like portion may extend along the extending direction of the coated conducting wire. Good.
上記本発明の第1の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第1板状部および上記第2板状部は、上記第1板状部、上記被覆導線、および上記第2板状部が並ぶ方向から見た場合に、上記被覆導線の上記延在方向と交差するように延在していてもよい。 In the plasma generation device according to the first aspect of the present invention, the first plate-like portion and the second plate-like portion are the first plate-like portion, the coated conducting wire, and the second plate-like portion. When viewed from the direction in which the parts are lined up, they may extend so as to intersect with the extending direction of the coated conductor.
上記本発明の第1の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第1板状部は、上記被覆導線に当接する主面とは反対側に位置する主面から、上記被覆導線から離れる方向に向けて突出し、上記第1板状部が延在する方向に沿って延在する第1突条部を有していてもよい。また、上記第2板状部は、上記被覆導線に当接周面とは反対外に位置する主面から、上記被覆導線から離れる方向に向けて突出し、上記第2板状部が延在する方向に沿って延在する第2突条部を有していてもよい。 In the plasma generating element according to the first aspect of the present invention, the first plate-like portion is separated from the coated wire from the main surface located on the opposite side to the main surface contacting the coated wire. You may have the 1st protrusion part which protrudes toward a direction and extends along the direction where the said 1st plate-like part extends. Further, the second plate-like portion protrudes from the main surface located on the outside of the coated wire opposite to the contact circumferential surface, in a direction away from the coated wire, and the second plate-like portion extends You may have the 2nd protrusion part extended along a direction.
上記本発明の第1の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第1板状部および上記第1突条部は、一つの部材にて構成されていてもよく、上記第2板状部および上記第2突条部は、一つの部材にて構成されていてもよい。 In the plasma generation device according to the first aspect of the present invention, the first plate-like portion and the first protrusion may be constituted by one member, and the second plate-like portion The portion and the second protrusion may be constituted by one member.
上記本発明の第1の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記導電部材は、内周側が上記被覆導線に接触する1つまたは複数の環状部材によって構成されていてもよい。この場合には、上記挟持部は、上記被覆導線に接触する上記環状部材の内周面によって構成されていることが好ましい。 In the plasma generating element according to the first aspect of the present invention, the conductive member may be constituted by one or more annular members whose inner peripheral side contacts the coated conducting wire. In this case, it is preferable that the holding portion be constituted by the inner peripheral surface of the annular member in contact with the coated conducting wire.
上記本発明の第1の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記導電部材は、上記被覆導線の上記延在方向に沿って延在する半筒部材によって構成されていてもよい。この場合には、上記半筒部材は、上記被覆導線の上記延在方向に交差する方向に上記被覆導線を挟み込むように曲げられた内周面を有することが好ましく、上記挟持部は、上記被覆導線に接触する部分の上記内周面によって構成されていることが好ましい。 In the plasma generating element according to the first aspect of the present invention, the conductive member may be constituted by a semi-cylindrical member extending along the extending direction of the coated conducting wire. In this case, the half cylinder member preferably has an inner peripheral surface bent so as to sandwich the coated conducting wire in a direction intersecting the extending direction of the coated conducting wire, and the sandwiching portion is formed of the coating It is preferable to be comprised by the said internal peripheral surface of the part which contacts conducting wire.
上記本発明の第1の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記半筒部材は、上記被覆導線の上記延在方向から見た場合に、U字形状、V字形状、または多角形形状を有することが好ましい。 In the plasma generating element according to the first aspect of the present invention, the semi-cylindrical member has a U shape, a V shape, or a polygonal shape when viewed from the extending direction of the coated conductive wire. It is preferable to have
上記本発明の第1の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記半筒部材は、上記被覆導線の上記延在方向から見た場合に、上記内周面の一端側および上記内周面の他端側によって規定される開口面を有することが好ましく、この場合には、上記半筒部材は、上記内周面の上記一端側および上記内周面の上記他端側の一方に接続され、上記被覆導線の周面に沿って延在し、上記被覆導線が上記開口面側から抜けることを防止する抜け止め部を有することが好ましい。 In the plasma generating element according to the first aspect of the present invention, the half cylinder member is one end side of the inner peripheral surface and the inner peripheral surface when viewed from the extending direction of the coated conducting wire. Preferably, the half cylinder member is connected to one of the one end of the inner peripheral surface and the other end of the inner peripheral surface. It is preferable to have a retaining portion that extends along the circumferential surface of the coated conductor and prevents the coated conductor from coming off the open surface side.
上記本発明の第1の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記導電部材は、上記被覆導線に接触する板状部と、一端側が上記板状部に連結されるとともに他端側が上記被覆導線に巻回された1つまたは複数の巻回部とを含んでいてもよい。この場合には、上記挟持部は、上記被覆導線に接触する部分の上記巻回部の内周面によって構成されていることが好ましい。 In the plasma generating element according to the first aspect of the present invention, the conductive member has a plate-like portion in contact with the coated conductive wire, one end side is connected to the plate-like portion and the other end is the coating And one or more windings wound on a lead. In this case, it is preferable that the holding portion be constituted by the inner peripheral surface of the wound portion at a portion contacting the coated conductive wire.
上記本発明の第1の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記複数の巻回部は、上記被覆導線の上記延在方向に沿って並ぶ第1巻回部および第2巻回部を含んでいてもよい。この場合には、上記第1巻回部の巻回方向と上記第2巻回部の巻回方向とが逆であることが好ましい。 In the plasma generation device according to the first aspect of the present invention, the plurality of wound portions are a first wound portion and a second wound portion arranged along the extending direction of the coated conductive wire. May be included. In this case, the winding direction of the first winding portion and the winding direction of the second winding portion are preferably reverse.
上記本発明の第1の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記板状部は、上記被覆導線に接触する主面とは反対側の主面から、上記被覆導線から離れる方向に突出し、上記板状部が延在する方向に沿って延在する突条部を有していてもよい。 In the plasma generating device according to the first aspect of the present invention, the plate-like portion protrudes from the main surface opposite to the main surface in contact with the coated wire in a direction away from the coated wire. You may have the protrusion part extended along the direction where the said plate-like part extends.
本発明に基づく第2の局面に基づく、プラズマ生成素子にあっては、導線線および上記導電線を絶縁被覆する被覆部を含み、互いに並走して配置される複数の被覆導線と、上記被覆部に少なくとも一部が接触するように上記複数の被覆導線に隣接して配置された導電部材と、を備え、上記導電部材は、上記被覆導線の延在方向と交差する方向において上記複数の被覆導線を挟み込んで保持する複数の挟持部を有し、上記導電部材は、上記被覆導線から見て一方側に配置された第1導電部材と、上記被覆導線から見て他方側に配置された第2導電部材とを含み、上記第1導電部材は、網目形状を有するとともに、上記複数の被覆導線に接触する第1接触部群を有し、上記第2導電部材は、上記第1導電部材に対応する網目形状を有するとともに、上記複数の被覆導線に接触する第2接触部群を有し、上記複数の挟持部は、上記第1接触部群と上記第2接触部群とによって構成され、上記導電線および上記導電部材の間に電圧が印加されることにより上記複数の挟持部近傍においてプラズマが生成される。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a plasma generating element comprising a plurality of coated conductive wires disposed in parallel with each other, the coated conductive wire including a conductive wire and a coating for insulating coating the conductive wire. And a conductive member disposed adjacent to the plurality of coated conductive wires such that at least a portion of the conductive members contacts the portion, the conductive member is configured to cover the plurality of coatings in a direction intersecting the extending direction of the coated conductive wires. The conductive member includes a plurality of sandwiching portions for sandwiching and holding the conducting wire, and the conductive member is a first conducting member disposed on one side as viewed from the coated conductive wire, and a second conductive member disposed on the other side as viewed from the coated conductive wire. The first conductive member has a mesh shape and has a first contact portion group to be in contact with the plurality of coated conductive wires, and the second conductive member includes the first conductive member and the second conductive member. With a corresponding mesh shape And a second contact portion group contacting the plurality of coated conductive wires, wherein the plurality of sandwiching portions are constituted by the first contact portion group and the second contact portion group, and the conductive wire and the conductive member Plasma is generated in the vicinity of the plurality of sandwiching portions by applying a voltage between them.
上記本発明の第2の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第1導電部材および上記第2導電部材は、多角形状に開口する開口部を規定する複数の辺部を含んでいてもよい。この場合には、上記第1導電部材、上記複数の被覆導線、および上記第2導電部材が並ぶ方向から見た場合に、上記複数の被覆導線は、互いに隣り合う辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置されていてもよい。 In the plasma generation device according to the second aspect of the present invention, the first conductive member and the second conductive member may include a plurality of sides defining an opening opening in a polygonal shape. Good. In this case, when viewed from the direction in which the first conductive member, the plurality of coated conductive wires, and the second conductive member are arranged, the plurality of coated conductive wires pass through the centers of the adjacent side portions. It may be arranged side by side in a row.
上記本発明の第2の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第1導電部材および上記第2導電部材は、多角形状に開口する開口部を規定する複数の辺部を含んでいてもよい。この場合には、上記第1導電部材、上記複数の被覆導線、および上記第2導電部材が並ぶ方向から見た場合に、上記複数の被覆導線は、互いに向かい合う辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置されていてもよい。 In the plasma generation device according to the second aspect of the present invention, the first conductive member and the second conductive member may include a plurality of sides defining an opening opening in a polygonal shape. Good. In this case, when viewed from the direction in which the first conductive member, the plurality of coated conductive wires, and the second conductive member are arranged, the plurality of coated conductive wires pass through the centers of the side portions facing each other. It may be arranged side by side in a row.
上記本発明の第2の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第1導電部材は、互いに並走して配置される複数の第1導電体を含んでいてもよい。この場合には、上記第2導電部材は、上記複数の第1導電体が並ぶ方向に沿って互いに並走して配置される複数の第2導電体を含むことが好ましい。 In the plasma generating element according to the second aspect of the present invention, the first conductive member may include a plurality of first conductors arranged in parallel with each other. In this case, the second conductive member preferably includes a plurality of second conductors arranged to run parallel to each other along the direction in which the plurality of first conductors are arranged.
本発明によれば、簡易な構成を有するプラズマ生成素子を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a plasma generating device having a simple configuration.
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the embodiments described below, the same or common parts are denoted by the same reference numerals in the drawings, and the description thereof will not be repeated.
(実施の形態1)
図1は、実施の形態1に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。図2は、実施の形態1に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。図1および図2を参照して、実施の形態1に係るプラズマ生成装置1およびプラズマ生成素子2について説明する。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing a plasma generation apparatus according to the first embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view showing the plasma generation device according to the first embodiment. The
図1に示すように、実施の形態1に係るプラズマ生成装置1は、プラズマ生成素子2、支持部材30、および高電圧回路50を備える。
As shown in FIG. 1, the
図1および図2に示すように、プラズマ生成素子2は、誘電体バリア放電を生じさせてプラズマを生成するための素子である。プラズマ生成素子2は、被覆導線10および導電部材20を備える。
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the
被覆導線10は、所定の方向に沿って延在する。被覆導線10は、線状に延びる。被覆導線10は、導電線11および当該導電線11を絶縁被覆する被覆部12を含む。被覆導線10の延在方向における被覆導線10の一端側および他端側においては、導電線11が外部に露出している。導電線11は、金属線によって構成されている。被覆部12は、たとえばセラミック、ビニール、テフロン(登録商標)、および絶縁樹脂部材等によって構成されている。
The
導電部材20は、被覆部12に一部が接触するように被覆導線10に隣接して配置されている。導電部材20は、被覆導線10の延在方向と交差する方向において被覆導線10を挟み込んで保持する挟持部を有する。
The
導電部材20は、被覆導線10から見て一方側に位置する第1板状部21と、被覆導線10から見て他方側に位置する第2板状部22とを含む。第1板状部21および第2板状部22は、被覆導線10の延在方向に沿って延在する。第1板状部21および第2板状部22は、被覆導線10の延在方向に交差する方向から被覆導線10を挟み込む。第1板状部21および第2板状部22は、たとえばアルミ、アルミ合金、鉄、およびステンレス鋼等の鉄合金等の金属板によって構成されている。
The
第1板状部21は、被覆導線10(より特定的には被覆部12)に接触する第1接触部P1を有する。第1接触部P1は、被覆導線10の延在方向に沿って直線状に延在する。第2板状部22は、被覆導線10(より特定的には被覆部12)に接触する第2接触部P2を有する。第2接触部P2は、被覆導線10の延在方向に沿って直線状に延在する。
The first plate-
上記第1接触部P1および第2接触部P2によって、導電部材20が被覆導線10を挟み込んで保持する挟持部が構成されている。
The first contact portion P1 and the second contact portion P2 constitute a holding portion in which the
支持部材30は、導電部材20を支持する。支持部材30は、導電部材20が被覆導線10から離間することを防止する。
The
支持部材30は、第1支持部材31、および第2支持部材32を含む。第1支持部材31は、第1部分311、第2部分312、および接続部313を有する。
The
第1部分311は、板状形状を有する。第1部分311は、第1板状部21の外表面(被覆導線10に接触する側とは反対側の主面)に当接する。第2部分312は、板状形状部を有する。第2部分312は、所定の方向に第1部分311から離間している。第2部分312は、第2板状部22の外表面(被覆導線10に接触する側とは反対側の主面)に当接する。接続部313は、第1部分311および第2部分312を接続する。
The
第1部分311と第2部分312との間の隙間に、第1板状部21、被覆導線10および第2板状部22の各一端側を挿入することにより、第1部分311が第1板状部21を第2板状部22側に押圧し、第2部分312が第2板状部22を第1板状部21側に押圧する。
By inserting one end side of each of the first plate-
第2支持部材32は、第1支持部材31と同様の構成を有する。第2支持部材32は、第1部分321、第2部分322、および接続部323を有する。
The
第1部分321と第2部分322との間の隙間に、第1板状部21、被覆導線10および第2板状部22の各他端側を挿入することにより、第1部分321が第1板状部21を第2板状部22側に押圧し、第2部分322が第2板状部22を第1板状部21側に押圧する。
By inserting the other end sides of the first plate-
第1支持部材31および第2支持部材32によって、被覆導線10の両端側で、第1板状部21および第2板状部22を被覆導線10に向けて押圧することにより、被覆導線10から第1板状部21および第2板状部22が離間することを防止することができる。これにより、第1板状部21および第2板状部22を安定して被覆導線10に接触させることができる。
By pressing the first plate-
高電圧回路50は、不図示の電源から供給される電圧から高電圧を発生させる。高電圧回路50の一方側は、配線41によって導電線11に電気的に接続される。高電圧回路50の他方側は、配線42によって導電部材20(第1板状部21および第2板状部22)に電気的に接続される。第1板状部21および第2板状部22は、並列に接続されている。
The
高電圧回路50は、高周波、高電圧を導電部材20と導電線11との間に印加する。これにより、導電部材20と導電線11との間に電位差を発生させる。導電部材20と導電線11との間に印加される電圧は、交流電圧であることが好ましい。
The
第1板状部21および第2板状部22が被覆部12に接触し、第1接触部P1と第2接触部P2とによって挟持部が構成されることにより、挟持部の周囲にプラズマを生成可能な隙間R(プラズマ生成部)が形成される。
The first plate-
当該隙間Rにおいて、所定の放電条件を充足することによりプラズマを生成することができる。具体的には、被覆部12の周面から第1板状部21までの距離、および被覆部12の周面から第2板状部22までの距離と雰囲気圧力(流体圧力)との積に応じて決定される放電開始電圧以上の電圧が、導電線11と第1板状部21との間、および、導電線11と第2板状部22との間に印加されることにより、誘電体バリア放電が発生しプラズマが生成される。
In the gap R, plasma can be generated by satisfying predetermined discharge conditions. Specifically, the product of the distance from the circumferential surface of the covering
交流電圧を印加して、導電線11と第1板状部21との間、および、導電線11と第2板状部22との間に印加される電圧の極性を反転させることにより、誘電体バリア放電を繰り返し行なうことができる。
By applying an alternating voltage to reverse the polarity of the voltage applied between the
第1接触部P1および第2接触部P2に沿って、被覆導線10の延在方向における一端側および他端側にかけて略均一にプラズマが生成されるため、広範囲に亘ってプラズマを生成することができる。これにより、処理対象気体に効率よくプラズマを接触させることができる。
Since plasma is generated substantially uniformly along the first contact portion P1 and the second contact portion P2 to one end side and the other end side in the extending direction of the coated
プラズマを発生させつつ、プラズマ生成装置1に空気等の処理対象気体を通過させることにより、処理対象気体中に存在する菌やウイルスの不活化、または、臭気等の処理対象気体中に含まれる不純物ガスの分解除去を行なうことができる。これにより処理対象気体を浄化することができる。
By passing a gas to be treated such as air through the
処理対象気体の送風方向は、図1および図2に示すように、被覆導線10の延在方向、および第1板状部21、被覆導線10、ならびに第2板状部22が並ぶ方向に直交する方向(AR1方向)としてもよい。処理対象気体を上記送風方向に送風することにより、上記第1接触部P1および上記第2接触部P2に直接処理対象気体が当たることなり、処理対象気体にプラズマを含ませることができる。
The blowing direction of the gas to be treated is orthogonal to the extending direction of the
なお、処理対象気体の送風方向は、第1板状部21、被覆導線10、および第2板状部22が並ぶ方向であってもよいし、被覆導線10の延在方向であってもよい。送風方向を第1板状部21、被覆導線10、および第2板状部22が並ぶ方向とする場合には、被覆導線10の周面上を周方向に沿って処理対象気体の一部が流れることにより、処理対象気体にプラズマを含ませることができる。送風方向を被覆導線10の延在方向とする場合には、被覆導線10の周面上を被覆導線10の延在方向に沿って処理対象気体の一部が流れることにより、処理対象気体にプラズマを含ませることができる。
The blowing direction of the gas to be treated may be a direction in which the first plate-
なお、導電部材20を接地することにより、使用者が外部に露出する導電部材20に触れた場合であっても安全性を確保することができる。
By grounding the
以上のように、実施の形態1に係るプラズマ生成素子2は、被覆導線同士を撚り合わせることなく、被覆導線10を第1板状部21および第2板状部22によって挟み込むことにより構成されるため、その構成を簡素化することができる。これに伴って、プラズマ生成素子2を具備するプラズマ生成装置1の構成も簡素化することができる。
As described above, the
(実施の形態2)
図3は、実施の形態2に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。図4は、実施の形態2に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。図3および図4を参照して、実施の形態2に係るプラズマ生成装置1Aおよびプラズマ生成素子2Aについて説明する。Second Embodiment
FIG. 3 is a schematic perspective view showing a plasma generation apparatus according to a second embodiment. FIG. 4 is a cross-sectional view showing a plasma generation device according to the second embodiment. The
図3に示すように、実施の形態2に係るプラズマ生成装置1Aは、実施の形態1に係るプラズマ生成装置1と比較して、プラズマ生成素子2Aの構成が相違し、これに伴って支持部材30Aの構成が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
As shown in FIG. 3, the
図3および図4に示すように、プラズマ生成素子2Aは、実施の形態1に係るプラズマ生成素子2が複数並走して配置されていることより構成される。具体的には、プラズマ生成素子2Aは、複数の被覆導線10A,10B,10Cと、複数の導電部材20A,20B,20Cと、を備える。
As shown in FIGS. 3 and 4, the
複数の被覆導線10A,10B,10Cは、互いに並走して配置されている。複数の被覆導線10A,10B,10Cの各々は、導電線11およびこれを絶縁被覆する被覆部12を含む。
The plurality of coated
複数の導電部材20A,20B,20Cは、それぞれ被覆導線10A,10B,10Cを挟み込んで保持する。これにより、複数の導電部材20A,20B,20Cの各々は、被覆導線10A,10B,10Cを挟持する挟持部を有する。
The plurality of
複数の導電部材20A,20B,20Cの各々は、第1板状部21、および第2板状部22を含む。複数の導電部材20A,20B,20Cに含まれる第1板状部21および第2板状部22の各々は、複数の被覆導線10A,10B,10Cが並ぶ方向から被覆導線10A,10B,10Cを挟み込む。
Each of the plurality of
第1板状部21は、被覆導線10に接触する第1接触部P1を有する。第2板状部22は、被覆導線10に接触する第2接触部P2を有する。この第1接触部P1および第2接触部P2によって挟持部が構成されている。
The first plate-
支持部材30Aは、複数の導電部材20A,20B,20Cを支持する。支持部材30Aは、導電部材20A,20B,20Cが被覆導線10A,10B,10Cから離間することを防止する。
The
支持部材30Aは、第1支持部材31A,第2支持部材32Aを含む。第1支持部材31Aは、略直方体のブロック形状を有する。第1支持部材31Aは、第1凹部301、第2凹部302、および第3凹部303を有する。第2支持部材32Aも第1支持部材31Aと同様の構成を有する。
The
第1板状部21、被覆導線10Aおよび第2板状部22の各一端側は、第1支持部材31Aの第1凹部301に挿入されている。第1板状部21、被覆導線10Aおよび第2板状部22の各他端側は、第2支持部材32Aの第1凹部に挿入されている。
One end sides of the first plate-
第1板状部21、被覆導線10Bおよび第2板状部22の各一端側は、第1支持部材31Aの第2凹部302に挿入されている。第1板状部21、被覆導線10Bおよび第2板状部22の各他端側は、第2支持部材32Aの第2凹部に挿入されている。
Each one end side of the 1st plate-
第1板状部21、被覆導線10Cおよび第2板状部22の各一端側は、第1支持部材31Aの第3凹部303に挿入されている。第1板状部21、被覆導線10Cおよび第2板状部22の各他端側は、第2支持部材32Aの第1凹部に挿入されている。
One end sides of the first plate-
高電圧回路50の一方側は、配線41によって複数の導電線11に電気的に接続されている。複数の導電線11は、並列に接続されている。高電圧回路50の他方側は、配線42によって複数の導電部材20A,20B,20Cに含まれる第1板状部21および第2板状部22の各々に電気的に接続されている。複数の導電部材20A,20B,20Cに含まれる第1板状部21および第2板状部22の各々は、並列に接続されている。
One side of the
高電圧回路50によって、複数の導電線11の各々と複数の導電部材20A,20B,20Cにそれぞれ高電圧を印加することにより、実施の形態1同様に、複数の挟持部からプラズマが生成する。
As high voltage is applied to each of the plurality of
なお、処理対象気体の送風方向は、図3および図4に示すように、複数の被覆導線が並ぶ方向および被覆導線10の延在方向に直交する方向(AR2方向)としてもよいし、複数の被覆導線10が並ぶ方向としてもよいし、被覆導線10の延在方向に平行な方向としてもよい。
The blowing direction of the gas to be treated may be a direction (
以上のように構成される場合であっても、実施の形態2に係るプラズマ生成素子2A、およびプラズマ生成装置1Aは、実施の形態1に係るプラズマ生成素子2およびプラズマ生成装置1とほぼ同様の効果が得られる。
Even when configured as described above, the
プラズマ生成素子2Aが、複数の被覆導線10A,10B,10Cおよび複数の導電部材20A,20B,20Cを備えることにより、実施の形態1と比較してより広範囲に亘って処理対象気体を浄化させることができる。
A plurality of coated
(実施の形態3)
図5は、実施の形態3に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。図6は、実施の形態3に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。図5および図6を参照して、実施の形態3に係るプラズマ生成装置1Bおよびプラズマ生成素子2Bについて説明する。Third Embodiment
FIG. 5 is a schematic perspective view showing a plasma generation apparatus according to the third embodiment. FIG. 6 is a cross-sectional view showing a plasma generation device according to the third embodiment. The
図5に示すように、実施の形態3に係るプラズマ生成装置1Bは、実施の形態1に係るプラズマ生成装置1と比較した場合に、プラズマ生成素子2Bの導電部材20B1の構成が相違する。その他の構成は、ほぼ同様である。
As shown in FIG. 5, when compared with the
図5および図6に示すように、プラズマ生成素子2Bの導電部材20B1は、第1板状部21Bおよび第2板状部22Bを含む。
As shown in FIGS. 5 and 6, the conductive member 20B1 of the
第1板状部21Bは、第1突条部23を有する。第1突条部23は、被覆導線10に当接する主面21Baとは反対側に位置する主面21Bbから、被覆導線10から離れる方向に向けて突出する。第1突条部23は、第1板状部21Bの延在方向に沿って延在する。
The first plate-
第1板状部21Bおよび第1突条部23は、一つの部材によって構成されている。第1板状部21Bおよび第1突条部23は、平板形状を有する金属片を折り曲げることにより形成される。これにより、第1板状部21Bと第1突条部23とを別部材にて構成する場合と比較して、別部材同士を固着させる手間を省くことができるとともに、製造コストを低減させることができる。
The 1st plate-
第2板状部22Bは、第2突条部24を有する。第2突条部24は、被覆導線10に当接する主面22Baとは反対側に位置する主面22Bbから、被覆導線10から離れる方向に向けて突出する。第2突条部24は、第2板状部22Bの延在方向に沿って延在する。
The second plate-
第2板状部22Bおよび第2突条部24は、一つの部材によって構成されている。第2板状部22Bおよび第2突条部24は、平板形状を有する金属片を折り曲げることにより形成される。これにより、第2板状部22Bと第2突条部24とを別部材にて構成する場合と比較して、別部材同士を固着させる手間を省くことができるとともに、製造コストを低減させることができる。
The 2nd plate-
以上のように構成される場合であっても、実施の形態2に係るプラズマ生成素子2Bおよびプラズマ生成装置1Bは、実施の形態1に係るプラズマ生成素子2、プラズマ生成装置1とほぼ同様の効果が得られる。
Even when configured as described above, the
上述のように第1突条部23および第2突条部24が設けられることにより、第1板状部21Bおよび第2板状部22Bの剛性が向上する。このため、第1支持部材31および第2支持部材32によって被覆導線10の両端側で、第1板状部21Bおよび第2板状部22Bを被覆導線10に向けて押圧した場合であっても、第1板状部21Bおよび第2板状部22Bの中央部が被覆導線10から離間するようにして、第1板状部21Bおよび第2板状部22Bが撓むことを抑制できる。これにより、第1板状部21Bおよび第2板状部22Bをより安定して被覆導線10に接触させることができる。
The rigidity of the first plate-
この結果、第1接触部P1および第2接触部P2に沿って、被覆導線10の延在方向における一端側および他端側にかけてプラズマをより均一に生成することができる。
As a result, plasma can be generated more uniformly along the first contact portion P1 and the second contact portion P2 toward one end side and the other end side in the extending direction of the coated
なお、処理対象気体の送風方向は、図5および図6に示すように、第1板状部21B、被覆導線10、および第2板状部22Bが並ぶ方向(AR3方向)であってもよいし、被覆導線10の延在方向に平行な方向であってもよいし、第1板状部21B、被覆導線10、および第2板状部22Bが並ぶ方向ならびに被覆導線10の延在方向に直交する方向であってもよい。
In addition, as shown in FIG. 5 and FIG. 6, the blowing direction of the gas to be treated may be a direction (AR 3 direction) in which the first plate-
(変形例1)
図7は、変形例1に係るプラズマ生成素子の断面図である。図7を参照して、変形例1に係るプラズマ生成素子2Cについて説明する。(Modification 1)
FIG. 7 is a cross-sectional view of a plasma generation element according to a first modification. The plasma generation element 2C according to the first modification will be described with reference to FIG.
図7に示すように、変形例1に係るプラズマ生成素子2Cは、実施の形態3に係るプラズマ生成素子2Bと比較した場合に、導電部材20C1の構成が相違する。その他の構成についてはほぼ同様である。
As shown in FIG. 7, when compared with the
導電部材20C1は、実施の形態3に係る導電部材20B1と比較した場合に、第1突条部23Cおよび第2突条部24Cの設けられている位置が相違するとともに、第1板状部21Bと第1突条部23Cとが別部材で構成されているとともに、第2板状部22Bと第2突条部24Cとが別部材で構成されている点において相違する。
When the conductive member 20C1 is compared with the conductive member 20B1 according to the third embodiment, the positions at which the first projecting portion 23C and the second projecting portion 24C are provided are different, and the first plate-
第1突条部23Cは、第1板状部21Bの略中央部に設けられている。第1突条部23Cは、第1板状部21Bに接着または溶着等によって固着されている。第2突条部24Cは、第2板状部22Bの略中央部に設けられている。第2突条部24Cは、第2板状部22Bに接着または溶着等によって固着されている。
The first protrusion 23C is provided at a substantially central portion of the first plate-
第1突条部23Cおよび第2突条部24Cは、金属板によって構成されていてもよいし、樹脂部材によって構成されていてもよい。 The first protrusion 23C and the second protrusion 24C may be made of a metal plate or may be made of a resin member.
以上のように構成した場合であっても、変形例1に係るプラズマ生成素子2Cおよびこれを備えたプラズマ生成装置は、実施の形態3に係るプラズマ生成素子2Bおよびプラズマ生成装置1Bとほぼ同様の効果が得られる。
Even when configured as described above, the plasma generation device 2C according to the
(実施の形態4)
図8は、実施の形態4に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。なお、図8においては、高電圧回路および配線を省略している。図9は、実施の形態4に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。図8および図9を参照して、実施の形態4に係るプラズマ生成装置1Dおよびプラズマ生成素子2Dについて説明する。Embodiment 4
FIG. 8 is a schematic perspective view showing a plasma generation apparatus according to the fourth embodiment. The high voltage circuit and the wiring are omitted in FIG. FIG. 9 is a cross-sectional view showing a plasma generation device according to the fourth embodiment. A
図8に示すように、実施の形態4に係るプラズマ生成装置1Dは、実施の形態3に係るプラズマ生成装置1Bと比較した場合に、プラズマ生成素子2Dの構成が相違し、これに伴って支持部材30Dの構成が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
As shown in FIG. 8, when compared with the
図8および図9に示すように、プラズマ生成素子2Dは、実施の形態3に係るプラズマ生成素子2B1が、並走して配置されることにより構成されている。具体的には、プラズマ生成素子2Dは、複数の被覆導線10A,10B,10Cと、複数の導電部材20B1,20B2,20B3と、を備える。
As shown in FIG. 8 and FIG. 9, the
複数の被覆導線10A,10B,10Cは、互いに並走して配置されている。複数の被覆導線10A,10B,10Cの各々は、導電線11およびこれを絶縁被覆する被覆部12を含む。
The plurality of coated
複数の導電部材20B1,20B2,20B3は、それぞれ被覆導線10A,10B,10Cを挟み込んで保持する。これにより、複数の導電部材20B1,20B2,20B3の各々は、被覆導線10A,10B,10Cを挟持する挟持部を有する。
The plurality of conductive members 20B1, 20B2 and 20B3 sandwich and hold the coated
複数の導電部材20B1,20B2,20B3の各々は、第1板状部21B、および第2板状部22Bを含む。複数の導電部材20B1,20B2,20B3に含まれる第1板状部21Bおよび第2板状部22Bの各々は、複数の被覆導線10A,10B,10Cが並ぶ方向および複数の被覆導線10A,10B,10Cの延在方向に交差する方向から被覆導線10A,10B,10Cを挟み込む。
Each of the plurality of conductive members 20B1, 20B2, and 20B3 includes a first plate-
第1板状部21Bは、被覆導線10に接触する第1接触部P1を有する。第2板状部22Bは、被覆導線10に接触する第2接触部P2を有する。この第1接触部P1および第2接触部P2によって挟持部が構成されている。
The first plate-
第1板状部21Bは、第1突条部23を有する。第1突条部23は、実施の形態3に係る第1突条部23と同様の構成である。第2板状部22Bは、第2突条部24を有する。
The first plate-
支持部材30Dは、複数の導電部材20B1,20B2,20B3を支持する。支持部材30Dは、導電部材20B1,20B2,20B3が被覆導線10A,10B,10Cから離間することを防止する。
The
支持部材30Dは、第1支持部材31D,第2支持部材32Dを含む。第1支持部材31Dは、第1部分311、第2部分312、および第1部分311および第2部分312を接続する接続部313を有する。
The
第1部分311は、板状形状を有する。第1部分311は、複数の導電部材20B1,20B2,20B3の各々に含まれる第1板状部21Bの外表面(被覆導線10に接触する側とは反対側の主面)に当接し、これらを第2部分312側に向けて押圧する。
The
第1部分311には、複数の切欠きが設けられている。複数の切欠きには、複数の導電部材20B1,20B2,20B3の各々に含まれる第1突条部23の一端側が挿入されている。
The
第2部分312は、板状形状部を有する。第2部分312は、所定の方向に第1部分311から離間している。第2部分312は、複数の導電部材20B1,20B2,20B3の各々に含まれる第2板状部22の外表面(被覆導線10に接触する側とは反対側の主面)に当接し、これらを第1部分311側に向けて押圧する。
The
第2部分312には、複数の切欠きが設けられている。複数の切欠きには、複数の導電部材20B1,20B2,20B3の各々に含まれる第2突条部24の一端側が挿入されている。
The
第1部分311と第2部分312との間に複数の被覆導線10A,10B,10Cおよび複数の導電部材20B1,20B2,20B3の一端側が挿入されることにより、第1支持部材31Dは、複数の被覆導線10A,10B,10Cおよび複数の導電部材20B1,20B2,20B3の一端側を支持する。
By inserting one end sides of the plurality of coated
第2支持部材32Dは、第1支持部材31Dと同様の構成を有する。第2支持部材32Dは、第1支持部材31Dと同様の状態で、第1支持部材31Dは、複数の被覆導線10A,10B,10Cおよび複数の導電部材20B1,20B2,20B3の他端側を支持する。
The
高電圧回路(不図示)の一方側は、配線(不図示)によって複数の導電線11に電気的に接続されている。複数の導電線11は、並列に接続されている。高電圧回路(不図示)の他方側は、配線(不図示)によって複数の導電部材20B1,20B2,20B3に含まれる第1板状部21Bおよび第2板状部22Bの各々に電気的に接続されている。複数の導電部材20B1,20B2,20B3に含まれる第1板状部21Bおよび第2板状部22Bの各々は、並列に接続されている。
One side of the high voltage circuit (not shown) is electrically connected to the plurality of
上記高電圧回路によって、複数の導電線11の各々と複数の導電部材20B1,20B2,20B3にそれぞれ高電圧を印加することにより、実施の形態1同様に、複数の挟持部近傍からプラズマが生成する。
By applying a high voltage to each of the plurality of
以上のように構成される場合であっても、実施の形態4に係るプラズマ生成素子2D、およびプラズマ生成装置1Dは、実施の形態3に係るプラズマ生成素子2Bおよびプラズマ生成装置1Bとほぼ同様の効果が得られる。
Even when configured as described above, the
プラズマ生成素子2Dが、複数の被覆導線10A,10B,10Cおよび複数の導電部材20B1,20B2,20B3を備えることにより、実施の形態1と比較してより広範囲に亘って処理対象気体を浄化させることができる。
Purifying the gas to be treated over a wider range compared to the first embodiment by providing the plurality of coated
(実施の形態5)
図10は、実施の形態5に係るプラズマ生成装置を示す概略平面図である。図11は、実施の形態5に係るプラズマ生成装置を示す分解斜視図である。図12は、実施の形態5に係るプラズマ生成素子の一部を示す断面図である。図10から図12を参照して、実施の形態5に係るプラズマ生成装置1Eおよびプラズマ生成素子2Eについて説明する。Fifth Embodiment
FIG. 10 is a schematic plan view showing a plasma generation apparatus according to the fifth embodiment. FIG. 11 is an exploded perspective view showing a plasma generation apparatus according to the fifth embodiment. FIG. 12 is a cross-sectional view showing a part of the plasma generation device according to the fifth embodiment. A
図10および図11に示すように、実施の形態5に係るプラズマ生成装置1Eは、プラズマ生成素子2E、および高電圧回路50を備える。図10から図12に示すように、プラズマ生成素子2Eは、複数の被覆導線10、および導電部材20Eを備える。
As shown in FIGS. 10 and 11, a
複数の被覆導線10は、互いに並走して配置されている。複数の被覆導線10の各々は、導電線11および導電線11を被覆する被覆部12を含む。
The plurality of coated
導電部材20Eは、被覆部12に少なくとも一部が接触するように複数の被覆導線10に隣接して配置されている。導電部材20Eは、被覆導線の延在方向と交差する方向において複数の被覆導線10を挟み込んで保持する複数の挟持部を有する。
The
導電部材20Eは、第1導電部材21Eおよび第2導電部材22Eを含む。第1導電部材21Eは、被覆導線10から見て一方側に配置されている。第1導電部材21Eは、網目形状を有する。具体的には、矩形形状を有する複数の開口部が行状または列状に並ぶ網目形状を有する。
The
第1導電部材21Eは、複数の導電体211(第1導電体)および枠体215を有する。複数の導電体211は、互いに並走して配置されている。複数の導電体211は、たとえば板状形状を有する。なお、導電体211の形状は、板状形状に限定されず、円柱状形状であってもよい。
The first
複数の導電体211は、第1導電部材21E,複数の被覆導線10、および第2導電部材22Eが並ぶ方向から見た場合(平面視した場合)に、被覆導線10と交差するように延在する。具体的には、複数の導電体221は、第1導電部材21E,複数の被覆導線10、および第2導電部材22Eが並ぶ方向から見た場合に、被覆導線10の延在方向と直交する方向に延在する。複数の導電体211は、枠体215によって支持されている。
The plurality of
第2導電部材22Eは、被覆導線10から見て他方側に配置されている。第2導電部材22Eは、網目形状を有する。具体的には、矩形形状を有する複数の開口部が行状または列状に並ぶ網目形状を有する。
The second
第2導電部材22Eは、複数の導電体221(第2導電体)および枠体225を有する。複数の導電体221は、複数の導電体211が並ぶ方向に沿って互いに並走して配置されている。複数の導電体221は、たとえば板状形状を有する。なお、導電体221の形状は、板状形状に限定されず、円柱状形状であってもよい。
The second
複数の導電体221は、第1導電部材21E,複数の被覆導線10、および第2導電部材22Eが並ぶ方向から見た場合に、被覆導線10と交差するように延在する。複数の導電体221は、複数の導電体211と同じ方向に沿って延在する。複数の導電体221は、枠体225によって支持されている。
The plurality of
複数の被覆導線10が第1導電部材21Eと第2導電部材22Eとによって挟み込まれることにより、第1導電部材21Eは、複数の被覆導線10に接触する第1接触部群を有し、第2導電部材22Eは、複数の被覆導線10に接触する第2接触部群を有することとなる。
The plurality of coated
第1導電部材21Eの複数の導電体211が複数の被覆導線10に接触することにより、第1接触部P1が行列状に形成されることにより、第1接触部群が形成される。第2導電部材22Eの複数の導電体221が複数の被覆導線10に接触することにより、第2接触部P2が行列状に形成されることにより、第2接触部群が形成される。
When the plurality of
これら第1接触部群および第2接触部群によって、複数の被覆導線10を挟み込んで保持する複数の挟持部が構成される。
A plurality of sandwiching portions that sandwich and hold the plurality of coated
高電圧回路50の一方側は、配線41によって複数の導電線11に電気的に接続されている。複数の導電線11は、並列に接続されている。高電圧回路50の他方側は、配線42によって複数の導電体211および複数の導電体221に電気的に接続されている。複数の導電体211および複数の導電体221は、並列に接続されている。
One side of the
高電圧回路50によって、複数の導電線11の各々と導電部材20E(より具体的には、第1導電部材21Eの複数の導電体211および第2導電部材22Eの複数の導電体221)に高電圧を印加することにより、実施の形態1同様に、複数の挟持部近傍においてプラズマが生成される。
The
以上のように、実施の形態5に係るプラズマ生成素子2Eは、被覆導線同士を撚り合わせることなく、網目形状を有する第1導電部材21Eおよび第2導電部材22Eによって複数の導電線11を挟み込むことにより構成されるため、その構成を簡素化することができる。これに伴って、プラズマ生成素子2Eを具備するプラズマ生成装置1Eの構成も簡素化することができる。
As described above, in the
また、プラズマ生成素子2Eが、複数の被覆導線10を備えることにより、実施の形態1と比較してより広範囲に亘って処理対象気体を浄化させることができる。
Further, by providing the plurality of coated
なお、処理対象気体の送風方向は、第1導電部材21Eと第2導電性部材22Eとが並ぶ方向であることが好ましい。
The blowing direction of the gas to be treated is preferably a direction in which the first
(実施の形態6)
図13は、実施の形態6に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。図13を参照して、実施の形態6に係るプラズマ生成素子2Fについて説明する。Sixth Embodiment
FIG. 13 is a schematic plan view showing a plasma generation device according to the sixth embodiment. The
図13に示すように、実施の形態6に係るプラズマ生成素子2Fは、実施の形態5に係るプラズマ生成素子2Eと比較した場合に、導電部材20Fの構成が相違する。その他の構成は、ほぼ同様である。
As shown in FIG. 13, when compared with the
導電部材20Fは、第1導電部材21Fおよび第2導電部材22Fを含む。第1導電部材21Fおよび第2導電部材22Fは、矩形形状を有する複数の開口部が行列状に並ぶ網目形状を有する。
The
第1導電部材21Fは、複数の導電体211,212および枠体215を有する。複数の導電体211は、互いに並走して配置されている。複数の導電体211は、平面視した場合に、複数の被覆導線10の延在方向と平行な方向に沿って延在する。複数の導電体212は、互いに並走して配置されている。複数の導電体212は、平面視した場合に、複数の導電体211に略直交するように延在する。複数の導電体211および複数の導電体212は、枠体215によって支持されている。
The first
第2導電部材22Fは、複数の導電体221,222および枠体225を有する。複数の導電体221は、互いに並走して配置されている。複数の導電体221は、平面視した場合に、複数の被覆導線10の延在方向と平行な方向に沿って延在する。複数の導電体222は、互いに並走して配置されている。複数の導電体222は、平面視した場合に、複数の導電体221に略直交するように延在する。複数の導電体221および複数の導電体222は、枠体225によって支持されている。
The second
第1導電部材21Fおよび第2導電部材22Fは、矩形形状に開口する開口部を規定する複数の辺部231,232,233,234を有する。
The first
複数の被覆導線10は、第1導電部材21Fおよび第2導電部材22Fによって挟み込まれている。複数の被覆導線10は、第1導電部材21F、複数の被覆導線10、および第2導電部材22Fが並ぶ方向から見た場合に、互いに向かい合う辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置されている。
The plurality of coated
具体的には、複数の被覆導線10の各々は、列方向に配置される複数の開口部の各々に対応して配置されている。複数の被覆導線10の各々は、平面視した場合に、対応する開口部において、行方向に対向する辺部の中心を通過する。
Specifically, each of the plurality of coated
たとえば、複数の被覆導線10のうちの一つに着目すると、着目された一つの被覆導線10は、平面視した場合に、開口部を規定する複数の辺部231,232,233,234のうち互いに向かい合う辺部231,233の中心O1,O2を通過する。
For example, when focusing on one of the plurality of
以上のように構成される場合であっても、実施の形態6に係るプラズマ生成素子2Fは、実施の形態5に係るプラズマ生成素子2Eとほぼ同様の効果を有する。
Even when configured as described above, the
複数の被覆導線10の各々が、平面視した場合に、開口部に構成する辺部の中心を通過することにより、通過する辺部の両端の頂点部の各々から挟持部までの距離が等しくなる。これにより、挟持部と辺部とが交差する方向においてプラズマを略均一に発生させることができる。さらに、複数の挟持部が規則正しく配列することとなり、全体的にもプラズマを略均一に発生させることができる。
When viewed from above, each of the plurality of
(実施の形態7)
図14は、実施の形態7に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。図14を参照して、実施の形態7に係るプラズマ生成素子2Gについて説明する。Seventh Embodiment
FIG. 14 is a schematic plan view showing a plasma generation device according to the seventh embodiment. The
図14に示すように、実施の形態7に係るプラズマ生成素子2Gは、実施の形態6に係るプラズマ生成素子2Fと比較した場合に、複数の被覆導線10の並走方向が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
As shown in FIG. 14, when compared with the
複数の被覆導線10は、第1導電部材21F、複数の被覆導線10、および第2導電部材22Fが並ぶ方向から見た場合に、第1導電部材21Fおよび第2導電部材22Fが有する網目形状を構成する開口部を規定する辺部のうち、互いに隣り合う辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置される。
The plurality of coated
複数の被覆導線10の各々は、矩形形状を有する開口部の対角線に平行な方向に延在する。複数の被覆導線10の各々は、平面視した場合に、通過する開口部の各々において、互いに隣り合う辺部の中心を通過する。
Each of the plurality of
たとえば、複数の被覆導線10のうちの一つに着目すると、着目された一つの被覆導線10は、平面視した場合に、開口部を規定する複数の辺部231,232,233,234のうち互いに隣り合う辺部231,234の中心O1,O3を通過する。
For example, when focusing on one of the plurality of
以上のように構成される場合であっても、実施の形態7に係るプラズマ生成素子2Fは、実施の形態6に係るプラズマ生成素子2Fとほぼ同様の効果を有する。
Even when configured as described above, the
(実施の形態8)
図15は、実施の形態8に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。図15を参照して、実施の形態8に係るプラズマ生成素子2Hについて説明する。Eighth Embodiment
FIG. 15 is a schematic plan view showing a plasma generation device according to the eighth embodiment. The
図15に示すように、実施の形態8に係るプラズマ生成素子2Hは、実施の形態5に係るプラズマ生成素子2Eと比較した場合に、導電部材20Hの構成(具体的には、第1導電部材21Hおよび第2導電部材22Hの形状)が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
As shown in FIG. 15, when compared with the
第1導電部材21Hは、複数の導電体211、複数の導電体212、複数の導電体213、および枠体215を有する。
The first
複数の導電体211は、第1方向に沿って延在する。複数の導電体212は、第1方向に交差する第2方向に沿って延在する。複数の導電体213は、第1方向および第2方向に交差する第3方向に沿って延在する。複数の導電体211、複数の導電体212、および複数の導電体213は、枠体215によって支持されている。
The plurality of
第1導電部材21Hは、複数の導電体211、複数の導電体212、および複数の導電体213によって、三角形状を有する複数の開口部が平面的に並ぶ網目形状を有するように構成されている。
The first
第2導電部材22Hも、第1導電部材21Hとほぼ同様の形状を有する。第2導電部材22Eは、複数の導電体221、複数の導電体222、および複数の導電体223によって、三角形状を有する複数の開口部が平面的に並ぶ網目形状を有するように構成されている。
The second
複数の被覆導線10は、第1導電部材21H、複数の被覆導線10、および第2導電部材22Hが並ぶ方向から見た場合に、三角形状の網目形状を構成する開口部を規定する辺部のうち、互いに隣り合う辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置される。
The plurality of coated
複数の被覆導線10の各々は、それぞれ異なる方向に延在する導電体211、導電体212、および導電体213のいずれか1つの導電体211の延在方向と平行な方向に延在する。複数の被覆導線10の各々は、平面視した場合に、通過する開口部の各々において、開口部を規定する辺部のうち、上記1つの導電体211と異なる他の2つの導電体212,213によって構成される互いに隣り合う辺部の中心を通過する。
Each of the plurality of coated
たとえば、複数の被覆導線10のうちの一つに着目すると、着目された一つの被覆導線10は、平面視した場合に、開口部を規定する複数の辺部231,232,233のうち互いに隣り合う辺部232,232の中心O3,O4を通過する。
For example, focusing on one of the plurality of
以上のように構成される場合であっても、実施の形態8に係るプラズマ生成素子2Hは、実施の形態5に係るプラズマ生成素子2Eとほぼ同様の効果を有する。
Even when configured as described above, the
(実施の形態9)
図16は、実施の形態9に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。図16を参照して、実施の形態9に係るプラズマ生成素子2Iについて説明する。(Embodiment 9)
FIG. 16 is a schematic plan view showing a plasma generation device according to the ninth embodiment. The plasma generating element 2I according to the ninth embodiment will be described with reference to FIG.
図16に示すように、実施の形態9に係るプラズマ生成素子2Iは、実施の形態8に係るプラズマ生成素子2Hと比較した場合に、複数の被覆導線10の延在方向が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
As shown in FIG. 16, when compared with the
複数の被覆導線10は、第1導電部材21H、複数の被覆導線10、および第2導電部材22Hが並ぶ方向から見た場合に、三角形状の網目形状を構成する開口部を規定する辺部のうち、互いに隣り合う辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置される。
The plurality of coated
複数の被覆導線10の各々は、それぞれ異なる方向に延在する導電体211、導電体212、および導電体213のいずれか1つの導電体212の延在方向と平行な方向に延在する。複数の被覆導線10の各々は、平面視した場合に、通過する開口部の各々において、開口部を規定する辺部のうち、上記1つの導電体212と異なる他の2つの導電体211,213によって構成される互いに隣り合う辺部の中心を通過する。
Each of the plurality of coated
たとえば、複数の被覆導線10のうちの一つに着目すると、着目された一つの被覆導線10は、平面視した場合に、開口部を規定する複数の辺部231,232,233のうち互いに隣り合う辺部231,233の中心O5,O4を通過する。
For example, focusing on one of the plurality of
以上のように構成される場合であっても、実施の形態9に係るプラズマ生成素子2Iは、実施の形態8に係るプラズマ生成素子2Hとほぼ同様の効果を有する。
Even when configured as described above, the plasma generation element 2I according to the ninth embodiment has substantially the same effect as the
(実施の形態10)
図17は、実施の形態10に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。図17を参照して、実施の形態10に係るプラズマ生成素子2Jについて説明する。Tenth Embodiment
FIG. 17 is a schematic plan view showing a plasma generation device according to the tenth embodiment. The
図17に示すように、実施の形態10に係るプラズマ生成素子2Jは、実施の形態5に係るプラズマ生成素子2Eと比較した場合に、導電部材20Jの構成(具体的には、第1導電部材21Jおよび第2導電部材22Jの形状)が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
As shown in FIG. 17, when compared with the
第1導電部材21Jは、六角形状を有する複数の開口部が平面的に並ぶ網目形状を有するように構成されている。第2導電部材22Jは、第1導電部材21Jとほぼ同様の径所を有する。第2導電部材22Jは、六角形状を有する複数の開口部が平面的に並ぶ網目形状を有するように構成されている。
The first
複数の被覆導線10は、第1導電部材21J、複数の被覆導線10、および第2導電部材22Jが並ぶ方向から見た場合(平面視した場合)に、六角形状の網目形状を構成する開口部を規定する辺部のうち、互いに対向する辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置される。
The plurality of coated
複数の被覆導線10は、平面視した場合に、六角形状の開口部を規定する3組の対向する辺部(231,234)、(232,235)、(233,236)のうちのいずれか1組の対向する辺部(232、235)が並ぶ方向に平行な方向に延在する。
The plurality of coated
複数の被覆導線10の各々は、平面視した場合に、六角形状の開口部を構成する3組の対向する辺部(231,234)、(232,235)、(233,236)のうち、上記1組の対向する辺部(232、235)の中心(O12、O15)を通過する。
Each of the plurality of coated
以上のように構成される場合であっても、実施の形態10に係るプラズマ生成素子2Jは、実施の形態5に係るプラズマ生成素子2Eとほぼ同様の効果を有する。
Even when configured as described above, the
(実施の形態11)
図18は、実施の形態11に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。図18を参照して、実施の形態11に係るプラズマ生成素子2Kについて説明する。(Embodiment 11)
FIG. 18 is a schematic plan view showing a plasma generation device according to the eleventh embodiment. A
図18に示すように、実施の形態11に係るプラズマ生成素子2Kは、実施の形態10に係るプラズマ生成素子2Jと比較した場合に、複数の被覆導線10の延在方向が相違する。その他の構成についてはほぼ同様である。
As shown in FIG. 18, when compared with the
複数の被覆導線10は、第1導電部材21J、複数の被覆導線10、および第2導電部材22Jが並ぶ方向から見た場合(平面視した場合)に、六角形状の網目形状を構成する開口部を規定する辺部のうち、互いに対向する辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置される。
The plurality of coated
複数の被覆導線10の各々は、平面視した場合に、六角形状の開口部を規定する3組の対向する辺部(231,234)、(232,235)、(233,236)のうちのいずれか1組の対向する辺部(232、235)に平行な方向に延在する。
Each of the plurality of coated
複数の被覆導線10の各々は、平面視した場合に、通過する開口部の各々において、開口部を規定する3組の対向する辺部(231,234)、(232,235)、(233,236)のうち、上記1組の対向する辺部(232、235)と異なる複数の辺部231、233、234、236のうち、上記1組対向する辺部(232、235)と平行な方向に対向する2組の辺部(231,233)、(234,236)のいずれか一方の中心を通過する。
Each of the plurality of coated
たとえば、複数の被覆導線10のうちの一つに着目すると、着目された一つの被覆導線10は、平面視した場合に、上記1組対向する辺部(232、235)と平行な方向に対向する2組の辺部(231,233)、(234,236)のうち、対向する辺部(231,233)の中心(O11,O13)を通過する。
For example, focusing on one of the plurality of
他の一つの被覆導線に着目すると、当該被覆導線10は、平面視した場合に、上記1組対向する辺部(232、235)と平行な方向に対向する2組の辺部(231,233)、(234,236)のうち、対向する辺部(234,236)の中心(O14,O16)を通過する。
Focusing on one other coated conducting wire, the
以上のように構成される場合であっても、実施の形態11に係るプラズマ生成素子2Kは、実施の形態10に係るプラズマ生成素子2Jと同等以上の効果を有する。挟持部の個数が増加することにより、プラズマ生成量を増加させることができる。
Even in the case of being configured as described above, the
(実施の形態12)
図19は、実施の形態12に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。図19を参照して、実施の形態12に係るプラズマ生成素子2Lについて説明する。(Embodiment 12)
FIG. 19 is a schematic plan view showing a plasma generation device according to the twelfth embodiment. The
図19に示すように、実施の形態12に係るプラズマ生成素子LKは、実施の形態10に係るプラズマ生成素子2Jと比較した場合に、複数の被覆導線10の延在方向が相違する。その他の構成についてはほぼ同様である。
As shown in FIG. 19, in the plasma generating element LK according to the twelfth embodiment, the extending direction of the plurality of
複数の被覆導線10は、第1導電部材21J、複数の被覆導線10、および第2導電部材22Jが並ぶ方向から見た場合(平面視した場合)に、六角形状の網目形状を構成する開口部を規定する辺部のうち、互いに隣り合う辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置される。
The plurality of coated
複数の被覆導線10は、平面視した場合に、六角形状の開口部を規定する3組の対向する辺部(231,234)、(232,235)、(233,236)のうちのいずれか1組の対向する辺部(231、234)が並ぶ方向に平行な方向に延在する。
The plurality of coated
複数の被覆導線10の各々は、平面視した場合に、通過する開口部の各々において、開口部を規定する3組の対向する辺部(231,234)、(232,235)、(233,236)のうち、上記1組の対向する辺部(231、234)と異なる複数の辺部231、233、234、236のうち、2組の互いに隣り合う辺部(232,233)、(235,236)のいずれか一方の中心を通過する。
Each of the plurality of coated
たとえば、複数の被覆導線10のうちの一つに着目すると、着目された一つの被覆導線10は、平面視した場合に、上記2組の互いに隣り合う辺部(232,233)、(235,236)のうち、互いに隣り合う辺部(232,233)の中心(O12,O13)を通過する。
For example, focusing on one of the plurality of
他の一つの被覆導線に着目すると、当該被覆導線10は、平面視した場合に、上記2組の互いに隣り合う辺部(232,233)、(235,236)のうち、互いに隣り合う辺部(235,236)の中心(O15,O16)を通過する。
Focusing on one other coated wire, the
以上のように構成される場合であっても、実施の形態12に係るプラズマ生成素子2Lは、実施の形態10に係るプラズマ生成素子2Jとほぼ同様の効果を有する。
Even in the case of being configured as described above, the
(実施の形態13)
図20は、実施の形態13に係るプラズマ生成素子を示す概略平面図である。図20を参照して、実施の形態13に係るプラズマ生成素子2Mについて説明する。(Embodiment 13)
FIG. 20 is a schematic plan view showing a plasma generation element according to a thirteenth embodiment. The
図20に示すように、実施の形態13に係るプラズマ生成素子2Mは、実施の形態10に係るプラズマ生成素子2Jと比較した場合に、複数の被覆導線10の延在方向が相違する。その他の構成についてはほぼ同様である。
As shown in FIG. 20, when compared with the
複数の被覆導線10は、第1導電部材21J、複数の被覆導線10、および第2導電部材22Jが並ぶ方向から見た場合(平面視した場合)に、六角形状の網目形状を構成する開口部を規定する辺部のうち、互いに隣り合う辺部の中心を通るとともに、互いに対向する辺部の中心を通るようにして列状に並んで配置される。
The plurality of coated
複数の被覆導線10は、平面視した場合に、六角形状の開口部を規定する3組の対向する辺部(231,234)、(232,235)、(233,236)のうちのいずれか1組の対向する辺部(231、234)が並ぶ方向に平行な方向に延在する。
The plurality of coated
複数の被覆導線10の一部は、平面視した場合に、通過する開口部の各々において、開口部を規定する3組の対向する辺部(231,234)、(232,235)、(233,236)のうち、上記1組の対向する辺部(231、234)の中心(O11,O15)を通過する。
A part of the plurality of coated
複数の被覆導線10の他の部分は、平面視した場合に、通過する開口部の各々において、開口部を規定する3組の対向する辺部(231,234)、(232,235)、(233,236)のうち、上記1組の対向する辺部(231、234)と異なる複数の辺部231、233、234、236のうち、2組の互いに隣り合う辺部(232,233)、(235,236)のいずれか一方の中心を通過する。
The other portions of the plurality of coated
たとえば、複数の被覆導線10の他の部分のうちの一つに着目すると、着目された一つの被覆導線10は、平面視した場合に、上記2組の互いに隣り合う辺部(232,233)、(235,236)のうち、互いに隣り合う辺部(232,233)の中心(O12,O13)を通過する。
For example, focusing on one of the other portions of the plurality of coated
複数の被覆導線10の他の部分のうちの他の一つの被覆導線に着目すると、当該被覆導線10は、平面視した場合に、上記2組の互いに隣り合う辺部(232,233)、(235,236)のうち、互いに隣り合う辺部(235,236)の中心(O15,O16)を通過する。
Focusing on the other one of the other portions of the plurality of coated
以上のように構成される場合であっても、実施の形態12に係るプラズマ生成素子2Lは、実施の形態10に係るプラズマ生成素子2Jと同等以上の効果を有する。挟持部の個数が増加することにより、プラズマ生成量を増加させることができる。
Even in the case of being configured as described above, the
上述した実施の形態6から実施の形態12に係るプラズマ生成素子のように、導電部材の開口部の形状を適宜設計しつつ、複数の被覆導線10の並走方向を適宜変更することにより、複数の挟持部の個数を適宜調整することができる。これにより、プラズマ生成量を調整することができる。
As in the plasma generation elements according to the sixth to twelfth embodiments described above, the shape of the opening of the conductive member is appropriately designed, and the parallel running direction of the plurality of coated
(実施の形態14)
図21は、実施の形態14に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。図22は、実施の形態14に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。図21および図22を参照して、実施の形態14に係るプラズマ生成装置1Nおよびプラズマ生成素子2Nについて説明する。Fourteenth Embodiment
FIG. 21 is a schematic perspective view showing a plasma generation apparatus in accordance with a fourteenth embodiment. FIG. 22 is a cross-sectional view showing a plasma generating device according to the fourteenth embodiment. The
図21および図22に示すように、実施の形態14に係るプラズマ生成装置1Nは、実施の形態1に係るプラズマ生成装置1と比較した場合に、プラズマ生成素子2Nの構成(具体的には、導電部材20Nの構成)が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
As shown in FIGS. 21 and 22, when compared with the
導電部材20Nは、被覆導線10の延在方向に沿って延在する半筒部材によって構成されている。導電部材20Nは、被覆導線10の延在方向から見た場合に、U字形状を有する。導電部材20Nは、被覆導線10の延在方向に交差する方向に被覆導線10を挟み込むように曲げられた内周面20Naを有する。内周面20Naは、被覆導線10の延在方向に沿って見た場合に、略半楕円形状を有する。なお、内周面20Naの形状は、半楕円形状に限定されず、半長円形状、半トラック形状、および半卵型形状等の半オーバル形状であってもよい。
The
内周面20Naは、被覆導線10から見て一方側から被覆導線10に接触する第1接触部P1および被覆導線10から見て他方側から被覆導線10に接触する第2接触部P2を有する。第1接触部P1および第2接触部P2は、被覆導線10の延在方向に沿って延在する。
The inner circumferential surface 20Na has a first contact portion P1 that contacts the
第1接触部P1および第2接触部P2によって、被覆導線10の延在方向と交差する方向において被覆導線10を挟み込んで保持する挟持部が構成される。内周面20Naが上記のような形状を有することにより、挟持部の近傍に形成されるプラズマ生成部の領域を相当程度広くすることができる。
The first contact portion P1 and the second contact portion P2 form a sandwiching portion for sandwiching and holding the
導電部材20は、被覆導線10の延在方向から見た場合に、内周面20Naの一端側および内周面20Naの他端側によって規定される開口面を有する。導電部材20は、内周面20Naの一端側および他端側の一方に接続され、被覆導線10が上記開口面側から抜けることを防止する抜け止め部27を有する。抜け止め部27は、被覆導線10の周面に近づくように設けられている。
The
高電圧回路50の一方側は、配線41によって導電線11に電気的に接続されている。高電圧回路50の他方側は、配線42によって導電部材20Nに電気的に接続されている。高電圧回路50によって、複数の導電線11と導電部材20Nに高電圧を印加することにより、実施の形態1同様に、挟持部近傍にてプラズマが生成する。この場合においても、導電部材20Nを接地することにより、使用者が外部に露出する導電部材20に触れた場合であっても安全性を確保することができる。
One side of the
以上のように、実施の形態14に係るプラズマ生成素子2Nは、被覆導線同士を撚り合わせることなく、半筒形状を有する導電部材20Nの内周面Naによって被覆導線10を挟み込むことにより構成されるため、その構成を簡素化することができる。これに伴って、プラズマ生成素子2Nを具備するプラズマ生成装置1Nの構成も簡素化することができる。
As described above, the
(実施の形態15)
図23は、実施の形態15に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。図23を参照して、実施の形態15に係るプラズマ生成素子2Oについて説明する。(Fifteenth Embodiment)
FIG. 23 is a cross-sectional view showing a plasma generating device according to the fifteenth embodiment. The plasma generating element 2O according to the fifteenth embodiment will be described with reference to FIG.
図23に示すように、実施の形態15に係るプラズマ生成素子2Oは、実施の形態14に係るプラズマ生成素子2Nと比較した場合に、導電部材20Oの形状(より具体的には、内周面20Oaの形状)が相違する。
As shown in FIG. 23, when compared with the
導電部材20Oは、被覆導線10の延在方向に沿って延在する半筒部材によって構成されている。導電部材20Oは、被覆導線10の延在方向から見た場合に、U字形状を有する。導電部材20Oは、被覆導線10の延在方向に交差する方向に被覆導線10を挟み込むように曲げられた内周面20Oaを有する。内周面20Oaは、被覆導線10の延在方向に沿って見た場合に、略半円形状を有する。内周面20Oaが略半円形状を有することにより、実施の形態14と比較して、挟持部の近傍に形成されるプラズマ生成部の領域を相当程度狭くすることができる。
The conductive member 20O is constituted by a semi-cylindrical member extending along the extending direction of the coated
以上のように構成される場合であっても、実施の形態15に係るプラズマ生成素子2Oは、実施の形態14に係るプラズマ生成素子2Nとほぼ同様の効果が得られる。
Even when configured as described above, the plasma generation element 2O according to the fifteenth embodiment can obtain substantially the same effect as the
(実施の形態16)
図24は、実施の形態16に係るプラズマ生成素子を示す断面図である。図24を参照して、実施の形態16に係るプラズマ生成素子2Pについて説明する。Sixteenth Embodiment
FIG. 24 is a cross-sectional view showing a plasma generating device according to the sixteenth embodiment. A
図24に示すように、実施の形態16に係るプラズマ生成素子2Pは、実施の形態14に係るプラズマ生成素子2Nと比較した場合に、導電部材20Pの形状が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
As shown in FIG. 24, when compared with the
導電部材20Pは、被覆導線10の延在方向に沿って延在する半筒部材によって構成されている。導電部材20Pは、被覆導線10の延在方向から見た場合に、U字形状を有する。導電部材20Pは、被覆導線10の延在方向に交差する方向に被覆導線10を挟み込むように曲げられた内周面20Paを有する。内周面20Oaは、被覆導線10の延在方向に沿って見た場合に、V字形状を有する。内周面20Oaが略V字形状を有することにより、実施の形態14と比較して、挟持部の近傍に形成されるプラズマ生成部の領域を略同等とすることができる。
The
以上のように構成される場合であっても、実施の形態16に係るプラズマ生成素子2Pは、実施の形態14に係るプラズマ生成素子2Nとほぼ同様の効果が得られる。
Even when configured as described above, the
上述した実施の形態14から16に係るプラズマ生成素子2Pのように、半筒形状を有する導電部材20N,20O,20Pの形状を適宜変更することができ、導電部材の加工の自由度が増す。加工のしやすさに応じて、導電性部材の適宜選択することが好ましい。
As in the
(実施の形態17)
図25は、実施の形態17に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。図25を参照して、実施の形態17に係るプラズマ生成装置1Qについて説明する。Seventeenth Embodiment
FIG. 25 is a schematic perspective view showing a plasma generation apparatus according to the seventeenth embodiment. A
図25に示すように、実施の形態17に係るプラズマ生成装置1Qは、実施の形態1に係る1と比較した場合に、プラズマ生成素子2Qの構成(具体的には、導電部材20Qの構成)が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
As shown in FIG. 25, the
プラズマ生成素子2Qは、被覆導線10と、複数の導電部材20Qを備える。複数の導電部材20Qは、被覆導線10の延在方向に沿って並んで配置されている。
The
複数の導電部材20Qの各々は、板状部21Qおよび巻回部28Qを含む。板状部21Qは、平面視した場合に被覆導線10の延在方向と交差するように延在する。板状部21Qは、一方の主面が被覆導線10に接触するように配置されている。
Each of the plurality of
巻回部28Qは、一端側が板状部21Qに連結されるとともに他端側が被覆導線10に巻回された状態である。巻回部28Qは、被覆導線10を挟み込んで保持している。被覆導線10に接触する部分の巻回部28Qの内周面によって挟持部が構成される。
The winding
図26は、実施の形態17に係る導電部材の巻回前の状態を示す概略斜視図である。図26を参照して、実施の形態17に係る導電部材20Qの巻回前の状態について説明する。
FIG. 26 is a schematic perspective view showing a state before winding of the conductive member according to the seventeenth embodiment. The state before winding of the
図26に示すように、導電部材20Qの巻回前の状態にあっては、板状部21Qの一部に切れ込みが設けられることにより、被覆導線10に巻回可能な金属片部28Q1が、板状部21Qに設けられている。この金属片部28Q1の自由端である他端側を被覆導線10に巻回することにより巻回部28Qが形成される。
As shown in FIG. 26, in the state before winding of the
高電圧回路50の一方側は、配線41によって導電線11に電気的に接続されている。高電圧回路50の他方側は、配線42によって複数の導電部材20Qに電気的に接続されている。複数の導電部材20Qは、並列に接続されている。
One side of the
高電圧回路50によって、導電線11と各導電部材20Qとの間に高電圧を印加することにより、実施の形態1同様に、挟持部の近傍においてプラズマを生成させることができる。また、被覆導線10と板状部21Qの接触部の近傍においてもプラズマを生成させることができる。この場合においても、導電部材20Qを接地することにより、使用者が外部に露出する導電部材20Qに触れた場合であっても安全性を確保することができる。
By applying a high voltage between the
以上のように、実施の形態17に係るプラズマ生成素子2Qは、被覆導線同士を撚り合わせることなく、金属片である板状部21Qの一部を被覆導線10に巻回した巻回部28Qによって被覆導線10を挟み込む構成であるため、その構成を簡素化することができる。これに伴って、プラズマ生成素子2Qを具備するプラズマ生成装置1Qの構成も簡素化することができる。
As described above, the
なお、実施の形態14においては、導電部材20Qが、複数の板状部21Qと複数の巻回部28Qとによって構成される場合を例示して説明したが、これに限定されず、単数の板状部21Qと単数の巻回部28Qによって構成されていてもよい。
Although
(実施の形態18)
図27は、実施の形態18に係るプラズマ生成素子を示す概略斜視図である。図27を参照して、実施の形態18に係るプラズマ生成素子2Rについて説明する。(Embodiment 18)
FIG. 27 is a schematic perspective view showing a plasma generating device according to the eighteenth embodiment. The
図27に示すように、実施の形態18に係るプラズマ生成素子2Rは、実施の形態17に記載のプラズマ生成素子2Qと比較した場合に、導電部材20Rの構成が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
As shown in FIG. 27, the
導電部材20Rの板状部21Qは、被覆導線10に当接するとは反対側に位置する主面から、被覆導線10から離れる方向に向けて突出する突条部23Rを有する。突条部23Rは、板状部21Qの延在方向に沿って延在する。
The plate-
板状部21Q、突条部23Rおよび巻回部28Qは、一つの部材によって構成されている。板状部21Qおよび突条部23Rは、平板形状を有する金属片を折り曲げることにより形成される。これにより、板状部21Qと突条部23Rとを別部材にて構成する場合と比較して、別部材同士を固着させる手間を省くことができるとともに、製造コストを低減させることができる。
The plate-
以上のように構成される場合であっても、実施の形態18に係るプラズマ生成素子2Rは、実施の形態17に係るプラズマ生成素子2Qとほぼ同様の効果が得られる。
Even when configured as described above, the
上述のように突条部23Rが設けられることにより、板状部21Qの剛性を向上させることができる。これにより、板状部21Qと被覆導線10との密着性を高めることができる。この結果、板状部21Qが被覆導線10から離間することにより、巻回部28Qの巻回が解かれることを防止することができる。
The rigidity of the plate-
(実施の形態19)
図28は、実施の形態19に係るプラズマ生成素子を示す概略斜視図である。図28を参照して、実施の形態19に係るプラズマ生成素子2Sについて説明する。(Embodiment 19)
FIG. 28 is a schematic perspective view showing a plasma generating device according to the nineteenth embodiment. The plasma generating element 2S according to the nineteenth embodiment will be described with reference to FIG.
図28に示すように、実施の形態19に係るプラズマ生成素子2Sは、実施の形態17に係るプラズマ生成素子2Qと比較した場合に、導電部材20Sの構成が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
As shown in FIG. 28, the plasma generating element 2S according to the nineteenth embodiment differs from the
導電部材20Sは、板状部21Q、第1巻回部28S1、および第2巻回部28S2を含む。第1巻回部28S1および第2巻回部28S2は、被覆導線10の延在方向に沿って並んでいる。第1巻回部28S1および第2巻回部28S2の各々は、一端側が板状部21Qに接続され、他端側が被覆導線10に巻回されている。第1巻回部28S1および第2巻回部28S2の逆である。これにより、第1巻回部28S1および第2巻回部28S2の巻回状態が解かれることを抑制することができる。
The
図29は、実施の形態19に係る導電部材の巻回前の状態を示す概略斜視図である。図29を参照して、実施の形態19に係る導電部材20Sの巻回前の状態について説明する。
FIG. 29 is a schematic perspective view showing a state before winding of the conductive member according to the nineteenth embodiment. The state before winding of the
図29に示すように、導電部材20Sの巻回前の状態にあっては、板状部21Qは、延在方向に直交する方向に張り出す張出部29Sを有する。この張出部29Sに、被覆導線10に巻回可能な金属片部28S11,28S12が連結されている。
As shown in FIG. 29, in the state before the winding of the
金属片部28S11は、板状部21Qの延在方向の一方に向けて延在する。金属片部28S11は、板状部21Qの延在方向の他方に向けて延在する。金属片部28S11および金属片部28S12は、張出部29Sの張出方向に沿って並んでいる。この金属片部28S11および金属片部28S12の各々の自由端である他端側を被覆導線10に巻回することにより第1巻回部28S1および第2巻回部28S2が形成される。
The metal piece portion 28S11 extends toward one side in the extending direction of the
以上のように構成される場合であっても、実施の形態19に係るプラズマ生成素子2Sは、実施の形態17に係るプラズマ生成素子2Qとほぼ同様の効果が得られる。
Even when configured as described above, the plasma generation element 2S according to the nineteenth embodiment can obtain substantially the same effect as the
なお、実施の形態19においては、巻回部の個数が2つである場合を例示して説明したが、これに限定されず、巻回部の個数が1つであってもよいし、3つ以上であってもよい。このように、複数の巻回部の個数を適宜調整することにより、プラズマ生成量を調整することができる。 In the nineteenth embodiment, the case where the number of winding parts is two is exemplified and described, but the invention is not limited thereto, and the number of winding parts may be one, and 3 There may be more than one. Thus, the amount of plasma generation can be adjusted by appropriately adjusting the number of winding portions.
(実施の形態20)
図30は、実施の形態20に係るプラズマ生成装置を示す概略斜視図である。図30を参照して、実施の形態20に係るプラズマ生成装置1Tについて説明する。
FIG. 30 is a schematic perspective view showing a plasma generation apparatus according to the twentieth embodiment.
図30に示すように、実施の形態20に係るプラズマ生成装置1Tは、実施の形態1に係るプラズマ生成装置1と比較した場合に、プラズマ生成素子2Tの構成が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
As shown in FIG. 30, the
プラズマ生成素子2Tは、複数の被覆導線10と、複数の導電部材20Tとを備える。複数の被覆導線10は、互いに並走して配置されている。複数の導電部材20Tは、それぞれ複数の被覆導線10に対応して設けられている。
The
複数の導電部材20Tの各々は、複数の環状部材21Tによって構成されている。複数の環状部材21Tは、被覆導線10の延在方向に沿って並んで配置されている。複数の環状部材21Tの各々の内周面は、周方向に亘って被覆導線10の外周面に接触する。
Each of the plurality of
複数の環状部材21Tの各々は、被覆導線10を挟み込んで保持している。環状部材21Tの内周面によって挟持部が構成され、環状部材21Tが複数設けられることにより、挟持部も複数設けられる。
Each of the plurality of
複数の環状部材21Tは、導電性を有する接続部材60によって接続されている。接続部材60は、たとえば棒形状を有し、被覆導線10の延在方向に沿って延在する。
The plurality of
高電圧回路50の一方側は、配線41によって複数の導電線11に電気的に接続されている。複数の導電線11は、並列に接続されている。高電圧回路50の他方側は、配線42および接続部材60によって、複数の導電部材20Tの各々に電気的に接続されている。複数の導電部材20Tは、並列に接続されている。
One side of the
高電圧回路50によって、複数の導電線11の各々と複数の導電部材20Tとの間にそれぞれ高電圧を印加することにより、実施の形態1同様に、複数の挟持部近傍からプラズマが生成する。
As high voltage is applied between each of the plurality of
以上のように、実施の形態20に係るプラズマ生成素子2Tは、被覆導線同士を撚り合わせることなく、複数の環状部材21Tの各々の内周面によって被覆導線10を挟み込むことにより構成されるため、その構成を簡素化することができる。これに伴って、プラズマ生成素子2Tを具備するプラズマ生成装置1Tの構成も簡素化することができる。
As described above, since the
なお、プラズマ生成素子2Tは、複数の被覆導線10と複数の導電部材20Tとによって構成される場合を例示して説明したが、これに限定されず、単数の被覆導線10と単数の導電部材20Tとによって構成されていてもよい。
In addition, although the case where plasma production |
なお、実施の形態20においては、導電部材20Tが、複数の環状部材21Tによって構成される場合を例示して説明したが、これに限定されず、単数の環状部材によって構成されていてもよい。
In the twentieth embodiment, the
(実施の形態21)
図31は、実施の形態21に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。図32は、実施の形態21に係る空気清浄機の背面図である。図31および図32を参照して、実施の形態21に係る空気清浄機について説明する。なお、空気清浄機200は、プラズマ生成装置を具備する電子機器の一例であり、プラズマ生成装置としては、たとえば実施の形態2に係るプラズマ生成装置1Aが用いられる。なお、図31および図32においては、プラズマ生成措置1Aに含まれる複数の被覆導線の各々を被覆導線10として図示している。(Embodiment 21)
FIG. 31 is a cross-sectional view showing the internal structure of the air purifier according to
図31および図32に示すように、空気清浄機200は、プラズマ生成装置1A、吸込口220および吹出口230が設けられた本体部210、送風経路240および送風部としての送風機250を備える。
As shown in FIGS. 31 and 32, the
吸込口220は、本体部210の背面側に設けられている。吹出口230は、本体部210の上方に設けられている。送風経路240は、本体部210内に設けられ、吸込口220および吹出口230を接続する。送風経路240内には、送風機250が設けられている。送風経路240の一部は、送風機250のケーシングによって規定される。
The
送風機250は、吸込口220から吸い込んだ空気を吹出口230に向けて送風する。送風機250としては、シロッコファン、クロスフローファン等の各種の送風機を採用することができる。
The
プラズマ生成装置1Aは、送風経路240に配置される。具体的には、プラズマ生成装置1Aは、吸込口220近傍の位置や、送風機250と吹出口230との間に位置する送風経路240に配置される。プラズマ生成装置1Aは、被覆導線10の延在方向と送風方向とが略直交するように配置される。具体的には、プラズマ生成装置1Aは、複数の被覆導線10が並んで配置される仮想平面と送風方向が略直交するように配置される。なお、プラズマ生成装置1Aは、送風する送風の圧力損失が小さくなるように配置されることが好ましい。
The
このようにプラズマ生成装置1Aを配置し、プラズマを生成しつつプラズマ生成装置1Aに空気を通過させることにより、空気中に存在する菌やウイルスの不活化、または、臭気等の空気中に含まれる不純物ガスの分解除去を行なうことができる。これにより、吸込口220から吸い込まれる空気および吹出口230から吹出されることとなる空気を浄化することができる。この結果、吹出口230から清浄な空気を吹出すことができる。
As described above, by disposing the
(実施の形態22)
図33は、実施の形態22に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。図34は、実施の形態22に係る空気清浄機の背面図である。図33および図34を参照して、実施の形態22に係る空気清浄機200Aについて説明する。(Embodiment 22)
FIG. 33 is a cross sectional view showing the internal structure of the air purifier according to the twenty-second embodiment. FIG. 34 is a rear view of the air purifier according to the twenty-second embodiment. An
図33および図34に示すように、実施の形態22に係る空気清浄機200Aは、実施の形態21に係る空気清浄機200と比較した場合に、プラズマ生成装置1Aの設置方向が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
As shown in FIGS. 33 and 34, the
プラズマ生成装置1Aは、送風経路240に配置される。具体的には、プラズマ生成装置1Aは、吸込口220近傍の位置や、送風機250と吹出口230との間に位置する送風経路240に配置される。プラズマ生成装置1Aは、被覆導線10の延在方向と送風方向とが略平行となるように配置される。このようにプラズマ生成装置1Aを配置する場合であっても、吹出口230から清浄な空気を吹出すことができる。
The
(実施の形態23)
図35は、実施の形態23に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。図36は、実施の形態23に係る空気清浄機の背面図である。図35および図36を参照して、実施の形態23に係る空気清浄機200Bについて説明する。(Twenty-Third Embodiment)
FIG. 35 is a cross sectional view showing the internal structure of the air purifier according to the twenty-third embodiment. FIG. 36 is a rear view of the air purifier according to the twenty-third embodiment. An
図35および図36に示すように、実施の形態23に係る空気清浄機200Bは、実施の形態21に係る空気清浄機200と比較した場合に、プラズマ生成装置の構成が相違する。実施の形態23においては、プラズマ生成装置として、実施の形態20に係るプラズマ生成装置1Tが用いられている。
As shown in FIGS. 35 and 36, the
プラズマ生成装置1Tは、送風経路240に配置される。具体的には、プラズマ生成装置1Tは、吸込口220近傍の位置や、送風機250と吹出口230との間に位置する送風経路240に配置される。プラズマ生成装置1Tは、被覆導線10の延在方向と送風方向とが略直交するように配置される。具体的には、プラズマ生成装置1Tは、複数の被覆導線10が並んで配置される仮想平面が送風方向に略直交するように配置されている。このようにプラズマ生成装置1Tを配置する場合であっても、吹出口230から清浄な空気を吹出すことができる。
The
なお、実施の形態21から23においては電気機器の一例として空気清浄機について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、電気機器は、これ以外に空気調和機(エアコンディショナー)、冷蔵機器、掃除機、加湿器、除湿機などであってもよく、空気を吸込んで送風する際に、プラズマ生成装置1A,1Tに空気を通過させるための送風部を有する電気機器であればよい。
Although the air cleaner has been described as one example of the electric device in the twenty-first to twenty-third embodiments, the present invention is not limited to this, and the electric device may be an air conditioner other than this, It may be a cold storage device, a vacuum cleaner, a humidifier, a dehumidifier or the like, and it may be an electric device having a blower for causing the
また、実施の形態21から23においては、プラズマ生成装置として実施の形態2および実施の形態20に係るプラズマ生成装置1A,1Tを用いる場合を例示して説明したが、これに限定されず、上述の実施の形態1、3〜19および変形例に係るプラズマ生成装置を用いてもよい。
Further, in
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described, embodiment disclosed this time is an illustration and restrictive at no points. The scope of the present invention is shown by the claim, and the meaning of a claim and equality and all the changes within the range are included.
1,1A,1B,1D,1E,1N,1Q,1T プラズマ生成装置、2,2A,2B,2B1,2C,2D,2E,2F,2G,2H,2I,2J,2K,2L,2M,2N,2O,2P,2Q,2R,2S,2T,LK プラズマ生成素子、10,10A,10B,10C 被覆導線、11 導電線、12 被覆部、20,20A,20B,20B2,20B3,20B1,20C,20C1,20E,20F,20H,20J,20N,20O,20P,20Q,20R,20S,20T 導電部材、20Na,20Oa 内周面、21,21B 第1板状部、21E,21F,21H,21J 第1導電部材、21Q 板状部、21T 環状部材、22,22B 第2板状部、22E,22F,22H,22J 第2導電部材、23,23C 第1突条部、23R 突条部、24,24C 第2突条部、27 抜け止め部、28Q 巻回部、28Q1,28S11,28S12 金属片部、28S1 第1巻回部、28S2 第2巻回部、29S 張出部、30,30A,30D 支持部材、31,31A,31D 第1支持部材、32,32A,32D 第2支持部材、41,42 配線、50 高電圧回路、60 接続部材、211,212,213 導電体、215 枠体、221,222,223 導電体、225 枠体、231,232,233,234 辺部、301 第1凹部、302 第2凹部、303 第3凹部、311 第1部分、312 第2部分、313 接続部、321 第1部分、322 第2部分、323 接続部。 1, 1 A, 1 B, 1 D, 1 E, 1 N, 1 Q, 1 T plasma generator, 2, 2 A, 2 B, 2 B 1, 2 C, 2 D, 2 E, 2 F, 2 G, 2 H, 2 I, 2 J, 2 K, 2 L, 2 M, 2 N , 2O, 2P, 2Q, 2R, 2S, 2T, LK plasma generating element, 10, 10A, 10B, 10C coated conducting wire, 11 conductive wire, 12 coating, 20, 20A, 20B, 20B2, 20B3, 20B1, 20C, 20C1, 20E, 20F, 20H, 20J, 20N, 20P, 20Q, 20R, 20S, 20T conductive members, 20Na, 20Oa inner circumferential surface, 21, 21B first plate-like portion, 21E, 21F, 21H, 21J 1 conductive member, 21Q plate-like portion, 21T annular member, 22, 22B second plate-like portion, 22E, 22F, 22H, 22J second conductive member, 23, 23C 1st projection part, 23R projection part, 24 and 24C 2nd projection part, 27 retaining part, 28Q winding part, 28Q1, 28S11, 28S12 metal piece part, 28S1 1st winding part, 28S2 2nd volume Rotating part, 29S overhanging part, 30, 30A, 30D supporting member, 31, 31A, 31D first supporting member, 32, 32A, 32D second supporting member, 41, 42 wiring, 50 high voltage circuit, 60 connecting member, 211, 212, 213 conductor, 215 frame, 221, 222, 223 conductor, 225 frame, 231, 232, 233, 234 side, 301 first recess, 302 second recess, 303 third recess, 311 First part, 312 second part, 313 connection part, 321 first part, 322 second part, 323 connection part.
Claims (7)
前記被覆部に少なくとも一部が接触するように前記被覆導線に隣接して配置された導電部材と、を備え、
前記導電部材は、前記被覆導線の延在方向と交差する方向において前記被覆導線を挟み込んで保持する挟持部を少なくとも1つ以上有し、
前記導電線および前記導電部材の間に電圧が印加されることにより前記挟持部近傍においてプラズマが生成される、プラズマ生成素子。A coated wire including a conductive wire and a coating portion for insulating coating the conductive wire;
And a conductive member disposed adjacent to the coated wire so as to at least partially contact the coated portion,
The conductive member has at least one or more sandwiching portions for sandwiching and holding the coated conductive wire in a direction crossing the extending direction of the coated conductive wire,
A plasma generating element, wherein plasma is generated in the vicinity of the sandwiching portion by applying a voltage between the conductive wire and the conductive member.
前記第1板状部は、前記被覆導線に接触する第1接触部を有し、
前記第2板状部は、前記被覆導線に接触する第2接触部を有し、
前記挟持部は、前記第1接触部および前記第2接触部によって構成されている、請求項1に記載のプラズマ生成素子。The conductive member includes a first plate-like portion disposed on one side as viewed from the coated wire, and a second plate-like portion disposed on the other side as viewed from the coated wire.
The first plate-like portion has a first contact portion contacting the coated conductive wire,
The second plate-like portion has a second contact portion contacting the coated conductive wire,
The plasma generating element according to claim 1, wherein the sandwiching portion is configured by the first contact portion and the second contact portion.
前記第2板状部は、前記被覆導線に当接周面とは反対外に位置する主面から、前記被覆導線から離れる方向に向けて突出し、前記第2板状部が延在する方向に沿って延在する第2突条部を有する、請求項2に記載のプラズマ生成素子。The first plate-like portion protrudes from the main surface located on the opposite side to the main surface in contact with the coated conductive wire in the direction away from the coated conductive wire, and in the direction in which the first plate-like portion extends Having a first ridge extending along the
The second plate-like portion protrudes from the main surface located on the outside of the coated wire opposite to the contact circumferential surface, in a direction away from the coated wire, and in the direction in which the second plate-like portion extends. The plasma generating element according to claim 2, further comprising a second protrusion extending along the same.
前記挟持部は、前記被覆導線に接触する前記環状部材の内周面によって構成されている、請求項1に記載のプラズマ生成素子。The conductive member is constituted by one or more annular members whose inner peripheral side contacts the coated conductive wire,
The plasma generating element according to claim 1, wherein the sandwiching portion is constituted by an inner circumferential surface of the annular member in contact with the coated conducting wire.
前記半筒部材は、前記被覆導線の前記延在方向に交差する方向に前記被覆導線を挟み込むように曲げられた内周面を有し、
前記挟持部は、前記被覆導線に接触する部分の前記内周面によって構成されている、請求項1に記載のプラズマ生成素子。The conductive member is constituted by a semi-cylindrical member extending along the extending direction of the coated conductive wire,
The semi-cylindrical member has an inner circumferential surface bent so as to sandwich the coated conductor in a direction intersecting the extending direction of the coated conductor.
The plasma generating element according to claim 1, wherein the sandwiching portion is constituted by the inner peripheral surface of a portion in contact with the coated conducting wire.
前記挟持部は、前記被覆導線に接触する部分の前記巻回部の内周面によって構成されている、請求項1に記載のプラズマ生成素子。The conductive member includes a plate-like portion in contact with the coated wire, and one or more winding portions having one end connected to the plate-like portion and the other end wound around the coated wire.
The plasma generating element according to claim 1, wherein the sandwiching portion is constituted by an inner peripheral surface of the winding portion of a portion in contact with the coated conducting wire.
前記被覆部に少なくとも一部が接触するように前記複数の被覆導線に隣接して配置された導電部材と、を備え、
前記導電部材は、前記被覆導線の延在方向と交差する方向において前記複数の被覆導線を挟み込んで保持する複数の挟持部を有し、
前記導電部材は、前記被覆導線から見て一方側に配置された第1導電部材と、前記被覆導線から見て他方側に配置された第2導電部材とを含み、
前記第1導電部材は、網目形状を有するとともに、前記複数の被覆導線に接触する第1接触部群を有し、
前記第2導電部材は、前記第1導電部材に対応する網目形状を有するとともに、前記複数の被覆導線に接触する第2接触部群を有し、
前記複数の挟持部は、前記第1接触部群と前記第2接触部群とによって構成され、
前記導電線および前記導電部材の間に電圧が印加されることにより前記複数の挟持部近傍においてプラズマが生成される、プラズマ生成素子。A plurality of coated conductive wires arranged in parallel with each other, including a conductive wire and a coating portion for insulating coating the conductive wire;
A conductive member disposed adjacent to the plurality of coated wires such that the coated portion is at least partially in contact with the conductive member;
The conductive member has a plurality of sandwiching portions for sandwiching and holding the plurality of coated conductive wires in a direction intersecting the extending direction of the coated conductive wire,
The conductive member includes a first conductive member disposed on one side as viewed from the coated wire, and a second conductive member disposed on the other side as viewed from the coated wire.
The first conductive member has a mesh shape and has a first contact group that contacts the plurality of coated conductive wires,
The second conductive member has a mesh shape corresponding to the first conductive member and has a second contact group that contacts the plurality of coated conductive wires,
The plurality of sandwiching portions are configured by the first contact portion group and the second contact portion group,
A plasma generating element, wherein plasma is generated in the vicinity of the plurality of sandwiching portions by applying a voltage between the conductive wire and the conductive member.
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