JP2013184874A - Ozone generating apparatus - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ozone generating apparatus capable of contacting a metal film and a power feed contact uniformly.SOLUTION: An ozone generating apparatus includes a cylindrical high voltage electrode that consists of a dielectric. The ozone generating apparatus includes a metal film formed on the inner surface of the high voltage electrode. The ozone generating apparatus includes a power feed contact of a paper lantern shape that is connected to a power source, and provided so that the outer peripheral surface thereof contacts the metal film. The ozone generating apparatus includes an earth electrode provided outside of the high voltage electrode with a discharge gap therebetween.

Description

本発明の実施形態は、オゾン発生装置に関する。   Embodiments described herein relate generally to an ozone generator.

近年、オゾンを発生することが可能なオゾン発生装置が知られている。一般に、オゾン発生装置においては、接地電極及び高圧電極が１対となって放電電極を構成し、その間にスペーサを挿入することにより微小な放電ギャップを形成する。   In recent years, ozone generators capable of generating ozone are known. In general, in an ozone generator, a ground electrode and a high voltage electrode are paired to form a discharge electrode, and a spacer is inserted between them to form a minute discharge gap.

そして、両電極間の放電ギャップにオゾン原料ガスを流し、当該両電極間に高電圧を印加することにより放電ギャップに無声放電が発生し、当該無声放電によりオゾン化ガスが生成される。   Then, an ozone raw material gas is caused to flow in the discharge gap between the two electrodes, and a high voltage is applied between the two electrodes to generate a silent discharge in the discharge gap. Ozonized gas is generated by the silent discharge.

このようなオゾン発生装置においては、金属膜と給電子の接触により電源が供給される。   In such an ozone generator, power is supplied by contact between the metal film and the power supply.

ここで、図７は、従来のオゾン発生装置の構成を示す断面図である。図７に示すように、オゾン発生装置は、酸素を含むオゾン原料ガスのガス入口１ａとオゾン化ガスのガス出口１ｂとが設けられた気密容器１を備える。この気密容器１内には、筒状の高圧電極２と、当該高圧電極２を包囲するように設けられた筒状の接地電位の金属電極３が備えられている。   Here, FIG. 7 is a cross-sectional view showing a configuration of a conventional ozone generator. As shown in FIG. 7, the ozone generator includes an airtight container 1 provided with a gas inlet 1a for ozone source gas containing oxygen and a gas outlet 1b for ozonized gas. The hermetic container 1 includes a cylindrical high-voltage electrode 2 and a cylindrical metal electrode 3 having a ground potential provided so as to surround the high-voltage electrode 2.

高圧電極２の内面には、ステンレスまたはニッケル等の金属材料を蒸着またはメッキさせた厚さ０．数μｍ〜数十μｍの金属膜４が設けられている。   On the inner surface of the high-voltage electrode 2, a metal material such as stainless steel or nickel is vapor deposited or plated. A metal film 4 of several μm to several tens of μm is provided.

そして、この金属膜４の内面には、弾性体金属からなる給電子５が挿入される。この給電子５は、気密容器１の側壁に固定されたブッシング６を介して高電圧の電源７に接続される。   A power supply 5 made of an elastic metal is inserted into the inner surface of the metal film 4. The power supply 5 is connected to a high voltage power source 7 through a bushing 6 fixed to the side wall of the hermetic container 1.

また、高圧電極２と金属電極３の間にはスペーサ８が介在されており、両電極２及び３間の放電ギャップ長が例えば０．数ｍｍに保たれるように構成されている。なお、放電時の発熱を抑えるために、金属電極に対しては必要に応じて冷却が行われる。   Further, a spacer 8 is interposed between the high voltage electrode 2 and the metal electrode 3, and the discharge gap length between the electrodes 2 and 3 is, for example, 0. It is configured to be kept at several mm. In addition, in order to suppress the heat_generation | fever at the time of discharge, it cools as needed with respect to a metal electrode.

一般的には、上記したような構成のオゾン発生装置を用いることによって、オゾン（オゾン化ガス）を発生することができる。   Generally, ozone (ozonized gas) can be generated by using an ozone generator having the above-described configuration.

特開２００６−２４８８４４号公報JP 2006-248844 A 特開２０１０−２１５４４８号公報JP 2010-215448 A

ところで、上記した給電子には例えば馬蹄形状のものや螺旋状のものなど種々の形状のものがあるが、当該給電子と金属膜との接触が不均一である場合においては、金属膜に高電圧を印加した際に接触抵抗の増加による放電ロスが生じ、高濃度・高収率のオゾンが得られない場合がある。   By the way, there are various shapes such as a horseshoe shape and a spiral shape as described above, and when the contact between the electron source and the metal film is not uniform, the metal film is highly expensive. When a voltage is applied, discharge loss due to an increase in contact resistance may occur, and high concentration and high yield of ozone may not be obtained.

そこで、本発明が解決しようとする課題は、金属膜と給電子とを均一に接触させることが可能なオゾン発生装置を提供することにある。   Then, the subject which this invention tends to solve is providing the ozone generator which can make a metal film and an electric power supply contact uniformly.

実施形態に係るオゾン発生装置は、誘電体からなる筒状の高圧電極を具備する。   The ozone generator according to the embodiment includes a cylindrical high-voltage electrode made of a dielectric.

実施形態に係るオゾン発生装置は、前記高圧電極の内面に形成された金属膜を具備する。   The ozone generator according to the embodiment includes a metal film formed on the inner surface of the high-voltage electrode.

実施形態に係るオゾン発生装置は、電源に接続され、前記金属膜に外周面が接触するように設けられた提灯型形状の給電子を具備する。   The ozone generator according to the embodiment includes a lantern-type power supply that is connected to a power source and provided so that an outer peripheral surface thereof is in contact with the metal film.

実施形態に係るオゾン発生装置は、前記高圧電極の外側に放電ギャップを介して設けられた接地電極を具備する。   The ozone generator according to the embodiment includes a ground electrode provided outside the high-voltage electrode through a discharge gap.

第１の実施形態に係るオゾン発生装置の構成を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of the ozone generator which concerns on 1st Embodiment. 本実施形態に係るオゾン発生装置に備えられる給電子１０の正面図。The front view of the electric power feeder 10 with which the ozone generator which concerns on this embodiment is equipped. 本実施形態に係るオゾン発生装置に備えられる給電子１０の側面図。The side view of the electric power feeder 10 with which the ozone generator which concerns on this embodiment is equipped. 本実施形態に係るオゾン発生装置に備えられる給電子１０の斜視図。The perspective view of the electric power feeder 10 with which the ozone generator which concerns on this embodiment is equipped. 第２の実施形態に係るオゾン発生装置の構成を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of the ozone generator which concerns on 2nd Embodiment. 第３の実施形態に係るオゾン発生装置の構成を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of the ozone generator which concerns on 3rd Embodiment. 従来のオゾン発生装置の構成を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of the conventional ozone generator.

以下、図面を参照して、各実施形態について説明する。   Hereinafter, each embodiment will be described with reference to the drawings.

（第１の実施形態）
まず、第１の実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るオゾン発生装置の構成を示す断面図である。なお、図１においては、前述した図７と同様の部分には同一参照符号が付されている。 (First embodiment)
First, the first embodiment will be described. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of an ozone generator according to this embodiment. In FIG. 1, the same parts as those in FIG.

図１に示すように、本実施形態に係るオゾン発生装置は、酸素を含むオゾン原料ガスのガス入口１ａとオゾン化ガスのガス出口１ｂとを備えた気密容器１を備える。気密容器１内には、誘電体からなる筒状の高圧電極２と、当該高圧電極２を包囲するように設けられた筒状の接地電位の金属電極（接地電極）３とが構成されている。   As shown in FIG. 1, the ozone generator according to the present embodiment includes an airtight container 1 including a gas inlet 1a for ozone source gas containing oxygen and a gas outlet 1b for ozonized gas. A cylindrical high voltage electrode 2 made of a dielectric and a cylindrical metal electrode (ground electrode) 3 having a ground potential provided so as to surround the high voltage electrode 2 are configured in the hermetic container 1. .

高圧電極２の内面には、ステンレス、ニッケル等の金属材料を蒸着またはメッキさせた厚さ０．数μｍ〜数十μｍの金属膜４が形成されている。   On the inner surface of the high-voltage electrode 2, a metal material such as stainless steel or nickel is vapor deposited or plated. A metal film 4 of several μm to several tens μm is formed.

高圧電極２と金属電極３の間にはスペーサ８が介在されており、両電極２及び３間の放電ギャップ長が所定値（例えば、０．数ｍｍ）に保たれるように構成されている。つまり、金属電極３は、高圧電極２の外側に放電ギャップを介して設けられている。なお、放電時の発熱を抑えるために、金属電極３は必要に応じて冷却される。   A spacer 8 is interposed between the high-voltage electrode 2 and the metal electrode 3 so that the discharge gap length between the electrodes 2 and 3 is maintained at a predetermined value (for example, several millimeters). . That is, the metal electrode 3 is provided outside the high voltage electrode 2 via the discharge gap. In addition, in order to suppress the heat_generation | fever at the time of discharge, the metal electrode 3 is cooled as needed.

また、本実施形態に係るオゾン発生装置は、気密容器１の側壁に固定されたブッシング６を介して高電圧の電源７に接続される給電子１０を備える。この給電子１０は、その外周面が金属膜４に接触するように高圧電極２の内部に挿入される。なお、給電子１０には、弾性体金属が用いられる。   Moreover, the ozone generator according to the present embodiment includes a power supply 10 connected to a high voltage power source 7 via a bushing 6 fixed to the side wall of the hermetic container 1. The power supply 10 is inserted into the high-voltage electrode 2 so that the outer peripheral surface thereof is in contact with the metal film 4. An elastic metal is used for the power supply 10.

ここで、図２〜図４を参照して、本実施形態に係るオゾン発生装置に備えられる給電子１０の構造について説明する。図２は、給電子１０の正面図である。図３は、給電子１０の側面図である。図４は、給電子１０の斜視図である。   Here, with reference to FIGS. 2 to 4, the structure of the power supply 10 provided in the ozone generator according to the present embodiment will be described. FIG. 2 is a front view of the power supply 10. FIG. 3 is a side view of the power supply 10. FIG. 4 is a perspective view of the power supply 10.

図２〜図４に示すように、給電子１０は、提灯型形状を有する。また、給電子１０は、上記した金属膜４に接触する接触部（外周面）１１と当該接触部１１の両端に設けられた端部１２とからなる。この接触部１１には、例えば複数のスリット部１３が設けられている。また、端部１２は、例えばナット等の部品を用いて形成される。   As shown in FIGS. 2 to 4, the power supply 10 has a lantern shape. The power supply 10 includes a contact portion (outer peripheral surface) 11 that contacts the metal film 4 and end portions 12 provided at both ends of the contact portion 11. For example, the contact portion 11 is provided with a plurality of slit portions 13. Further, the end 12 is formed using a part such as a nut, for example.

図２〜図４に示す給電子１０は、例えば１枚の弾性体金属の板にスリット部１３を形成し、当該板を筒状にした後に端部１２を形成することによって生成される。   The power supply 10 shown in FIGS. 2 to 4 is generated, for example, by forming the slit portion 13 in one elastic metal plate and forming the end portion 12 after making the plate into a cylindrical shape.

なお、給電子１０の接触部１１、すなわち、給電子１０における金属膜４と接触する面は、金属膜４（高圧電極２）の内半径と同様な円弧形状を有するように形成されることが好ましい。   Note that the contact portion 11 of the power supply 10, that is, the surface of the power supply 10 that contacts the metal film 4 may be formed to have an arc shape similar to the inner radius of the metal film 4 (high voltage electrode 2). preferable.

また、給電子１０の接触部１１の外径は、金属膜４の内径よりもわずかに大きいものとする。給電子１０には上記したように弾性体金属を用いているため、当該給電子１０が高圧電極２内部に挿入されると、当該給電子１０は、当該高圧電極２の内面に形成された金属膜４に対して密着するように形状変形する。なお、給電子１０の材質としては、耐食性を有するステンレス等の金属が好ましい。   In addition, the outer diameter of the contact portion 11 of the power supply 10 is slightly larger than the inner diameter of the metal film 4. Since the elastic metal is used for the supply electron 10 as described above, when the supply electron 10 is inserted into the high-voltage electrode 2, the supply electron 10 is a metal formed on the inner surface of the high-voltage electrode 2. The shape is deformed so as to be in close contact with the film 4. In addition, as a material of the electric supply 10, metals, such as stainless steel which has corrosion resistance, are preferable.

上記したような給電子１０を高圧電極２の内部に挿入すると、金属膜４に接触圧力を加えながら給電子１０の接触部（外周面）１１を面接触の状態で確実に当該金属膜４に接触させることができる。   When the above-described power supply 10 is inserted into the high-voltage electrode 2, the contact portion (outer peripheral surface) 11 of the power supply 10 is reliably brought into contact with the metal film 4 while applying contact pressure to the metal film 4. Can be contacted.

なお、給電子１０の接触部１１の外径と金属膜４の内径との比率（つまり、給電子１０の外径／金属膜４の内径）は、例えば１．０２〜１．０６程度が好ましい。また、給電子１０の全長と給電子１０の接触部１１に設けられているスリット部１３の長手方向（つまり、給電子１０の中心軸方向）の長さとの比率（つまり、給電子１０の全長／スリット部１３の長さ）は、１．５程度が好ましい。なお、スリット部１３の幅（給電子１０の中心軸方向に対して垂直方向の幅）は例えば２．７ｍｍ程度とする。   The ratio between the outer diameter of the contact portion 11 of the power supply 10 and the inner diameter of the metal film 4 (that is, the outer diameter of the power supply 10 / the inner diameter of the metal film 4) is preferably about 1.02 to 1.06, for example. . Further, the ratio of the total length of the feeder 10 to the length of the slit portion 13 provided in the contact portion 11 of the feeder 10 (that is, the central axis direction of the feeder 10) (that is, the total length of the feeder 10). / Length of the slit portion 13) is preferably about 1.5. Note that the width of the slit portion 13 (the width in the direction perpendicular to the central axis direction of the power supply 10) is, for example, about 2.7 mm.

上記したように本実施形態においては、誘電体からなる筒状の高圧電極２と、当該高圧電極２の内面に形成された金属膜４と、電源７に接続され、当該金属膜４に外周面（接触部１１）が接触するように設けられた提灯型形状の給電子１０と、当該高圧電極２の外側に放電ギャップを介して設けられた金属電極（接地電極）３とを備える構成により、給電子１０を高圧電極２内部に挿入した場合に金属膜４と当該給電子１０とを均一に接触させることが可能となる。これにより、本実施形態においては、放電ロスが少ない電源の供給が可能となる。   As described above, in the present embodiment, the cylindrical high voltage electrode 2 made of a dielectric, the metal film 4 formed on the inner surface of the high voltage electrode 2, and the power source 7 are connected to the outer peripheral surface of the metal film 4. By a configuration comprising a lantern-shaped power supply 10 provided so that the (contact portion 11) contacts, and a metal electrode (ground electrode) 3 provided via a discharge gap outside the high-voltage electrode 2, When the power supply 10 is inserted into the high voltage electrode 2, the metal film 4 and the power supply 10 can be brought into uniform contact. As a result, in the present embodiment, it is possible to supply power with less discharge loss.

また、本実施形態においては、給電子１０に弾性体金属を用い、当該給電子１０の外周面（接触部１１）にスリット部１３を有し、当該給電子１０の外径が金属膜４の内径よりも大きい構成とすることにより、金属膜４に接触圧力を加えながら給電子１０の接触部１１を面接触の状態で確実に金属膜４に接触させることができるため、金属膜４と給電子１０とをより均一に接触させることができる。   Further, in the present embodiment, an elastic metal is used for the power supply 10, the slit 13 is provided on the outer peripheral surface (contact portion 11) of the power supply 10, and the outer diameter of the power supply 10 is the metal film 4. By adopting a configuration that is larger than the inner diameter, the contact portion 11 of the power supply 10 can be reliably brought into contact with the metal film 4 in a surface contact state while applying contact pressure to the metal film 4. The electrons 10 can be contacted more uniformly.

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態について説明する。図５は、本実施形態に係るオゾン発生装置の構成を示す断面図である。なお、前述した図１と同様の部分には同一参照符号を付してその詳しい説明を省略する。ここでは、図１と異なる部分について主に述べる。なお、本実施形態に係るオゾン発生装置に備えられる給電子１０の構造については、前述した第１の実施形態と同様であるため、適宜、図２〜図４を用いて説明する。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment will be described. FIG. 5 is a cross-sectional view showing the configuration of the ozone generator according to this embodiment. The same parts as those in FIG. 1 described above are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. Here, parts different from FIG. 1 will be mainly described. The structure of the power supply 10 provided in the ozone generator according to the present embodiment is the same as that of the first embodiment described above, and will be described with reference to FIGS.

図５に示すように、本実施形態に係るオゾン発生装置は、不織布１４を備える。不織布１４は、高圧電極２の内面に形成されている金属膜４と当該高圧電極２内部に挿入される給電子１０との間に挟装される。不織布１４は、例えばステンレスのような金属細線からなる金属製の不織布を含む。なお、不織布１４は、少なくとも金属膜４と給電子１０の接触部１１との間に挟装されていればよい。   As shown in FIG. 5, the ozone generator according to this embodiment includes a nonwoven fabric 14. The nonwoven fabric 14 is sandwiched between the metal film 4 formed on the inner surface of the high-voltage electrode 2 and the power supply 10 inserted into the high-voltage electrode 2. The nonwoven fabric 14 includes a metallic nonwoven fabric made of fine metal wires such as stainless steel. In addition, the nonwoven fabric 14 should just be pinched | interposed between the metal film 4 and the contact part 11 of the electric supply 10 at least.

本実施形態においては、金属膜４と給電子１０との間に挟装された不織布１４を備える構成により、金属膜４と給電子１０（の接触部１１）との間の接触及び通電が良好になるとともに、給電子１０の端部１３の電界が緩和されることにより放電ロスを低減することが可能となる。   In the present embodiment, the configuration including the non-woven fabric 14 sandwiched between the metal film 4 and the power supply 10 allows good contact and energization between the metal film 4 and the power supply 10 (the contact portion 11 thereof). At the same time, the electric field at the end 13 of the power supply 10 is relaxed, so that the discharge loss can be reduced.

（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態について説明する。図６は、本実施形態に係るオゾン発生装置の構成を示す断面図である。なお、前述した図１と同様の部分には同一参照符号を付してその詳しい説明を省略する。ここでは、図１と異なる部分について主に述べる。なお、本実施形態に係るオゾン発生装置に備えられる給電子１０の構成については、前述した第１の実施形態と同様であるため、適宜、図２〜図４を用いて説明する。 (Third embodiment)
Next, a third embodiment will be described. FIG. 6 is a cross-sectional view showing the configuration of the ozone generator according to this embodiment. The same parts as those in FIG. 1 described above are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. Here, parts different from FIG. 1 will be mainly described. In addition, since the structure of the electric power supply 10 with which the ozone generator which concerns on this embodiment is equipped is the same as that of 1st Embodiment mentioned above, it demonstrates suitably using FIGS.

図６に示すように、本実施形態に係るオゾン発生装置は、電極挿入棒（電極装着棒）１５を備える。電極挿入棒１５の一端は、給電子１０の端部１２（の一方）と接続（固定）されている。電極挿入棒１５は、給電子１０の内周部の軸方向、すなわち中心軸上に設けられる。この場合、電極挿入棒１５は、例えば給電子１０の端部１２に用いられるナット等に取り付けられればよい。一方、電極挿入棒１５の他端は、ブッシング６を介して電源７と接続される。なお、電極挿入棒１５としては、例えばヒューズ等を用いることができる。   As shown in FIG. 6, the ozone generator according to this embodiment includes an electrode insertion rod (electrode mounting rod) 15. One end of the electrode insertion rod 15 is connected (fixed) to the end portion 12 (one side) of the power supply 10. The electrode insertion rod 15 is provided in the axial direction of the inner periphery of the power supply 10, that is, on the central axis. In this case, the electrode insertion rod 15 may be attached to, for example, a nut used for the end 12 of the power supply 10. On the other hand, the other end of the electrode insertion rod 15 is connected to the power source 7 via the bushing 6. For example, a fuse or the like can be used as the electrode insertion rod 15.

上記したように本実施形態においては、一端が給電子１０の一方の端部に接続され、他端が電極７に接続された電極挿入棒１５を備える構成により、当該電極挿入棒１５で給電子１０を高圧電極２（金属膜４）の内部に挿入することが可能となる。これにより、本実施形態においては、給電子１０の挿入作業を容易に行うことができる。   As described above, in the present embodiment, the electrode insertion rod 15 is used for supplying electricity by using the configuration including the electrode insertion rod 15 having one end connected to one end of the electron supply 10 and the other end connected to the electrode 7. 10 can be inserted into the high voltage electrode 2 (metal film 4). Thereby, in this embodiment, the insertion operation | work of the feeder 10 can be performed easily.

以上説明した各実施形態によれば、金属膜４と給電子１０とを均一に接触させることが可能なオゾン発生装置を提供することができる。   According to each embodiment described above, the ozone generator which can make the metal film 4 and the electric power supply 10 contact uniformly can be provided.

なお、本願発明は、上記各実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組合せにより種々の発明を形成できる。例えば、各実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組合せてもよい。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments as they are, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the scope of the invention in the implementation stage. Further, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the above embodiments. For example, some components may be deleted from all the components shown in each embodiment. Furthermore, constituent elements over different embodiments may be appropriately combined.

１…気密容器、２…高圧電極、３…金属電極（接地電極）、４…金属膜、６…ブッシング、７…電源、８…スペーサ、１０…給電子、１１…接触部、１２…端部、１３…スリット部、１４…不織布、１５…電極挿入棒。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Airtight container, 2 ... High voltage electrode, 3 ... Metal electrode (ground electrode), 4 ... Metal film, 6 ... Bushing, 7 ... Power supply, 8 ... Spacer, 10 ... Electron supply, 11 ... Contact part, 12 ... End part , 13 ... slit part, 14 ... non-woven fabric, 15 ... electrode insertion rod.

Claims (6)

誘電体からなる筒状の高圧電極と、
前記高圧電極の内面に形成された金属膜と、
電源に接続され、前記金属膜に外周面が接触するように設けられた提灯型形状の給電子と、
前記高圧電極の外側に放電ギャップを介して設けられた接地電極と
を具備することを特徴とするオゾン発生装置。 A cylindrical high-voltage electrode made of a dielectric;
A metal film formed on the inner surface of the high-voltage electrode;
A lantern-shaped power supply connected to a power source and provided so that the outer peripheral surface is in contact with the metal film;
An ozone generator comprising: a ground electrode provided outside the high-voltage electrode via a discharge gap. 前記給電子に弾性体金属を用いることを特徴とする請求項１記載のオゾン発生装置。   The ozone generator according to claim 1, wherein an elastic metal is used for the electron supply. 前記給電子は、当該給電子の外周面にスリット部を有することを特徴とする請求項１または２記載のオゾン発生装置。   The ozone generator according to claim 1, wherein the electron supply has a slit portion on an outer peripheral surface of the electron supply. 前記給電子の外径は、前記金属膜の内径よりも大きいことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のオゾン発生装置。   The ozone generator according to any one of claims 1 to 3, wherein an outer diameter of the electron supply is larger than an inner diameter of the metal film. 前記金属膜と前記給電子との間に挟装された金属製の不織布を更に具備することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のオゾン発生装置。   The ozone generator according to any one of claims 1 to 4, further comprising a metal nonwoven fabric sandwiched between the metal film and the power supply. 一端が前記給電子の少なくとも一方の端部に接続され、他端が前記電極に接続された電極挿入棒を更に具備することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のオゾン発生装置。   The ozone according to any one of claims 1 to 5, further comprising an electrode insertion rod having one end connected to at least one end of the power supply and the other end connected to the electrode. Generator.
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