JPWO2017175665A1 - 有機薄膜トランジスタ素子、有機半導体膜形成用組成物、有機半導体膜の製造方法及び有機半導体膜 - Google Patents
有機薄膜トランジスタ素子、有機半導体膜形成用組成物、有機半導体膜の製造方法及び有機半導体膜 Download PDFInfo
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 200
- 239000010408 film Substances 0.000 title claims abstract description 60
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 50
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 82
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 32
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 31
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 27
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 26
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 25
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 25
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 82
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims description 48
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 45
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 40
- 125000006615 aromatic heterocyclic group Chemical group 0.000 claims description 33
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 claims description 28
- -1 CR A2 Chemical group 0.000 claims description 27
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 claims description 26
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 claims description 23
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 21
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 claims description 20
- 125000002029 aromatic hydrocarbon group Chemical group 0.000 claims description 19
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 claims description 19
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 18
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical group [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 125000002950 monocyclic group Chemical group 0.000 claims description 14
- 125000005575 polycyclic aromatic hydrocarbon group Chemical group 0.000 claims description 14
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 11
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 claims description 8
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 7
- 125000004450 alkenylene group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000004419 alkynylene group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000003367 polycyclic group Chemical group 0.000 claims description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 95
- 238000000034 method Methods 0.000 description 49
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 31
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 29
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 24
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 21
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical group OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 20
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 18
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 18
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 15
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 15
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 14
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 12
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 10
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 10
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 9
- PCLIMKBDDGJMGD-UHFFFAOYSA-N N-bromosuccinimide Chemical compound BrN1C(=O)CCC1=O PCLIMKBDDGJMGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 8
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 7
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 7
- PBKONEOXTCPAFI-UHFFFAOYSA-N 1,2,4-trichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=C(Cl)C(Cl)=C1 PBKONEOXTCPAFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical compound C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 6
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 6
- 125000006841 cyclic skeleton Chemical group 0.000 description 6
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 6
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 5
- 125000000304 alkynyl group Chemical group 0.000 description 5
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 5
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 5
- 125000005647 linker group Chemical group 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 5
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 5
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical group [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 4
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 description 4
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 125000005678 ethenylene group Chemical group [H]C([*:1])=C([H])[*:2] 0.000 description 4
- 125000003983 fluorenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3CC12)* 0.000 description 4
- 150000002391 heterocyclic compounds Chemical class 0.000 description 4
- 230000035772 mutation Effects 0.000 description 4
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- COIOYMYWGDAQPM-UHFFFAOYSA-N tris(2-methylphenyl)phosphane Chemical compound CC1=CC=CC=C1P(C=1C(=CC=CC=1)C)C1=CC=CC=C1C COIOYMYWGDAQPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CYPYTURSJDMMMP-WVCUSYJESA-N (1e,4e)-1,5-diphenylpenta-1,4-dien-3-one;palladium Chemical compound [Pd].[Pd].C=1C=CC=CC=1\C=C\C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1.C=1C=CC=CC=1\C=C\C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1.C=1C=CC=CC=1\C=C\C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 CYPYTURSJDMMMP-WVCUSYJESA-N 0.000 description 3
- SZUVGFMDDVSKSI-WIFOCOSTSA-N (1s,2s,3s,5r)-1-(carboxymethyl)-3,5-bis[(4-phenoxyphenyl)methyl-propylcarbamoyl]cyclopentane-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound O=C([C@@H]1[C@@H]([C@](CC(O)=O)([C@H](C(=O)N(CCC)CC=2C=CC(OC=3C=CC=CC=3)=CC=2)C1)C(O)=O)C(O)=O)N(CCC)CC(C=C1)=CC=C1OC1=CC=CC=C1 SZUVGFMDDVSKSI-WIFOCOSTSA-N 0.000 description 3
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 0 CC(C(*C1=*)C(*2)=C1I)C2=* Chemical compound CC(C(*C1=*)C(*2)=C1I)C2=* 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N Ethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=CC=C1 YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WREOTYWODABZMH-DTZQCDIJSA-N [[(2r,3s,4r,5r)-3,4-dihydroxy-5-[2-oxo-4-(2-phenylethoxyamino)pyrimidin-1-yl]oxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl] phosphono hydrogen phosphate Chemical compound O[C@@H]1[C@H](O)[C@@H](COP(O)(=O)OP(O)(=O)OP(O)(O)=O)O[C@H]1N(C=C\1)C(=O)NC/1=N\OCCC1=CC=CC=C1 WREOTYWODABZMH-DTZQCDIJSA-N 0.000 description 3
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 3
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 description 3
- JFDZBHWFFUWGJE-UHFFFAOYSA-N benzonitrile Chemical compound N#CC1=CC=CC=C1 JFDZBHWFFUWGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 3
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 3
- 229940126543 compound 14 Drugs 0.000 description 3
- 229940125758 compound 15 Drugs 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 3
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 3
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 3
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CXWXQJXEFPUFDZ-UHFFFAOYSA-N tetralin Chemical compound C1=CC=C2CCCCC2=C1 CXWXQJXEFPUFDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- QPFMBZIOSGYJDE-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2-tetrachloroethane Chemical compound ClC(Cl)C(Cl)Cl QPFMBZIOSGYJDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical compound FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RFFLAFLAYFXFSW-UHFFFAOYSA-N 1,2-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1Cl RFFLAFLAYFXFSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CHLICZRVGGXEOD-UHFFFAOYSA-N 1-Methoxy-4-methylbenzene Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1 CHLICZRVGGXEOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HDNRAPAFJLXKBV-UHFFFAOYSA-N 1-ethyl-4-methoxybenzene Chemical compound CCC1=CC=C(OC)C=C1 HDNRAPAFJLXKBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QPUYECUOLPXSFR-UHFFFAOYSA-N 1-methylnaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(C)=CC=CC2=C1 QPUYECUOLPXSFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N N-Pentanol Chemical compound CCCCCO AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JRNVZBWKYDBUCA-UHFFFAOYSA-N N-chlorosuccinimide Chemical compound ClN1C(=O)CCC1=O JRNVZBWKYDBUCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PWATWSYOIIXYMA-UHFFFAOYSA-N Pentylbenzene Chemical compound CCCCCC1=CC=CC=C1 PWATWSYOIIXYMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001665 Poly-4-vinylphenol Polymers 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N Quinoline Chemical compound N1=CC=CC2=CC=CC=C21 SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GCTFWCDSFPMHHS-UHFFFAOYSA-M Tributyltin chloride Chemical compound CCCC[Sn](Cl)(CCCC)CCCC GCTFWCDSFPMHHS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N anisole Chemical compound COC1=CC=CC=C1 RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005577 anthracene group Chemical group 0.000 description 2
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 2
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 125000005578 chrysene group Chemical group 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000012043 crude product Substances 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NNBZCPXTIHJBJL-UHFFFAOYSA-N decalin Chemical compound C1CCCC2CCCCC21 NNBZCPXTIHJBJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N decane Chemical compound CCCCCCCCCC DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 2
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 150000008282 halocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 125000005549 heteroarylene group Chemical group 0.000 description 2
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 2
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- LQNUZADURLCDLV-UHFFFAOYSA-N nitrobenzene Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC=CC=C1 LQNUZADURLCDLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N phenanthrene Chemical group C1=CC=C2C3=CC=CC=C3C=CC2=C1 YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N potassium nitrate Chemical compound [K+].[O-][N+]([O-])=O FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 2
- 125000005581 pyrene group Chemical group 0.000 description 2
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 238000010898 silica gel chromatography Methods 0.000 description 2
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 2
- LWIHDJKSTIGBAC-UHFFFAOYSA-K tripotassium phosphate Chemical compound [K+].[K+].[K+].[O-]P([O-])([O-])=O LWIHDJKSTIGBAC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- NHDIQVFFNDKAQU-UHFFFAOYSA-N tripropan-2-yl borate Chemical compound CC(C)OB(OC(C)C)OC(C)C NHDIQVFFNDKAQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- UGOMMVLRQDMAQQ-UHFFFAOYSA-N xphos Chemical group CC(C)C1=CC(C(C)C)=CC(C(C)C)=C1C1=CC=CC=C1P(C1CCCCC1)C1CCCCC1 UGOMMVLRQDMAQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 1,1-Dichloroethane Chemical compound CC(Cl)Cl SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YIUHGBNJJRTMIE-UHFFFAOYSA-N 1,4-dithiophen-2-yl-2,5-dihydropyrrolo[3,4-c]pyrrole-3,6-dione Chemical compound C=12C(=O)NC(C=3SC=CC=3)=C2C(=O)NC=1C1=CC=CS1 YIUHGBNJJRTMIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSIGJGFTADMDOB-UHFFFAOYSA-N 1-Methoxy-3-methylbenzene Chemical compound COC1=CC=CC(C)=C1 OSIGJGFTADMDOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane Chemical compound CCCCOCCCC DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZMXIYERNXPIYFR-UHFFFAOYSA-N 1-ethylnaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(CC)=CC=CC2=C1 ZMXIYERNXPIYFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CWLKTJOTWITYSI-UHFFFAOYSA-N 1-fluoronaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(F)=CC=CC2=C1 CWLKTJOTWITYSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLMBNEVGYRXFNA-UHFFFAOYSA-N 1-methoxy-2,3-dimethylbenzene Chemical compound COC1=CC=CC(C)=C1C BLMBNEVGYRXFNA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JTPZTKBRUCILQD-UHFFFAOYSA-N 1-methylimidazolidin-2-one Chemical compound CN1CCNC1=O JTPZTKBRUCILQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATRJNSFQBYKFSM-UHFFFAOYSA-N 2,3-dibromothiophene Chemical compound BrC=1C=CSC=1Br ATRJNSFQBYKFSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WAQFYSJKIRRXLP-UHFFFAOYSA-N 2,4-dibromothiophene Chemical compound BrC1=CSC(Br)=C1 WAQFYSJKIRRXLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KBVDUUXRXJTAJC-UHFFFAOYSA-N 2,5-dibromothiophene Chemical compound BrC1=CC=C(Br)S1 KBVDUUXRXJTAJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FGYBDASKYMSNCX-UHFFFAOYSA-N 2,5-dichlorothiophene Chemical compound ClC1=CC=C(Cl)S1 FGYBDASKYMSNCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YWIGIVGUASXDPK-UHFFFAOYSA-N 2,7-dioctyl-[1]benzothiolo[3,2-b][1]benzothiole Chemical compound C12=CC=C(CCCCCCCC)C=C2SC2=C1SC1=CC(CCCCCCCC)=CC=C21 YWIGIVGUASXDPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSFNQBFZFXUTBN-UHFFFAOYSA-N 2-chlorothiophene Chemical compound ClC1=CC=CS1 GSFNQBFZFXUTBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOYWLLHHWAMFCB-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexyl acetate Chemical compound CCCCC(CC)COC(C)=O WOYWLLHHWAMFCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DTFKRVXLBCAIOZ-UHFFFAOYSA-N 2-methylanisole Chemical compound COC1=CC=CC=C1C DTFKRVXLBCAIOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGKLVWTVCUDISO-UHFFFAOYSA-N 3,4-dibromothiophene Chemical compound BrC1=CSC=C1Br VGKLVWTVCUDISO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YNZQOVYRCBAMEU-UHFFFAOYSA-N 3,4-dichloro-1,2,5-thiadiazole Chemical compound ClC1=NSN=C1Cl YNZQOVYRCBAMEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVFXSOFIEKYPOE-UHFFFAOYSA-N 3,4-dichlorothiophene Chemical compound ClC1=CSC=C1Cl QVFXSOFIEKYPOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NZWIYPLSXWYKLH-UHFFFAOYSA-N 3-(bromomethyl)heptane Chemical compound CCCCC(CC)CBr NZWIYPLSXWYKLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XCMISAPCWHTVNG-UHFFFAOYSA-N 3-bromothiophene Chemical compound BrC=1C=CSC=1 XCMISAPCWHTVNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KPOCSQCZXMATFR-UHFFFAOYSA-N 3-butylthiophene Chemical compound CCCCC=1C=CSC=1 KPOCSQCZXMATFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QUBJDMPBDURTJT-UHFFFAOYSA-N 3-chlorothiophene Chemical compound ClC=1C=CSC=1 QUBJDMPBDURTJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940077398 4-methyl anisole Drugs 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M Bromide Chemical compound [Br-] CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N C60 fullerene Chemical compound C12=C3C(C4=C56)=C7C8=C5C5=C9C%10=C6C6=C4C1=C1C4=C6C6=C%10C%10=C9C9=C%11C5=C8C5=C8C7=C3C3=C7C2=C1C1=C2C4=C6C4=C%10C6=C9C9=C%11C5=C5C8=C3C3=C7C1=C1C2=C4C6=C2C9=C5C3=C12 XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BKJQGNMGUVZHFL-UHFFFAOYSA-N CCCC(C)(C(C)C)N Chemical compound CCCC(C)(C(C)C)N BKJQGNMGUVZHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical class S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N Dimethoxyethane Chemical compound COCCOC XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical class OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- YHBTXTFFTYXOFV-UHFFFAOYSA-N Liquid thiophthene Chemical compound C1=CSC2=C1C=CS2 YHBTXTFFTYXOFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- DWAQJAXMDSEUJJ-UHFFFAOYSA-M Sodium bisulfite Chemical compound [Na+].OS([O-])=O DWAQJAXMDSEUJJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000000944 Soxhlet extraction Methods 0.000 description 1
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006619 Stille reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006069 Suzuki reaction reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- APQHKWPGGHMYKJ-UHFFFAOYSA-N Tributyltin oxide Chemical compound CCCC[Sn](CCCC)(CCCC)O[Sn](CCCC)(CCCC)CCCC APQHKWPGGHMYKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YNVDMXDVYHYSEZ-UHFFFAOYSA-N [4-dodecyl-5-(3-dodecyl-5-trimethylstannylthiophen-2-yl)thiophen-2-yl]-trimethylstannane Chemical compound C1=C([Sn](C)(C)C)SC(C2=C(C=C(S2)[Sn](C)(C)C)CCCCCCCCCCCC)=C1CCCCCCCCCCCC YNVDMXDVYHYSEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HIVGXUNKSAJJDN-UHFFFAOYSA-N [Si].[P] Chemical compound [Si].[P] HIVGXUNKSAJJDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MXSJNBRAMXILSE-UHFFFAOYSA-N [Si].[P].[B] Chemical compound [Si].[P].[B] MXSJNBRAMXILSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IPBVNPXQWQGGJP-UHFFFAOYSA-N acetic acid phenyl ester Natural products CC(=O)OC1=CC=CC=C1 IPBVNPXQWQGGJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XFSBVAOIAHNAPC-WSORPINJSA-N acetylbenzoylaconine Chemical compound O([C@H]1[C@]2(O)C[C@H]3C45[C@@H]6[C@@H]([C@@]([C@H]31)(OC(C)=O)[C@@H](O)[C@@H]2OC)[C@H](OC)C4[C@]([C@@H](C[C@H]5OC)O)(COC)CN6CC)C(=O)C1=CC=CC=C1 XFSBVAOIAHNAPC-WSORPINJSA-N 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 1
- 125000004849 alkoxymethyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005370 alkoxysilyl group Chemical group 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940072049 amyl acetate Drugs 0.000 description 1
- PGMYKACGEOXYJE-UHFFFAOYSA-N anhydrous amyl acetate Natural products CCCCCOC(C)=O PGMYKACGEOXYJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008378 aryl ethers Chemical class 0.000 description 1
- YCOXTKKNXUZSKD-UHFFFAOYSA-N as-o-xylenol Natural products CC1=CC=C(O)C=C1C YCOXTKKNXUZSKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BNBQRQQYDMDJAH-UHFFFAOYSA-N benzodioxan Chemical compound C1=CC=C2OCCOC2=C1 BNBQRQQYDMDJAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KCXMKQUNVWSEMD-UHFFFAOYSA-N benzyl chloride Chemical compound ClCC1=CC=CC=C1 KCXMKQUNVWSEMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 1
- 125000002529 biphenylenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3C12)* 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 150000001642 boronic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000001649 bromium compounds Chemical class 0.000 description 1
- YFNONBGXNFCTMM-UHFFFAOYSA-N butoxybenzene Chemical compound CCCCOC1=CC=CC=C1 YFNONBGXNFCTMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FFSAXUULYPJSKH-UHFFFAOYSA-N butyrophenone Chemical compound CCCC(=O)C1=CC=CC=C1 FFSAXUULYPJSKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 229950005499 carbon tetrachloride Drugs 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 238000010538 cationic polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- KWTSZCJMWHGPOS-UHFFFAOYSA-M chloro(trimethyl)stannane Chemical compound C[Sn](C)(C)Cl KWTSZCJMWHGPOS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000008422 chlorobenzenes Chemical class 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229940114081 cinnamate Drugs 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000547 conjugated polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- 238000006880 cross-coupling reaction Methods 0.000 description 1
- HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N cyclohexanol Chemical compound OC1CCCCC1 HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- WMKGGPCROCCUDY-PHEQNACWSA-N dibenzylideneacetone Chemical group C=1C=CC=CC=1\C=C\C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 WMKGGPCROCCUDY-PHEQNACWSA-N 0.000 description 1
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- 125000005677 ethinylene group Chemical group [*:2]C#C[*:1] 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 1
- RMBPEFMHABBEKP-UHFFFAOYSA-N fluorene Chemical compound C1=CC=C2C3=C[CH]C=CC3=CC2=C1 RMBPEFMHABBEKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003472 fullerene Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000007756 gravure coating Methods 0.000 description 1
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-M heptanoate Chemical compound CCCCCCC([O-])=O MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M hexanoate Chemical compound CCCCCC([O-])=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N hydrogen iodide Chemical class I XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 125000004029 hydroxymethyl group Chemical group [H]OC([H])([H])* 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-M iodide Chemical compound [I-] XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N iodine Chemical compound II PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 1
- SNHMUERNLJLMHN-UHFFFAOYSA-N iodobenzene Chemical compound IC1=CC=CC=C1 SNHMUERNLJLMHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 150000008040 ionic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 235000014413 iron hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910000358 iron sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- BAUYGSIQEAFULO-UHFFFAOYSA-L iron(2+) sulfate (anhydrous) Chemical compound [Fe+2].[O-]S([O-])(=O)=O BAUYGSIQEAFULO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- NCNCGGDMXMBVIA-UHFFFAOYSA-L iron(ii) hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Fe+2] NCNCGGDMXMBVIA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L lithium carbonate Chemical compound [Li+].[Li+].[O-]C([O-])=O XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052808 lithium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N mesitylene Substances CC1=CC(C)=CC(C)=C1 AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001827 mesitylenyl group Chemical group [H]C1=C(C(*)=C(C([H])=C1C([H])([H])[H])C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N methoxybenzene Substances CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 125000004957 naphthylene group Chemical group 0.000 description 1
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002828 nitro derivatives Chemical class 0.000 description 1
- LYGJENNIWJXYER-UHFFFAOYSA-N nitromethane Chemical compound C[N+]([O-])=O LYGJENNIWJXYER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N o-biphenylenemethane Natural products C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 1
- 150000002921 oxetanes Chemical class 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L palladium(II) chloride Chemical compound Cl[Pd]Cl PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- YJVFFLUZDVXJQI-UHFFFAOYSA-L palladium(ii) acetate Chemical compound [Pd+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O YJVFFLUZDVXJQI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N pentacene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC5=CC=CC=C5C=C4C=C3C=C21 SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DLRJIFUOBPOJNS-UHFFFAOYSA-N phenetole Chemical compound CCOC1=CC=CC=C1 DLRJIFUOBPOJNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- WLJVXDMOQOGPHL-UHFFFAOYSA-M phenylacetate Chemical compound [O-]C(=O)CC1=CC=CC=C1 WLJVXDMOQOGPHL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940049953 phenylacetate Drugs 0.000 description 1
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000090 poly(aryl ether) Polymers 0.000 description 1
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920003050 poly-cycloolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 229920002577 polybenzoxazole Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920000015 polydiacetylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 1
- 229920000734 polysilsesquioxane polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 239000004323 potassium nitrate Substances 0.000 description 1
- 235000010333 potassium nitrate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000160 potassium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011009 potassium phosphates Nutrition 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZYNMJJNWXVKJJV-UHFFFAOYSA-N propan-2-yloxybenzene Chemical compound CC(C)OC1=CC=CC=C1 ZYNMJJNWXVKJJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRIOVPPHQSLHCZ-UHFFFAOYSA-N propiophenone Chemical compound CCC(=O)C1=CC=CC=C1 KRIOVPPHQSLHCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DSNYFFJTZPIKFZ-UHFFFAOYSA-N propoxybenzene Chemical compound CCCOC1=CC=CC=C1 DSNYFFJTZPIKFZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 1
- 229920005604 random copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 150000003384 small molecules Chemical class 0.000 description 1
- 235000010267 sodium hydrogen sulphite Nutrition 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 150000003460 sulfonic acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010345 tape casting Methods 0.000 description 1
- VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N tetrachloromethane Chemical compound ClC(Cl)(Cl)Cl VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M trans-cinnamate Chemical compound [O-]C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M 0.000 description 1
- WRECIMRULFAWHA-UHFFFAOYSA-N trimethyl borate Chemical compound COB(OC)OC WRECIMRULFAWHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WVLBCYQITXONBZ-UHFFFAOYSA-N trimethyl phosphate Chemical compound COP(=O)(OC)OC WVLBCYQITXONBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXXNTAGJWPJAGM-UHFFFAOYSA-N vertaline Natural products C1C2C=3C=C(OC)C(OC)=CC=3OC(C=C3)=CC=C3CCC(=O)OC1CC1N2CCCC1 PXXNTAGJWPJAGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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Abstract
Description
特許文献1には、超臨界状態の溶媒を用いて不純物を除去した有機半導体化合物を用いて形成した有機半導体層を有する有機薄膜トランジスタ素子が記載され、この有機薄膜トランジスタ素子はリーク電流が抑えられ、またオン/オフ比が向上したことが記載されている。
また、特許文献2には不純物量を100ppm以下としたπ共役系ポリマーからなる有機半導体化合物を用いて形成した有機半導体層を有する有機薄膜トランジスタ素子が記載されている。特許文献2には、この有機薄膜トランジスタ素子のリーク電流が有効に抑えられ、オン/オフ比が飛躍的に向上したことが記載されている。
また特許文献3には、合成したジケトピロールピロール(DPP)コポリマーのパラジウム含有量を低減する方法が記載され、パラジウム含有量を低減したDPPコポリマーを有機薄膜トランジスタ素子の有機半導体層に用いることにより、有機薄膜トランジスタ素子のキャリア移動度が向上したことが記載されている。
しかし、上記各特許文献をはじめ従来の有機半導体化合物は溶媒中への溶解性が十分とはいえず、この有機半導体化合物を溶解した溶液を用いて有機半導体層を形成した場合、製造安定性の要求に十分に対応することは困難であった。
本発明はこれらの知見に基づきさらに検討を重ね、完成されるに至ったものである。
〔1〕
有機半導体化合物を含有してなる有機半導体層を有する有機薄膜トランジスタ素子であって、上記有機半導体層中、Li、Na、P、K、Fe、Pd、Sn、B、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる1種又は2種以上の原子の含有量が300〜700ppmである、有機薄膜トランジスタ素子。
〔2〕
上記有機半導体化合物が下記式(1)で表される構造単位を有する有機半導体ポリマーである、〔1〕に記載の有機薄膜トランジスタ素子。
XAは酸素原子、硫黄原子、セレン原子又はNRXを示す。RXはアルキル基又は下記式(1−1)で表される基を示す。
YAは酸素原子又は硫黄原子を示す。
ZAはCRA2又は窒素原子を示す。
WAはC(RA2)2、NRA1、窒素原子、CRA2、酸素原子、硫黄原子又はセレン原子を示す。RA1は、アルキル基、下記式(1−1)で表される基又は単結合を示す。RA2は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又は単結合を示す。
*は上記式(1)のA中に組み込まれるための結合部位を示す。
Laは炭素数1〜20のアルキレン基を示す。
Arは芳香族複素環基又は炭素数6〜18の芳香族炭化水素基を示す。
Lbは炭素数1〜100のアルキル基を示す。
lは1〜5の整数である。
*は結合部位を示す。
〔3〕
上記式(1)中のDが下記式(D−1)で表される基である、〔2〕に記載の有機薄膜トランジスタ素子。
Xdは酸素原子、硫黄原子、セレン原子又はNRD1を示す。RD1は有機基を示す。
Zdは窒素原子又はCRD2を示す。RD2は水素原子又は有機基を示す。
Mは単結合であるか、又は、芳香族複素環基、芳香族炭化水素基、アルケニレン基、アルキニレン基もしくはこれらの基を2つ以上組み合わせてなる2価の基を示す。
p及びqは0〜4の整数を示す。
*は式(1)で表される構造単位中に組み込まれるための結合部位を示す。
〔4〕
上記式(1)で表される構造単位が、下記式(2)〜(4)のいずれかで表される構造単位である、〔2〕又は〔3〕に記載の有機薄膜トランジスタ素子。
XA、YA及びZAは、それぞれ、上記式(A−1)〜(A−9)において説明したXA、YA及びZAと同義である。
Xd、Zd、M、p及びqは、それぞれ、上記式(D−1)において説明したXd、Zd、M、p及びqと同義である。
〔5〕
上記式(1)で表される構造単位が、下記式(5)で表される構造単位である、〔2〕又は〔3〕に記載の有機薄膜トランジスタ素子。
RXは上記式(A−1)〜(A−9)において説明したRXと同義である。
Xd、M、p及びqは、それぞれ、上記式(D−1)において説明したXd、M、p及びqと同義である。
〔6〕
上記有機半導体層中、Na、P、Fe、Pd、Sn、B、Br及びIからなる群から選ばれる1種又は2種以上の原子の含有量が300〜700ppmである、〔1〕〜〔5〕のいずれか1つに記載の有機薄膜トランジスタ素子。
〔7〕
有機半導体化合物と、Li、Na、P、K、Fe、Pd、Sn、B、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる1種又は2種以上の原子とを含有し、
上記有機半導体化合物の含有量と、上記のLi、Na、P、K、Fe、Pd、Sn、B、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる1種又は2種以上の原子の含有量との合計に占める、上記のLi、Na、P、K、Fe、Pd、Sn、B、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる1種又は2種以上の原子の含有量の割合が300〜700ppmである、有機半導体膜形成用組成物。
〔8〕
上記有機半導体化合物が下記式(1)で表される構造単位を有する有機半導体ポリマーである、〔7〕に記載の有機半導体膜形成用組成物。
XAは酸素原子、硫黄原子、セレン原子又はNRXを示す。RXはアルキル基又は下記式(1−1)で表される基を示す。
YAは酸素原子又は硫黄原子を示す。
ZAはCRA2又は窒素原子を示す。
WAはC(RA2)2、NRA1、窒素原子、CRA2、酸素原子、硫黄原子又はセレン原子を示す。RA1は、アルキル基、下記式(1−1)で表される基又は単結合を示す。RA2は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又は単結合を示す。
*は上記式(1)のA中に組み込まれるための結合部位を示す。
Laは炭素数1〜20のアルキレン基を示す。
Arは芳香族複素環基又は炭素数6〜18の芳香族炭化水素基を示す。
Lbは炭素数1〜100のアルキル基を示す。
lは1〜5の整数である。
*は結合部位を示す。
〔9〕
溶媒を含有する、〔7〕又は〔8〕に記載の有機半導体膜形成用組成物。
〔10〕
〔7〕〜〔9〕のいずれか1つに記載の有機半導体膜形成用組成物を用いて成膜することを含む、有機半導体膜の製造方法。
〔11〕
有機半導体化合物と、Li、Na、P、K、Fe、Pd、Sn、B、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる少なくとも1種の原子とを含有し、膜中の、Li、Na、P、K、Fe、Pd、Sn、B、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる少なくとも1種の原子の含有量が300〜700ppmである、有機半導体膜。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」とは、アクリレートとメタクリレートの一方または両方の意味で用いられる。また、「(メタ)アクリル酸」は、アクリル酸とメタクリル酸の一方または両方の意味で用いられる。
本明細書において、化合物の表示については、化合物そのもののほか、その塩、そのイオンを含む。また、目的とする効果を損なわない範囲で、構造の一部を変化させたものを含む。
また、置換又は無置換を明記していない化合物については、目的とする効果を損なわない範囲で、任意の置換基を有するものを含む。このことは、置換基及び連結基等(以下、置換基等という)についても同様である。
本明細書において、ポリマー中に同一の表示で表された複数の構造単位が存在する場合は、ポリマー中に存在する各構造単位は同一でも異なっていてもよい。
また、基の炭素原子数(炭素数ともいう。)が限定されている場合、この基の炭素原子数は、特段の断りがない限り、置換基を含めた全炭素原子数を意味する。
本発明において、基が非環状骨格及び環状骨格を形成しうる場合、特段の断りがない限り、この基は、非環状骨格の基と環状骨格の基を含む。例えば、アルキル基は、直鎖アルキル基、分岐アルキル基及び環状(シクロ)アルキル基を含む。基が環状骨格を形成しうる場合、環状骨格を形成する基の原子数の下限は、この基について具体的に記載した原子数の下限にかかわらず、3以上であり、5以上が好ましい。
本明細書において「ppm」は質量基準である。
本発明の上記および他の特徴および利点は、適宜添付の図面を参照して、下記の記載からより明らかになるであろう。
本明細書において、上記の「Li、Na、P、K、Fe、Pd、Sn、B、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる1種又は2種以上の原子」は、有機半導体化合物の分子構造を構成している原子ではなく、有機半導体層中において有機半導体化合物とは別に存在する原子である。またこれらの原子は通常、イオン化された状態、あるいは錯体ないし化合物の状態で存在する。Li、Na、P、K、Fe、Pd、Sn、B、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる1種又は2種以上の原子の含有量は、後述する実施例に記載の方法により測定される。
本発明の効果をより高める観点から上記原子ATは、Na、P、Fe、Pd、Sn、B、Br及びIからなる群から選ばれる1種又は2種以上の原子であることが好ましい。
本発明の有機薄膜トランジスタ素子の好ましい実施形態について以下に説明する。
本発明の有機薄膜トランジスタ(有機TFTともいう)素子は、上述した本発明の有機半導体層を有し、更に、ソース電極と、ゲート絶縁層と、ドレイン電極と、ゲート電極と、を有することができる。
本発明の有機TFT素子は、基板上に、ゲート電極と、有機半導体層と、ゲート電極及び有機半導体層の間に設けられたゲート絶縁層と、有機半導体層に接して設けられ、有機半導体層を介して連結されたソース電極及びドレイン電極とを有する。この有機TFT素子においては、有機半導体層とゲート絶縁層が隣接して設けられる。
本発明の有機TFT素子は、上記各層を備えていればその構造については特に限定されない。例えば、ボトムコンタクト型(ボトムゲート−ボトムコンタクト型及びトップゲート−ボトムコンタクト型)、又は、トップコンタクト型(ボトムゲート−トップコンタクト型及びトップゲート−トップコンタクト型)などのいずれの構造を有していてもよい。本発明の有機TFT素子は、より好ましくは、ボトムゲート−ボトムコンタクト型又はボトムゲート−トップコンタクト型(これらを総称してボトムゲート型という。)である。
以下、本発明の有機TFT素子の一例について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の半導体素子の一例であるボトムゲート−ボトムコンタクト型の有機TFT素子100の断面模式図である。
有機TFT素子100は、図1に示されるように、基板(基材)10と、ゲート電極20と、ゲート絶縁膜30と、ソース電極40及びドレイン電極42と、有機半導体膜50と、封止層60とを、この順で、有する。
以下、基板(基材)、ゲート電極、ゲート絶縁層(膜)、ソース電極、ドレイン電極、有機半導体層(膜)及び封止層、並びに、それぞれの作製方法について詳述する。
基板は、後述するゲート電極、ソース電極及びドレイン電極等を支持する役割を果たす。
基板の種類は、特に制限されず、例えば、プラスチック基板、シリコン基板、ガラス基板又はセラミック基板等が挙げられる。中でも、汎用性、各デバイスへの適用性及びコストの観点から、シリコン基板、ガラス基板又はプラスチック基板であることが好ましい。
基板の厚みは、特に限定されないが、例えば、10mm以下であるのが好ましく、2mm以下であるのが更に好ましく、1.5mm以下であるのが特に好ましい。一方、0.01mm以上であるのが好ましく、0.05mm以上であるのが更に好ましい。
ゲート電極は、有機TFT素子のゲート電極として用いられている通常の電極を特に制限されることなく適用できる。
ゲート電極を形成する材料(電極材料)としては、特に限定されず、例えば、金、銀、アルミニウム、銅、クロム、ニッケル、コバルト、チタン、白金、マグネシウム、カルシウム、バリウム若しくはナトリウム等の金属、InO2、SnO2若しくはインジウム錫酸化物(ITO)等の導電性の酸化物、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアセチレン若しくはポリジアセチレン等の導電性高分子、シリコン、ゲルマニウム若しくはガリウム砒素等の半導体、又は、フラーレン、カーボンナノチューブ若しくはグラファイト等の炭素材料等が挙げられる。中でも、上記金属が好ましく、銀又はアルミニウムがより好ましい。
ゲート電極の厚みは、特に限定されないが、20〜200nmであることが好ましい。
ゲート電極は、シリコン基板のように上記基板として機能するものでもよく、この場合、上記基板はなくてもよい。
ゲート絶縁層は、ゲート電極と有機半導体層との間に設けられ、絶縁性を有する膜(層)であれば特に限定されず、単層であってもよいし、多層であってもよい。
ゲート絶縁層は、絶縁性の材料で形成されるのが好ましく、絶縁性の材料として、例えば、有機高分子などの有機材料、無機酸化物などの無機材料等が好ましく挙げられる。取り扱い性などの点から、基板にプラスチック基板やガラス基板を用いる場合には有機材料を用いることが好ましい。
有機高分子及び無機酸化物等は、絶縁性を有するものであれば特に限定されず、薄膜、例えば厚み1μm以下の薄膜を形成できるものが好ましい。
有機高分子及び無機酸化物は、ぞれぞれ、1種を用いても、2種以上を併用してもよい。また、ゲート絶縁層は、それぞれ後述する有機高分子と無機酸化物とを混合させたハイブリッド層としてもよい。
有機高分子は、アルコキシシリル基やビニル基、アクリロイルオキシ基、エポキシ基、メチロール基等の反応性置換基を有する化合物と併用することもできる。
また、特開2013−214649号公報の[0167]〜[0177]に記載の「数平均分子量(Mn)が140〜5,000であり、架橋性官能基を有し、フッ素原子を有さない化合物(G)」を用いるのも好ましく、これらの内容は好ましくは本願明細書に組み込まれる。
熱により酸を発生させる熱酸発生剤(触媒)として、例えば、特開2010−285518号公報の[0035]〜[0038]に記載の熱カチオン重合開始剤、特にオニウム塩等、特開2005−354012号公報の[0034]〜[0035]に記載の触媒、特にスルホン酸類及びスルホン酸アミン塩等を好ましく使用することができ、好ましくはこれらの内容は本願明細書に組み込まれる。
また、特開2005−354012号公報の[0032]〜[0033]に記載の架橋剤、特に二官能以上のエポキシ化合物、オキセタン化合物、特開2006−303465号公報の[0046]〜[0062]に記載の架橋剤、特に2個以上の架橋基を有し、この架橋基の少なくとも一つがメチロール基もしくはNH基であることを特徴とする化合物、及び、特開2012−163946号公報の[0137]〜[0145]に記載の、ヒドロキシメチル基又はアルコキシメチル基を分子内に2個以上有する化合物を用いるのも好ましく、これらの内容は好ましくは本願明細書に組み込まれる。
また、それぞれの金属酸化物に対応する前駆体、具体的には塩化物、臭化物等の金属ハロゲン化物や金属アルコキシド、金属水酸化物等を、アルコールや水中で塩酸、硫酸、硝酸等の酸や水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の塩基と反応させて加水分解することにより、形成してもよい。このような溶液系のプロセスを用いる場合、上記ウエットコーティング法を用いることができる。
本発明の有機TFT素子において、ソース電極は、配線を通じて外部から電荷が流入する電極である。また、ドレイン電極は、配線を通じて外部に電荷を送り出す電極である。
ソース電極及びドレイン電極を形成する材料は、上述したゲート電極を形成する電極材料と同じものを用いることができる。中でも、金属が好ましく、金または銀がより好ましい。また、金属と有機半導体の間に電荷注入層を設けることにより、ソースから有機半導体への電荷注入を促進し、移動度を向上させることが好ましい。
ソース電極及びドレイン電極の厚みは、特に限定されないが、それぞれ、1nm以上が好ましく、10nm以上が特に好ましい。また、500nm以下が好ましく、300nm以下が特に好ましい。
ソース電極とドレイン電極との間の間隔(ゲート長)は、適宜に決定できるが、例えば、200μm以下が好ましく、100μm以下が特に好ましい。また、ゲート幅は、適宜に決定できるが、例えば、5000μm以下が好ましく、1000μm以下が特に好ましい。
ソース電極及びドレイン電極を形成する方法は、特に限定されないが、例えば、ゲート電極とゲート絶縁膜とが形成された基板上に、電極材料を真空蒸着又はスパッタする方法、電極形成用組成物を塗布又は印刷する方法等が挙げられる。パターニングする場合、パターニングする方法は上述したゲート電極の方法と同じである。
本発明の有機TFT素子において、有機半導体層は上述した通り、原子ATを300〜700ppm(好ましくは320〜650ppm、より好ましくは340〜630ppm)含有する。かかる有機半導体層の形成方法に特に制限はなく、例えば、有機半導体化合物と原子ATとを含有し、且つ、この有機半導体化合物の含有量と原子ATの含有量との合計に占める原子ATの含有量の割合を300〜700ppm(好ましくは320〜650ppm、より好ましくは340〜630ppm)とした組成物を用いて形成することできる。より詳細には、有機半導体層を構成する有機半導体化合物中に、原子ATを300〜700ppm(好ましくは320〜650ppm、より好ましくは340〜630ppm)の濃度となるように含有させて組成物を調製し、あるいは、かかる原子ATを含有させた有機半導体化合物を有機溶媒中に溶解して組成物(塗布液)を調製し、これらの組成物を有機半導体層の下層となる層(通常はゲート絶縁層)に適用(塗布)し、必要により乾燥させて形成することができる。
また、有機半導体化合物の量と原子ATの量との合計に対し、原子ATの量の割合が300〜700ppm(好ましくは320〜650ppm、より好ましくは340〜630ppm)となるように、有機半導体化合物と原子ATとを有機溶媒中に溶解して塗布液を調製してもよい。
上記組成物(塗布液)中には、バインダー樹脂及び/又は絶縁性樹脂を含有させてもよく、本発明の効果をより高める観点からは、上記組成物(塗布液)中には有機半導体化合物以外のポリマー(バインダー樹脂、絶縁性樹脂等)を含有させないことが好ましい。
なお、本明細書において「有機半導体化合物中に、原子ATを300〜700ppmの濃度となるように含有させる」、あるいは「有機半導体化合物中、原子ATの含有量が300〜700ppmである」という場合、有機半導体化合物の量と、原子ATの量との合計に占める、原子ATの量の割合が300〜700ppmであることを意味する。
Li供給源としては、例えば、金属リチウム、ハロゲン化リチウム、炭酸リチウム等を用いることができる。また、Na供給源としては、例えば、金属ナトリウム、ハロゲン化ナトリウム、炭酸ナトリウム等を用いることができる。また、P供給源としては、例えば、トリ(o−トリル)ホスフィン、トリフェニルホスフィン、リン酸カリウム、2−ジシクロヘキシルホスフィノ−2’、4’、6’−トリイソプロピルビフェニル(Xphos)等を用いることができる。また、K供給源としては、ハロゲン化カリウム、炭酸カリウム、硝酸カリウム等を用いることができる。また、Fe供給源としては、酸化鉄、水酸化鉄、硫酸鉄等を用いることができる。また、Pd供給源としては、トリス(ジベンジリデンアセトン)ジパラジウム、酢酸パラジウム、塩化パラジウム等を用いることができる。また、Sn供給源としては、塩化トリメチルスズ、塩化トリブチルスズ、酸化トリブチルスズ等を用いることができる。また、B供給源としては、ホウ酸トリメチル、ホウ酸トリイソプロピル、各種ボロン酸化合物等を用いることができる。また、Cl供給源としては、クロロベンゼン、クロロホルム、N−クロロスクシンイミド、塩化リチウム等の塩を用いることができる。また、Br供給源としては、臭素、N−ブロモスクシンイミド、臭化塩等を用いることができる。また、I供給源としては、ヨウ素、ヨードベンゼン、ヨウ化塩等を用いることができる。なお、上記記載は本発明の一態様を示す例示に過ぎず、本発明において原子ATの供給源は上記に限定されるものではない。
これらの中でも、炭化水素化合物、ハロゲン化炭化水素化合物、複素環化合物、ハロゲン化複素環化合物およびエーテル化合物から選ばれる1種又は2種以上が好ましい。
また、上記塗布液中の上記有機溶媒の含有量は50〜99.8質量%が好ましく、70〜99.7質量%がより好ましく、80〜99.5質量%がより好ましく、90〜99.5質量%がさらに好ましく、95〜99.5質量%が特に好ましい。
上記塗布液中、有機溶媒と原子ATとを除いた残部に占める有機半導体化合物の割合は50質量%以上が好ましく、70質量%以上がより好ましく、80質量%以上がさらに好ましく、90質量%以上が特に好ましく、また95質量%以上であってもよく、97質量%以上であってもよい。
上記有機半導体層中には、有機半導体化合物ではないポリマー(バインダー樹脂、絶縁性樹脂等)が含まれないことが好ましい。
有機半導体層の層厚は、適用される有機TFT素子に応じて適宜に調整されるものであり、一義的に決定することができないが、例えば、10〜500nmが好ましく、20〜200nmがより好ましい。
本発明の有機半導体層には、有機TFT素子の有機半導体層の形成に用いることができる有機半導体化合物を特に制限なく用いることができる。上記有機半導体化合物は低分子化合物であっても高分子化合物であってもよい。
上記有機半導体化合物が低分子化合物である場合、縮合多環芳香族化合物を好適に用いることができる。かかる、縮合多環芳香族化合物として、例えば、特許第5480510号公報の段落[0055]〜[0077]に記載された化合物を用いることができる。
また、本発明の効果をより高める観点から、上記有機半導体化合物として下記式(1)で表される構造単位を有するポリマーを用いることがより好ましい。
以下、単環構造の芳香族複素環を「単環式芳香族複素環」とも称す。また、縮合多環構造の芳香族複素環を「縮合多環芳香族複素環」とも称す。
置換基DS1として採り得るアルキル基は、直鎖でも分岐を有してもよく、環状であってもよい。このアルキル基の炭素数は1〜30が好ましく、1〜20がより好ましい。このアルキル基は、アルキル基の炭素鎖中に−O−、−S−及び−NRD3−から選ばれる基が組み込まれていてもよく、アルキル基の結合部位側の末端に−O−、−S−及び−NRD3−が組み込まれていてもよい。RD3は後述するR1Sと同義であり、好ましい形態も同じである。
置換基DS1として採り得るアルケニル基又はアルキニル基は、直鎖でも分岐を有してもよい。このアルケニル基及びアルキニル基の炭素数は2〜30が好ましく、2〜20がより好ましい。
置換基DS1として採り得る芳香族炭化水素基の炭素数は6〜30が好ましい。
置換基DS1として採り得る芳香族複素環基は単環式芳香族複素環基であることが好ましく、5〜7員環の単環式芳香族複素環基であることがより好ましい。この芳香族複素環基は環構成ヘテロ原子としてO、N、S及びSeから選ばれるヘテロ原子を有することが好ましい。
置換基DS1として採り得るハロゲン原子はF、Cl、Br又はIであり、FまたはClがより好ましく、Fが特に好ましい。
置換基DS1として採り得る式(1−1)で表される基は下記構造の基である。
本発明において、アルキレン基が炭素鎖中に−O−を含むとは、アルキレン基の炭素−炭素結合の途中に−O−が導入されている態様、アルキレン基の一端又は両端に−O−が導入されている態様、並びに、アルキレン基の炭素−炭素結合の途中及びアルキレン基の一端又は両端に−O−が導入されている態様を意味する。アルキレン基に−S−又は−NR1S−を含む場合も同様の意味である。また、アルキレン基が−O−、−S−及び−NR1S−を含む場合、これらの数の合計は少なくとも1つであり、その上限は、特に限定されないが、例えば、5個である。
Laとして採りうるアルキレン基は、直鎖、分岐鎖及び環状のいずれであってもよいが、直鎖又は分岐鎖のアルキレン基であることが好ましい。このアルキレン基の炭素数は、キャリア移動度の観点から、1〜20であることが好ましく、1〜15であることがより好ましく、1〜10であることが更に好ましい。
Laとして採りうるアルキレン基が分岐鎖である場合には、分岐部分の炭素数については、Laを示すアルキレン基の炭素数に含むものとする。ただし、Laが−NR1S−を含み、かつ、このR1Sが炭素原子を含む場合には、R1Sの炭素数は、Laとして採りうるアルキレン基の炭素数に含めないものとする。
Arとして採りうる芳香族複素環基は、単環の基であっても、2環以上の縮環の基であってもよく、キャリア移動度の観点から単環であることが好ましい。単環の基である場合、その環員数は5〜7員が好ましい。また、芳香族複素環基に含まれる環構成ヘテロ原子としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子又はセレン原子であることが好ましく、硫黄原子であることがより好ましい。
Arとして採りうる炭素数6〜18の芳香族炭化水素基としては、特に限定されないが、例えば、ベンゼン環基、ナフタレン環基、又は、3環以上の環が縮合した芳香族炭化水素(例えばフルオレン環)から2以上の水素原子を取り除いた基が挙げられる。これらの中でも、キャリア移動度がより優れたものになるという観点から、ベンゼン環基、又は、ナフタレン環基であることが好ましく、ベンゼン環基であることが好ましい。
本発明において、アルキル基が炭素鎖中に−O−を含むとは、アルキル基の炭素−炭素結合の途中に−O−が導入されている態様、アルキル基の結合部位側の末端に−O−が導入されている態様、並びに、アルキル基の炭素−炭素結合の途中及びアルキル基の結合部位側の末端に−O−が導入されている態様を意味する。アルキル基に−S−又は−NR2S−を含む場合も同様の意味である。また、アルキル基が−O−、−S−及び−NR2S−を含む場合、これらの数は少なくとも1つであり、その上限は、特に限定されないが、例えば、5個である。
Lbとして採りうるアルキル基は、直鎖、分岐鎖及び環状のいずれであってもよいが、キャリア移動度の観点から、直鎖又は分岐鎖のアルキル基であることが好ましく、分岐鎖のアルキル基がより好ましい。また、このアルキル基は、置換基としてハロゲン原子(好ましくは、フッ素原子、塩素原子、臭素原子又はヨウ素原子、より好ましくはフッ素原子)を有するハロゲン化アルキル基であってもよい。
Lbとして採りうるアルキル基の炭素数は、1〜100であり、9〜100であることが好ましい。
また、式(1−1)で表される基がLbを複数個有する場合、キャリア移動度の観点から少なくとも1つのLbが、炭素数9〜100の上記アルキル基であることが好ましく、20〜100の上記アルキル基であることがより好ましく、20〜40の上記アルキル基であることが更に好ましい。
Lbとして採りうるアルキル基が分岐鎖である場合には、分岐部分の炭素数については、Lbとして採りうるアルキル基の炭素数に含むものとする。ただし、Lbが−NR2S−を含み、かつ、このR2Sが炭素原子を含む場合には、R2Sの炭素数は、Lbとして採りうるアルキル基の炭素数に含めないものとする。
式(1−1)において、*は結合部位を示す。
Dが縮合多環芳香族炭化水素環を有する基である場合、D中の縮合多環芳香族炭化水素環の数は1〜6が好ましく、1〜4がより好ましく、1又は2がさらに好ましく、1が特に好ましい。
Dは、さらに好ましくは上記縮合多環芳香族炭化水素環からなる基(すなわち縮合多環芳香族炭化水素基)である。
上記芳香族炭化水素基はさらに置換基を有した形態でもよく、かかる置換基(以下、「置換基DS2」という。)として例えば、アルキル基、ハロゲン原子、及び上記式(1−1)で表される基が挙げられる。置換基DS2として採り得るアルキル基、ハロゲン原子、及び上記式(1−1)で表される基の好ましい形態は、それぞれ、上記置換基DS1として採り得るアルキル基、ハロゲン原子、及び上記式(1−1)で表される基の好ましい態様と同じである。
RD1は有機基を示す。RD1は好ましくはアルキル基(このアルキル基は炭素鎖中に−O−、−S−、及び−NRD3−(RD3は上記R1Sと同義であり、好ましい形態も同じである)のうち少なくとも1つを含んでいてもよい。このアルキル基の炭素数は1〜30が好ましく、1〜20がより好ましい。)、アルキニル基(炭素数2〜30が好ましい。)、アルケニル基(炭素数2〜30が好ましい。)、芳香族炭化水素基(炭素数6〜30が好ましい。)、芳香族複素環基(5〜7員環が好ましい。環構成ヘテロ原子としては、O、N、S又はSeが好ましい。)、ハロゲン原子(F、Cl、Br又はIであり、F又はClがより好ましく、Fが特に好ましい。)、又は、上記式(1−1)で表される基であり、アルキル基、ハロゲン原子、または上記式(1−1)で表される基であることがより好ましく、上記式(1−1)で表される基であることが更に好ましい。
なお、上記式(D−1)において、括弧内の構造単位及び上記Mは、結合軸において回転可能に結合している。
Mとして採り得る芳香族炭化水素基としては、炭素数6〜20の芳香族炭化水素基が好ましい。かかる芳香族炭化水素基を構成する芳香族炭化水素環としては、ベンゼン環、ビフェニレン環、フルオレン環、ナフタレン環、その他の3環若しくは4環が縮合した芳香族炭化水素環がより好ましく、フルオレン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、クリセン環、若しくはピレン環が更に好ましい。
Mとして採り得る芳香族複素環基又は芳香族炭化水素基は、置換基を有した形態でもよく、かかる置換基としては、アルキル基(このアルキル基は炭素鎖中に−O−、−S−及び−NRD3−(RD3は上記R1Sと同義であり、好ましい形態も同じである)のうち少なくとも1つを含んでいてもよい。)、ハロゲン原子(F、Cl、Br又はIであり、FまたはClがさらに好ましく、Fが特に好ましい。)、上記式(1−1)で表される基が挙げられる。
Mとして採り得るアルケニレン基としては、炭素数2〜10のアルケニレン基が好ましく、炭素数2〜4のアルケニレン基がより好ましく、エテニレン基がさらに好ましい。
Mとして採り得るアルキニレン基としては、炭素数2〜10のアルキニレン基が好ましく、炭素数2〜4のアルキニレン基がより好ましく、エチニレン基がさらに好ましい。
ただし、p+qが0の場合には、Mは、環構成原子としてN、O、S及びSeから選ばれるヘテロ原子を少なくとも1つ有する単環式又は多環式の芳香族複素環を有するか、又は、縮合多環芳香族炭化水素環を有することが好ましい。
式(A−1)〜(A−9)中、XAは酸素原子、硫黄原子、セレン原子又はNRXを示し、硫黄原子又はNRXが好ましい。
RXは、アルキル基、又は、上記式(1−1)で表される基を示す。RXとして採りうる上記アルキル基は、後述するRA1として採りうるアルキル基と同義であり、好ましい範囲も同じである。
RA2は、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基(このアルキル基は炭素鎖中に−O−、−S−、および、−NRA3−のうち少なくとも1つを含んでいてもよい。)、又は、単結合を示す。RA2が単結合であるとは、すなわちRA2が他の構造との結合部位となっていることを意味する。
RA2は、水素原子又は単結合が好ましい。
RA2がハロゲン原子である場合、フッ素原子、塩素原子、臭素原子又はヨウ素原子であり、フッ素原子が好ましい。RA2が上記アルキル基である場合、炭素数2〜35のアルキル基が好ましく、炭素数8〜25のアルキル基がより好ましい。また、上記アルキル基は直鎖でも分岐鎖でもよい。RA3は、水素原子又は置換基を示す。RA3として採りうる置換基としては、特に限定されず、上記R1S及びR2Sにおける置換基と同義であり、好ましい範囲も同じである。
具体的には、上記式(A−3)及び(A−7)においては、ZAを含む環構造において、1つのZAがCRA2であり、かつそのRA2が単結合となる。この単結合を有するCRA2(炭素原子)が各式において*で示す結合部位となる。また、式(A−8)においては、8個のうち2つのZAがCRA2であり、かつそれらのRA2が単結合となる。これらの単結合を有するCRA2(炭素原子)が式(A−8)において*で示す結合部位となる。
RA1は、アルキル基(このアルキル基は炭素鎖中に−O−、−S−、および、−NRA3−のうち少なくとも1つを含んでいてもよい。)、上記式(1−1)で表される基、又は、単結合を示す。RA1としては、アルキル基又は上記式(1−1)で表される基が好ましい。
RA1として採りうるアルキル基は直鎖でも分岐鎖でもよい。このアルキル基の炭素数は、2〜35であることが好ましく、8〜25であることがより好ましい。
WAにおけるRA2及びRA3は、それぞれ、ZAにおけるRA2及びRA3と同義であり、好ましいものも同じである。
態様1:WAがCRA2であり、かつそのRA2が単結合である。
態様2:WAがNRA1であり、かつそのRA1が単結合である。
態様3:WAがC(RA2)2であり、かつそのRA2のうち一方が単結合であり、他方が水素原子、ハロゲン原子又は上記アルキル基である。
上記各態様において、上記単結合を有するCRA2(炭素原子)、NRA1(窒素原子)又はC(RA2)2(炭素原子)が式(A−4)における結合部位(式中、*で示す)となる。
XA、YA及びZAは、それぞれ、上記式(A−1)〜(A−9)において説明したXA、YA及びZAと同義である。
Xd、Zd、M、p及びqは、それぞれ、上記式(D−1)において説明したXd、Zd、M、p及びqと同義である。
Xd、M、p及びqは、それぞれ、上記式(D−1)において説明したXd、M、p及びqと同義である。
下記例示化合物中のm:nは、繰り返し単位のモル比を表す。
重合度nは、後述する重量平均分子量と、各繰り返し単位の質量とから概算できる。
上記式(1)で表される構造単位を有する有機半導体ポリマー中、上記式(1)で表される構造単位の含有量は、60質量%以上であることが好ましく、80質量%以上であることがより好ましく、90質量%以上であることが更に好ましい。上記式(1)で表される構造単位を有する有機半導体ポリマーは上記式(1)で表される構造単位からなるポリマーであることが好ましい。
本発明において、重量平均分子量及び数平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィ法(GPC(Gel Permeation Chromatography))法にて測定され、標準ポリスチレンで換算して求められる。具体的には、例えば、GPCは、HLC−8121GPC(東ソー社製)を用い、カラムとして、TSKgel GMHHR−H(20) HT(東ソー社製、7.8mmID×30cm)を2本用い、溶離液として1,2,4−トリクロロベンゼンを用いる。また、条件としては、試料濃度を0.02質量%、流速を1.0mL/min、サンプル注入量を300μL、測定温度を160℃とし、IR(infrared)検出器を用いて行う。また、検量線は、東ソー社製の「標準試料TSK standard,polystyrene」:「F−128」、「F−80」、「F−40」、「F−20」、「F−10」、「F−4」、「F−2」、「F−1」、「A−5000」、「A−2500」、「A−1000」、「A−500」の12サンプルを用いて、作製する。
本発明の有機TFT素子は、耐久性の観点から、最外層に封止層を備えるのが好ましい。封止層には、有機TFT素子に通常用いられる封止剤(封止層形成用組成物)を用いることができる。
封止層の膜厚は、特に限定されないが、0.2〜10μmであることが好ましい。
図2は、本発明の半導体素子の一例であるボトムゲート−トップコンタクト型の有機TFT素子200を表す断面模式図である。
有機TFT素子200は、図2に示されるように、基板10と、ゲート電極20と、ゲート絶縁層(膜)30と、有機半導体層(膜)50と、ソース電極40及びドレイン電極42と、封止層60とを、この順で、有する。
有機TFT素子200は、層構成(積層態様)が異なること以外は、有機TFT素子100と同じである。したがって、基板、ゲート電極、ゲート絶縁層、ソース電極、ドレイン電極、有機半導体層及び封止層については、上述の、ボトムゲート−ボトムコンタクト型有機TFT素子におけるものと同じであるので、その説明を省略する。
有機半導体化合物(ポリマー又は低分子化合物)中の原子ATの含有量は下記方法により決定した。
テフロン(登録商標)容器中に有機半導体化合物と硝酸を加え、マイクロウェーブオーブンで加熱することにより灰化し、その後硝酸に溶解し、この溶解液をサンプルとして、ICP−MS HP7700(アジレント社製)を用いて原子ATを定量した。
下記の有機半導体化合物(下記構成単位からなるポリマー1〜13及び低分子化合物14及び15)を合成した。
下記スキームに従い、ポリマー1を合成した。下記スキーム中、DMFはN,N−ジメチルホルムアミド、NBSはN−ブロモスクシンイミド、dbaはジベンジリデンアセトンを示す。
3、6−ジ(2−チエニル)−2、5−ジヒドロピロロ[3、4−c]ピロール−1、4−ジオン(4.0g、13.3mmol)、炭酸カリウム(5.5g、39.9mmol)、脱水N、N−ジメチルホルムアミド(200mL)を混合し、窒素雰囲気下、120℃で1時間撹拌した。反応液中に2−エチルヘキシルブロミド(7.7g、39.9mmol)を加え、さらに4時間撹拌した。反応液を室温まで冷却した後、セライトとシリカゲルで不溶物をろ別し、ろ液を減圧濃縮した。粗生成物をシリカゲルクロマトグラフィーで精製し、中間体1(5.6g、10.7mmol)を得た。
中間体1(5.6g、10.7mmol)、クロロホルム(200mL)を混合し、窒素雰囲気下、0℃に冷却した。反応液にN−ブロモスクシンイミド(4.2g、23.5mmol)を少量ずつ添加し、12時間加熱還流した。反応液を室温まで冷却し、飽和亜硫酸水素ナトリウム水溶液を加え、反応をクエンチさせた。クロロホルムで抽出し、減圧濃縮した後、粗生成物をシリカゲルクロマトグラフィー精製し、中間体2(6.2g、9.1mmol)を得た。
中間体2(200mg、293μmol)、3,3’−ジドデシル−5,5’−ビス(トリメチルスタンニル)−2,2’−ビチオフェン(242mg、293μmol)、トリ(o−トリル)ホスフィン(7.1mg、23μmol)、トリス(ジベンジリデンアセトン)ジパラジウム(5.4mg、6μmol)、脱水クロロベンゼン(30mL)を混合し、窒素雰囲気下、130℃で24時間撹拌した。反応液を室温まで冷却した後、メタノール(240mL)/濃塩酸(10mL)混合液に注ぎ、2時間撹拌した。析出物をろ過、メタノール洗浄した後、メタノール、アセトン、酢酸エチルで順次ソックスレー抽出し、可溶性の不純物を取り除いた。続いて、クロロホルムでソックスレー抽出し、得られた溶液を減圧濃縮した後、メタノールを添加し、析出した固形分をろ過、メタノール洗浄し80℃で12時間真空乾燥することでポリマー1を253mg得た(収率82%)。
ポリスチレン換算の数平均分子量は2.4×104であり、重量平均分子量は6.8×104であった。ポリマー1中の原子AT含有量は1090ppmであった。
このポリマーを特開2014−189721号公報の段落[0238]に記載の方法に準じて精製した。この精製後の有機半導体ポリマー1中、原子ATの含有量は10ppmであった。
上記合成例1において使用するモノマーを変更し、上記合成例1に準じて、有機半導体ポリマー2〜13を合成および精製した。得られた有機半導体ポリマー2〜13は、ポリマー6を除きいずれも原子ATの含有量が10〜50ppmの範囲内にあった。
低分子の有機半導体化合物14は2,7−Dioctyl[1]benzothieno[3,2−b][1]benzothiophene(Aldrich社製、製品番号747092)を購入し、さらに分取GPCで精製したものを用いた。上記精製後の有機半導体化合物14中、原子ATの含有量は20ppmであった。
低分子の有機半導体化合物15は6,13−Bis(triisopropylsilylethynyl)pentacene(Aldrich社製、製品番号716006)を購入し、これを昇華精製したものを用いた。上記精製後の有機半導体化合物15は、原子ATの含有量が20ppmであった。
上記各合成例で得られた有機半導体化合物について、クロロベンゼン中への溶解度(60℃で12時間加熱した後、室温(20℃)まで冷却した場合における溶解度、単位:mg/100g、以下同様。)を測定した(この溶解度を「溶解度X」という)。
また、クロロベンゼン中において、上記各合成例で得られた有機半導体化合物の含有量と、原子ATの含有量との合計に占める、原子ATの含有量の割合が下記表1の各有機半導体形成用組成物1〜21に示す割合(ppm)となるように、クロロベンゼン中に有機半導体化合物と原子ATを加え、原子ATをかかる割合で共存させた場合における、有機半導体化合物のクロロベンゼン中への溶解度を測定した(この溶解度を「溶解度Y」という)。
溶解度向上率(%)を下記式により算出し、下記評価基準に基づき評価した。
溶解度向上率(%)=100×(溶解度Y/溶解度X)
<溶解度向上率評価基準>
A:溶解度向上率が120%以上
B;溶解度向上率が110%以上120%未満
C:溶解度向上率が101%以上110%未満
D:溶解度向上率が100%以下
結果を下記表1の有機半導体膜形成用組成物1〜21のカラムに示す。
Na供給源:炭酸ナトリウム
P供給源:トリフェニルホスフィン
Fe供給源:酸化鉄
Pd供給源:トリス(ジベンジリデンアセトン)ジパラジウム
Sn供給源:塩化トリブチルスズ
B供給源:ホウ酸トリイソプロピル
Br供給源:臭素
I供給源:ヨウ素
図1に示す構造のボトムゲート−ボトムコンタクト型の有機薄膜トランジスタを作製した。
ガラス基板(イーグルXG:コーニング社製)上に、ゲート電極となるAlを蒸着した(厚み:50nm)。その上にゲート絶縁膜形成用組成物(ポリビニルフェノール/メラミン=1質量部/1質量部(w/w)のPGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液(固形分濃度:2質量%))をスピンコートし、150℃で60分間ベークして膜厚400nmのゲート絶縁膜を形成した。その上に銀インク(銀ナノコロイドH−1、三菱マテリアル(株)製)をインクジェット装置DMP−2831(富士フイルムダイマティクス社製)を用いてソース電極及びドレイン電極状(チャネル長40μm、チャネル幅100μm)に描画した。その後オーブンにて180℃、30分ベークを行い、焼結して、ソース電極及びドレイン電極を形成することでTFT特性評価用素子基板を得た。
窒素グローブボックス中で、TFT特性評価用素子基板の上に、上記の加熱後に室温(20℃以上)まで冷却した下記表1に示す有機半導体膜形成用組成物1〜21をスピンコート(200rpm、30秒間)した。その後、ホットプレート上で150℃、1時間乾燥することで有機半導体層を形成し、下記表1に示す実施例1〜15及び比較例1〜6のボトムゲート−ボトムコンタクト型の有機TFT素子を、それぞれ10個ずつ得た。下記表1中、実施例1、比較例1、実施例2、比較例2、比較例3、実施例3、実施例4、比較例4、実施例5、比較例5、実施例6、比較例6、実施例7〜15の有機TFT素子は、それぞれ順に、有機半導体膜形成用組成物1〜21を用いて作製した有機TFT素子に対応する。
作製した各有機TFT素子について、半導体特性評価装置B2900A(アジレントテクノロジーズ社製)を用い、大気下でキャリア移動度を測定した。
<キャリア移動度>
各有機TFT素子のソース電極−ドレイン電極間に−80Vの電圧を印加し、ゲート電圧を+80V〜−80Vの範囲で変化させ、ドレイン電流Idを表わす下記式を用いてキャリア移動度μを算出した。
Id=(w/2L)μCi(Vg−Vth)2
式中、Lはゲート長、wはゲート幅、Ciは絶縁層の単位面積当たりの容量、Vgはゲート電圧、Vthは閾値電圧を表す。
上記製造例で作製した各実施例及び各比較例における各10素子のキャリア移動度に基づき、下記式により変異係数(変動係数)を算出し、この変異係数をキャリア移動度のばらつきの指標とした。この値が小さいほど素子間の移動度ばらつきが小さく、製造安定性に優れる。
変異係数(%)=100×[10個の素子のキャリア移動度の標準偏差]/[10個の素子のキャリア移動度の平均値]
キャリア移動度のばらつきの評価基準を以下に示す。実用上、A又はBであることが好ましく、Aであることがより好ましい。
−キャリア移動度のばらつき評価基準−
A:変異係数が15%未満
B:変異係数が15%以上30%未満
C:変異係数が30%以上50%未満
D:変異係数が50%以上
また、有機半導体層中の原子ATの含有量を本発明で規定するよりも高めた場合には、この半導体層の形成に用いる有機半導体膜形成用組成物において、有機半導体化合物の溶媒に対する溶解性は向上する。しかし、得られる有機TFT素子のキャリア移動度のばらつきは大きかった(比較例3)。これは、有機半導体層中に過剰に存在する原子ATにより過大なリーク電流等を生じたことが一因と考えられる。
また、用いる有機半導体化合物が式(5)で表される構造単位を有するポリマーである場合に、キャリア移動度のばらつきがより効果的に抑えられ、製造安定性により優れることもわかった。
20 ゲート電極
30 ゲート絶縁層(膜)
40 ソース電極
42 ドレイン電極
50 有機半導体層(膜)
60 封止層
100、200 有機薄膜トランジスタ素子
Claims (11)
- 有機半導体化合物を含有してなる有機半導体層を有する有機薄膜トランジスタ素子であって、前記有機半導体層中、Li、Na、P、K、Fe、Pd、Sn、B、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる1種又は2種以上の原子の含有量が300〜700ppmである、有機薄膜トランジスタ素子。
- 前記有機半導体化合物が下記式(1)で表される構造単位を有する有機半導体ポリマーである、請求項1に記載の有機薄膜トランジスタ素子。
XAは酸素原子、硫黄原子、セレン原子又はNRXを示す。RXはアルキル基又は下記式(1−1)で表される基を示す。
YAは酸素原子又は硫黄原子を示す。
ZAはCRA2又は窒素原子を示す。
WAはC(RA2)2、NRA1、窒素原子、CRA2、酸素原子、硫黄原子又はセレン原子を示す。RA1は、アルキル基、下記式(1−1)で表される基又は単結合を示す。RA2は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又は単結合を示す。
*は上記式(1)のA中に組み込まれるための結合部位を示す。
式(1−1)中、
Laは炭素数1〜20のアルキレン基を示す。
Arは芳香族複素環基又は炭素数6〜18の芳香族炭化水素基を示す。
Lbは炭素数1〜100のアルキル基を示す。
lは1〜5の整数である。
*は結合部位を示す。 - 前記有機半導体層中、Na、P、Fe、Pd、Sn、B、Br及びIからなる群から選ばれる1種又は2種以上の原子の含有量が300〜700ppmである、請求項1〜5のいずれか1項に記載の有機薄膜トランジスタ素子。
- 有機半導体化合物と、Li、Na、P、K、Fe、Pd、Sn、B、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる1種又は2種以上の原子とを含有し、
前記有機半導体化合物の含有量と、前記のLi、Na、P、K、Fe、Pd、Sn、B、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる1種又は2種以上の原子の含有量との合計に占める、前記のLi、Na、P、K、Fe、Pd、Sn、B、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる1種又は2種以上の原子の含有量の割合が300〜700ppmである、有機半導体膜形成用組成物。 - 前記有機半導体化合物が下記式(1)で表される構造単位を有する有機半導体ポリマーである、請求項7に記載の有機半導体膜形成用組成物。
XAは酸素原子、硫黄原子、セレン原子又はNRXを示す。RXはアルキル基又は下記式(1−1)で表される基を示す。
YAは酸素原子又は硫黄原子を示す。
ZAはCRA2又は窒素原子を示す。
WAはC(RA2)2、NRA1、窒素原子、CRA2、酸素原子、硫黄原子又はセレン原子を示す。RA1は、アルキル基、下記式(1−1)で表される基又は単結合を示す。RA2は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又は単結合を示す。
*は上記式(1)のA中に組み込まれるための結合部位を示す。
式(1−1)中、
Laは炭素数1〜20のアルキレン基を示す。
Arは芳香族複素環基又は炭素数6〜18の芳香族炭化水素基を示す。
Lbは炭素数1〜100のアルキル基を示す。
lは1〜5の整数である。
*は結合部位を示す。 - 溶媒を含有する、請求項7又は8に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 請求項7〜9のいずれか1項に記載の有機半導体膜形成用組成物を用いて成膜することを含む、有機半導体膜の製造方法。
- 有機半導体化合物と、Li、Na、P、K、Fe、Pd、Sn、B、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる少なくとも1種の原子とを含有し、膜中の、Li、Na、P、K、Fe、Pd、Sn、B、Cl、Br及びIからなる群から選ばれる少なくとも1種の原子の含有量が300〜700ppmである、有機半導体膜。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016077035 | 2016-04-07 | ||
JP2016077035 | 2016-04-07 | ||
PCT/JP2017/013390 WO2017175665A1 (ja) | 2016-04-07 | 2017-03-30 | 有機薄膜トランジスタ素子、有機半導体膜形成用組成物、有機半導体膜の製造方法及び有機半導体膜 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017175665A1 true JPWO2017175665A1 (ja) | 2019-02-21 |
JP6666996B2 JP6666996B2 (ja) | 2020-03-18 |
Family
ID=60001248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018510570A Active JP6666996B2 (ja) | 2016-04-07 | 2017-03-30 | 有機薄膜トランジスタ素子、有機半導体膜形成用組成物、有機半導体膜の製造方法及び有機半導体膜 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20190036029A1 (ja) |
EP (1) | EP3442043A4 (ja) |
JP (1) | JP6666996B2 (ja) |
WO (1) | WO2017175665A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102372207B1 (ko) * | 2017-07-27 | 2022-03-07 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법 |
EP3745484B1 (en) * | 2018-01-23 | 2023-09-27 | FUJIFILM Corporation | Organic semiconductor element, organic semiconductor composition, organic semiconductor film, method for producing organic semiconductor film, and polymer used therefor |
CN110183452B (zh) * | 2019-05-16 | 2021-06-01 | 中山大学 | 一种全氟丁基取代化合物及其制备方法和应用 |
JP7266697B2 (ja) * | 2019-10-10 | 2023-04-28 | 富士フイルム株式会社 | 有機薄膜トランジスタ、ポリマー、組成物、有機半導体膜、化合物 |
JP7348960B2 (ja) * | 2019-12-27 | 2023-09-21 | 株式会社村田製作所 | フィルムコンデンサ、及び、フィルムコンデンサ用フィルム |
CN115109234B (zh) * | 2022-05-24 | 2024-03-22 | 武汉工程大学 | 一种联噻吩与噻吩基异靛青交替共轭聚合物、其制备方法和应用 |
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US20150218304A1 (en) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | Xerox Corporation | Processes for purifying diketopyrrolopyrrole copolymers |
WO2015133402A1 (ja) * | 2014-03-03 | 2015-09-11 | 富士フイルム株式会社 | 有機トランジスタ |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010049321A1 (en) * | 2008-10-31 | 2010-05-06 | Basf Se | Diketopyrrolopyrrole polymers for use in organic field effect transistors |
WO2011052579A1 (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-05 | 住友化学株式会社 | 有機光電変換素子及びその製造方法 |
WO2012050070A1 (ja) * | 2010-10-13 | 2012-04-19 | 住友化学株式会社 | 高分子化合物及びそれを用いた有機光電変換素子 |
US10693080B2 (en) * | 2013-11-21 | 2020-06-23 | Daicel Corporation | Solvent for producing organic transistor |
-
2017
- 2017-03-30 JP JP2018510570A patent/JP6666996B2/ja active Active
- 2017-03-30 WO PCT/JP2017/013390 patent/WO2017175665A1/ja active Application Filing
- 2017-03-30 EP EP17779044.1A patent/EP3442043A4/en not_active Withdrawn
-
2018
- 2018-10-04 US US16/152,191 patent/US20190036029A1/en not_active Abandoned
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3442043A1 (en) | 2019-02-13 |
US20190036029A1 (en) | 2019-01-31 |
JP6666996B2 (ja) | 2020-03-18 |
WO2017175665A1 (ja) | 2017-10-12 |
EP3442043A4 (en) | 2019-04-03 |
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---|---|---|---|
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|
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