JPWO2016020990A1 - 窒化物半導体テンプレート及び発光素子 - Google Patents
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Abstract
Description
(窒化物半導体テンプレートの構成)
図1A、図1Bは、第1の実施の形態に係る窒化物半導体テンプレートの垂直断面図である。
図3は、第1の実施の形態に係る半導体テンプレートを製造するためのHVPE装置の垂直断面図である。HVPE装置1は、AlN層12a、12b、及び窒化物半導体層13の原料ガスが生成される原料領域3aと、設置された基板11上にAlN層12a、12b、及び窒化物半導体層13が成長する成長領域3bを有する。
第2の実施の形態は、第1の実施の形態に係る窒化物半導体テンプレートを用いて形成される素子の一例としての、発光素子についての形態である。なお、窒化物半導体テンプレートの構成等、第1の実施の形態と同様の点については、説明を省略又は簡略化する。
図4A、図4Bは、第2の実施の形態に係る、発光素子用のエピタキシャルウエハの垂直断面図である。
図5A、図5Bは、第2の実施の形態に係る発光素子の垂直断面図である。
上記第1の実施の形態によれば、HVPE法により、HClガスの流量を制御しながらAlN層12a又は12bを形成することにより、その上に高品質の窒化物半導体層13を成長させ、高品質の窒化物半導体テンプレート10a、10b、10c、又は10dを得ることができる。
(窒化物半導体テンプレートの製造)
本実施例においては、基板11として、厚さが900μm、直径が100mm(4インチ)の、表面の平坦なサファイア基板を用いた。
上記の工程により得られた窒化物半導体テンプレート10aを表面検査装置により検査した。ここで、窒化物半導体テンプレート10aの幅1mmの外周部を除いたエリアを検査範囲とした。検査の結果、1μm以上の大きさのピットはゼロであった。また光学顕微鏡で表面を観察しても、ピットは確認されなかった。
次に、得られた窒化物半導体テンプレート10a上に、MOVPE法により、n型GaN層21、多重量子井戸層22、p型AlGaN層23、及びp型GaNコンタクト層24を成長させ、エピタキシャルウエハ20aを形成した。その後、成長炉の温度を室温付近に下げ、エピタキシャルウエハ20aをMOVPE装置から取出した。
得られた発光素子30aに20mAの電流を流して発光特性を評価したところ、発光ピーク波長は約450nmであり、順方向電圧は3.25V、発光出力は30mWを達成した。また、室温下で50mAの電流を1000時間流す通電試験により、発光素子30aの信頼性を評価したところ、相対出力は98%であり十分に高い信頼性を有していることが確認された。ここで、相対出力とは、1000時間通電後の発光出力を試験開始時の発光出力で除した値に100を乗じた値である。
(窒化物半導体テンプレートの製造)
本実施例では、窒化物半導体テンプレート10bを形成した。ここで、AlN層以外の層の形成条件は実施例1の窒化物半導体テンプレート10aと同じであるので、具体的な説明を省略する。
上記の工程により得られた窒化物半導体テンプレート10bの表面を、実施例1と同様の方法により検査した。検査の結果、1μm以上の大きさのピットはゼロであった。また光学顕微鏡で表面を観察しても、ピットは確認されなかった。
次に、得られた窒化物半導体テンプレート10bを用いて、実施例1と同様の工程により、発光素子30aを製造した。なお、窒化物半導体テンプレート10b上の結晶成長は、実施例1の窒化物半導体テンプレート10a上の結晶成長と同時に行った。
得られた発光素子30aに対して、実施例1と同様の発光特性の評価及び信頼性の評価を実施したところ、実施例1と同等の優れた結果が得られた。
(窒化物半導体テンプレートの製造)
本実施例では、実施例1の第2のAlN膜122の厚さを変えて窒化物半導体テンプレート10aを形成した。ここで、第2のAlN膜122の厚さ以外の条件は実施例1の窒化物半導体テンプレート10aと同じであるので、具体的な説明を省略する。
第2のAlN膜122の厚さが300nmである窒化物半導体テンプレート10aに対して、窒化物半導体層13の(1012)面のX線ロッキングカーブの半値幅を測定したところ、実施例1よりも15arcsecほど大きい半値幅が得られた。
次に、3種の窒化物半導体テンプレート10aを用いて、実施例1と同様の工程により、発光素子30aを製造した。
得られた発光素子30aに対して、実施例1と同様の発光特性の評価及び信頼性の評価を実施したところ、第2のAlN膜122の厚さが300nmである窒化物半導体テンプレート10aから形成された発光素子30a、及び第2のAlN膜122の厚さが500nmである窒化物半導体テンプレート10aから形成された発光素子30aについては、実施例1と同等の優れた結果が得られた。
(窒化物半導体テンプレートの製造)
本実施例では、実施例1の第2のAlN膜122の成長時にドーピングライン61から導入されるHClガスの流量を変えて、窒化物半導体テンプレート10aを形成した。ここで、第2のAlN膜122以外の層の形成条件、及び第2のAlN膜122の成長時に導入される、ドーピングライン61からのHClガス以外のガスの流量は実施例1と同じであるので、具体的な説明を省略する。
上記の工程により得られた7種の窒化物半導体テンプレート10aの窒化物半導体層13の(0004)面及び(1012)のX線ロッキングカーブの半値幅を測定した。
(窒化物半導体テンプレートの製造)
比較例として、図9に示される窒化物半導体テンプレート50を製造した。窒化物半導体テンプレート50のAlN層51は、実施例1のAlN層12aと同じ20nmである。ここで、AlN層以外の層の形成条件は実施例1の窒化物半導体テンプレート10aと同じであるので、具体的な説明を省略する。
上記の工程により得られた8種の窒化物半導体テンプレート50の表面を、実施例1と同様の方法により検査した。また、窒化物半導体層13の(0004)面のX線ロッキングカーブの半値幅を測定した。以下の表2、及び図10にそれらの評価結果を示す。図10は、第2のAlN膜122の成長時にドーピングライン61から導入されるHClガスの流量と、窒化物半導体層13の(0004)面のX線ロッキングカーブの半値幅との関係、及び窒化物半導体層13の表面のピット数との関係を表すグラフである。
次に、8種の窒化物半導体テンプレート50を用いて、実施例1と同様の工程により、発光素子を製造した。なお、窒化物半導体テンプレート50上の結晶成長は、実施例1の窒化物半導体テンプレート10a上の結晶成長と同時に行った。
得られた発光素子に対して、実施例1と同様の発光特性の評価及び信頼性の評価を実施したところ、いずれの発光素子についても、良好な結果は得られなかった。
11 基板
12a、12b AlN層
121 第1のAlN膜
122 第2のAlN膜
13、14 窒化物半導体層
30a、30b 発光素子
第2のAlN膜122の厚さが300nmである窒化物半導体テンプレート10aに対して、窒化物半導体層13の(10−12)面のX線ロッキングカーブの半値幅を測定したところ、実施例1よりも15arcsecほど大きい半値幅が得られた。
上記の工程により得られた7種の窒化物半導体テンプレート10aの窒化物半導体層13の(0004)面及び(10−12)面のX線ロッキングカーブの半値幅を測定した。
Claims (9)
- 基板と、
前記基板上に形成されたClを含むAlN層と、
前記AlN層上に形成された窒化物半導体層と、
を有し、
前記AlN層において、前記基板側の領域の前記Clの濃度が、前記窒化物半導体層側の領域の前記Clの濃度よりも高い、窒化物半導体テンプレート。 - 前記AlN層は、第1のAlN膜と、前記第1のAlN膜よりも前記Clの濃度が低い、前記第1のAlN膜上の第2のAlN膜を含む、
請求項1に記載の窒化物半導体テンプレート。 - 前記AlN層は、前記基板側から前記窒化物半導体層側に向かって前記Clの濃度が低下する層を含む、
請求項1に記載の窒化物半導体テンプレート。 - 前記窒化物半導体層の(0004)面のX線ロッキングカーブの半値幅が300arcsec以下であり、かつ、(1012)面のX線ロッキングカーブの半値幅が400arcsec以下である、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の窒化物半導体テンプレート。 - 前記AlN層の厚さが10nm以上、500nm以下である、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の窒化物半導体テンプレート。 - 前記基板がサファイア基板である、
請求項1〜5のいずれか1項に記載の窒化物半導体テンプレート。 - 前記基板が、表面に複数の凸部が形成されたPSS基板である、
請求項6に記載の窒化物半導体テンプレート。 - 前記窒化物半導体層がGaN層である、
請求項1〜7のいずれか1項に記載の窒化物半導体テンプレート。 - 請求項1〜8のいずれか1項に記載の窒化物半導体テンプレートと、
前記窒化物半導体テンプレート上に形成された発光層と、
を有する、発光素子。
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Families Citing this family (4)
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US11631785B2 (en) * | 2019-11-22 | 2023-04-18 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Group-III nitride laminated substrate and semiconductor light-emitting element |
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JP7245214B2 (ja) * | 2020-11-20 | 2023-03-23 | 日機装株式会社 | 窒化物半導体発光素子の製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002261014A (ja) * | 2001-11-28 | 2002-09-13 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体素子の製造方法 |
WO2008012877A1 (fr) * | 2006-07-26 | 2008-01-31 | Fujitsu Limited | DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEURS COMPOSÉ EMPLOYANT UN SUBSTRAT DE SiC ET PROCÉDÉ POUR PRODUIRE CELUI-CI |
JP2011103472A (ja) * | 2010-12-14 | 2011-05-26 | Showa Denko Kk | Iii族窒化物半導体積層構造体 |
JP2013014450A (ja) * | 2011-07-01 | 2013-01-24 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物半導体エピタキシャル基板及び窒化物半導体デバイス |
JP2014107333A (ja) * | 2012-11-26 | 2014-06-09 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物半導体テンプレート、窒化物半導体テンプレートの製造方法及び発光素子の製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US8980002B2 (en) | 2011-05-20 | 2015-03-17 | Applied Materials, Inc. | Methods for improved growth of group III nitride semiconductor compounds |
JP2013145867A (ja) * | 2011-12-15 | 2013-07-25 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物半導体テンプレート及び発光ダイオード |
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002261014A (ja) * | 2001-11-28 | 2002-09-13 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体素子の製造方法 |
WO2008012877A1 (fr) * | 2006-07-26 | 2008-01-31 | Fujitsu Limited | DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEURS COMPOSÉ EMPLOYANT UN SUBSTRAT DE SiC ET PROCÉDÉ POUR PRODUIRE CELUI-CI |
JP2011103472A (ja) * | 2010-12-14 | 2011-05-26 | Showa Denko Kk | Iii族窒化物半導体積層構造体 |
JP2013014450A (ja) * | 2011-07-01 | 2013-01-24 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物半導体エピタキシャル基板及び窒化物半導体デバイス |
JP2014107333A (ja) * | 2012-11-26 | 2014-06-09 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物半導体テンプレート、窒化物半導体テンプレートの製造方法及び発光素子の製造方法 |
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