JPWO2015156033A1 - Dry barrel polishing method and media manufacturing method - Google Patents

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Abstract

第一工程では、研磨用のメディア(40)の表面に潤滑性付与材料(44)をコーティングすることで、非湿潤のコーティング部(44C)を形成してメディア(40)の表面に潤滑性を付与する。第二工程では、メディア(40)と被加工物(W)とをバレル槽(12)内で混合させる。第三工程では、メディア(40)と被加工物(W)とをバレル槽(12)内で流動させることで被加工物(W)を研磨する。In the first step, the surface of the polishing medium (40) is coated with a lubricity-imparting material (44), thereby forming a non-wetting coating portion (44C) to provide lubricity to the surface of the medium (40). Give. In the second step, the media (40) and the workpiece (W) are mixed in the barrel tank (12). In the third step, the workpiece (W) is polished by flowing the media (40) and the workpiece (W) in the barrel tank (12).

Description

本発明の一側面及び実施形態は、乾式バレル研磨方法、及び当該方法に適用されるメディアの製造方法に関する。  One aspect and embodiments of the present invention relate to a dry barrel polishing method and a method of manufacturing a medium applied to the method.

バレル研磨装置の研磨槽内に、被加工物及びメディアを装入して混合流動化させることで、被加工物の表面をメディアによって研磨するバレル研磨方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。このようなバレル研磨方法には、研磨槽内に水を入れる湿式バレル研磨方法、及び、研磨槽内に水を入れない乾式バレル研磨方法がある。ここで、湿式バレル研磨方法は、被加工物の光沢仕上げ又は被加工物の平滑仕上げといった目的で広く用いられているものの、研磨後に廃水処理が必要となるという課題がある。このため、乾式バレル研磨方法が採用される場合がある。  A barrel polishing method is known in which a workpiece and a medium are charged into a polishing tank of a barrel polishing apparatus and mixed and fluidized to polish the surface of the workpiece with the medium (for example, Patent Document 1). reference). Such barrel polishing methods include a wet barrel polishing method in which water is put into a polishing tank and a dry barrel polishing method in which water is not put in the polishing tank. Here, although the wet barrel polishing method is widely used for the purpose of gloss finishing of a workpiece or smooth finishing of a workpiece, there is a problem that waste water treatment is required after polishing. For this reason, a dry barrel polishing method may be employed.

特公昭44−23873号公報Japanese Patent Publication No. 44-23873

しかしながら、乾式バレル研磨方法では、湿式バレル研磨方法と同等又はそれに近い仕上げ性能を確保するのが難しい。  However, in the dry barrel polishing method, it is difficult to ensure finishing performance equivalent to or close to that of the wet barrel polishing method.

本発明の一側面は、表面粗さ又は形状の調整等において、湿式バレル研磨方法と同等又はそれに近い仕上げ性能を確保することができる乾式バレル研磨方法、及び当該方法に適用されるメディアの製造方法を得ることが目的である。  One aspect of the present invention is a dry barrel polishing method capable of ensuring finishing performance equivalent to or close to a wet barrel polishing method in adjusting surface roughness or shape, and a method for producing a medium applied to the method Is the purpose.

本発明の一側面に係る乾式バレル研磨方法は、被加工物を乾式でバレル研磨する乾式バレル研磨方法であって、バレル研磨で用いられるメディアの表面に潤滑性付与材料をコーティングすることで、非湿潤のコーティング部を形成して前記メディアの表面に潤滑性を付与する第一工程と、前記メディアと被加工物とを研磨槽内で混合させる第二工程と、前記メディアと前記被加工物とを前記研磨槽内で流動させることで前記被加工物を研磨する第三工程と、を有する。  A dry barrel polishing method according to one aspect of the present invention is a dry barrel polishing method in which a workpiece is dry-barrel-polished, and a non-lubricating material is coated on the surface of a medium used in barrel-polishing. A first step of forming a wet coating portion to impart lubricity to the surface of the media; a second step of mixing the media and the workpiece in a polishing tank; and the media and the workpiece. And a third step of polishing the workpiece by causing the material to flow in the polishing tank.

上記構成によれば、潤滑性付与材料によってメディアの流動性(滑り性能)が向上しているので、メディアが被加工物の表面を必要以上に粗く研磨することが抑えられ、被加工物の表面は平滑な研磨面に加工される。ここでいう非湿潤とは、メディアの表面が油脂等によって湿潤していない状態をいう。なお、本発明の一側面は、前述の第一工程、第二工程及び第三工程をそれぞれ個別に行う場合と、少なくとも2つ以上の工程を同時に行う場合と、の双方を含む。  According to the above configuration, since the fluidity (sliding performance) of the media is improved by the lubricity-imparting material, it is possible to prevent the media from polishing the surface of the work piece more than necessary, and the surface of the work piece. Is processed into a smooth polished surface. The term “non-wetting” as used herein refers to a state in which the surface of the media is not wetted by oil or the like. Note that one aspect of the present invention includes both the case where the first step, the second step and the third step are individually performed, and the case where at least two steps are simultaneously performed.

一実施形態では、前記第三工程において前記研磨槽内に前記潤滑性付与材料を供給しながら前記メディアと前記被加工物とを流動させてもよい。  In one embodiment, the medium and the workpiece may be caused to flow while supplying the lubricity-imparting material into the polishing tank in the third step.

上記構成によれば、被加工物との衝突によってメディアから潤滑性付与材料が徐々に削り落とされても、メディアの表面は新たに供給された潤滑性付与材料によってコーティングされる。よって、被加工物の表面が必要以上に粗くなるのを抑制する効果が持続される。なお、被加工物にも潤滑性付与材料がコーティングされようとする。しかしながら、コーティングされる前又はコーティングされかけた被加工物の表面がメディアで研磨されることによって、被加工物の表面は徐々に研磨される。  According to the above configuration, even if the lubricity-imparting material is gradually scraped off from the medium due to the collision with the workpiece, the surface of the media is coated with the newly-provided lubricity-imparting material. Therefore, the effect of suppressing the surface of the workpiece from becoming unnecessarily rough is maintained. It should be noted that the workpiece is also coated with the lubricity-imparting material. However, the surface of the work piece is gradually polished by polishing the surface of the work piece before or after being coated with media.

一実施形態では、前記潤滑性付与材料は、脂肪酸又はその塩を含んでもよい。  In one embodiment, the lubricity-imparting material may include a fatty acid or a salt thereof.

上記構成によれば、潤滑性付与材料が脂肪酸又はその塩を含んでいるので、低コストとすることができると共にメディアの表面に潤滑性を付与することができる。特に、脂肪酸又はその塩が脂肪酸ナトリウムを含む場合には、低コストで良好な潤滑性を付与することができる。また、脂肪酸ナトリウムを潤滑性付与材料の主成分とする場合には、被加工物に油脂が殆ど付着しないので、洗浄工程を不要化又は簡略化することができる。  According to the said structure, since the lubricity provision material contains the fatty acid or its salt, it can be made low-cost and lubricity can be provided to the surface of a medium. In particular, when the fatty acid or its salt contains sodium fatty acid, good lubricity can be imparted at low cost. Further, when fatty acid sodium is used as the main component of the lubricity-imparting material, the oil and fat hardly adhere to the workpiece, so that the cleaning process can be made unnecessary or simplified.

一実施形態では、前記メディアは、無機質のメディアであって、表面に前記潤滑性付与材料を入り込ませて保持する保持部を備えていてもよい。  In one embodiment, the medium may be an inorganic medium, and may include a holding unit that holds the lubricity-imparting material on the surface.

無機質のメディア(焼成メディア、焼結メディア)は、有機質のメディア(樹脂メディア)に比べて安価である。しかし、無機質のメディアは、有機質のメディアより潤滑性が低いので、被加工物に対する衝撃力が強い。その結果として、湿式バレル研磨の場合と同等の研磨精度を得ることができない。ここで、上記構成によれば、メディアは、表面に潤滑性付与材料を入り込ませて保持する保持部を備えているので、潤滑性付与材料のメディアに対する付着力が強くなる。このため、保持部がない場合に比べて、被加工物の表面が必要以上に粗くなるのを抑制する効果をより長く持続することができる。  Inorganic media (fired media, sintered media) are less expensive than organic media (resin media). However, since inorganic media have lower lubricity than organic media, the impact force on the workpiece is strong. As a result, it is not possible to obtain the same polishing accuracy as in the case of wet barrel polishing. Here, according to the above configuration, since the medium includes the holding portion that holds the lubricity-imparting material on the surface, the adhesion force of the lubricity-imparting material to the medium becomes strong. For this reason, compared with the case where there is no holding | maintenance part, the effect which suppresses that the surface of a to-be-processed surface becomes rough more than necessary can be maintained for a long time.

一実施形態では、前記メディアが多孔質体とされることで前記保持部が形成されていてもよい。  In one embodiment, the holding part may be formed by forming the medium into a porous body.

上記構成のように、メディアを多孔質にするとメディアの比重が低くなるので、被加工物に対するメディアの衝撃力が低減される。その結果、被加工物の表面が必要以上に粗くなるのを抑制することができる。よって、潤滑性付与材料による効果と多孔質による効果との相乗効果により、湿式バレル研磨方法と同等又はそれに近い仕上げ性能を確保することができる。なお、前述の多孔質のメディアにおける気泡の形態は、独立気泡構造又は連続気泡構造のどちらであってもよい。  When the medium is made porous as in the above-described configuration, the specific gravity of the medium is reduced, so that the impact force of the medium on the workpiece is reduced. As a result, the surface of the workpiece can be prevented from becoming unnecessarily rough. Therefore, the finishing performance equivalent to or close to that of the wet barrel polishing method can be ensured by the synergistic effect of the effect of the lubricity imparting material and the effect of the porosity. Note that the form of bubbles in the porous medium described above may be either a closed cell structure or an open cell structure.

一実施形態では、前記メディアは、60〜80質量%の酸化アルミニウム(Al)と、10〜30質量%の二酸化珪素(SiO)と、4〜8質量%の酸化ジルコニウム(ZrO)と、1〜3質量%の酸化カルシウム(CaO)と、1〜4質量%の酸化マグネシウム(MgO)と、を少なくとも含む焼結体であってもよい。In one embodiment, the media is 60 to 80 mass% of aluminum oxide (Al 2 O 3), and 10 to 30 mass% of silicon dioxide (SiO 2), 4 to 8 wt% of zirconium oxide (ZrO 2 ), 1 to 3% by mass of calcium oxide (CaO), and 1 to 4% by mass of magnesium oxide (MgO).

多孔質のメディアは、バレル研磨中に細孔を基点としてクラックが発生する等、多孔質でないメディアと比べて強度が低下する。上記構成では、1〜4質量%の酸化マグネシウムが含まれることで、メディア全体としての強度の必要以上の低下を防ぐことができる。また、この構成のメディアは、焼結メディアであるので焼成メディアに比べて寿命が長い。  The strength of the porous media is lower than that of media that are not porous, such as cracks generated from the pores during barrel polishing. In the said structure, 1-4 mass% magnesium oxide is contained, and the fall of the intensity | strength as the whole medium more than necessary can be prevented. Further, since the media having this configuration is a sintered media, it has a longer life than the fired media.

本発明の他の側面に係る乾式バレル研磨方法に用いるメディアの製造方法は、前記メディアを製造するための方法であって、砥粒とバインダと酸化マグネシウムと消失材料粉末とを混練する混練工程と、前記混練工程で混練された混練物を所定の形状に成形する成形工程と、前記成形工程で成形された成形体を焼結して焼結体にすると共に、前記消失材料粉末を消失させて前記焼結体の表面に前記保持部を形成する焼結工程と、を含む。また、前記消失材料粉末の添加量は、前記砥粒、前記バインダ、前記酸化マグネシウム及び前記消失材料粉末の合計を100質量%とした場合に1〜40質量%の量である。  A method for producing a medium used in a dry barrel polishing method according to another aspect of the present invention is a method for producing the medium, and a kneading step of kneading abrasive grains, a binder, magnesium oxide, and a disappearing material powder. A molding step of molding the kneaded material kneaded in the kneading step into a predetermined shape, and sintering the molded body molded in the molding step to form a sintered body, while eliminating the disappearing material powder And a sintering step of forming the holding portion on the surface of the sintered body. Moreover, the addition amount of the said disappearance material powder is the quantity of 1-40 mass% when the sum total of the said abrasive grain, the said binder, the said magnesium oxide, and the said disappearance material powder is 100 mass%.

上記構成によってメディア全体を多孔質とすることで、細孔によって表面に保持部が形成された焼結体のメディアを得ることができる。なお、混練工程では、必要に応じて水を添加してもよい。  By making the entire medium porous with the above configuration, a sintered medium having a holding portion formed on the surface by pores can be obtained. In the kneading step, water may be added as necessary.

一実施形態では、前記消失材料粉末は水酸化アルミニウムの粉末であってもよい。  In one embodiment, the vanishing material powder may be aluminum hydroxide powder.

上記構成によれば、水酸化アルミニウムは焼結工程で脱水分解する。その結果、水酸化アルミニウムは、酸化アルミニウムに変化し固形分として体積が減少すると共に、水酸基は水蒸気となって発散する。水酸化アルミニウム粉末は成形体に分散されているので、前述の焼結工程で多孔質体が形成される。  According to the above configuration, the aluminum hydroxide is dehydrated and decomposed in the sintering process. As a result, the aluminum hydroxide is changed to aluminum oxide and its volume is reduced as a solid content, and the hydroxyl group is emitted as water vapor. Since the aluminum hydroxide powder is dispersed in the molded body, a porous body is formed in the above-described sintering step.

一実施形態において、前記混練工程では、前記砥粒、前記バインダ、前記酸化マグネシウム及び前記消失材料粉末からなる混合材料に、酸化マンガン(MnO)及び酸化鉄(Fe)の少なくとも一方を添加し、前記混合材料と、添加した当該少なくとも一方(すなわち、酸化マンガン及び酸化鉄のいずれか一方を添加した場合にはその一方、酸化マンガン及び酸化鉄の両方を添加した場合にはその両方)と、の合計を100質量%としたときに当該少なくとも一方(すなわち、酸化マンガン及び酸化鉄のいずれか一方を添加した場合にはその一方、酸化マンガン及び酸化鉄の両方を添加した場合にはその両方)の含有量を5質量%以下としてもよい。In one embodiment, in the kneading step, at least one of manganese oxide (MnO) and iron oxide (Fe 2 O 3 ) is added to a mixed material composed of the abrasive grains, the binder, the magnesium oxide, and the disappearing material powder. And at least one of the mixed materials (that is, one when either manganese oxide or iron oxide is added, or both when both manganese oxide and iron oxide are added) , When the total of 100 mass%, at least one of them (ie, when either manganese oxide or iron oxide is added, while when both manganese oxide and iron oxide are added, both ) Content may be 5% by mass or less.

上記構成によれば、焼結工程では、添加した当該少なくとも一方が焼結助剤として効果的に機能する。  According to the above configuration, in the sintering step, the added at least one effectively functions as a sintering aid.

以上説明したように、本発明の種々の側面によれば、湿式バレル研磨方法と同等又はそれに近い仕上げ性能を確保することができるという優れた効果を有する。  As described above, according to various aspects of the present invention, there is an excellent effect that a finishing performance equivalent to or close to the wet barrel polishing method can be secured.

一実施形態に係る乾式バレル研磨方法に適用される乾式バレル研磨装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the dry barrel polishing apparatus applied to the dry barrel polishing method which concerns on one Embodiment. メディアの表面側を拡大して模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which expands and schematically shows the surface side of a medium. メディアの表面に潤滑性付与材料がコーティングされていることを示す分析結果である。図3(A)はスペクトル分析の結果、図3(B)は面分析の結果をそれぞれ示す。It is an analysis result which shows that the lubricity imparting material is coated on the surface of the media. 3A shows the result of spectrum analysis, and FIG. 3B shows the result of surface analysis.

本実施形態に係る乾式バレル研磨方法及びメディアの製造方法について説明する。図1には、本実施形態に係る乾式バレル研磨方法に適用される乾式バレル研磨装置10が概略構成図で示されている。まず、この乾式バレル研磨装置10について概説する。  A dry barrel polishing method and a media manufacturing method according to this embodiment will be described. FIG. 1 schematically shows a dry barrel polishing apparatus 10 applied to the dry barrel polishing method according to this embodiment. First, the dry barrel polishing apparatus 10 will be outlined.

(乾式バレル研磨装置の構成)
乾式バレル研磨装置10(以下、単に「バレル研磨装置10」という。)は、研磨槽としてのバレル槽12を備えている。バレル槽12は、容器状とされて台座(図示省略)に固定されている。バレル槽12の内側表面にはライニング14が固着されている。このバレル槽12には、研磨用のメディア40及び被加工物W等(これらは総じて「マス」と呼ばれる)が装入される。なお、図中では、メディア40及び被加工物Wを模式化して示している。
(Configuration of dry barrel polishing equipment)
The dry barrel polishing apparatus 10 (hereinafter simply referred to as “barrel polishing apparatus 10”) includes a barrel tank 12 as a polishing tank. The barrel tank 12 has a container shape and is fixed to a pedestal (not shown). A lining 14 is fixed to the inner surface of the barrel tank 12. The barrel tank 12 is charged with a polishing medium 40, a workpiece W, and the like (generally called “mass”). In the drawing, the medium 40 and the workpiece W are schematically shown.

バレル槽12の底部には、集塵ホース20の一端が連結されている。集塵ホース20の他端は、集塵機16の吸入部側に連結されている。集塵機16は、集塵ホース20内の空気を吸入するファン(図示省略)と、塵埃を排出させないためのフィルタ(図示省略)とを備えている。  One end of a dust collecting hose 20 is connected to the bottom of the barrel tank 12. The other end of the dust collection hose 20 is connected to the suction part side of the dust collector 16. The dust collector 16 includes a fan (not shown) that sucks air in the dust collection hose 20 and a filter (not shown) for preventing the dust from being discharged.

バレル槽12の上方側には、必要に応じて集塵フード18が配置される。集塵フード18には、集塵ホース20Aの一端が連結されている。集塵ホース20Aの他端は、集塵ホース20の他端側に接続されている。  A dust collection hood 18 is disposed on the upper side of the barrel tank 12 as necessary. One end of a dust collection hose 20 </ b> A is connected to the dust collection hood 18. The other end of the dust collection hose 20 </ b> A is connected to the other end side of the dust collection hose 20.

一方、バレル槽12の底部上面側には、回転盤22が配置されている。回転盤22は、その中央部が軸取付部とされて回転軸24に固定されている。また、バレル槽12の底部には、軸受部26が設けられている。回転盤22に固定された回転軸24は、バレル槽12の軸受部26に回転可能に軸支されている。そして、回転軸24の下端は、バレル槽12の底部下方側で駆動力伝達機構28に接続されている。  On the other hand, a turntable 22 is arranged on the bottom upper surface side of the barrel tank 12. The central portion of the rotary disk 22 is fixed to the rotary shaft 24 with the shaft mounting portion. A bearing portion 26 is provided at the bottom of the barrel tank 12. A rotating shaft 24 fixed to the rotating disk 22 is rotatably supported by a bearing portion 26 of the barrel tank 12. The lower end of the rotating shaft 24 is connected to the driving force transmission mechanism 28 on the bottom lower side of the barrel tank 12.

駆動力伝達機構28は、一対のプーリー30、32と、一対のプーリー30、32に巻き掛けられたVベルト34と、を含んでいる。前述した回転軸24は、一方のプーリー30の軸心部に対して同軸に固着されている。また、他方のプーリー32の軸心部には、減速機付きのモータ36の出力軸が同軸に固着されている。  The driving force transmission mechanism 28 includes a pair of pulleys 30 and 32 and a V belt 34 wound around the pair of pulleys 30 and 32. The rotary shaft 24 described above is fixed coaxially to the axial center of one pulley 30. The output shaft of the motor 36 with a speed reducer is fixed coaxially to the axial center of the other pulley 32.

以上により、バレル研磨装置10は、モータ36の駆動で回転盤22を回転させることによって、マスをバレル槽12内で流動させる。このようなバレル研磨の方式は、流動式バレルと呼ばれている。  As described above, the barrel polishing apparatus 10 causes the mass to flow in the barrel tank 12 by rotating the turntable 22 by driving the motor 36. Such a barrel polishing method is called a fluid barrel.

(メディア)
次に、バレル槽12に装入されるメディア40について概説する。メディア40は、研磨の目的に応じて、数ミリから数十ミリの球形、三角錘形、三角柱形、円柱形、円柱を斜めカットした形、又は四角柱形等の任意形状に形成された小粒体である。本実施形態のメディア40は、一例として、高さ6mmの三角柱形状とされている。メディア40は、バレル槽12の中で被加工物Wと共に流動し、被加工物Wとの間に生じる摩擦力によって被加工物Wを研磨する。
(media)
Next, the outline of the medium 40 charged in the barrel tank 12 will be described. Depending on the purpose of polishing, the medium 40 is a small particle formed in an arbitrary shape such as a spherical shape, a triangular pyramid shape, a triangular prism shape, a cylindrical shape, a circularly cut shape of a circular cylinder, or a quadrangular prism shape. Is the body. As an example, the medium 40 of the present embodiment has a triangular prism shape with a height of 6 mm. The medium 40 flows together with the workpiece W in the barrel tank 12 and polishes the workpiece W by the frictional force generated between the media 40 and the workpiece W.

図2には、メディア40の表面側が拡大された模式的な断面図が示されている。図2に示される研磨用のメディア40は、無機質のメディアである。無機質のメディアとしては、例えば、砥粒と粘土質材料とを混練して成形したものを焼成した焼成体のメディア(焼成メディア)と、砥粒の焼結により形成された焼結体のメディア(焼結メディア)と、が挙げられる。一般に無機質のメディアは、有機質のメディア(樹脂と砥材とが混合されて成型された樹脂メディア)に比べて低コストである。しかし、無機質のメディアは、その表面が硬く、被加工物Wに対する衝撃力が強すぎるので、湿式バレル研磨の場合と同等の研磨を達成するのが一般には困難である。一方、メディア40を多孔質体(全体がポーラス)とすると、細孔によってメディア40の比重が低くなるので、被加工物Wに対するメディア40の衝突エネルギーが低くなる。その結果、被加工物Wに対するメディア40の衝撃力が低減されるので、被加工物Wの表面が必要以上に粗くなるのを抑制することができる。更に、メディア40の表面近傍に形成された細孔による緩衝効果も期待できる。また、無機質のメディアのうち、焼結メディアは、焼成メディアに比べて、損耗率が低く寿命が長い。本実施形態では、焼結メディアを選択した。  FIG. 2 shows a schematic cross-sectional view in which the surface side of the medium 40 is enlarged. A polishing medium 40 shown in FIG. 2 is an inorganic medium. As an inorganic medium, for example, a sintered body medium (baked medium) obtained by firing a mixture of abrasive grains and a clay material, and a sintered body medium formed by sintering abrasive grains (fired media) Sintered media). In general, inorganic media is less expensive than organic media (resin media formed by mixing a resin and an abrasive). However, since the surface of the inorganic medium is hard and the impact force against the workpiece W is too strong, it is generally difficult to achieve polishing equivalent to wet barrel polishing. On the other hand, when the medium 40 is a porous body (the whole is porous), the specific gravity of the medium 40 is reduced by the pores, and thus the collision energy of the medium 40 against the workpiece W is reduced. As a result, since the impact force of the medium 40 on the workpiece W is reduced, it is possible to suppress the surface of the workpiece W from becoming unnecessarily rough. Furthermore, a buffering effect by pores formed in the vicinity of the surface of the medium 40 can be expected. In addition, among inorganic media, sintered media have a lower wear rate and longer life compared to sintered media. In this embodiment, a sintered medium is selected.

また、メディア40の表面には、後述する潤滑性付与材料44を入り込ませて保持する凹状の保持部42が形成されている。この保持部42により、メディア40に対して潤滑性付与材料44が強固に保持されている。すなわち、メディア40に対する潤滑性付与材料44の付着力が増す。保持部42は、溝を設けることで形成されてもよいし、ディンプルを設けることで形成されてもよいし、又は凹凸を設けることで形成されてもよい。保持部42は、多孔質体であるメディア40の細孔によってメディア40の表面に形成された凹凸で形成されている。このように、メディア40を多孔質体とすることによって、前述した衝撃力の抑制の効果と、潤滑性付与材料44を強固に保持する効果と、の双方の効果を得ることができる。従って、被加工物Wの表面を必要以上に粗くするのを防ぐことができる。  In addition, a concave holding portion 42 is formed on the surface of the medium 40 to hold and hold a lubricity imparting material 44 described later. The holding portion 42 holds the lubricity imparting material 44 firmly to the medium 40. That is, the adhesion of the lubricity imparting material 44 to the medium 40 is increased. The holding portion 42 may be formed by providing a groove, may be formed by providing dimples, or may be formed by providing irregularities. The holding part 42 is formed of irregularities formed on the surface of the medium 40 by the pores of the medium 40 that is a porous body. Thus, by making the medium 40 a porous body, it is possible to obtain both the effects of suppressing the impact force described above and the effect of firmly holding the lubricity-imparting material 44. Therefore, it is possible to prevent the surface of the workpiece W from being roughed more than necessary.

潤滑性付与材料44には油脂が殆ど含まれない。例えば、潤滑性付与材料44の油脂の含有率は、0.5質量%以下としてもよい。潤滑性付与材料44に実質的に油脂が含まれないことによって、メディア40の表面に潤滑性付与材料44をコーティングした場合に、メディア40の表面を湿潤させることなくメディア40の表面に潤滑性を付与することができる。本実施形態における潤滑性付与材料44は、一例として、脂肪酸ナトリウムと若干の不可避不純物とによって構成されている。脂肪酸ナトリウムにおける脂肪酸としては、例えば、絡酸、カプロン酸、カプリル酸、カプリン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、バルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、又はリシノレン酸等が挙げられる。上記脂肪酸は、単一の種類の脂肪酸であってもよいし、二種以上の脂肪酸を含む混合物であってもよい。  The lubricity imparting material 44 contains almost no oil or fat. For example, the oil and fat content of the lubricity imparting material 44 may be 0.5 mass% or less. Since the lubricity imparting material 44 is substantially free of oils and fats, when the lubricity imparting material 44 is coated on the surface of the media 40, the surface of the media 40 is lubricated without being wetted. Can be granted. As an example, the lubricity imparting material 44 in the present embodiment is composed of fatty acid sodium and some inevitable impurities. Examples of the fatty acid in the fatty acid sodium include tangle acid, caproic acid, caprylic acid, capric acid, lauric acid, myristic acid, valmitic acid, stearic acid, oleic acid, linoleic acid, linolenic acid, and ricinolenic acid. The fatty acid may be a single type of fatty acid or a mixture containing two or more types of fatty acids.

また、潤滑性付与材料44には、脂肪酸ナトリウムに代えて又は脂肪酸ナトリウムと共に、脂肪酸が含まれてもよい。この脂肪酸としては、例えば、ラウリン酸又はオレイン酸等が挙げられる。更に、潤滑性付与材料44には、脂肪酸ナトリウムに代えて又は脂肪酸ナトリウムと共に、例えば、脂肪酸マグネシウム、脂肪酸カルシウム、又は脂肪酸カリウム等といった他の脂肪酸金属塩が含まれていてもよい。  Further, the lubricity imparting material 44 may contain a fatty acid instead of or together with the fatty acid sodium. Examples of the fatty acid include lauric acid and oleic acid. Further, the lubricity-imparting material 44 may contain other fatty acid metal salts such as fatty acid magnesium, fatty acid calcium, or fatty acid potassium, for example, instead of or together with fatty acid sodium.

メディア40は、60〜80質量%の酸化アルミニウムと、10〜30質量%の二酸化珪素と、4〜8質量%の酸化ジルコニウムと、1〜3質量%の酸化カルシウムと、を少なくとも含み、その他に若干の不可避不純物(例えば、KO、TiO、NaO、HfO又はP等)を含んでもよい。不可避不純物は、3%以下(又は2%以下)としてもよい。The medium 40 includes at least 60 to 80% by mass of aluminum oxide, 10 to 30% by mass of silicon dioxide, 4 to 8% by mass of zirconium oxide, and 1 to 3% by mass of calcium oxide. Some inevitable impurities (for example, K 2 O, TiO 2 , Na 2 O, HfO 2, P 2 O 3, etc.) may be included. Inevitable impurities may be 3% or less (or 2% or less).

但し、メディア40の全体を多孔質としたことによって、メディア40全体の強度が低下する。例えば、バレル研磨による衝撃によって、細孔を基点としてメディア40に割れ又は欠けが発生することがある。そこで、補強材料として酸化マグネシウムを更に含有させることによって、メディア40を多孔質にしても、バレル研磨中にメディア40に割れ又は欠けが生じない程度にメディア40の強度を向上させることができる。酸化マグネシウムの含有量は、1〜4質量%(又は2〜3質量%)であってもよく、この場合、前述の効果が得られることが実験で確認されている。  However, the strength of the entire medium 40 is reduced by making the entire medium 40 porous. For example, the media 40 may be cracked or chipped from the pores due to impact caused by barrel polishing. Therefore, by further including magnesium oxide as a reinforcing material, even if the medium 40 is made porous, the strength of the medium 40 can be improved to the extent that the medium 40 is not cracked or chipped during barrel polishing. The content of magnesium oxide may be 1 to 4% by mass (or 2 to 3% by mass). In this case, it has been confirmed by experiments that the above-described effects can be obtained.

(メディアの製造方法)
ここで、メディア40を製造するための方法(メディア40の製造方法)について説明する。
(Media production method)
Here, a method for manufacturing the medium 40 (a method for manufacturing the medium 40) will be described.

メディア40の製造方法では、まず、混練工程がなされる。この混練工程では、砥粒とバインダと補強材料としての酸化マグネシウムと消失材料粉末としての水酸化アルミニウムの粉末と、を所定の含有量となるように秤量した後混練する(これらの材料を総じて、以降「混合材料a」と記す)。混練の際、必要に応じて水を添加してもよい。水酸化アルミニウムの粉末の添加量は、混合材料aを100質量%としたときの1〜40質量%の量とする。  In the method for manufacturing the media 40, first, a kneading step is performed. In this kneading step, abrasive grains, a binder, magnesium oxide as a reinforcing material, and aluminum hydroxide powder as a disappearing material powder are weighed so as to have a predetermined content and then kneaded (collectively, these materials Hereinafter referred to as “mixed material a”). During kneading, water may be added as necessary. The addition amount of the aluminum hydroxide powder is 1 to 40% by mass when the mixed material a is 100% by mass.

砥粒としては、アルミナ系砥粒(アランダム)、炭化珪素系砥粒(カーボランダム)、ジルコニアアルミナ砥粒、ダイヤモンド砥粒、又はCBN砥粒、等を用いることができる。砥粒として白色アルミナ系砥粒(WA)を用いた場合には、低価格で高い研磨力が得られ、且つ被加工物に砥粒の色が転写されないので、好ましい。また、砥粒の平均粒子径は研磨の目的に合わせて適宜選択される。例えば、微細研磨を目的とする場合は1〜40μmの範囲から選択される。ここで、砥粒の粒子径が小さすぎるとメディアの研磨力が低くなる。一方、砥粒の粒子径が大きすぎると粒子同士の結合力が弱くメディアの強度が低下する。  As the abrasive grains, alumina-based abrasive grains (alundum), silicon carbide-based abrasive grains (carborundum), zirconia alumina abrasive grains, diamond abrasive grains, or CBN abrasive grains can be used. When white alumina-based abrasive grains (WA) are used as the abrasive grains, high polishing power can be obtained at a low price, and the color of the abrasive grains is not transferred to the workpiece, which is preferable. The average particle diameter of the abrasive grains is appropriately selected according to the purpose of polishing. For example, when the purpose is fine polishing, it is selected from the range of 1 to 40 μm. Here, when the particle diameter of the abrasive grains is too small, the polishing power of the media is lowered. On the other hand, when the particle diameter of the abrasive grains is too large, the bonding force between the particles is weak and the strength of the media is lowered.

バインダは、焼結する際に砥粒同士を結合させるための結合材である。バインダは砥粒の種類又は焼結温度等によって適宜選択される。本実施形態において、バインダは、少なくとも二酸化珪素と酸化ジルコニウムと酸化カルシウムとを含む。なお、バインダに酸化マグネシウムが含まれる場合には、当該酸化マグネシウムを補強材料として利用できる。  The binder is a binding material for bonding abrasive grains when sintering. The binder is appropriately selected depending on the type of abrasive grains or the sintering temperature. In the present embodiment, the binder includes at least silicon dioxide, zirconium oxide, and calcium oxide. In addition, when magnesium oxide is contained in a binder, the said magnesium oxide can be utilized as a reinforcing material.

また、本実施形態の混練工程では、一例として、混合材料aに焼結助剤を添加する。焼結助剤は、酸化マンガン及び酸化鉄の少なくとも一方(すなわち、いずれか一方又は双方)とすることができる。焼結助剤の添加量は、混合材料aと、焼結助剤と、の合計を100質量%としたときに5質量%以下(焼結助剤として複数の材料を用いた場合はそれらの合計が5質量%以下)の範囲としている。  In the kneading step of the present embodiment, as an example, a sintering aid is added to the mixed material a. The sintering aid can be at least one of manganese oxide and iron oxide (that is, either one or both). The addition amount of the sintering aid is 5% by mass or less when the total of the mixed material a and the sintering aid is 100% by mass (when a plurality of materials are used as the sintering aid, The total is 5 mass% or less).

次の成形工程では、混練工程で混練された混練物を押出し成形機に投入して所定の形状(本実施形態では三角柱形状)に成形する。  In the next molding step, the kneaded material kneaded in the kneading step is put into an extrusion molding machine and molded into a predetermined shape (triangular prism shape in the present embodiment).

次の焼結工程では、成形工程で成形された成形体を乾燥させた状態で耐熱容器に装入すると共に炉内において所定温度で所定時間焼結する。この焼結工程では、水酸化アルミニウムは脱水分解する。その結果、酸化アルミニウムに変化して固形分として体積が減少すると共に、水酸基は水蒸気となって発散する。つまり、この工程では、水酸化アルミニウムを消失させる。前述の混練によって水酸化アルミニウムは混合材料aに均一に分散している。従って、この焼結工程によって独立気泡構造の多孔質体が形成され、表面に保持部42が形成された焼結体のメディア40が得られる。  In the next sintering step, the molded body molded in the molding step is placed in a dry state in a heat-resistant container and sintered in a furnace at a predetermined temperature for a predetermined time. In this sintering process, the aluminum hydroxide is dehydrated and decomposed. As a result, the volume is changed to aluminum oxide and the volume is reduced as a solid content, and the hydroxyl group is emitted as water vapor. That is, in this step, aluminum hydroxide is lost. By the kneading described above, the aluminum hydroxide is uniformly dispersed in the mixed material a. Accordingly, a porous medium having a closed cell structure is formed by this sintering step, and a sintered medium 40 having a holding portion 42 formed on the surface is obtained.

なお、水酸化アルミニウムの粉末の含有比率が高すぎると、寿命が短くなるので、水酸化アルミニウムの粉末の含有比率は、前述のようにしてもよい。また、この焼結工程では、混練工程で添加した酸化マンガン及び酸化鉄の少なくとも一方が焼結助剤として効果的に機能している。  If the content ratio of the aluminum hydroxide powder is too high, the life is shortened. Therefore, the content ratio of the aluminum hydroxide powder may be as described above. In this sintering step, at least one of manganese oxide and iron oxide added in the kneading step effectively functions as a sintering aid.

(乾式バレル研磨方法)
次に、メディア40を用いた乾式バレル研磨方法について説明する。
(Dry barrel polishing method)
Next, a dry barrel polishing method using the medium 40 will be described.

まず、図1に示されるバレル研磨装置10のバレル槽12にメディア40及び潤滑性付与材料(図1では図示省略)を装入する。次に、バレル研磨装置10に連結された集塵機16を作動させる。  First, the medium 40 and the lubricity imparting material (not shown in FIG. 1) are charged into the barrel tank 12 of the barrel polishing apparatus 10 shown in FIG. Next, the dust collector 16 connected to the barrel polishing apparatus 10 is operated.

次に、バレル研磨装置10を作動させ、バレル槽12内でメディア40と潤滑性付与材料(図1では図示省略)とを流動させる。これにより、図2に示されるように、研磨用のメディア40の表面に、油脂を殆ど含まない潤滑性付与材料44をコーティングする。具体的には、メディア40の表面に、非湿潤のコーティング部44Cを形成してメディア40の表面に潤滑性を付与する(第一工程)。潤滑性付与材料44は、一例として、5〜800μm程度(但し、このサイズには限定されない)の粒子径の粉末状のものをメディア40と混ぜて流動させることによってメディア40の表面にコーティングされる。本実施形態において、例えば、潤滑性付与材料44は、その主成分が脂肪酸ナトリウムである。従って、潤滑性付与材料44のコストを抑えると共にメディア40の表面に潤滑性を付与することができる。  Next, the barrel polishing apparatus 10 is operated, and the medium 40 and the lubricity-imparting material (not shown in FIG. 1) are caused to flow in the barrel tank 12. Thereby, as shown in FIG. 2, the surface of the polishing medium 40 is coated with the lubricity imparting material 44 containing almost no oil or fat. Specifically, a non-wetting coating portion 44C is formed on the surface of the medium 40 to impart lubricity to the surface of the medium 40 (first step). As an example, the lubricity imparting material 44 is coated on the surface of the medium 40 by mixing and flowing a powdery material having a particle size of about 5 to 800 μm (but not limited to this size) with the medium 40. . In the present embodiment, for example, the main component of the lubricity imparting material 44 is sodium fatty acid. Therefore, the cost of the lubricity imparting material 44 can be reduced and lubricity can be imparted to the surface of the medium 40.

また、潤滑性付与材料44は、例えばキューブ状(一例として、10mm×10mm×10mm〜70mm×70mm×70mmの立方体状)のものをメディア40と混ぜて流動させることによって、メディア40の表面にコーティングされてもよい。また、潤滑性付与材料44は、例えば液体状(一例として濃度10vol%)のものをメディア40と混ぜて流動させながら固化させることによって、メディア40の表面にコーティングされてもよい。潤滑性付与材料44として液体状のものを混ぜてコーティングする場合には、定量添加が容易で集塵機16(図1参照)に吸引されにくいというメリットがあり、遠心式バレルに対する定量添加も適用可能である。なお、液体状の潤滑性付与材料44を投入する場合には、メディア40の表面が湿潤しない程度の量を投入する。  Further, the lubricity imparting material 44 is coated on the surface of the medium 40 by mixing and flowing a cube-shaped material (for example, a cube shape of 10 mm × 10 mm × 10 mm to 70 mm × 70 mm × 70 mm) with the medium 40. May be. The lubricity imparting material 44 may be coated on the surface of the medium 40 by, for example, mixing a liquid (for example, a concentration of 10 vol%) with the medium 40 and solidifying it while flowing. When a liquid material is mixed and coated as the lubricity imparting material 44, there is an advantage that the quantitative addition is easy and it is difficult to be sucked into the dust collector 16 (see FIG. 1), and the quantitative addition to the centrifugal barrel is also applicable. is there. In addition, when the liquid lubricity imparting material 44 is charged, an amount that does not wet the surface of the media 40 is charged.

図1に示されるバレル研磨装置10を作動させてから所定時間経過後に、バレル研磨装置10の作動を停止させる。次に、バレル研磨装置10のバレル槽12内に被加工物Wを装入し、メディア40と被加工物Wとをバレル槽12内で混合させる(第二工程)。  The operation of the barrel polishing apparatus 10 is stopped after a predetermined time has elapsed since the barrel polishing apparatus 10 shown in FIG. 1 is operated. Next, the workpiece W is charged into the barrel tank 12 of the barrel polishing apparatus 10, and the media 40 and the workpiece W are mixed in the barrel tank 12 (second step).

次に、バレル研磨装置10を作動させ、潤滑性付与材料44(図2参照)によって表面がコーティングされたメディア40と、被加工物Wと、をバレル槽12内で流動させる。この流動によって被加工物Wにメディア40を滑るように接触させることにより、被加工物Wを研磨する(第三工程)。このとき、潤滑性付与材料44によってメディア40の流動性(滑り性能)が向上しているので、被加工物Wにはメディア40の衝突による過度の研磨荷重が付与されない。また、メディア40の細孔により被加工物Wと衝突する際の衝撃力が緩衝されるので、被加工物Wにはメディア40の衝突による過度の研磨力が付与されない。このため、メディア40が被加工物Wの表面を必要以上に粗くするのが抑えられ、被加工物Wの表面粗さを小さくする研磨を行うことができる。すなわち、被加工物Wの表面は、平滑な研磨面に加工される。  Next, the barrel polishing apparatus 10 is operated, and the medium 40 whose surface is coated with the lubricity imparting material 44 (see FIG. 2) and the workpiece W are caused to flow in the barrel tank 12. The workpiece W is polished by bringing the medium 40 into sliding contact with the workpiece W by this flow (third step). At this time, since the fluidity (sliding performance) of the medium 40 is improved by the lubricity imparting material 44, an excessive polishing load due to the collision of the medium 40 is not imparted to the workpiece W. In addition, since the impact force when colliding with the workpiece W is buffered by the pores of the medium 40, excessive polishing force due to the collision of the media 40 is not applied to the workpiece W. For this reason, it is suppressed that the medium 40 roughens the surface of the workpiece W more than necessary, and polishing for reducing the surface roughness of the workpiece W can be performed. That is, the surface of the workpiece W is processed into a smooth polished surface.

また、図2に示されるように、多孔質体のメディア40が表面全体に保持部42を備えることによって、潤滑性付与材料44のメディア40に対する付着力が強くなっている。これにより、メディア40は、保持部42がない場合に比べて潤滑性付与材料44を長時間保持することができるので、被加工物Wの表面が必要以上に粗らされるのを抑制する効果をより長く持続することができる。このため、潤滑性付与材料44の性能を十分に発揮することができる。  In addition, as shown in FIG. 2, the porous medium 40 includes the holding portion 42 on the entire surface, so that the adhesion of the lubricity-imparting material 44 to the medium 40 is increased. Thereby, since the media 40 can hold the lubricity-imparting material 44 for a long time compared with the case where the holding portion 42 is not provided, the effect of suppressing the surface of the workpiece W from being roughened more than necessary. Can last longer. For this reason, the performance of the lubricity imparting material 44 can be sufficiently exhibited.

また、この工程(第三工程)においては、潤滑性付与材料44の供給装置(図示省略)を作動させることによって、バレル槽12内に潤滑性付与材料44を供給しながらメディア40と被加工物Wとを流動させる。このため、被加工物Wとの衝突によってメディア40から潤滑性付与材料44が徐々に削り落とされても、メディア40の表面には新たに供給された潤滑性付与材料44がコーティングされる。従って、被加工物Wの表面が必要以上に粗らされるのを抑制する効果が持続される。なお、被加工物Wにも潤滑性付与材料44がコーティングされようとする。しかしながら、コーティングされる前又はコーティングされかけた被加工物Wの表面がメディア40で研磨されることによって、被加工物Wの表面は徐々に研磨される。  Further, in this step (third step), by operating a supply device (not shown) of the lubricity-imparting material 44, the medium 40 and the workpiece are supplied while supplying the lubricity-imparting material 44 into the barrel tank 12. Let W flow. For this reason, even if the lubricity-imparting material 44 is gradually scraped off from the medium 40 by the collision with the workpiece W, the surface of the medium 40 is coated with the newly-provided lubricity-imparting material 44. Therefore, the effect of suppressing the surface of the workpiece W from being roughed more than necessary is maintained. It should be noted that the work piece W is about to be coated with the lubricity imparting material 44. However, the surface of the workpiece W before or after being coated is polished with the medium 40 so that the surface of the workpiece W is gradually polished.

バレル研磨装置10を作動させてから所定時間経過後に、潤滑性付与材料44の供給装置の作動を停止させ、その後バレル研磨装置10の作動を停止させ、更にその後に集塵機16の作動を停止させる。そして、バレル研磨装置10のバレル槽12からメディア40及び被加工物Wを排出し、これらを分別して被加工物Wを回収する。  After a predetermined time has elapsed since the barrel polishing apparatus 10 was operated, the operation of the supply device for the lubricity imparting material 44 is stopped, then the operation of the barrel polishing apparatus 10 is stopped, and then the operation of the dust collector 16 is stopped. Then, the medium 40 and the workpiece W are discharged from the barrel tank 12 of the barrel polishing apparatus 10, and these are separated to collect the workpiece W.

以上説明したように、本実施形態によれば、乾式バレル研磨方法でありながら、湿式バレル研磨方法と同等又はそれに近い仕上げ性能を確保することができる。  As described above, according to the present embodiment, a finishing performance equivalent to or close to that of the wet barrel polishing method can be ensured while being a dry barrel polishing method.

なお、例えば、表面に油脂コーティングされたものをメディアとして研磨するような従来の例では、被加工物に油脂が付着するので、洗浄工程が必要になる。これに対して、本実施形態の場合には、油脂を殆ど含まない潤滑性付与材料44によってメディア40の表面をコーティングして非湿潤のコーティング部44Cを形成している。このため、被加工物Wに油脂が殆ど付着しない。その結果、洗浄工程を不要化又は簡略化することができるという利点がある。  For example, in a conventional example in which a surface coated with oil or fat is polished as a medium, the oil or fat adheres to the workpiece, and thus a cleaning step is required. On the other hand, in the case of the present embodiment, the surface of the medium 40 is coated with the lubricity imparting material 44 containing almost no oil and fat to form the non-wetting coating portion 44C. For this reason, fats and oils hardly adhere to the workpiece W. As a result, there is an advantage that the cleaning process can be eliminated or simplified.

次に、実施例について説明する。  Next, examples will be described.

まず、メディアの流動性を確認した試験結果を表1に示す。ここで、表中の数値は、測定したメディアの安息角である。表面粗さRa=0.0146μmの板にメディアを載置した後、この板を徐々に傾斜させ、メディアがこの板に沿って落下した時の傾斜角度を安息角とした。この測定は、潤滑性付与材料をコーティングしたメディア(表中では「コーティングあり」と記載)と潤滑性付与材料でコーティングしていないメディア(表中では「コーティングなし」と記載)のそれぞれのメディアに対して、20個ずつ測定を行った。  First, Table 1 shows the test results for confirming the fluidity of the media. Here, the numerical value in the table is the angle of repose of the measured media. After the medium was placed on a plate having a surface roughness Ra = 0.146 μm, the plate was gradually inclined, and the angle of inclination when the medium dropped along the plate was defined as the repose angle. This measurement is performed on media coated with a lubricity-imparting material (indicated as “coated” in the table) and media not coated with a lubricity-indicated material (denoted as “uncoated” in the table). On the other hand, 20 pieces were measured.

表1の結果によれば、コーティングされることで、メディアの安息角が小さくなっていることが判る。この結果、メディアの表面を潤滑性付与材料によってコーティングすると、メディアの潤滑性が向上するので、バレル研磨の際にメディアの流動性が向上することが示唆された。  According to the results in Table 1, it can be seen that the angle of repose of the media is reduced by coating. As a result, it was suggested that when the surface of the media is coated with a lubricity-imparting material, the lubricity of the media is improved, so that the fluidity of the media is improved during barrel polishing.

一方、メディアの表面を脂肪酸ナトリウム(潤滑性付与材料)でコーティングした場合を実施例(実施例1〜10)とし、メディアの表面をコーティングしない場合を比較例(比較例1〜5)として、バレル槽(研磨槽)内で被加工物と混合させた状態で流動させることで被加工物を研磨する試験を行った。  On the other hand, the case where the surface of the media was coated with sodium fatty acid (lubricity imparting material) was used as an example (Examples 1 to 10), and the case where the surface of the media was not coated was used as a comparative example (Comparative Examples 1 to 5). The test which grind | polishes a workpiece was performed by making it flow in the state mixed with the workpiece in the tank (polishing tank).

研磨(バレル研磨)の条件は、次の表2に示す通りである。被加工物として、測定用の被加工物(φ15mm×t15mmのS45C材(機械構造用炭素鋼鋼材:JIS(Japanese Industrial Standards)))を1枚と、12L(見掛けの容積)のダミーの被加工物(30mm×30mm×t3mmのSS400材(一般構造用圧延鋼材:JIS))と、を用いた。  The conditions for polishing (barrel polishing) are as shown in Table 2 below. As a workpiece, one workpiece for measurement (φ45mm x t15mm S45C material (carbon steel for mechanical structure: JIS (Japanese Industrial Standards))) and 12L (apparent volume) dummy workpiece (30 mm × 30 mm × t 3 mm SS400 material (general structural rolled steel: JIS)).

表2のメディアの種類について補足説明する。メディアA及びメディアC(焼結メディア)は、砥粒同士を焼結させて形成されたメディアである。メディアB及びメディアD(焼成メディア)は、砥粒と粘土質材料とを焼結させて形成されたメディアである。メディアE(樹脂メディア)は、樹脂と砥材とを混合して成型したメディアである。  A supplementary explanation of the media types in Table 2 will be given. Media A and media C (sintered media) are media formed by sintering abrasive grains. Media B and media D (fired media) are media formed by sintering abrasive grains and a clay material. The medium E (resin medium) is a medium formed by mixing a resin and an abrasive.

また、下記の表3には、実施例1〜9及び比較例1〜5の各条件、並びに、表面粗さ、研磨量、及び損耗率を測定した結果を示す。  Table 3 below shows the conditions of Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 5, and the results of measuring the surface roughness, the polishing amount, and the wear rate.

表3の条件項目において、「メディア」の項目は、表2のメディアのいずれであるかを示し、「方法」の項目は、乾式バレル研磨方法であるか又は湿式バレル研磨方法であるかを示す。なお、湿式バレル研磨方法では、研磨槽内に11Lの水を入れると共に、50mlの研磨助剤(コンパウンド)を添加した。  In the condition items in Table 3, the item “media” indicates which of the media in Table 2, and the item “method” indicates whether the method is a dry barrel polishing method or a wet barrel polishing method. . In the wet barrel polishing method, 11 L of water was put in the polishing tank, and 50 ml of polishing aid (compound) was added.

「脂肪酸ナトリウムの投入」の項目は、メディアの表面に潤滑性付与材料としての脂肪酸ナトリウムがコーティングされる工程が「有」か「無」かを示す。ここで、「有」の場合には、粉末、固形、液体のいずれの状態で投入されているのかを括弧書きで示す。  The item “input of fatty acid sodium” indicates whether the process of coating the surface of the medium with sodium fatty acid as a lubricity-imparting material is “present” or “absent”. Here, in the case of “Yes”, it indicates in parentheses whether the powder is in a powder, solid, or liquid state.

メディアの表面に脂肪酸ナトリウムが形成されていることは、走査電子顕微鏡((株)日立製作所製;S3400)及びエネルギー分散型X線分析装置(EDAX製;Genesis 4000)によりスペクトル分析及び面分析(マッピング)を行うことによって確認した。一例として、実施例3のスペクトル分析の結果を図3(A)に、実施例3及び比較例1のメディアの表面を面分析した結果を図3(B)に示す。実施例3のメディアは、図3(A)により脂肪酸ナトリウムに由来するイオン(ナトリウムイオン)が検出されたことから、脂肪酸ナトリウムの存在が確認された。なお、同図における他のピークはメディアに由来する成分を示す。更に図3(B)により脂肪酸ナトリウムがメディアの表面全体に分布していることが判った。即ち、バレル研磨を行う際に脂肪酸ナトリウムを投入すると、メディアの表面全体に脂肪酸ナトリウムがコーティングされることが示された。  The formation of fatty acid sodium on the surface of the media is confirmed by spectral analysis and surface analysis (mapping) using a scanning electron microscope (manufactured by Hitachi Ltd .; S3400) and an energy dispersive X-ray analyzer (manufactured by EDAX; Genesis 4000). ) Confirmed. As an example, FIG. 3A shows the result of spectral analysis of Example 3, and FIG. 3B shows the result of surface analysis of the media surfaces of Example 3 and Comparative Example 1. In the media of Example 3, the presence of sodium fatty acid was confirmed since ions (sodium ions) derived from fatty acid sodium were detected in FIG. In addition, the other peak in the figure shows the component derived from a medium. Furthermore, FIG. 3B shows that fatty acid sodium is distributed over the entire surface of the media. In other words, it was shown that when sodium fatty acid was added during barrel polishing, the entire surface of the media was coated with sodium fatty acid.

また、表3の条件項目において、「Al(OH)」の添加の項目は、メディアを製造する際の混練工程で、水酸化アルミニウムの粉末を添加しているか否かを示す。水酸化アルミニウムの粉末を添加している場合には、その添加量の割合を括弧書きで示す。前記括弧書きで示された水酸化アルミニウムの添加量の割合は、混合材料(前述した実施形態では混合材料a)を100質量%としたときの質量%としている。なお、Al(OH)の添加が有の場合、メディアは多孔質体となり、Al(OH)の添加が無の場合、メディアは多孔質体とならずに表面が比較的平滑な緻密体となる。In addition, in the condition items of Table 3, the item of “Al (OH) 3 ” indicates whether or not aluminum hydroxide powder is added in the kneading step when manufacturing the media. When aluminum hydroxide powder is added, the ratio of the added amount is shown in parentheses. The ratio of the amount of aluminum hydroxide added indicated in parentheses is mass% when the mixed material (mixed material a in the embodiment described above) is 100 mass%. When Al (OH) 3 is added, the medium becomes a porous body. When Al (OH) 3 is not added, the medium does not become a porous body and the surface has a relatively smooth surface. It becomes.

更に、「バッチ数」の項目は、同一のメディアによる何回目の研磨であるのかを示す。実際の研磨処理では、1回目の研磨後、被加工物が取り出され、その後に新しい被加工物が装入されて2回目の研磨が同一のメディアで行われるといったように、同一のメディアを用いて研磨と被加工物の取り出し及び装入が繰り返される。ここで、表中でバッチ数が1とされる例は、1回目の研磨後に取り出された被加工物の測定結果を示し、表中でバッチ数が10とされる例(実施例9)は、10回目の研磨後に取り出された被加工物の測定結果を示している。  Furthermore, the item “number of batches” indicates the number of times of polishing with the same medium. In the actual polishing process, after the first polishing, the workpiece is taken out, after which a new workpiece is inserted and the second polishing is performed with the same media. Thus, the polishing and the removal and charging of the workpiece are repeated. Here, the example in which the number of batches is 1 in the table indicates the measurement result of the workpiece taken out after the first polishing, and the example in which the number of batches is 10 in the table (Example 9) is The measurement result of the workpiece taken out after the 10th polishing is shown.

また、表3の結果項目において、「表面粗さ」は、表面形状粗さ測定機((株)東京精密製;Surfcom 1500DX)にて被加工物表面の表面粗さRa(JIS B6001;1994)を測定した結果である。「表面粗さ」の単位はμmである。「研磨量」は、電子天秤((株)島津製作所製;IPS−DP10)にて「加工前の被加工物の質量」及び「加工後の被加工物の質量」をそれぞれ測定し、その差を単位時間あたりに換算して評価した結果である。「研磨量」の単位は、mg/hである。  Moreover, in the result item of Table 3, "surface roughness" is the surface roughness Ra (JIS B6001; 1994) of the surface of the work piece by using a surface shape roughness measuring instrument (manufactured by Tokyo Seimitsu; Surfcom 1500DX). It is the result of having measured. The unit of “surface roughness” is μm. The “polishing amount” is determined by measuring “mass of workpiece before processing” and “mass of workpiece after processing” with an electronic balance (manufactured by Shimadzu Corporation; IPS-DP10), and the difference between them. It is the result of converting and evaluating per unit time. The unit of “polishing amount” is mg / h.

また、「損耗率」は、前述の電子天秤にて「加工前のメディア(測定用)の質量」及び「加工後のメディア(測定用)の質量」をそれぞれ測定し、下の数式1にて算出した結果である。「損耗率」の単位は、%/hである。  In addition, the “wear rate” is obtained by measuring “mass of media before processing (for measurement)” and “mass of media after processing (for measurement)” with the above-described electronic balance. This is the calculated result. The unit of “wear rate” is% / h.

表3の結果によれば、実施例1〜10では、比較例3、4の湿式バレル研磨方法と同等又はそれに近い表面粗さに仕上げられていることが判る。特に、実施例3と実施例10とを比較すると、メディアとして焼結メディアを選択する場合に、より良い結果が得られていることが判る。  According to the result of Table 3, in Examples 1-10, it turns out that it is finished with the surface roughness equivalent to or close to the wet barrel polishing method of Comparative Examples 3 and 4. In particular, when Example 3 and Example 10 are compared, it can be seen that better results are obtained when a sintered medium is selected as the medium.

(実施形態の補足説明)
なお、上記実施形態の変形例として、研磨槽の遊星回転又は振動等によりマスを流動化させることによって被加工物の研磨を行ってもよい。なお、バレル研磨の種類としては、上記実施形態のような流動式バレルの他、例えば、遠心式バレル、振動式バレル、回転式バレル、及びジャイロ式バレル等と呼ばれるものがある。
(Supplementary explanation of the embodiment)
As a modification of the above embodiment, the workpiece may be polished by fluidizing the mass by planetary rotation or vibration of the polishing tank. In addition to the fluid barrel as in the above-described embodiment, the types of barrel polishing include, for example, what are called a centrifugal barrel, a vibration barrel, a rotary barrel, a gyro barrel, and the like.

また、上記実施形態の変形例として、研磨用のメディアと、被加工物と、潤滑性付与材料と、を研磨槽内で混合させ(第二工程)、これらのマスを研磨槽内で流動させ、メディアの表面に潤滑性付与材料をコーティングする。これにより、非湿潤のコーティング部を形成してメディアの表面に潤滑性を付与すると共に(第一工程)、メディアと被加工物とを研磨槽内で流動させることによって被加工物を研磨する(第三工程)といったような形態を採ってもよい。  As a modification of the above embodiment, the polishing media, the workpiece, and the lubricity-imparting material are mixed in the polishing tank (second step), and these masses are allowed to flow in the polishing tank. The surface of the media is coated with a lubricity-imparting material. Thus, a non-wetting coating portion is formed to provide lubricity to the surface of the media (first step), and the workpiece is polished by flowing the media and the workpiece in a polishing tank ( (Third step) may be adopted.

また、上記実施形態では、第三工程において、図示しない供給装置によって潤滑性付与材料をバレル槽12内に供給しながらメディア40と被加工物Wとを流動させている。しかしながら、このような潤滑性付与材料の供給をせずに、追加で必要となる分量だけ予め潤滑性付与材料をバレル槽12内に装入しておいてもよい。  In the above embodiment, in the third step, the medium 40 and the workpiece W are caused to flow while supplying the lubricity-imparting material into the barrel tank 12 by a supply device (not shown). However, instead of supplying such a lubricity-imparting material, the lubricity-imparting material may be preliminarily charged into the barrel tank 12 by an amount required additionally.

また、上記実施形態の変形例として、メディアに求められる性能(仕上げ性能及び寿命等)によっては、焼結体のメディアの組成を、例えば、60〜80質量%の酸化アルミニウムと、10〜30質量%の二酸化珪素と、4〜8質量%の酸化ジルコニウムと、1〜3質量%の酸化カルシウムと、1質量%未満又は5質量%の酸化マグネシウムと、を含む焼結体のメディアとすることも可能である。  As a modification of the above embodiment, depending on the performance (finishing performance, life, etc.) required for the media, the composition of the media of the sintered body is, for example, 60 to 80% by mass of aluminum oxide and 10 to 30% by mass. % Of silicon dioxide, 4 to 8% by mass of zirconium oxide, 1 to 3% by mass of calcium oxide, and less than 1% by mass or 5% by mass of magnesium oxide. Is possible.

また、上記実施形態のメディアの製造方法の変形例として、消失材料粉末は、例えば、発泡スチロール樹脂の粉末や黒鉛の粉末等のような他の消失材料粉末であってもよい。なお、セラミックスバインダーに消失材料として発泡スチロール樹脂を使用すると、焼結後のメディア内に消失材料を原因とする不純物(例えば、炭素)が結晶粒界に残る可能性があり、この不純物はメディアの強度低下の一因(クラックの発生)となる可能性がある。これに対して、上記実施形態のように、消失材料として水酸化アルミニウムを使用した場合には、焼結を行っても、水酸化アルミニウムは、水蒸気と、セラミックスバインダーの主成分である酸化アルミニウム(Al)と、に分解する。よって、焼結後のメディア内に消失材料を原因とする不純物が残らないという利点がある。Further, as a modification of the method for manufacturing the media of the above embodiment, the disappearing material powder may be other disappearing material powder such as a foamed polystyrene resin powder or a graphite powder. In addition, when a polystyrene resin is used as the disappearance material in the ceramic binder, impurities (for example, carbon) due to the disappearance material may remain in the grain boundaries in the sintered media, and this impurity is the strength of the media. There is a possibility that it will contribute to the decrease (crack generation). On the other hand, when aluminum hydroxide is used as the disappearing material as in the above-described embodiment, even if sintering is performed, the aluminum hydroxide is water vapor and aluminum oxide (the main component of the ceramic binder ( And Al 2 O 3 ). Therefore, there is an advantage that impurities due to the lost material do not remain in the sintered media.

また、上記実施形態のメディアの製造方法の変形例として、混練工程において酸化マンガン及び酸化鉄が添加されないような方法も採り得る。  Further, as a modification of the method for manufacturing the media of the above embodiment, a method in which manganese oxide and iron oxide are not added in the kneading step can be adopted.

なお、上記実施形態及び上述の複数の変形例は、適宜組み合わされて実施可能である。  In addition, the said embodiment and the above-mentioned some modification can be implemented combining suitably.

以上、実施形態及び変形例について説明したが、本発明は、上記に限定されるものでなく、上記以外にも、その主旨を逸脱しない範囲内において種々変形して実施可能であることは勿論である。  Although the embodiment and the modified examples have been described above, the present invention is not limited to the above, and it is needless to say that various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. is there.

12…バレル槽(研磨槽)、40…メディア、42…保持部、44…潤滑性付与材料、44C…コーティング部、W…被加工物。DESCRIPTION OF SYMBOLS 12 ... Barrel tank (polishing tank), 40 ... Media, 42 ... Holding part, 44 ... Lubricity imparting material, 44C ... Coating part, W ... Workpiece.

Claims (11)

被加工物を乾式でバレル研磨する乾式バレル研磨方法であって、
前記バレル研磨で用いられるメディアの表面に潤滑性付与材料をコーティングすることで、非湿潤のコーティング部を形成して前記メディアの表面に潤滑性を付与する第一工程と、
前記メディアと前記被加工物とを研磨槽内で混合させる第二工程と、
前記メディアと前記被加工物とを前記研磨槽内で流動させることで前記被加工物を研磨する第三工程と、を有する、
乾式バレル研磨方法。
A dry barrel polishing method for barrel-polishing a workpiece in a dry manner,
Coating the surface of the media used in the barrel polishing with a lubricity-imparting material to form a non-wetting coating portion to impart lubricity to the surface of the media;
A second step of mixing the media and the workpiece in a polishing tank;
A third step of polishing the workpiece by flowing the media and the workpiece in the polishing tank,
Dry barrel polishing method.
前記第三工程において、前記研磨槽内に前記潤滑性付与材料を供給しながら前記メディアと前記被加工物とを流動させる、
請求項1に記載の乾式バレル研磨方法。
In the third step, the medium and the workpiece are caused to flow while supplying the lubricity-imparting material into the polishing tank.
The dry barrel polishing method according to claim 1.
前記潤滑性付与材料は、脂肪酸又はその塩を含む、
請求項1又は2に記載の乾式バレル研磨方法。
The lubricity-imparting material includes a fatty acid or a salt thereof.
The dry barrel polishing method according to claim 1 or 2.
前記脂肪酸又はその塩は、脂肪酸ナトリウムを含む、
請求項3に記載の乾式バレル研磨方法。
The fatty acid or salt thereof includes fatty acid sodium,
The dry barrel polishing method according to claim 3.
前記メディアは、無機質のメディアであって、前記メディアの表面には、前記潤滑性付与材料を入り込ませて保持する保持部が設けられている、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の乾式バレル研磨方法。
The medium is an inorganic medium, and the surface of the medium is provided with a holding unit that holds the lubricity-imparting material in,
The dry barrel grinding | polishing method of any one of Claims 1-4.
前記保持部は、前記メディアが多孔質体とされることで形成されている、
請求項5に記載の乾式バレル研磨方法。
The holding part is formed by the medium being a porous body,
The dry barrel polishing method according to claim 5.
前記メディアは、60〜80質量%の酸化アルミニウムと、10〜30質量%の二酸化珪素と、4〜8質量%の酸化ジルコニウムと、1〜3質量%の酸化カルシウムと、1〜4質量%の酸化マグネシウムと、を少なくとも含む焼結体である、
請求項6に記載の乾式バレル研磨方法。
The media comprises 60-80 wt% aluminum oxide, 10-30 wt% silicon dioxide, 4-8 wt% zirconium oxide, 1-3 wt% calcium oxide, and 1-4 wt% A sintered body containing at least magnesium oxide,
The dry barrel polishing method according to claim 6.
請求項7に記載の乾式バレル研磨方法に用いるメディアを製造するための方法であって、
砥粒とバインダと酸化マグネシウムと消失材料粉末とを混練する混練工程と、
前記混練工程で混練された混練物を所定の形状に成形する成形工程と、
前記成形工程で成形された成形体を焼結して焼結体にすると共に、前記消失材料粉末を消失させて前記焼結体の表面に前記保持部を形成する焼結工程と、を含む、
メディアの製造方法。
A method for producing a medium for use in the dry barrel polishing method according to claim 7,
A kneading step of kneading the abrasive grains, the binder, magnesium oxide and the disappearing material powder;
A molding step of molding the kneaded material kneaded in the kneading step into a predetermined shape;
Sintering the formed body formed in the forming step to form a sintered body, and forming the holding part on the surface of the sintered body by eliminating the disappearing material powder,
Media manufacturing method.
前記消失材料粉末の添加量は、前記砥粒、前記バインダ、前記酸化マグネシウム及び前記消失材料粉末の合計を100質量%とした場合に、1〜40質量%の量である、
請求項8に記載のメディアの製造方法。
The addition amount of the disappearing material powder is an amount of 1 to 40% by mass when the total of the abrasive grains, the binder, the magnesium oxide and the disappearing material powder is 100% by mass.
The method for manufacturing a medium according to claim 8.
前記消失材料粉末は、水酸化アルミニウムの粉末である、
請求項8又は9に記載のメディアの製造方法。
The disappearing material powder is a powder of aluminum hydroxide,
The method for producing a medium according to claim 8 or 9.
前記混練工程では、前記砥粒、前記バインダ、前記酸化マグネシウム及び前記消失材料粉末を含む混合材料に、酸化マンガン及び酸化鉄の少なくとも一方を添加し、前記混合材料と前記酸化マンガン及び前記酸化鉄の少なくとも一方と、の合計を100質量%とした場合に、前記酸化マンガン及び前記酸化鉄の少なくとも一方の含有量は、5質量%以下である、
請求項8〜10のいずれか1項に記載のメディアの製造方法。
In the kneading step, at least one of manganese oxide and iron oxide is added to a mixed material containing the abrasive grains, the binder, the magnesium oxide, and the disappearing material powder, and the mixed material, the manganese oxide, and the iron oxide are mixed. When the total of at least one and 100 mass%, the content of at least one of the manganese oxide and the iron oxide is 5 mass% or less,
The method for manufacturing a medium according to any one of claims 8 to 10.
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