JPWO2014103927A1 - 搬送機構およびそれを備えた熱処理炉 - Google Patents
搬送機構およびそれを備えた熱処理炉Info
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Abstract
被熱処理物を、円滑に炉体内部を搬送することが可能な搬送機構および熱処理炉を提供する。複数の管15を連続的に配設してレール5を形成し、かつ、レールを構成する複数の管のうち、搬送方向に隣り合う一対の管の互いに対向する端部についてみたときに、レールの被熱処理物が接触する側において、搬送方向上流側の管15aの端部16の上側部分よりも低い位置に、搬送方向下流側の管15bの端部17の上側部分が位置するようにして、搬送方向上流側の管15a上を移動してきた被熱処理物4が、搬送方向下流側の管15bの端部に衝突せずに搬送方向下流側の管15b上に移行できるようにし、かつ、複数の管を連続して配設することにより形成される複数の対向する端部のうち、少なくとも一部の対向する端部間に、管が最も大きく熱膨張した場合にも、応力で、レール5が変形することを阻止できる隙間Gを設ける。
Description
本発明は、被熱処理物を搬送するための搬送機構および熱処理炉に関し、詳しくは、例えば、未焼成のセラミック積層体などの被熱処理物を、炉内を通過させて熱処理を行う熱処理炉などに用いられる搬送機構および該搬送機構を備えた熱処理炉に関する。
例えば、積層セラミックコンデンサなどのセラミック電子部品は、通常、未焼成のセラミック積層体(被熱処理物)を熱処理(焼成)する工程を経て製造されている。
そして、そのような工程で用いられる熱処理炉の1つに、例えば、図5に示すように、未焼成のセラミック電子部品(被熱処理物)(図示せず)を、台板102に載置された収納体104に収納し、該台板102を、プッシャ装置(図示せず)により押すことにより、床板(レール)103上を、炉体101の入口から出口へと移動させながら熱処理を行うようにしたトンネル炉がある。
しかしながら、熱処理の際の昇温工程において、床板(レール)が熱膨張して変形し、被熱処理物の円滑な搬送が妨げられ、意図するような安定した焼成を行うことができなくなる場合がある。
また、床板(レール)が熱クリープにより部分的変形して、円滑な搬送ができなくなるという問題が生じる場合がある。
本発明は、上記課題を解決するものであり、被熱処理物を、複雑な構成や,高価な部材を用いることを必要とせずに、円滑に炉体内部を搬送することが可能な搬送機構およびそれを備えた熱処理炉を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の搬送機構は、
炉体内部において、被熱処理物を、レール上を移動させて搬送するための搬送機構であって、
前記レールが、耐熱材料からなる複数の管を、前記被熱処理物の搬送方向が長手方向となるような態様で、連続して配設することにより形成され、かつ、
前記レールを構成する前記複数の管のうち、前記搬送方向に隣り合う一対の管の互いに対向する端部についてみたときに、前記レールの前記被熱処理物が接触する側において、前記搬送方向上流側の管の端部よりも、前記搬送方向下流側の管の端部の方が低い位置にあり、前記搬送方向上流側の管上を移動してきた前記被熱処理物が、前記搬送方向下流側の前記管の端部に衝突することなく前記搬送方向下流側の管上に移行できるように構成されているとともに、
複数の前記管を連続して配設することにより形成される複数の前記対向する端部のうち、少なくとも一部の前記対向する端部間には、前記炉体内部の温度との関係で前記管が最も大きく熱膨張した場合にも、前記対向する端部が互いに当接して押圧しあうことにより、前記レールに前記被熱処理物の搬送に支障をきたすような変形を阻止できる隙間が設けられていること
を特徴としている。
炉体内部において、被熱処理物を、レール上を移動させて搬送するための搬送機構であって、
前記レールが、耐熱材料からなる複数の管を、前記被熱処理物の搬送方向が長手方向となるような態様で、連続して配設することにより形成され、かつ、
前記レールを構成する前記複数の管のうち、前記搬送方向に隣り合う一対の管の互いに対向する端部についてみたときに、前記レールの前記被熱処理物が接触する側において、前記搬送方向上流側の管の端部よりも、前記搬送方向下流側の管の端部の方が低い位置にあり、前記搬送方向上流側の管上を移動してきた前記被熱処理物が、前記搬送方向下流側の前記管の端部に衝突することなく前記搬送方向下流側の管上に移行できるように構成されているとともに、
複数の前記管を連続して配設することにより形成される複数の前記対向する端部のうち、少なくとも一部の前記対向する端部間には、前記炉体内部の温度との関係で前記管が最も大きく熱膨張した場合にも、前記対向する端部が互いに当接して押圧しあうことにより、前記レールに前記被熱処理物の搬送に支障をきたすような変形を阻止できる隙間が設けられていること
を特徴としている。
本発明において、「少なくとも一部の前記対向する端部間には、前記炉体内部の温度との関係で前記管が最も大きく熱膨張した場合にも、前記対向する端部が互いに当接して押圧しあうことにより、前記レールに前記被熱処理物の搬送に支障をきたすような変形を阻止するための隙間が設けられている」とは、管の軸方向と直交する方向から見て、対向する端部間に隙間がある場合に限らず、搬送方向上流側の管の端部および搬送方向下流側の管の端部の一方が、他方の管の端部の内側に入り込んでいるが、両者間には、一方が他方の内側にさらに入り込むことができるような余地(隙間)があるような場合を含む広い概念である。
また、前記一対の管の、前記対向する端部についてみたときに、前記管が熱膨張した場合に、前記搬送方向上流側の管および前記搬送方向下流側の管のいずれか一方の、開口した端部の内側に、他方の管の端部が入り込むように構成されていることが好ましい。
管が熱膨張した場合に、いずれか一方の管の開口した端部の内側に、他方の管の端部が入り込むことができるように構成することにより、一対の管を、単に間隔をおいて配設する場合に比べて、複数の管から形成されるレールの構造をより安定したものとすることが可能になるばかりでなく、熱膨張、収縮による大きな変形を効率よく吸収する面でも有利である。
なお、「前記搬送方向上流側の管および前記搬送方向下流側の管のいずれか一方の、開口した端部の内側に、他方の管の端部が入り込むように構成されている」とは、いずれか一方の管の、開口した端部の内側に、それまでは入り込んでいなかった他方の管の端部が入り込む場合や、すでに入り込んでいる状態から、さらに奥に入り込む場合を含む広い概念である。
また、前記管が、長手方向に直交する方向の断面形状が円形である円筒状の管であり、かつ、前記一対の管の、前記対向する端部についてみたときに、前記搬送方向上流側の管の端部が開口し、前記搬送方向下流側の管の端部が略半球状の底部を備えており、前記管が熱膨張した場合に、前記搬送方向下流側の管の略半球状の底部を備えた端部が、前記搬送方向上流側の管の開口した端部の内側に入り込むように構成されていることが好ましい。
上記構成とした場合、管の熱膨張による、レールの変形を抑制防止することができる。また、上記構成とすることにより、例えば、温度計の保護管などに用いられる、略半球状の有底構造を備えたセラミック製の管を用いてレールを構成することが可能になるため、レールを構成するための管を別途作製する場合に比べて、コストの低減を図ることが可能になる。
また、本発明の搬送機構においては、前記管が、長手方向に直交する方向の断面形状が円形である円筒状の管であり、かつ、前記一対の管の、前記対向する端部についてみたときに、前記搬送方向上流側の管の端部が、前記搬送方向上流側に向かって内径が小さくなるようなテーパー形状を内周面側に備えているとともに、前記搬送方向下流側の管の端部が、前記搬送方向上流側に向かって外径が小さくなるようなテーパー形状を外周面側に備えており、前記管が熱膨張した場合に、前記搬送方向上流側の管の開口した端部の内側に、前記搬送方向下流側の管の端部が入り込むように構成されていることが好ましい。
上記構成を備えることにより、複数の管を確実に係合させて、より確実に被熱処理物を保持することが可能なレールを構成できるようになる。
また、管が熱膨張した場合に、搬送方向上流側の管の開口した端部の内側に、搬送方向下流側の管の端部が入り込むため、熱膨張、収縮による大きな変形を効率よく吸収する面でも有利である。
また、管が熱膨張した場合に、搬送方向上流側の管の開口した端部の内側に、搬送方向下流側の管の端部が入り込むため、熱膨張、収縮による大きな変形を効率よく吸収する面でも有利である。
また、本発明の搬送機構においては、前記一対の管の、前記対向する端部についてみたときに、前記搬送方向下流側の管の端部の上側部分に、前記搬送方向上流側に向かって下り勾配となる傾斜部が設けられていることが好ましい。
搬送方向下流側の管の端部の上側部分に、搬送方向上流側に向かって下り勾配となる傾斜部を設けることにより、搬送方向上流側から搬送されてきた被熱処理物が、搬送方向下流側の管の傾斜した端部(傾斜部)に移行するため、被熱処理物を、搬送方向下流側の管の端部に衝突させることなく、円滑に搬送方向下流側の管上に移行させることが可能になり、本発明をより実効あらしめることができる。
また、前記管が、長手方向に直交する方向の断面形状が四角形である角筒状の管であることが好ましい。
管として、断面形状が四角形である角筒状の管を用いることにより、被熱処理物と管との接触面積が増加して、被熱処理物の均熱性を向上させることが可能になる。
管として、断面形状が四角形である角筒状の管を用いることにより、被熱処理物と管との接触面積が増加して、被熱処理物の均熱性を向上させることが可能になる。
また、本発明の熱処理炉は、
炉体内部の熱処理領域を、所定の搬送方向に搬送することにより被熱処理物を連続的に熱処理する熱処理炉であって、
本発明の搬送機構を備えており、
前記被熱処理物が、前記搬送機構により所定の方向に搬送されるように構成されていること
を特徴としている。
炉体内部の熱処理領域を、所定の搬送方向に搬送することにより被熱処理物を連続的に熱処理する熱処理炉であって、
本発明の搬送機構を備えており、
前記被熱処理物が、前記搬送機構により所定の方向に搬送されるように構成されていること
を特徴としている。
本発明の搬送機構は、上述のように構成されており、レールを構成する複数の管のうち、搬送方向に隣り合う一対の管の、互いに対向する端部についてみたときに、レールの被熱処理物が接触する側において、搬送方向上流側の管の端部よりも、搬送方向下流側の管の端部の方が低い位置にあり、複数の管を連続して配設することにより形成される複数の対向する端部のうち、少なくとも一部の対向する端部間には、炉体内部の温度との関係で管が最も大きく熱膨張した場合にも、対向する端部が互いに当接して押圧しあうことにより、レールに被熱処理物の搬送に支障をきたすような変形を阻止できる隙間が設けられているので、熱膨張によるレールの変形を抑制、防止して、被熱処理物を確実に搬送することが可能な搬送機構を提供することができる。
また、レールの被熱処理物が接触する側において、搬送方向上流側の管の端部よりも、搬送方向下流側の管の端部の方が低い位置にあるため、搬送方向上流側の管上を移動してきた被熱処理物を、搬送方向下流側の管の端部に衝突させることなく、確実に搬送方向下流側の管上に移行させることが可能であることから、被熱処理物を、円滑にレール上を搬送することができる。
また、レールの被熱処理物が接触する側において、搬送方向上流側の管の端部よりも、搬送方向下流側の管の端部の方が低い位置にあるため、搬送方向上流側の管上を移動してきた被熱処理物を、搬送方向下流側の管の端部に衝突させることなく、確実に搬送方向下流側の管上に移行させることが可能であることから、被熱処理物を、円滑にレール上を搬送することができる。
また、レールを複数の管から構成するようにしているので、レールに、熱クリープによる変形が生じた場合にも、例えば、レールを支持する部材の高さ方向の位置を調整して、特定の管の高さを調整することにより、レールのレベル調整を行うことができる。その結果、被熱処理物を安定して、確実に、しかも円滑に搬送することが可能になる。
また、本発明の熱処理炉は、上述のような本発明の搬送機構を備えていることから、被熱処理物を安定して、確実に、しかも円滑に搬送して、良好な熱処理を行うことができる。
以下、本発明の実施形態を示して、本発明をさらに詳しく説明する。
なお、以下の各実施形態では、積層セラミックコンデンサなどのセラミック電子部品を製造する場合に、未焼成のセラミック積層体(被熱処理物)を熱処理する際に用いられる熱処理炉およびそれに用いられている搬送機構を例にとって説明する。
なお、以下の各実施形態では、積層セラミックコンデンサなどのセラミック電子部品を製造する場合に、未焼成のセラミック積層体(被熱処理物)を熱処理する際に用いられる熱処理炉およびそれに用いられている搬送機構を例にとって説明する。
[実施形態1]
図1は、本発明の一実施形態(実施形態1)にかかる搬送機構を備えた熱処理炉10の構成を示す側面断面図、図2は熱処理炉10において用いられている搬送機構のレールの構成を示す断面図である。
図1は、本発明の一実施形態(実施形態1)にかかる搬送機構を備えた熱処理炉10の構成を示す側面断面図、図2は熱処理炉10において用いられている搬送機構のレールの構成を示す断面図である。
この熱処理炉10は、図1および2に示すように、断熱材1aなどからなる炉体1の内部(炉体内部)2に、加熱手段(ヒータ)3と、プッシャ(図示せず)により押し込まれた被熱処理物(未焼成のセラミック積層体が収容された匣)4を、その上を移動(摺動)させて所定の方向(図1,2において矢印Aで示す方向)に移動させるレール5と、レール5を支持する耐火煉瓦からなる複数の支持部材6とを備えている。なお、この実施形態1にかかる熱処理炉10においては、上述の図示しないプッシャ、複数の管15(15a,15b)から構成されるレール5などが本発明における搬送機構を構成している。
また、上述の複数の支持部材6のうち、一部の支持部材6aは、図示しない駆動手段により上下方向に動作させることができるように構成された支柱7により上下動可能に支持されており、必要に応じて支柱7を上下方向に動作させることにより、レール5のレベルを調整することができるように構成されている(図1参照)。
そして、この実施形態1の熱処理炉10において、レール5は、セラミック(耐熱材料)からなる複数の管15を、被熱処理物4の搬送方向(移動方向)Aが長手方向(軸心方向)となるような態様で、連続して配設することにより形成されている。
レール5を構成する管15は、長手方向に直交する方向の断面形状が円形である円筒状の管であって、一方側の端部16は開口しており、他方側の端部17は半球状の底部を備えた構造を有している(図2参照)。
レール5の構成についてさらに詳しく説明すると、レール5を構成する複数の管15のうち、搬送方向Aに隣り合う一対の管15(図1,2では、管15a,15b)の、互いに対向する端部についてみた場合、搬送方向上流側の管15(15a)の開口した端部(管15aにおける搬送方向下流側端部)16と、搬送方向下流側の管15(15b)の略半球状の底部を備えている端部(管15bにおける搬送方向上流側端部)17とが、互いに対向するように構成されている。
なお、上述のような略半球状の底部を備えた管15としては、例えば、温度計の保護管などに用いられる、略半球状の底部を備えた、セラミック製の管を用いることができる。
そして、各管15は、一対の管15(15a,15b)の間に隙間Gが存在するような態様で配設されている。この隙間Gは、熱膨張により管15が最も大きく変形した場合にも、その変形を吸収して、管15どうしが当接して互いに押圧しあい、レール5が被熱処理物4の搬送に支障を来すような変形を生じないようにするために設けられるものである。
このように構成された熱処理炉10においては、熱処理の際の昇温工程で、レール5を構成する管15が熱膨張した場合に、図2(a)に示す状態から、図2(b)に示すように、搬送方向上流側の管15(15a)の開口した端部(管15aにおける搬送方向下流側端部)16の内側に、搬送方向下流側の管15(15b)の半球状の底部を備えた端部(管15bにおける搬送方向上流側端部)17が入り込むように構成されているため、熱処理工程で炉内温度が高くなり、レール5を構成する管15が熱膨張した場合にも、レール5を構成する管15(15a,15b)に、レール5を大きく変形させるような応力(押圧力)がかかることを抑制、防止することが可能で、被熱処理物を安定して搬送することができる。
また、一対の管15(15a,15)のうちの、搬送方向下流側の管15(15b)の端部17は、半球状の底部を備えており、下方に湾曲した形状を備えているので、レール5の被熱処理物が接触する側において、搬送方向上流側の管15(15a)の開口した端部16の上側部分よりも、搬送方向下流側の管15(15b)の端部17の上側部分の方が低い位置に位置しているため、搬送方向上流側の管15(15a)上を移動してきた被熱処理物4を、搬送方向下流側の管15(15b)の端部17に衝突させることなく、搬送方向下流側の管15(15b)上に移行させることができるため、被熱処理物4を、レール5上を円滑に搬送して、安定した、良好な熱処理を行うことができる。
また、この実施形態1の熱処理炉10によれば、上述のようにレール5を複数の管15から構成するようにしているので、レール5に、熱クリープによる変形が生じた場合にも、支柱7を上下方向に動作させて、レール5を構成する複数の管15のうち、所定の管15を支持する支持部材6の高さを調整することにより、レール5のレベルを調整することが可能で、被熱処理物4を安定して搬送することができる。
したがって、本発明によれば、複雑な構成を必要とすることなく、被熱処理物4を確実かつ円滑に搬送することが可能で、安定して良好な熱処理を行うことが可能な熱処理炉を実現することができる。
[実施形態2]
図3は、本発明の他の実施形態(実施形態2)にかかる搬送機構を備えた熱処理炉10Aの要部構成(搬送機構のレール)の構成を示す断面図である。
図3は、本発明の他の実施形態(実施形態2)にかかる搬送機構を備えた熱処理炉10Aの要部構成(搬送機構のレール)の構成を示す断面図である。
この実施形態2の熱処理炉10Aは、レール5の構成(詳しくは、レール5を構成する管15の構成)が上記実施形態1の場合と異なっている点を除いて、上述の実施形態1の熱処理炉10と同様の構成を備えている。なお、図3において、図1および2と同一符号を付した部分は、同一のまたは相当する部分を示している。
この実施形態2の熱処理炉10Aでは、レール5を構成する管として、図3に示すような構造を有する管15が用いられている。すなわち、実施形態2では、管15として、長手方向に直交する方向の断面形状が円形である円筒状の管であって、一対の管15(15a,15b)の、対向する端部についてみた場合、搬送方向上流側の管15(15a)の端部(管15aにおける搬送方向下流側端部)16は、搬送方向上流側(すなわち、被熱処理物の搬送方向(搬送方向)Aと逆側)に向かって内径が小さくなるようなテーパー形状を備え、搬送方向下流側の管15(15b)の端部(管15bにおける搬送方向上流側端部)17は、搬送方向上流側(すなわち、被熱処理物の搬送方向(移動方向)Aと逆側)に向かって外径が小さくなるようなテーパー形状を備えた構造を有する管15(15a,15b)が用いられており、レール5を構成する管15が熱膨張した場合に、搬送方向上流側の管15(15a)の、内周側にテーパー形状を有する端部(管15aにおける搬送方向下流側端部)16の内側に、搬送方向下流側の管15(15b)の、外周側にテーパー形状を有する端部(管15bにおける搬送方向上流側端部)17が入り込むことができるように構成されている。
また、この実施形態2の熱処理炉10Aの場合にも、各管15は、一対の管15(15a,15b)の間に隙間Gが存在するような態様で配設されている。この隙間Gは、熱膨張により管15が最も大きく変形した場合にも、その変形を吸収して、管15どうしが当接して互いに押圧しあい、レール5が被熱処理物4の搬送に支障を来すような変形を生じないようにするために設けられている。
このように構成された実施形態2の熱処理炉10Aにおいては、熱処理の際の昇温工程で、レール5を構成する管15が熱膨張した場合に、例えば、図3(a)に示す状態(一対の管15(15a,15b)の間に、隙間Gが存在する状態)から、図3(b)に示すように、搬送方向上流側の管15(15a)の、内周側にテーパー形状を有する端部(管15aの搬送方向下流側端部)16の内側に、搬送方向下流側の管15(15b)の、外周側にテーパー形状を有する端部(管15bの搬送方向上流側端部)17が入り込む。そのため、レール5を構成する管15(15a,15b)どうしに、レール5を大きく変形させるような押圧力がかかることを抑制、防止することが可能になり、レール5の変形を防止して、被熱処理物4を確実に搬送することができる。
また、一対の管15a,15のうちの、搬送方向下流側の管15(15b)の端部17は、被熱処理物の搬送方向(移動方向)Aと逆側に向かって外径が小さくなるようなテーパー形状を備えているので、レール5の被熱処理物が接触する側において、搬送方向上流側の管15(15a)の端部16の上側部分よりも、搬送方向下流側の管15(15b)の端部17の上側部分の方が低い位置にあるため、搬送方向上流側の管15(15a)上を移動してきた被熱処理物4を、搬送方向下流側の管15(15b)の端部17に衝突させることなく搬送方向下流側の管15(15b)上に移行させることが可能になり、レール5上を円滑に搬送して、安定した良好な熱処理を行うことができる。
また、この実施形態2の熱処理炉10Aにおいても、上述のようにレール5を複数の管15から構成するようにしているので、複数の管15から形成されるレール5に、熱クリープによる変形が生じた場合にも、支柱(図3には図示せず)を上下方向に動作させて、任意の管15を保持する支持部材(図3には図示せず)の高さを調整することにより、レール5のレベルを調整することができる。
また、実施形態2の熱処理炉10Aの場合、その他の点についても上記実施形態1の熱処理炉10の場合と同様の効果を得ることができる。
[実施形態3]
図4は、本発明のさらに他の実施形態(実施形態3)にかかる搬送機構を備えた熱処理炉10Bの要部構成(搬送機構のレール)の構成を示す断面図である。
図4は、本発明のさらに他の実施形態(実施形態3)にかかる搬送機構を備えた熱処理炉10Bの要部構成(搬送機構のレール)の構成を示す断面図である。
この実施形態3の熱処理炉10Bは、レール5の構成(詳しくは、レール5を構成する管15の構成)が上記実施形態1の場合と異なっている点を除いて、上述の実施形態1の熱処理炉10と同様の構成を備えている。なお、図4において、図1および2と同一符号を付した部分は、同一のまたは相当する部分を示している。
この実施形態3の熱処理炉10Bでは、レール5を構成する管として、図4に示すような構造を有する管15が用いられている。すなわち、実施形態3では、管15として、長手方向に直交する方向の断面形状が円形ある円筒状の管であって、一対の管15(15a,15b)の、対向する端部についてみたときに、搬送方向上流側の管15(15a)の端部(管15aにおける搬送方向下流側端部)16は、管15を軸方向に直交する方向に切断した形状であって端面まで外径が同じ形状を有しているが、搬送方向下流側の管15(15b)の端部(管15bにおける搬送方向上流側端部)17の上側部分には、搬送方向上流側(すなわち、被熱処理物の搬送方向(移動方向)Aと逆側)に向かって下り勾配となる傾斜部18が設けられた管が用いられている。
また、搬送方向上流側の管15(15a)の端部16と、搬送方向下流側の管15(15b)の端部17との間には、管15(15a,15b)が最も大きく熱膨張したときにも、レール5が被熱処理物4の搬送に支障を来すような変形を生じないようにするための隙間Gが設けられている
このように構成された実施形態3の熱処理炉10Bにおいては、熱処理の際の昇温工程で、レール5を構成する管15が熱膨張した場合に、例えば、図4(a)に示す状態(一対の管15(15a,15b)の間に、隙間Gが存在する状態)から、図4(b)に示すように、搬送方向上流側の管15(15a)の端部16と、搬送方向下流側の管15(15b)の端部17との隙間Gが小さくなることにより、レール5を構成する各管15(15a,15b)に、レール5を大きく変形させるような押圧力がかかることを抑制、防止することが可能になる。その結果、レール5の変形を防止して、被熱処理物4を確実に搬送することが可能になる。
また、一対の管15(15a,15b)のうちの、搬送方向下流側の管15(15b)の端部17の上側部分には、搬送方向上流側(すなわち、被熱処理物の搬送方向Aと逆側)に向かって下り勾配となる傾斜部18が設けられており、レール5の被熱処理物が接触する側において、搬送方向上流側の管15(15a)の端部16の上側部分よりも、搬送方向下流側の管15(15b)の端部17の上側部分の方が低い位置にあるため、搬送方向上流側の管15(15a)上を移動してきた被熱処理物4を、搬送方向下流側の管15(15b)の端部17に衝突させることなく搬送方向下流側の管15(15b)上に移行させることができるため、レール5上を円滑に搬送して、安定して、良好な熱処理を行うことができる。
また、この実施形態3の熱処理炉10Bにおいても、上述のようにレール5を複数の管15から構成するようにしているので、複数の管15から形成されるレール5に、熱クリープによる変形が生じた場合にも、支柱(図3には図示せず)を上下方向に動作させて、任意の管15を保持する支持部材(図3には図示せず)の高さを調整することにより、レール5のレベルを調整することができる。
また、実施形態3の熱処理炉10Bの場合、その他の点についても上記実施形態1の熱処理炉10の場合と同様の効果を得ることができる。
なお、レール5を構成する管15(15a,15b)の具体的な構成は、上記の各実施形態で示したものに限定されるものではなく、例えば、長手方向に直交する方向の断面形状が四角形である角筒状の管を用いることも可能であり、さらに他の構成とすることも可能である。
本発明はさらにその他の点においても、上記実施形態に限定されるものではなく、炉体内部の構造、加熱手段の具体的な構成などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
1 炉体
10 実施形態1の熱処理炉
10A 実施形態2の熱処理炉
10B 実施形態3の熱処理炉
1 炉体
1a 断熱材
2 炉体内部
3 加熱手段(ヒータ)
5 レール
6(6a) 支持部材
7 上下方向に動作させることが可能な支柱
15 管
15a 一対の管のうちの搬送方向上流側の管
15b 一対の管のうちの搬送方向下流側の管
16 管15aの端部(搬送方向下流側端部)
17 管15bの端部(搬送方向上流側端部)
18 傾斜部
A 被熱処理物の搬送方向(移動方向)
G 隙間
10 実施形態1の熱処理炉
10A 実施形態2の熱処理炉
10B 実施形態3の熱処理炉
1 炉体
1a 断熱材
2 炉体内部
3 加熱手段(ヒータ)
5 レール
6(6a) 支持部材
7 上下方向に動作させることが可能な支柱
15 管
15a 一対の管のうちの搬送方向上流側の管
15b 一対の管のうちの搬送方向下流側の管
16 管15aの端部(搬送方向下流側端部)
17 管15bの端部(搬送方向上流側端部)
18 傾斜部
A 被熱処理物の搬送方向(移動方向)
G 隙間
Claims (7)
- 炉体内部において、被熱処理物を、レール上を移動させて所定方向に搬送するための搬送機構であって、
前記レールが、耐熱材料からなる複数の管を、前記被熱処理物の搬送方向が長手方向となるような態様で、連続して配設することにより形成され、かつ、
前記レールを構成する前記複数の管のうち、前記搬送方向に隣り合う一対の管の互いに対向する端部についてみたときに、前記レールの前記被熱処理物が接触する側において、前記搬送方向上流側の管の端部よりも、前記搬送方向下流側の管の端部の方が低い位置にあり、前記搬送方向上流側の管上を移動してきた前記被熱処理物が、前記搬送方向下流側の前記管の端部に衝突することなく前記搬送方向下流側の管上に移行できるように構成されているとともに、
複数の前記管を連続して配設することにより形成される複数の前記対向する端部のうち、少なくとも一部の前記対向する端部間には、前記炉体内部の温度との関係で前記管が最も大きく熱膨張した場合にも、前記対向する端部が互いに当接して押圧しあうことにより、前記レールに前記被熱処理物の搬送に支障をきたすような変形を阻止できる隙間が設けられていること
を特徴とする搬送機構。 - 前記一対の管の、前記対向する端部についてみたときに、前記管が熱膨張した場合に、前記搬送方向上流側の管および前記搬送方向下流側の管のいずれか一方の、開口した端部の内側に、他方の管の端部が入り込むように構成されていることを特徴とする請求項1記載の搬送機構。
- 前記管が、長手方向に直交する方向の断面形状が円形である円筒状の管であり、かつ、前記一対の管の、前記対向する端部についてみたときに、前記搬送方向上流側の管の端部が開口し、前記搬送方向下流側の管の端部が、略半球状の底部を備えており、前記管が熱膨張した場合に、前記搬送方向下流側の管の略半球状の底部を備えた端部が、前記搬送方向上流側の管の開口した端部の内側に入り込むように構成されていることを特徴とする請求項1または2記載の搬送機構。
- 前記管が、長手方向に直交する方向の断面形状が円形である円筒状の管であり、かつ、前記一対の管の、前記対向する端部についてみたときに、前記搬送方向上流側の管の端部が、前記搬送方向上流側に向かって内径が小さくなるようなテーパー形状を内周面側に備えているとともに、前記搬送方向下流側の管の端部が、前記搬送方向上流側に向かって外径が小さくなるようなテーパー形状を外周面側に備えており、前記管が熱膨張した場合に、前記搬送方向上流側の管の開口した端部の内側に、前記搬送方向下流側の管の端部が入り込むように構成されていることを特徴とする請求項1または2記載の搬送機構。
- 前記一対の管の、前記対向する端部についてみたときに、前記搬送方向下流側の管の端部の上側部分に、前記搬送方向上流側に向かって下り勾配となる傾斜部が設けられていることを特徴とする請求項1記載の搬送機構。
- 前記管が、長手方向に直交する方向の断面形状が四角形である角筒状の管であることを特徴とする請求項1、2、および5のいずれかに記載の搬送機構。
- 炉体内部の熱処理領域を、所定の搬送方向に搬送することにより被熱処理物を連続的に熱処理する熱処理炉であって、
請求項1〜6のいずれかに記載の搬送機構を備えており、
前記被熱処理物が、前記搬送機構により所定の方向に搬送されるように構成されていること
を特徴とする熱処理炉。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012286847 | 2012-12-28 | ||
JP2012286847 | 2012-12-28 | ||
PCT/JP2013/084240 WO2014103927A1 (ja) | 2012-12-28 | 2013-12-20 | 搬送機構およびそれを備えた熱処理炉 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2014103927A1 true JPWO2014103927A1 (ja) | 2017-01-12 |
Family
ID=51021011
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014554410A Pending JPWO2014103927A1 (ja) | 2012-12-28 | 2013-12-20 | 搬送機構およびそれを備えた熱処理炉 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPWO2014103927A1 (ja) |
WO (1) | WO2014103927A1 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2013
- 2013-12-20 WO PCT/JP2013/084240 patent/WO2014103927A1/ja active Application Filing
- 2013-12-20 JP JP2014554410A patent/JPWO2014103927A1/ja active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2014103927A1 (ja) | 2014-07-03 |
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