JPWO2013171893A1 - Board work system - Google Patents
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Abstract
配列された複数の作業機16を備え、回路基板がそれら複数の作業機の上流側に配置されたものから下流側に配置されたものにわたって搬送されつつ、その回路基板に対する作業を実行する対基板作業システムにおいて、対基板作業システムが、隣り合う2以上の作業機の各々に固定機構によって固定され、それら2以上の作業機の少なくとも1の作業機に電子部品を供給する供給装置80を備えるように構成する。このように構成することで、供給装置の作業機への接続部にかかる荷重を分散させるとともに、供給装置を作業機に確実に固定することが可能となり、供給装置のガタつき、傾き等を防止することが可能となる。A counter substrate that includes a plurality of work machines 16 arranged and that performs work on the circuit board while the circuit board is transported from the upstream side to the downstream side of the plurality of work machines. In the work system, the on-board work system includes a supply device 80 that is fixed to each of two or more adjacent work machines by a fixing mechanism and supplies an electronic component to at least one work machine of the two or more work machines. Configure. With this configuration, it is possible to disperse the load applied to the connection portion of the supply device to the work machine, and to securely fix the supply device to the work device, thereby preventing the supply device from rattling or tilting. It becomes possible to do.
Description
本発明は、配列された複数の作業機を備えた対基板作業システムに関するものである。 The present invention relates to a substrate work system including a plurality of work machines arranged.
配列された複数の作業機を備えた対基板作業システムでは、回路基板がそれら複数の作業機の上流側に配置されたものから下流側に配置されたものにわたって搬送されつつ、その回路基板に対してそれら複数の作業機の各々による作業が順次実行されることで、その回路基板に対する作業が実行されるように構成されている。このように構成されたシステムの作業機はスリム化される傾向にあり、これにより、システム全体のコンパクト化が図られている。 In an on-board working system having a plurality of working machines arranged, a circuit board is transported over what is arranged on the downstream side from those arranged on the upstream side of the plurality of working machines, while the circuit board is transported to the circuit board. Thus, the work for each circuit board is executed by sequentially executing the work by each of the plurality of work machines. The working machine of the system configured as described above tends to be slimmed down, thereby making the entire system compact.
一方で、作業機に電子部品を供給するための供給装置は、供給すべき電子部品の多様化,電子部品としてのダイを供給するためのダイ集合体の大型化等に伴って、ワイド化されることが望まれている。ちなみに、ダイ集合体は、ウェハにダイシングシートを貼着したものをダイシングしてなるものであり、単にウェハと呼ばれることもある。また、ダイは、チップと呼ばれることもある。 On the other hand, supply devices for supplying electronic components to work machines have been widened as diversification of electronic components to be supplied and die assemblies for supplying dies as electronic components have increased in size. It is hoped that Incidentally, the die assembly is formed by dicing a wafer in which a dicing sheet is adhered, and is sometimes simply referred to as a wafer. A die is sometimes called a chip.
そのように、ワイド化された供給装置をスリム化された作業機に取り付けるために、種々の工夫が凝らされており、例えば、下記特許文献1に記載のシステムでは、作業機の幅方向にはみ出した状態で供給装置を作業機に取り付けるように構成されている。また、下記特許文献2に記載のシステムでは、2台の作業機を離間させた状態で配列し、離間した2台の作業機の間に供給装置を配設するように構成されている。 As described above, various devices have been devised in order to attach the widened supply device to the slimmed working machine. For example, in the system described in Patent Document 1 below, the working machine protrudes in the width direction. In this state, the supply device is configured to be attached to the work machine. In the system described in Patent Document 2 below, two work machines are arranged in a separated state, and a supply device is arranged between the two separated work machines.
上記特許文献に記載のシステムによれば、作業機より幅広の供給装置を、ある程度適切に作業機に取り付けることは可能である。しかしながら、供給装置が作業機の幅方向にはみ出した状態で作業機に取り付けられたシステムにおいては、供給装置の作業機への接続部にかかる荷重が偏り、供給装置を作業機に適切に固定出来ない虞がある。また、離間した2台の作業機の間に供給装置が配設されたシステムにおいては、2台の作業機の間に供給装置を配設するためのスペースが必要となり、その結果、システムの大型化を招く恐れがある。このように、幅広の供給装置が作業機に取り付けられたシステムは、改良の余地を多分に残すものとなっている。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、種々の改良を施すことによって、そのシステムの実用性を高くすることを課題とする。 According to the system described in the above-mentioned patent document, it is possible to attach a supply device wider than the work machine to the work machine to some extent appropriately. However, in a system in which the supply device is attached to the work machine in a state where the supply device protrudes in the width direction of the work machine, the load applied to the connection portion of the supply device to the work machine is uneven, and the supply device can be appropriately fixed to the work machine. There is no fear. Further, in a system in which the supply device is disposed between two spaced apart work machines, a space is required for arranging the supply device between the two work machines. There is a risk that Thus, the system in which the wide supply device is attached to the work machine leaves much room for improvement. This invention is made | formed in view of such a situation, and makes it a subject to make the practicality of the system high by giving various improvement.
上記課題を解決するために、本願の請求項1に記載の対基板作業システムは、配列された複数の作業機を備え、回路基板がそれら複数の作業機の上流側に配置されたものから下流側に配置されたものにわたって搬送されつつ、その回路基板に対してそれら複数の作業機の各々による作業が順次実行されることで、その回路基板に対する作業を実行する対基板作業システムにおいて、前記複数の作業機の各々が、回路基板を搬送する搬送装置と、回路基板に対する作業を行う作業ヘッドと、その作業ヘッドを任意の位置に移動させる移動装置とを有し、当該対基板作業システムが、前記複数の作業機のうちの互いに隣り合う2以上の作業機の各々に固定機構によって固定され、それら2以上の作業機の少なくとも1の作業機に電子部品を供給する供給装置を備えることを特徴とする。 In order to solve the above-described problem, a substrate work system according to claim 1 of the present application includes a plurality of work machines arranged, and a circuit board is arranged downstream from the work machine disposed upstream of the work machines. In the on-board work system for performing work on the circuit board by sequentially performing work by each of the plurality of work machines on the circuit board while being conveyed over the one arranged on the side, Each of the working machines includes a transport device that transports the circuit board, a work head that performs work on the circuit board, and a moving device that moves the work head to an arbitrary position. The two or more work machines adjacent to each other among the plurality of work machines are fixed by a fixing mechanism, and an electronic component is supplied to at least one of the two or more work machines. Characterized in that it comprises a supply device.
また、請求項2に記載の対基板作業システムは、請求項1に記載の対基板作業システムにおいて、前記供給装置が、前記2以上の作業機に対応して設けられ、前記2以上の作業機の各々に設けられた作業機側端子に接続される2以上の供給装置側端子を有することを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, there is provided the anti-substrate work system according to the first aspect, wherein the supply device is provided corresponding to the two or more work machines, and the two or more work machines are provided. It has the 2 or more supply apparatus side terminal connected to the work machine side terminal provided in each of these.
また、請求項3に記載の対基板作業システムは、請求項1または請求項2に記載の対基板作業システムにおいて、前記供給装置が、前記2以上の作業機に電子部品を供給することを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, there is provided the on-board working system according to the first or second aspect, wherein the supply device supplies electronic components to the two or more working machines. And
また、請求項4に記載の対基板作業システムは、請求項3に記載の対基板作業システムにおいて、前記供給装置が、ウェハをダイシングしてなるダイ集合体からダイを供給するダイ供給機を有し、そのダイ供給機が、ダイ集合体を保持するダイ集合体保持装置と、前記2以上の作業機に対応して設けられ、前記ダイ集合体保持装置によって保持されたダイ集合体からダイをピックアップし、前記2以上の作業機の自身に対応するものにピックアップしたダイを供給するための2以上のピックアップヘッドとを有することを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the anti-substrate working system according to the third aspect, wherein the supply device has a die supply machine for supplying a die from a die assembly formed by dicing a wafer. The die feeder is provided corresponding to the die assembly holding device that holds the die assembly and the two or more working machines, and the die is removed from the die assembly held by the die assembly holding device. It has two or more pickup heads for picking up and supplying the picked-up dies to the one corresponding to itself of the two or more work machines.
また、請求項5に記載の対基板作業システムは、請求項1または請求項2に記載の対基板作業システムにおいて、前記供給装置が、前記2以上の作業機の少なくとも1の作業機には、電子部品を供給せず、その少なくとも1の作業機の有する前記作業ヘッドは、電子部品を回路基板に装着するための装着作業とは異なる作業を行うためのものであることを特徴とする。 Further, the substrate work system according to claim 5 is the substrate work system according to claim 1 or 2, wherein the supply device includes at least one work machine of the two or more work machines, The work head of at least one working machine that does not supply electronic components is for performing a work different from the work for mounting the electronic parts on the circuit board.
また、請求項6に記載の対基板作業システムは、請求項1ないし請求項5のいずれか1つに記載の対基板作業システムにおいて、前記2以上の作業機が、隣接して配列されるとともに、配列方向における前記2以上の作業機の各々の寸法が、同じとされ、前記配列方向における前記供給装置の寸法が、前記2以上の作業機の各々の寸法の整数倍であることを特徴とする。 According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the on-board working system according to any one of the first to fifth aspects, wherein the two or more work machines are arranged adjacent to each other. The dimensions of the two or more work machines in the arrangement direction are the same, and the dimension of the supply device in the arrangement direction is an integral multiple of the dimensions of the two or more work machines. To do.
請求項1に記載の対基板作業システムでは、1台の供給装置が、隣り合う2以上の作業機の各々に固定機構によって固定されている。これにより、供給装置の作業機への接続部にかかる荷重を分散させるとともに、供給装置を作業機に確実に固定することが可能となり、供給装置のガタつき、傾き等を防止することが可能となる。 In the substrate work system according to claim 1, one supply device is fixed to each of two or more adjacent work machines by a fixing mechanism. As a result, it is possible to disperse the load applied to the connection portion of the supply device to the work machine, and to securely fix the supply device to the work machine, and to prevent the supply device from rattling or tilting. Become.
また、請求項2に記載の対基板作業システムでは、2以上の作業機の各々と供給装置とが電気的に接続される。これにより、作業機毎に、供給装置に関する情報、具体的には、供給装置の作業機への取付の有無,供給する電子部品に関する情報等を送信することが可能となる。 In the substrate-to-board working system according to the second aspect, each of the two or more working machines and the supply device are electrically connected. As a result, it is possible to transmit information regarding the supply device, specifically, whether or not the supply device is attached to the work device, information regarding the electronic components to be supplied, and the like for each work machine.
また、請求項3に記載の対基板作業システムは、供給装置が、固定機構によって固定される2以上の作業機に電子部品を供給するように構成されている。つまり、1台の供給装置から複数の作業機に電子部品が供給可能とされている。これにより、効率的に電子部品の供給を行うことが可能となる。 According to a third aspect of the present invention, the supply system is configured such that the supply device supplies electronic components to two or more work machines fixed by a fixing mechanism. That is, electronic components can be supplied from a single supply device to a plurality of work machines. This makes it possible to efficiently supply electronic components.
また、請求項4に記載の対基板作業システムでは、供給装置が、ダイ集合体からダイを供給するダイ供給機を有している。これにより、幅広の供給装置にダイ供給機を配設することが可能となり、比較的大きなダイ集合体を収容することが可能となる。また、ダイ供給機は、ダイ集合体からダイをピックアップするためのピックアップヘッドを複数有している。つまり、供給装置が固定機構によって固定される2以上の作業機に対応して、1枚のダイ集合体からダイを供給するための経路が複数形成されている。これにより、効率的にダイを供給することが可能となっている。 According to a fourth aspect of the present invention, the supply device includes a die supply machine for supplying a die from the die assembly. Thereby, it becomes possible to arrange | position a die supply machine to a wide supply apparatus, and it becomes possible to accommodate a comparatively big die assembly. The die feeder has a plurality of pickup heads for picking up dies from the die assembly. That is, a plurality of paths for supplying dies from one die assembly are formed corresponding to two or more work machines in which the supply device is fixed by the fixing mechanism. This makes it possible to supply the die efficiently.
また、請求項5に記載の対基板作業システムでは、供給装置が、固定機構によって固定される2以上の作業機の少なくとも1の作業機に、電子部品を供給せず、その少なくとも1の作業機では、装着作業と異なる作業が行われるように構成されている。これにより、電子部品が供給されない作業機を有効に活用することが可能となり、対基板作業システムを効率的に作動させることが可能となる。 Further, in the anti-substrate work system according to claim 5, the supply device does not supply electronic components to at least one work machine of the two or more work machines fixed by the fixing mechanism, and the at least one work machine. Then, it is comprised so that the operation | work different from a mounting operation may be performed. Accordingly, it is possible to effectively use a work machine to which no electronic component is supplied, and it is possible to efficiently operate the substrate work system.
また、請求項6に記載の対基板作業システムでは、各作業機の幅が同じとされ、供給装置の幅が各作業機の幅の整数倍とされている。これにより、システムを構成する複数の作業機のいずれのものであっても、供給装置を取り付けることが可能となり、供給装置の汎用性を高くすることが可能となる。 Further, in the substrate work system according to the sixth aspect, the width of each work machine is the same, and the width of the supply device is an integral multiple of the width of each work machine. Thereby, even if it is any of the some working machines which comprise a system, it becomes possible to attach a supply apparatus, and it becomes possible to raise the versatility of a supply apparatus.
以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例および変形例を、図を参照しつつ詳しく説明する。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments and modifications of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as modes for carrying out the present invention.
<実施例>
図1に、電子回路部品装着システム10を示す。図1に示すシステム10は、回路基板に電子回路部品(以下、「電子部品」と略す場合がある)を装着する作業を行うものであり、互いに隣接して配設された4台の電子部品装着装置12から構成されている。電子部品装着装置12は、1つのシステムベース14と、そのシステムベース14の上に互いに隣接されて配設された2つの電子部品装着機16とを含んで構成されている。つまり、8台の電子部品装着機16が順に並んで配列されている。なお、以下の説明において、電子部品装着機16の並ぶ方向をX軸方向とし、その方向に直角な水平の方向をY軸方向と称する。<Example>
FIG. 1 shows an electronic circuit
上記システム10を構成する4台の電子部品装着装置12は互いに同じ構成であるため、4台の電子部品装着装置12のうちの1台を図2に示し、その1台の電子部品装着装置12を代表して説明する。ちなみに、図2は、電子部品装着装置12の外装部品の一部を取り除いた斜視図である。電子部品装着装置12の備える電子部品装着機16の各々は、主に、フレーム部20とそのフレーム部20に上架されたビーム部22とを含んで構成された装着機本体24と、回路基板をX軸方向に搬送するとともに設定された位置に固定する搬送装置26と、その搬送装置26によって固定された回路基板に電子部品を装着する装着ヘッド28と、ビーム部22に配設されて装着ヘッド28をX軸方向およびY軸方向に移動させる移動装置30と、フレーム部20の前方に配設され装着ヘッド28に回路部品を供給する供給装置32とを備えている。
Since the four electronic
搬送装置26は、2つのコンベア装置40,42を備えており、それら2つのコンベア装置40,42は、互いに平行、かつ、X軸方向に延びるようにフレーム部20のY軸方向での中央部に配設されている。2つのコンベア装置40,42の各々は、電磁モータ(図示省略)によって各コンベア装置40,42に支持される回路基板をX軸方向に搬送する構造とされている。さらに、コンベア装置40,42の各々は、基板保持装置(図示省略)を有しており、所定の位置において回路基板を固定的に保持する構造とされている。
The
また、装着ヘッド28は、搬送装置26によって保持された回路基板に対して電子部品を装着するものであり、下面に電子部品を吸着する吸着ノズル50を有している。吸着ノズル50は、負圧エア,正圧エア通路を介して正負圧供給装置(図示省略)に通じており、負圧にて電子部品を吸着保持し、僅かな正圧が供給されることで保持した電子部品を離脱する構造とされている。さらに、装着ヘッド28は、吸着ノズル50を昇降させるノズル昇降装置(図示省略)および吸着ノズル50をそれの軸心回りに自転させるノズル自転装置(図示省略)を有しており、保持する電子部品の上下方向の位置および電子部品の保持姿勢を変更することが可能とされている。なお、吸着ノズル50は、装着ヘッド28に着脱可能とされており、電子部品のサイズ,形状等に応じて変更することが可能とされている。
The mounting
移動装置30は、その装着ヘッド28をフレーム部20上の任意の位置に移動させるものであり、装着ヘッド28をX軸方向に移動させるためのX軸方向スライド機構(図示省略)と、装着ヘッド28をY軸方向に移動させるためのY軸方向スライド機構(図示省略)とを備えている。Y軸方向スライド機構は、Y軸方向に移動可能にビーム部22に設けられたY軸スライダ(図3参照)60と、駆動源としての電磁モータ(図示省略)とを有しており、その電磁モータによって、Y軸スライダ60がY軸方向の任意の位置に移動可能とされている。また、X軸方向スライド機構は、X軸方向に移動可能にY軸スライダに設けられたX軸スライダ66と、駆動源としての電磁モータ(図示省略)とを有しており、その電磁モータによって、X軸スライダ66がX軸方向の任意の位置に移動可能とされている。そして、そのX軸スライダ66に装着ヘッド28が取り付けられることで、装着ヘッド28は、移動装置30によって、フレーム部20上の任意の位置に移動可能とされている。なお、装着ヘッド28は、X軸スライダ66にワンタッチで着脱可能とされており、種類の異なる作業ヘッド、例えば、ディスペンサヘッド,検査ヘッド等に変更することが可能とされている。
The moving
また、供給装置32は、ベースとしてのフレーム部20の前方側の端部に配設されており、フィーダ型の供給装置とされている。供給装置32は、電子部品がテーピング化されたテープ化部品をリール72に巻回させた状態で収容する複数のテープフィーダ74と、それら複数のテープフィーダ74の各々に収容されているテープ化部品を送り出す複数の送出装置(図示省略)とを有しており、テープ化部品から電子部品を装着ヘッド28への供給位置に順次供給する構造とされている。なお、テープフィーダ74は、フレーム部20の前方側の端部に取り付けられたデバイスパレット76に着脱可能とされており、電子部品の交換等に対応可能とされている。
The
また、テープフィーダ74が着脱されるデバイスパレット76は、クランプ機構(図5参照)78の作動によりフレーム部20に着脱可能とされており、デバイスパレット76をフレーム部20から取り外して、フィーダ型の供給装置32とは異なる種類の供給装置80をフレーム部20に取り付けることが可能とされている。ただし、供給装置80は、ウェハにダイシングシートを貼着したものをダイシングしてなるダイ集合体からダイを供給するものであり、比較的大きなダイ集合体を収容するべく、供給装置80の幅(X軸方向における寸法)は、電子部品装着機16の幅(X軸方向における寸法)より大きくされている。このため、供給装置80は、2台の電子部品装着機16のフレーム部20に取り付けられるようになっている。
The
具体的には、図3に示すように、供給装置80の幅は、電子部品装着機16の幅の2倍とされており、隣接された2台の電子部品装着機16のフレーム部20の前面側に取り付けられている。ちなみに、図3は、電子部品装着機16からデバイスパレット76が取り外され、供給装置32の代わりに供給装置80が取り付けられた状態の電子部品装着装置12を上方からの視点において示した図である。
Specifically, as shown in FIG. 3, the width of the
供給装置80は、ダイ集合体を保持するとともに、保持されたダイ集合体からダイを供給するダイ供給機82と、ダイ供給機82が載置される載置プレート84と、載置プレート84を支持する支持フレーム(図示省略)とから構成されている。ダイ供給機82は、載置プレート84の略中央に配設されてダイ集合体を固定的に保持するダイ集合体保持装置86と、ダイ集合体保持装置86によって保持されたダイ集合体からダイをピックアップする2台のピックアップヘッド88と、それら2台のピックアップヘッド88を載置プレート84上の任意の位置に移動させるヘッド移動装置90と、2台のピックアップヘッド88にピックアップされたダイを供給位置まで運ぶ2台のシャトル機構92とを備えている。
The
ダイ集合体保持装置86は、図4に示すように、Y軸方向に延びるように配設された1対のガイドレール(図では一方のみが示されている)100と、それら1対のガイドレール100によってY軸方向に移動可能に保持された保持フレーム102と、その保持フレーム102をY軸方向に移動させるフレーム移動機構104とを有しており、ダイ集合体106が保持フレーム102上において保持され、保持されたダイ集合体106が、フレーム移動機構104によって、Y軸方向に移動させられるようになっている。
As shown in FIG. 4, the die
また、2台のピックアップヘッド88の各々は、ダイ集合体保持装置86によって保持されたダイ集合体保持装置86からダイ108をピックアップするものであり、ダイ108を吸着するための吸着ノズル(図示省略)を下端部に保持する複数本の保持ロッド110を備えている。各保持ロッド110に保持された吸着ノズルは、エア通路を介して負圧供給装置(図示省略)に通じており、負圧にてダイ108を吸着保持する構造とされている。
Each of the two pickup heads 88 is for picking up the die 108 from the die
また、ヘッド移動装置90は、XYロボット型の移動装置であり、各ピックアップヘッド88を載置プレート84上の任意の位置に移動可能とされている。詳しく言えば、ヘッド移動装置90は、ピックアップヘッド88をY軸方向に移動させるためのY軸方向スライド機構112と、ピックアップヘッド88をX軸方向に移動させるためのX軸方向スライド機構114とを備えている。Y軸方向スライド機構112は、Y軸方向に移動可能に載置プレート84上に設けられたY軸方向スライダ116と、電磁モータ(図示省略)とを有しており、その電磁モータによって、Y軸方向スライダ116がY軸方向の任意の位置に移動可能とされている。また、X軸方向スライド機構114は、X軸方向に移動可能にY軸方向スライダ116の側面に設けられた2つのX軸方向スライダ118と、2つのX軸方向スライダ118の各々に対応する電磁モータ(図示省略)とを有しており、2つのX軸方向スライダ118の各々が、その各々に対応する電磁モータによってX軸方向の任意の位置に移動可能とされている。そして、それら2つのX軸方向スライダ118に、2台のピックアップヘッド88が取り付けられることで、2台のピックアップヘッド88の各々は、ヘッド移動装置90によって、載置プレート84上の任意の位置に移動可能とされている。
The
なお、ピックアップヘッド88が取り付けられるX軸方向スライダ118には、下方を向いた状態でダイカメラ120が設けられており、X軸方向スライダ118がヘッド移動装置90によって移動させられることで、ダイ集合体保持装置86に保持されたダイ集合体106を任意の位置において撮像することが可能となっている。これにより、ダイ集合体106の複数のダイ108の各々の位置情報等を取得することが可能となっている。
The
また、2台のシャトル機構92は、図3に示すように、2台の電子部品装着機16に対応して設けられており、ダイ集合体保持装置86を挟むようにして載置プレート84上に固定されている。各シャトル機構92は、概して長手形状のシャトル本体122と、そのシャトル本体122の上面に設けられたダイ搬送台124とから構成されており、ダイ搬送台124は、シャトル本体122の長手方向にスライド可能とされている。ダイ搬送台124は、ピックアップヘッド88からダイ108を受け取り、その受け取ったダイ108を供給位置まで搬送するものであり、ダイ108を受け取るためのシャトルノズル(図示省略)を有している。また、シャトル本体122は、Y軸方向に延びるようにして、それの基端側の部分において載置プレート84の上面に固定されており、先端側の部分が載置プレート84から延び出している。これにより、各シャトル機構92の先端側の部分は、供給装置80が電子部品装着装置12に取り付けられた状態で、各電子部品装着機16のフレーム部20上に延び出している。
Further, as shown in FIG. 3, the two
また、供給装置80は、2台の電子部品装着機16のフレーム部20に設けられた2個のクランプ機構78によって電子部品装着装置12に固定的に取り付けられる。詳しくは、供給装置80の載置プレート84の下面には、図5に示すように、下方に突出する掛止部126が形成されている。そして、供給装置80の電子部品装着装置12への取り付け時には、その掛止部126が形成された載置プレート84の先端部によって、2台の電子部品装着機16のフレーム部20の前方側端部が覆われる。その載置プレート84に覆われる各フレーム部20の前方側端部の上面には、クランプ機構78を構成する揺動アーム128が取り付けられている。揺動アーム128は、Y軸方向に揺動可能とされており、クランプ機構78を構成するアクチュエータ(図示省略)の駆動により、揺動アーム128を前方側に向けて傾倒させた位置(図で揺動アーム128が実線で示される位置)と立設させた位置(図で揺動アーム128が点線で示される位置)との間で揺動可能とされている。
The
このような構造により、揺動アーム128が前方側に向けて傾倒した状態とされている場合には、供給装置80を電子部品装着装置12に装着、若しくは、電子部品装着装置12から取り外すことが可能となっており、揺動アーム128が立設した状態とされている場合には、供給装置80がクランプ機構78によってフレーム部20にロックされ、供給装置80を電子部品装着装置12から取り外すことができなくなっている。なお、供給装置80の支持フレームの脚部には、キャスター(図示省略)が取り付けられており、キャスターの転動により、供給装置80のフレーム部20への着脱が容易に行われるようになっている。
With such a structure, when the
また、クランプ機構78によってロックされる載置プレート84の先端部の下面には、2台の電子部品装着機16に対応して2個のコネクタ130が設けられており、2台の電子部品装着機16の各フレーム部20には、自身に対応するコネクタ130が接続されるコネクタ接続部132が設けられている。これにより、供給装置80が電子部品装着装置12に装着された際には、2台の電子部品装着機16の各々と供給装置80とは電気的に接続される。
In addition, two
上述したようにして、2台の電子部品装着機16のフレーム部20に、2個のクランプ機構78によって固定された供給装置80では、2台のピックアップヘッド88によって、ダイ集合体106からダイ108をピックアップするとともに、ピックアップしたダイ108を、2台のシャトル機構92によって供給位置まで搬送することで、2台の電子部品装着機16にダイ108を供給することが可能とされている。具体的には、まず、2つのX軸方向スライダ118の各々に取り付けられたダイカメラ120が、ダイ集合体保持装置86によって保持されたダイ集合体106の複数のダイ108のうちのピックアップすべきダイ108の上方に、ヘッド移動装置90によって移動させられる。そして、各ダイカメラ120によって、ダイ108が撮像され、その撮像によりダイ108の位置情報が取得される。
As described above, in the
続いて、取得されたダイ108の位置情報に基づいて、各ピックアップヘッド88が、ピックアップされるダイ108の上方に、ヘッド移動装置90によって移動させられる。そして、各ピックアップヘッド88の保持ロッド110が下降させられる。これにより、保持ロッド110の吸着ノズルによって、ダイ108が吸着保持され、ダイ集合体106からピックアップされる。なお、ダイ集合体保持装置86の下方には、ダイ108を下方から突き上げる突上機構(図示省略)が設けられており、吸着ノズルによるダイ108の吸着時に、ダイ108が突上機構によって上方に突き上げられることで、ダイ108のピックアップがサポートされるようになっている。
Subsequently, based on the acquired position information of the
次に、ダイ108をピックアップした各ピックアップヘッド88は、ヘッド移動装置90によって、自身に対応するシャトル機構92のダイ搬送台124の上方に移動させられる。ちなみに、ピックアップヘッド88によってダイ108がピックアップされる際には、ダイ搬送台124が、シャトル本体122の基端部(図3でダイ搬送台124が実線で示される位置)に位置させられている。そして、各ピックアップヘッド88の保持ロッド110が下降させられ、吸着ノズルへの負圧の供給が停止されることで、ピックアップされたダイ108がダイ搬送台124のシャトルノズルに受け渡される。
Next, each
そして、各シャトル本体122の基端部でダイ108を受け取った各ダイ搬送台124は、先端部に向かってスライドされ、各シャトル本体122の先端部(図3でダイ搬送台124が点線で示される位置)においてダイ108が供給される。つまり、図3でダイ搬送台124が点線で示される2つの位置が、供給装置80によるダイ108の供給位置であり、その位置において供給されるダイ108が、電子部品装着機16の装着ヘッド28によって保持される。
Then, each die conveyance table 124 that has received the
上述したように、電子部品装着装置12では、電子部品装着機16の幅の2倍の幅を有する供給装置80が採用されている。このため、供給装置80のダイ供給機82では、比較的大きなダイ集合体106を収容することが可能となり、大きなダイ集合体106からダイ108を供給することが可能となっている。また、1台の供給装置80から2台の電子部品装着機16にダイ108を供給することが可能となっており、効率的にダイ108を供給することが可能となっている。さらに言えば、ダイ供給機82には、2台のピックアップヘッド88および、2台のシャトル機構92が設けられている。つまり、2台の電子部品装着機16に対応して、1枚のダイ集合体106からダイ108を供給するための経路が2つ形成されている。これにより、さらに効率的にダイ108を供給することが可能となっている。
As described above, the electronic
また、供給装置80は、2台の電子部品装着機16の各々にクランプ機構78によって固定されており、比較的大きな供給装置80が、2台の電子部品装着機16の各々に固定的に接続されている。これにより、各接続部にかかる荷重を分散させるとともに、供給装置80を電子部品装着装置12に確実に固定することが可能となり、供給装置80のガタつき、傾き等を防止することが可能となる。さらに言えば、供給装置80が電子部品装着装置12に装着された際には、2台の電子部品装着機16の各々と供給装置80とは電気的に接続される。これにより、電子部品装着機16毎に、供給装置80に関する情報、具体的には、供給装置80の電子部品装着機16への取付の有無,供給するダイ108に関する情報等を送信することが可能となる。
The
<変形例1>
上記実施例の供給装置80では、載置プレート84にダイ供給機82が設けられ、そのダイ供給機82から2台の電子部品装着機16の各々にダイ108が供給されているが、異なる種類の電子部品を2台の電子部品装着機16の各々に供給可能な供給装置を採用することも可能である。そのような異なる種類の電子部品を2台の電子部品装着機16の各々に供給可能な供給装置を、変形例1の供給装置140として、図6に示す。変形例1の供給装置140は、上記実施例の供給装置80と比較的に似た構成であるため、上記供給装置80と同様の機能の構成要素については、同じ符号を用いて説明を省略あるいは簡略に行うものとする。<Modification 1>
In the
変形例1の供給装置140では、載置プレート84上にダイ供給機142とフラックス供給機144とデバイスパレット146とが設けられている。ダイ供給機142は、ダイ集合体保持装置86とピックアップヘッド88とヘッド移動装置90とシャトル機構92とから構成されており、上記供給装置80のダイ供給機82と異なり、1枚のダイ集合体106からダイ108を供給するための経路が1つとされている。このダイ供給機142からは、2台の電子部品装着機16のうちの一方(図の右側に記されている電子部品装着機)16aにダイ108が供給される。
In the
また、その一方の電子部品装着機16aに向かって延び出すように、フラックス供給機144が設けられている。詳しくは、フラックス供給機144は、概して長手形状の本体ベース148を有しており、その本体ベース148は、Y軸方向に延びるようにして、それの基端側の部分において載置プレート84の上面に固定されるとともに、先端側の部分が載置プレート84から延び出している。そして、載置プレート84から延び出した本体ベース148の先端部の上面に、フラックスが貯留されるフラックストレイ150が配設されている。これにより、供給装置140が電子部品装着装置12に取り付けられた状態で、フラックストレイ150が電子部品装着機16aのフレーム部20上に延び出しており、その電子部品装着機16aにフラックスを供給可能とされている。
Moreover, the
また、2台の電子部品装着機16のうちの他方(図の左側に記されている電子部品装着機)16bに向かって延び出すように、デバイスパレット146が設けられている。詳しくは、デバイスパレット146は、概して長板形状とされており、それの基端側の部分において載置プレート84の上面に固定されるとともに、先端側の部分が載置プレート84から延び出している。そして、供給装置140が電子部品装着装置12に取り付けられた状態で、デバイスパレット146の先端部が電子部品装着機16bのフレーム部20上に延び出している。このデバイスパレット146には、テープフィーダ74を装着することが可能とされており、電子部品装着機16bには、テープフィーダ74に収納されたテープ化部品から電子部品を供給することが可能とされている。
In addition, a
<変形例2>
上記実施例および変形例1の供給装置80,140では、2台の電子部品装着機16の各々に電子部品が供給されているが、2台の電子部品装着機16の一方にのみ電子部品を供給可能な供給装置を採用することも可能である。そのような1台の電子部品装着機16に電子部品を供給可能な供給装置を、変形例2の供給装置160として、図7に示す。なお、変形例2の供給装置160は、上記実施例の供給装置80と略同じ構成であるため、上記供給装置80と同様の機能の構成要素については、同じ符号を用いて説明を省略あるいは簡略に行うものとする。<Modification 2>
In the
変形例2の供給装置160では、載置プレート84上にダイ供給機162が設けられている。ダイ供給機162は、ダイ集合体保持装置86とピックアップヘッド88とヘッド移動装置90とシャトル機構92とから構成されており、上記供給装置80のダイ供給機82と異なり、1枚のダイ集合体106からダイ108を供給するための経路が1つとされている。このダイ供給機162からは、電子部品装着機16bにダイ108が供給される。
In the
一方、もう1台の電子部品装着機16aには、供給装置160から電子部品は供給されないようになっているが、この電子部品装着機16aは、回路基板上に接着剤を塗布するための作業を行う作業機とされている。詳しくは、電子部品装着機16aの移動装置30のX軸スライダ66には、装着ヘッド28の代わりに、ディスペンサヘッド166が取り付けられており、そのディスペンサヘッド166によって、回路基板上に接着剤が塗布されるようになっている。これにより、電子部品が供給されない電子部品装着機16aにおいて、装着作業と異なる作業を行うことが可能となり、電子部品装着装置12を効率的に作動させることが可能となる。
On the other hand, an electronic component is not supplied from the
<変形例3>
上記実施例および変形例1,2の供給装置80,140,160では、電子部品装着機16の幅の2倍の幅とされた載置プレート84上にダイ供給機82,162等が配設されているが、載置プレート84よりも幅の狭い載置プレートを有する供給装置を採用することも可能である。そのような幅狭の載置プレートを有する供給装置を、変形例3の供給装置170として、図8に示す。なお、変形例3の供給装置170は、載置プレート172を除いて、上記変形例1の供給装置140と略同じ構成であるため、上記供給装置140と同様の機能の構成要素については、同じ符号を用いて説明を省略あるいは簡略に行うものとする。<Modification 3>
In the
変形例3の供給装置170の載置プレート172の幅は、電子部品装着機16の幅の約1.6倍程度とされている。このため、載置プレート172は、電子部品装着機16aの前方側の端部の幅方向において全域に取り付けられるが、電子部品装着機16bの前方側の端部の幅方向において2/3程度に取り付けられる。その載置プレート172上には、供給装置140と同様に、ダイ供給機142およびフラックス供給機144が配設されており、電子部品装着機16aにダイ108およびフラックスを供給することが可能とされている。
The width of the mounting
一方、もう1台の電子部品装着機16bには、供給装置170から電子部品は供給されないようになっているが、この電子部品装着機16bには、デバイスパレット76が取り付けられており、デバイスパレット76には、テープフィーダ74を装着することが可能とされている。このため、電子部品装着機16bには、テープフィーダ74に収納されたテープ化部品から電子部品を供給することが可能とされている。
On the other hand, an electronic component is not supplied from the
また、載置プレート172は、電子部品装着機16aに設けられたクランプ機構78によって、その電子部品装着機16aに固定されるが、電子部品装着機16bに設けられたクランプ機構78は、デバイスパレット76を固定するために用いられているため、クランプ機構78とは異なる機構によって、電子部品装着機16bに固定される。詳しくは、電子部品装着機16bの前方側の端部には、ソレノイド176が設けられており、そのソレノイド176は、励磁状態においてソレノイドピン(図示省略)が突出するようになっている。
The mounting
一方、載置プレート172には、供給装置170が電子部品装着装置12に取り付けられた際にソレノイド176と対向する位置に嵌合穴(図示省略)が形成されている。そして、供給装置170が電子部品装着装置12に取り付けられた際に、ソレノイド176が励磁状態とされることで、ソレノイドピンが嵌合穴に嵌合し、載置プレート172、つまり、供給装置170が電子部品装着機16bに固定される。これにより、供給装置170も、上記供給装置80等と同様に、2台の電子部品装着機16の各々に固定されることで、各電子部品装着機16への接続部にかかる荷重を分散させるとともに、供給装置170を電子部品装着装置12に確実に固定することが可能となる。
On the other hand, the mounting
なお、電子部品装着機16bのソレノイド176の近傍にはコネクタ接続部(図示省略)が設けられており、載置プレート172には、そのコネクタ接続部に対応するコネクタ(図示省略)が設けられている。これにより、供給装置170においても、2台の電子部品装着機16の各々と供給装置170とが電気的に接続されるようになっている。
A connector connecting portion (not shown) is provided in the vicinity of the
ちなみに、上記実施例および変形例において、電子回路部品装着システム10は、対基板作業システムの一例であり、電子回路部品装着システム10を構成する電子部品装着機16,供給装置80,140,160,170は、作業機,供給装置の一例である。その電子部品装着機16の搬送装置26,装着ヘッド28およびディスペンサヘッド166,移動装置30は、搬送装置,作業ヘッド,移動装置の一例である。また、ダイ供給機82,142,162は、ダイ供給機の一例であり、そのダイ供給機82,142,162を構成するダイ集合体保持装置86,ピックアップヘッド88は、ダイ集合体保持装置,ピックアップヘッドの一例である。さらに、コネクタ130,コネクタ接続部132は、供給装置側端子,作業機側端子の一例であり、クランプ機構78,ソレノイド176は、固定機構の一例である。
Incidentally, in the above-described embodiments and modifications, the electronic circuit
なお、本発明は、上記実施例および変形例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、供給装置を2以上の電子部品装着機16に固定するための固定機構は、機械的に供給装置を電子部品装着機16に固定可能な構造であればよく、アクチュエータの作動により固定状態と開放状態とが切換可能な構造であってもよく、ボルト締結等により供給装置を電子部品装着機16に固定する構造であってもよい。
In addition, this invention is not limited to the said Example and modification, It is possible to implement in the various aspect which gave various change and improvement based on the knowledge of those skilled in the art. Specifically, for example, the fixing mechanism for fixing the supply device to the two or more electronic
また、上記実施例および変形例では、供給装置80,140,160,170に、ダイ供給機82,テープフィーダ74,フラックス供給機144等が設けられているが、他の種類の装着部品を供給可能な装置を設けることが可能である。具体的には、トレイ型の供給装置,導電性ボールの供給装置,バルクフィーダ等、種々の構造の供給装置を設けることが可能である。
In the above-described embodiments and modifications, the
また、上記実施例および変形例では、電子部品が供給されない電子部品装着機16の作業ヘッドとしてディスペンサヘッド166が採用されており、その電子部品装着機16は、回路基板への接着剤等の塗布作業が行われるように構成れているが、他の作業が行われるように構成されてもよい。例えば、電子部品を回路基板に熱圧着,押圧等により固定するための作業,回路基板への電子部品の装着状況等を検査するための作業,回路基板に関する情報を取得するための作業等の種々の作業を行うことが可能である。
Moreover, in the said Example and modification, the
また、上記実施例および変形例の電子回路部品装着システム10では、同じ大きさの電子部品装着機16が配列されているが、種々の大きさの電子部品装着機を配列し、異なる大きさの隣接する複数の電子部品装着機に、供給装置を固定的に設けるように構成してもよい。
Further, in the electronic circuit
10:電子回路部品装着システム(対基板作業システム) 16:電子部品装着機(作業機) 26:搬送装置 28:装着ヘッド(作業ヘッド) 30:移動装置
78:クランプ機構(固定機構) 80:供給装置 82:ダイ供給機 86:ダイ集合体保持装置 88:ピックアップヘッド 130:コネクタ(供給装置側端子) 132:コネクタ接続部(作業機側端子) 140:供給装置 142:ダイ供給機 160:供給装置 162:ダイ供給機 166:ディスペンサヘッド(作業ヘッド) 170:供給装置 176:ソレノイド(固定機構)10: Electronic circuit component mounting system (for substrate work system) 16: Electronic component mounting machine (work machine) 26: Conveying device 28: Mounting head (working head) 30: Moving device
78: Clamp mechanism (fixing mechanism) 80: Supply device 82: Die supply device 86: Die assembly holding device 88: Pickup head 130: Connector (supply device side terminal) 132: Connector connecting portion (work machine side terminal) 140: Feeder 142: Die feeder 160: Feeder 162: Die feeder 166: Dispenser head (working head) 170: Feeder 176: Solenoid (fixing mechanism)
Claims (6)
前記複数の作業機の各々が、
回路基板を搬送する搬送装置と、回路基板に対する作業を行う作業ヘッドと、その作業ヘッドを任意の位置に移動させる移動装置とを有し、
当該対基板作業システムが、
前記複数の作業機のうちの互いに隣り合う2以上の作業機の各々に固定機構によって固定され、それら2以上の作業機の少なくとも1の作業機に電子部品を供給する供給装置を備えることを特徴とする対基板作業システム。A plurality of working machines arranged, the circuit board being transported over the one arranged on the upstream side from the one arranged on the upstream side of the plurality of working machines, and the plurality of working machines on the circuit board In the work system against the board that performs the work on the circuit board by sequentially performing the work by each of the above,
Each of the plurality of work machines is
A transport device that transports the circuit board; a work head that performs work on the circuit board; and a moving device that moves the work head to an arbitrary position.
The board-to-board working system is
A supply device is provided which is fixed to each of two or more work machines adjacent to each other among the plurality of work machines by a fixing mechanism and supplies an electronic component to at least one of the two or more work machines. Anti-substrate work system.
前記2以上の作業機に対応して設けられ、前記2以上の作業機の各々に設けられた作業機側端子に接続される2以上の供給装置側端子を有することを特徴とする請求項1に記載の対基板作業システム。The supply device is
2. The apparatus according to claim 1, further comprising two or more supply device side terminals provided corresponding to the two or more work machines and connected to a work machine side terminal provided in each of the two or more work machines. The board-to-board working system described in 1.
前記2以上の作業機に電子部品を供給することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の対基板作業システム。The supply device is
The on-board working system according to claim 1, wherein an electronic component is supplied to the two or more working machines.
ウェハをダイシングしてなるダイ集合体からダイを供給するダイ供給機を有し、
そのダイ供給機が、
ダイ集合体を保持するダイ集合体保持装置と、
前記2以上の作業機に対応して設けられ、前記ダイ集合体保持装置によって保持されたダイ集合体からダイをピックアップし、前記2以上の作業機の自身に対応するものにピックアップしたダイを供給するための2以上のピックアップヘッドと
を有することを特徴とする請求項3に記載の対基板作業システム。The supply device is
Having a die feeder for supplying dies from a die assembly formed by dicing a wafer;
The die feeder is
A die assembly holding device for holding the die assembly;
Pick up dies from the die assembly provided corresponding to the two or more work machines and held by the die assembly holding device, and supply the picked-up dies to the one corresponding to the two or more work machines. The system according to claim 3, further comprising two or more pickup heads.
前記2以上の作業機の少なくとも1の作業機には、電子部品を供給せず、
その少なくとも1の作業機の有する前記作業ヘッドは、
電子部品を回路基板に装着するための装着作業とは異なる作業を行うためのものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の対基板作業システム。The supply device is
Electronic components are not supplied to at least one working machine of the two or more working machines,
The working head of the at least one working machine includes:
3. The on-board work system according to claim 1, wherein the work system is for performing a work different from a work for mounting an electronic component on a circuit board.
前記配列方向における前記供給装置の寸法が、前記2以上の作業機の各々の寸法の整数倍であることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1つに記載の対基板作業システム。The two or more work machines are arranged adjacent to each other, and the dimensions of the two or more work machines in the arrangement direction are the same,
6. The substrate working system according to claim 1, wherein a dimension of the supply device in the arrangement direction is an integral multiple of a dimension of each of the two or more work machines. .
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