JPWO2013008263A1 - 物理量センサおよび物理量の検出方法 - Google Patents
物理量センサおよび物理量の検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2013008263A1 JPWO2013008263A1 JP2013523703A JP2013523703A JPWO2013008263A1 JP WO2013008263 A1 JPWO2013008263 A1 JP WO2013008263A1 JP 2013523703 A JP2013523703 A JP 2013523703A JP 2013523703 A JP2013523703 A JP 2013523703A JP WO2013008263 A1 JPWO2013008263 A1 JP WO2013008263A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- code
- physical quantity
- detection element
- voltage
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5776—Signal processing not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
すなわち、異なる物理量に応答する複数の検出エレメント(5)に、それぞれ互いに直交する符号によって符号化された電圧を印加し、当該複数の検出エレメントからの出力電圧を、同一の変換部(10)によってデジタル化する。その後、複数の復号部(9)において、デジタル化された信号を、それぞれの検出エレメントに対応する符号によって復号化する。
Description
図1は本発明の第1の実施形態であり、3軸の加速度センサを示す。1は分圧抵抗、2は電圧生成部、3は印加電圧変更スイッチ、4は検出部、5は検出エレメント部、6はC/V変換部、7はアンプ部、8はADC部、9は復号部、10は変換部、11は制御部である。
直交符号とは、互いに直交している符号を指し、異なる符号間での内積が0となるような符号である。直交符号の例としてHadamard直交符号がある。Hadamard直交符号は、
図5に、図1における電圧生成部2からアンプ部7までを詳細に示す。図5における51はC/V変換部のスイッチ、52はC/V変換部のフィードバック容量、53はC/V変換部のオペアンプ、54はアンプ部のフィードバック部スイッチ、55はアンプ部のフィードバック容量、56はアンプ部の入力容量、57はアンプ部の入力スイッチ、58はアンプ部のバイアス電圧、59はアンプ部のオペアンプである。
図6は検出部4(単一チップ60とする)の構成を詳細に示した図である。ここでは櫛歯を持つ第1の軸方向(X方向)の容量検出エレメント61のうち、物理量印加によって固定部62に支持された可動部63が変位し、固定部の櫛歯64との距離が変化する。この時、キャリア印加用電極65に電圧を与えておくと、66の検出信号用電極からの出力をC/V変換部6に接続することで、電圧として容量の変化、すなわち物理量の大きさが検出できる。
次にアンプ部7に話を進める。前述の電荷移動を用いた出力電圧計算手法を用いると、アンプ部におけるVoutの変化が、アンプ部のフィードバック容量25をCfa、アンプ部の入力容量26をCiaと表すと、回路の離散動作によって(Cia/Cfa)のゲインを得ることがわかる。
ADC部8では、前段のアンプ部7を経た電圧信号をデジタル信号に変換する。このときのADC部の構成はΔΣ型、SAR(逐次比較)型、パイプライン型、フラッシュ型といずれの構成方法でもここに示す実施例は実現可能であり、その構成を制約するものではない。ただし、ここでは多重化している各信号のレンジの総和よりも大きな入力レンジを持ち、飽和が発生しないように設計しておくことが望ましい。また、ADC部8では、ここまでの離散動作のクロックと同じクロック、ないしはその逓倍ないし分周でのサンプリングを行ってアナログ電圧をデジタル信号に変換することが好適である。なぜならば、アンプ部の出力の2相のうち、1つの相はチャージを行うフェーズのため、このフェーズで電圧のサンプリングを行っても、出力電圧として検出エレメント5の状態を得ることができないからである。また、上述のクロック構成は、互いの動作クロックが異なることによる干渉ノイズも発生しないなど、回路構成上からも好適である。
ADC部8を経たデジタル信号は、各検出エレメント5のそれぞれに対応する復号部9へ入力される。以下では、復号部9の例としてマッチトフィルタ(Matched-Filter)を用いた例を説明する。マッチトフィルタの構成例を図7に示す。ここで72は1チップ遅延器、73は乗算器、74は加算器、75はサンプルホールダである。サンプルホールダのサンプリング間隔は1チップではなく、その符号長N倍のシグナルのサンプリング間隔T秒であるが、サンプリング間隔の位相は1チップ単位以下で調整可能とする。マッチトフィルタでは1チップずつ遅延させた各信号レベルにbN~b1で示される符号を掛け合わせた結果を足し合わせる処理を行う。これは、2つのN次元ベクトルの内積をとる処理に等しい。
図8は、電圧生成部からアンプ部までの構成のうち、図1とは異なる例を示すものである。図1と比較して、回路がスイッチトキャパシタを用いた離散時間駆動ではなく、連続時間駆動となっている点が異なる。80は入力キャリアのバイアス電圧印加部、81は入力キャリアの交流電圧印加部、82は入力キャリアの極性反転部、83はスイッチ部、84は検出部、85は検出エレメント部、86はC/V変換部、87はC/V変換部のフィードバック容量、88はC/V変換部のバイアス入力電圧生成部、89はC/V変換部のオペアンプ、90はアンプ部、91はアンプ部の入力容量、92はアンプ部のバイアス入力電圧生成部、93はアンプ部のフィードバック容量、94はアンプ部のオペアンプである。スイッチ部83の制御部は、図1の制御部11と同様につき省略する。
図11は、図1とは異なるセンサ構成を示すものである。図1と比較して、印加電圧の極性反転にMEMSフィルタを用いる点が異なる。図11において、116は印加電圧を離散動作させるための電圧切替スイッチ、117はMEMSフィルタ、118はパルス印加部である。
上述の課題を解決する最もシンプルな方法は、検出レンジの差が小さい検出エレメント5間で、その後段の回路を共通とし、検出レンジの差が大きい検出エレメント5間で、その後段の回路を独立とすることである。
以下、図9および図10では、特にX、Y、Zの各方向への加速度センサを有する例を用いて説明する。ここで、検出レンジの差が小さいセンサの例としてX方向およびY方向の加速度センサを、これらと検出レンジの差が大きいセンサの例としてZ軸方向の加速度センサを挙げている。但し、これらの組み合わせに限られる訳ではなく、例えばZ軸方向の加速度センサの代わりに、いずれかの軸方向の角速度センサが混載されるような場合も、同様の議論が可能である。
図10は、電圧生成部からアンプ部までの構成のうち、図5、図9とは異なる構成を示すものである。図5、図9と比較して、検出エレメント5からC/V変換回路に接続される回路において、スイッチによってC/V変換部に入力する検出エレメント5が選択できるようになっており、また、C/V変換部のフィードバック容量も可変となっている点が異なる。108はC/V変換部入力選択スイッチ、109はC/V変換部、110はC/V変換部のフィードバック部スイッチ、111はC/V変換部の第1のフィードバック容量、112はC/V変換部の第1のフィードバック容量選択スイッチ、113はC/V変換部の第2のフィードバック容量、114はC/V変換部の第2のフィードバック容量選択スイッチ、115はC/V変換部のオペアンプである。
Claims (15)
- 第1物理量に応答する第1可動部と、第1符号によって符号化された電圧が印加される第1電極と、を具備する第1検出エレメントと、
前記第1物理量とは異なる第2物理量に応答する第2可動部と、前記第1符号と直交する第2符号によって符号化された電圧が印加される第2電極と、を具備する第2検出エレメントと、
前記第1検出エレメントからの出力電圧と前記第2検出エレメントからの出力電圧とを受けて第1デジタル信号に変換する第1変換部と、
前記第1デジタル信号を前記第1符号によって復号化する第1復号部と、
前記第1デジタル信号を前記第2符号によって復号化する第2復号部と、を有することを特徴とする物理量センサ。 - 請求項1において、
前記第1検出エレメントおよび前記第2検出エレメントに接続される第3電極と、
前記第3電極がその入力に接続され、前記第1検出エレメントからの出力電圧と前記第2検出エレメントからの出力電圧が重畳された電圧出力する第1C/V変換部と、をさらに有することを特徴とする物理量センサ。 - 請求項2において、
第3方向における角速度に応答する第3可動部と、第3符号によって符号化された電圧が印加される第4電極と、を具備する第3検出エレメントと、
前記第3方向とは異なる第4方向における角速度に応答する第4可動部と、前記第3符号と直交する第4符号によって符号化された電圧が印加される第5電極と、を具備する第4検出エレメントと、
前記第3検出エレメントからの出力電圧と前記第4検出エレメントからの出力電圧とを受けて第2デジタル信号に変換する第2変換部と、
前記第2デジタル信号を前記第3符号によって復号化する第3復号部と、
前記第2デジタル信号を前記第4符号によって復号化する第4復号部と、をさらに有し、
前記第1物理量は、第1方向における加速度であり、
前記第2物理量は、前記第1方向とは異なる第2方向における加速度であることを特徴とする物理量センサ。 - 請求項1において、
前記第1検出エレメントがその入力に接続され、前記第1検出エレメントからの出力電圧を出力する第1C/V変換部と、
前記第2検出エレメントがその入力に接続され、前記第2検出エレメントからの出力電圧を出力する第2C/V変換部と、をさらに有することを特徴とする物理量センサ。 - 請求項1において、
前記第1アナログ信号を出力する第1C/V変換部と、
前記第1C/V変換部の入力と、前記第1検出エレメントまたは前記第2検出エレメントと、を接続する入力選択スイッチと、をさらに有し、
前記第1C/V変換部は、前記第1検出エレメントがその入力に接続される場合に選択される第1容量と、前記第2検出エレメントがその入力に接続される場合に選択され前記第1容量とは異なる大きさの第2容量と、を具備することを特徴とする物理量センサ。 - 請求項4または5において、
前記第1物理量は、前記物理量センサが設けられる半導体基板の主面に平行な第1方向における加速度であり、
前記第2物理量は、前記半導体基板の主面に垂直な第2方向における加速度であることを特徴とする物理量センサ。 - 請求項4または5において、
前記第1物理量は、加速度であり、
前記第2物理量は、角速度であることを特徴とする物理量センサ。 - 請求項1において、
複数の突起を有し、前記第1検出エレメントに前記第1符号によって符号化された電圧を印加する第1MEMSフィルタと、
複数の突起を有し、前記第2検出エレメントに前記第2符号によって符号化された電圧を印加する第2MEMSフィルタと、をさらに有することを特徴とする物理量センサ。 - 請求項8において、
前記第1検出エレメント、前記第2検出エレメント、前記第1MEMSフィルタおよび前記第2MEMSフィルタは同一チップ上に設けられることを特徴とする物理量センサ。 - 請求項8において、
前記第1MEMSフィルタおよび前記第2MEMSフィルタに接続され、前記第1MEMSフィルタおよび前記第2MEMSフィルタに同一のパルスを印加するための第6電極をさらに有することを特徴とする物理量センサ。 - 請求項1において、
前記第1符号および前記第2符号は、各成分が1または-1からなることを特徴とする物理量センサ。 - 請求項1において、
前記第1符号および前記第2符号は、符号長が可変長の符号であることを特徴とする物理量センサ。 - 請求項1において、
前記第1符号および前記第2符号は、Hadamard直交符号であることを特徴とする物理量センサ。 - 第1物理量に応答する第1可動部と、第1符号によって符号化された電圧が印加される第1電極と、を具備する第1検出エレメントと、
前記第1物理量とは異なる第2物理量に応答する第2可動部と、第1符号とは異なる第2符号によって符号化された電圧が印加される第2電極と、を具備する第2検出エレメントと、
前記第1検出エレメントからの出力電圧と前記第2検出エレメントからの出力電圧とを受けて第1デジタル信号に変換する第1変換部と、
前記第1デジタル信号を前記第1符号によって復号化する第1復号部と、
前記第1デジタル信号を前記第2符号によって復号化する第2復号部と、を有し、
前記第1符号および前記第2符号は、それぞれランダム性を有する拡散符号であることを特徴とする物理量センサ。 - (a)第1物理量に応答する第1可動部を有する第1検出エレメントの第1電極に、第1符号によって符号化された電圧を印加する工程と、
(b)前記第1物理量とは異なる第2物理量に応答する第2可動部を有する第2検出エレメントの第2電極に、前記第1符号とは直交する第2符号によって符号化された電圧を印加する工程と、
(c)前記第1検出エレメントからの出力電圧と前記第2検出エレメントからの出力電圧とを重畳する工程と、
(d)前記工程(c)において重畳された信号を第1デジタル信号に変換する工程と、
(e)前記第1デジタル信号を前記第1符号によって復号化する工程と、
(f)前記第1デジタル信号を前記第2符号によって復号化する工程と、を有することを特徴とする物理量の検出方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2011/003918 WO2013008263A1 (ja) | 2011-07-08 | 2011-07-08 | 物理量センサおよび物理量の検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013008263A1 true JPWO2013008263A1 (ja) | 2015-02-23 |
JP5811176B2 JP5811176B2 (ja) | 2015-11-11 |
Family
ID=47505588
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013523703A Expired - Fee Related JP5811176B2 (ja) | 2011-07-08 | 2011-07-08 | 物理量センサおよび物理量の検出方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2730928B1 (ja) |
JP (1) | JP5811176B2 (ja) |
WO (1) | WO2013008263A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019149762A (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | 株式会社日立製作所 | 逐次比較型ad変換器およびセンサ装置 |
JP2022071486A (ja) * | 2020-10-28 | 2022-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー及び慣性計測装置 |
CN114594913A (zh) * | 2021-10-15 | 2022-06-07 | 芯海科技(深圳)股份有限公司 | 配置信号处理电路、芯片、可穿戴设备及处理方法 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5537083A (en) * | 1992-12-11 | 1996-07-16 | Regents Of The University Of California | Microelectromechanical signal processors |
JPH09222947A (ja) * | 1996-02-16 | 1997-08-26 | Sharp Corp | 座標入力装置 |
JPH10229320A (ja) * | 1997-02-17 | 1998-08-25 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波タップ付遅延線 |
JP2002536870A (ja) * | 1999-01-29 | 2002-10-29 | ピンツィ ファン | 無相関領域を有する2値符号系列を用いた無干渉適応スペクトル拡散通信方式 |
JP2003215156A (ja) * | 2002-01-29 | 2003-07-30 | Yamatake Corp | 計測装置 |
JP2004286581A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Denso Corp | 容量式力学量センサ |
JP2005157643A (ja) * | 2003-11-25 | 2005-06-16 | Alps Electric Co Ltd | 容量検出回路及び検出方法並びにそれを用いた指紋センサ |
JP2006084400A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Denso Corp | 容量式物理量検出装置 |
JP2006093887A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Keio Gijuku | データ読出装置及び無電源通信素子 |
JP2007322295A (ja) * | 2006-06-02 | 2007-12-13 | Sony Corp | 角速度検出装置および角速度検出装置の製造方法 |
JP2009005103A (ja) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Panasonic Corp | 無線通信基地局装置および信号拡散方法 |
JP2010101737A (ja) * | 2008-10-23 | 2010-05-06 | Japan Radio Co Ltd | 無線タグセット、無線タグおよび距離測定装置 |
JP2011038872A (ja) * | 2009-08-10 | 2011-02-24 | Alps Electric Co Ltd | Memsセンサ |
JP2011128982A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Wacom Co Ltd | 指示体検出装置及び指示体検出方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5936518A (en) * | 1995-10-31 | 1999-08-10 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for judging vehicle collision |
JP4874067B2 (ja) | 2006-02-07 | 2012-02-08 | セイコーインスツル株式会社 | 角速度センサ |
-
2011
- 2011-07-08 EP EP11869272.2A patent/EP2730928B1/en not_active Not-in-force
- 2011-07-08 JP JP2013523703A patent/JP5811176B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-07-08 WO PCT/JP2011/003918 patent/WO2013008263A1/ja active Application Filing
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5537083A (en) * | 1992-12-11 | 1996-07-16 | Regents Of The University Of California | Microelectromechanical signal processors |
JPH09222947A (ja) * | 1996-02-16 | 1997-08-26 | Sharp Corp | 座標入力装置 |
JPH10229320A (ja) * | 1997-02-17 | 1998-08-25 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波タップ付遅延線 |
JP2002536870A (ja) * | 1999-01-29 | 2002-10-29 | ピンツィ ファン | 無相関領域を有する2値符号系列を用いた無干渉適応スペクトル拡散通信方式 |
JP2003215156A (ja) * | 2002-01-29 | 2003-07-30 | Yamatake Corp | 計測装置 |
JP2004286581A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Denso Corp | 容量式力学量センサ |
JP2005157643A (ja) * | 2003-11-25 | 2005-06-16 | Alps Electric Co Ltd | 容量検出回路及び検出方法並びにそれを用いた指紋センサ |
JP2006084400A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Denso Corp | 容量式物理量検出装置 |
JP2006093887A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Keio Gijuku | データ読出装置及び無電源通信素子 |
JP2007322295A (ja) * | 2006-06-02 | 2007-12-13 | Sony Corp | 角速度検出装置および角速度検出装置の製造方法 |
JP2009005103A (ja) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Panasonic Corp | 無線通信基地局装置および信号拡散方法 |
JP2010101737A (ja) * | 2008-10-23 | 2010-05-06 | Japan Radio Co Ltd | 無線タグセット、無線タグおよび距離測定装置 |
JP2011038872A (ja) * | 2009-08-10 | 2011-02-24 | Alps Electric Co Ltd | Memsセンサ |
JP2011128982A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Wacom Co Ltd | 指示体検出装置及び指示体検出方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2730928A1 (en) | 2014-05-14 |
WO2013008263A1 (ja) | 2013-01-17 |
EP2730928B1 (en) | 2016-01-13 |
EP2730928A4 (en) | 2014-12-31 |
JP5811176B2 (ja) | 2015-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107508601B (zh) | 基于对合并式mems加速计传感器斩波的降噪方法及电子电路 | |
EP3410129B1 (en) | Sensor device and method for continuous fault monitoring of sensor device | |
EP2647593B1 (en) | Noise reduction method for mems sensors using chopping circuits | |
US7886597B2 (en) | Dynamic amount sensor | |
US6386032B1 (en) | Micro-machined accelerometer with improved transfer characteristics | |
JP3861652B2 (ja) | 容量式物理量センサ | |
JP6397115B2 (ja) | 加速度センサ | |
US9804190B2 (en) | Apparatus and method for calibration of capacitance mismatch and temperature variations in a MEMS device | |
JP6641712B2 (ja) | 回路装置、電子機器及び移動体 | |
JP2007171171A (ja) | 検出回路、インターフェース回路、電子機器、差動容量性センサー読み取り方法 | |
JP2008507221A (ja) | シグマ・デルタ変調器 | |
US20230100447A1 (en) | Circuit for operating a capacitive sensor and associated sensor device | |
JP5811176B2 (ja) | 物理量センサおよび物理量の検出方法 | |
Kulah et al. | A multi-step electromechanical/spl Sigma//spl Delta/converter for micro-g capacitive accelerometers | |
WO2017009885A1 (ja) | 慣性センサ | |
JP6446579B2 (ja) | 加速度センサ | |
US11169174B2 (en) | MEMS electrostatic capacitor type acceleration sensor | |
KR101298289B1 (ko) | 자이로센서 구동회로, 자이로센서 시스템 및 자이로센서 구동방법 | |
US20140290361A1 (en) | Apparatus for driving gyroscope sensor | |
US11092616B2 (en) | Method and device for band-pass sensor data acquisition | |
Saxena et al. | Modeling and simulation of high performance sixth order sigma-delta MEMS accelerometer | |
Feingold et al. | In-plane Βulk-Micromachining fabrication of high dynamic range tactical grade open loop and closed loop MEMS accelerometers | |
US20230017433A1 (en) | Interleaved cic filter | |
JP2004191296A (ja) | 静電浮上型ジャイロの信号検出回路 | |
JP2020159941A (ja) | 加速度センサ、出力信号制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150310 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150507 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20150514 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150602 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150608 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150818 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150831 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5811176 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |