JPWO2011145736A1 - ガスセンサ - Google Patents
ガスセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2011145736A1 JPWO2011145736A1 JP2012515952A JP2012515952A JPWO2011145736A1 JP WO2011145736 A1 JPWO2011145736 A1 JP WO2011145736A1 JP 2012515952 A JP2012515952 A JP 2012515952A JP 2012515952 A JP2012515952 A JP 2012515952A JP WO2011145736 A1 JPWO2011145736 A1 JP WO2011145736A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- cell
- gas sensor
- opening
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 claims abstract description 74
- 210000005056 cell body Anatomy 0.000 claims abstract description 38
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 24
- 210000002777 columnar cell Anatomy 0.000 claims abstract description 21
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 18
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 7
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 73
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/05—Flow-through cuvettes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/031—Multipass arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N2021/0378—Shapes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/05—Flow-through cuvettes
- G01N2021/052—Tubular type; cavity type; multireflective
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/05—Flow-through cuvettes
- G01N2021/056—Laminated construction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/05—Flow-through cuvettes
- G01N2021/058—Flat flow cell
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/0303—Optical path conditioning in cuvettes, e.g. windows; adapted optical elements or systems; path modifying or adjustment
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
- G01N21/274—Calibration, base line adjustment, drift correction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/063—Illuminating optical parts
- G01N2201/0636—Reflectors
- G01N2201/0637—Elliptic
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
Abstract
Description
また、上記ガスセンサでは、異なる焦点距離(異なる曲率半径)を有する互いに対向する一定厚みの2つの凹面鏡を用いているため、サンプルセルの製造の簡便性にも難点があった。
さらに、上記ガスセンサでは、平行光を発する光源を用いる必要があり、光源の選択性に制限があった。
また、第2の開口部から光検出器までの距離を調整することにより、光検出器に対する光入射角が一定の角度以下となるように制御することが好ましい。
本明細書において、「楕円柱」とは、周囲が楕円により規定される楕円形状面を垂直に移動させて得られる、断面が楕円である柱状体を意味する。また、「焦点線」とは、周囲が楕円により規定される楕円形状面を垂直に移動させたときの2つの焦点の軌跡に相当する線及びその延長線を意味する。
図1(a)は、本発明の一実施形態のガスセンサを構成するセルを模式的に示す斜視図、図1(b)は、光導入部及び光源を模式的に示す拡大断面図、図1(c)は、光導出部及び光検知部を模式的に示す拡大断面図である。
本実施形態は、光導入の方法が異なる点を除いて実施形態1とほぼ同じである。図3に示すように、光源17のフィラメントが十分に小さく、直近に置かれた凸レンズ24で光源17からの光がほぼ平行光線とできる場合、光導入口14に対向する蓋体12の下面に凸の円錐面鏡25を設置し、反射光の放射角を目標角(本例では20度)とする。たとえば、フィラメントの大きさが0.5mmの時、直径3mm、焦点距離6mmの凸レンズ24を用いる場合、およそ±2.4度広がりがある平行光線とでき、セル空間13における平行平板間隔5mmの時、直径3mm、円錐頂角160度の凸の円錐面鏡25で反射させ、反射光の放射角を目標角の20±2.4度とすることができる。
本実施形態は、実施形態2と同様、光源17の直近に置かれた凸レンズ24でほぼ平行光線とできる場合、図4に示すように、凸レンズ24の後に円錐形(アクシコン)レンズ26を配置して入射角一定の円錐形に放射する光束とすることができる。たとえば、フィラメントの大きさが0.5mmの時、直径3mm、焦点距離6mmの凸レンズ24を用いる場合、およそ±2.4度広がりがある平行光線とでき、屈折率1.4のプラスチックで成型された頂角162.8度の円錐形(アクシコン)レンズ26で屈折させ光の放射角を目標角の20±2.4度とすることができる。
本実施形態は、実施形態1とほぼ同じであるが、光源17の輝度の経時変化を参照するために、図5に示すように、光源17が置かれた焦点線L1上に焦点線L1を中心として蓋体12の下面に開口27を形成し、この開口27の底部側に光検出器29を設け、この開口27に入射した光を光検出器29で捉え、この検出信号を用いる。たとえば、光源17の対面に0.5mmの開口27を設け、この開口27を通じて光検出器29へ参照用の光を導く。これにより、長期に亘る光源輝度の経時変化を補正することが容易になる。
本実施形態は実施形態1とほぼ同じであるが、図6に示すように、セル本体11を2つの部分、すなわち第1のセル本体部分11Aと第2のセル本体部分11Bに分けて作成する。セル10は3つの部分となる。第2のセル本体部分11Bには扁平楕円柱状のセル空間13を貫通形成する。第2のセル本体部分11Bを、第1のセル本体部分11Aと蓋体12ではさむ形で組み合わせて、実施形態1で説明した扁平楕円柱状のセル空間13と同様の空間を形成することができる。この形態によれば、実施形態1と比較して、製作がより一層容易になる利点がある。
たとえば、上記実施形態では光源17はセル本体11に形成した光導入口14の底部側に設置したが、光源17をセル空間13内の焦点線L1上に配置するとともに、円錐状や円筒状の遮蔽部材又は反射部材を配置し、光源からの光の放射角を制限するような構成としてもよい。
また、入射光の放射角の制限は光源17の位置を調節することによって行ってもよい。
11 セル本体
11A 第1のセル本体部分
11B 第2のセル本体部分
12 蓋体
13 セル空間
14 光導入口
15 光導出口
16A、16B ガス用開口
17 光源
18 光検出器
19 凸面鏡
20 凹面鏡
21 タイミング制御回路
22 増幅器
23 積分回路
24 凸レンズ
25 円錐面鏡
26 円錐形レンズ
27 開口
28 凸面鏡
29 光検出器
本実施形態は、光導入の方法が異なる点を除いて実施形態1とほぼ同じである。図4に示すように、光源17のフィラメントが十分に小さく、直近に置かれた凸レンズ24で光源17からの光がほぼ平行光線とできる場合、光導入口14に対向する蓋体12の下面に凸の円錐面鏡25を設置し、反射光の放射角を目標角(本例では20度)とする。たとえば、フィラメントの大きさが0.5mmの時、直径3mm、焦点距離6mmの凸レンズ24を用いる場合、およそ±2.4度広がりがある平行光線とでき、セル空間13における平行平板間隔5mmの時、直径3mm、円錐頂角160度の凸の円錐面鏡25で反射させ、反射光の放射角を目標角の20±2.4度とすることができる。
本実施形態は、実施形態2と同様、光源17の直近に置かれた凸レンズ24でほぼ平行光線とできる場合、図5に示すように、凸レンズ24の後に円錐形(アクシコン)レンズ26を配置して入射角一定の円錐形に放射する光束とすることができる。たとえば、フィラメントの大きさが0.5mmの時、直径3mm、焦点距離6mmの凸レンズ24を用いる場合、およそ±2.4度広がりがある平行光線とでき、屈折率1.4のプラスチックで成型された頂角162.8度の円錐形(アクシコン)レンズ26で屈折させ光の放射角を目標角の20±2.4度とすることができる。
本実施形態は、実施形態1とほぼ同じであるが、光源17の輝度の経時変化を参照するために、図6に示すように、光源17が置かれた焦点線L1上に焦点線L1を中心として蓋体12の下面に開口27を形成し、この開口27の底部側に光検出器29を設け、この開口27に入射した光を光検出器29で捉え、この検出信号を用いる。たとえば、光源17の対面に0.5mmの開口27を設け、この開口27を通じて光検出器29へ参照用の光を導く。これにより、長期に亘る光源輝度の経時変化を補正することが容易になる。
本実施形態は実施形態1とほぼ同じであるが、図7に示すように、セル本体11を2つの部分、すなわち第1のセル本体部分11Aと第2のセル本体部分11Bに分けて作成する。セル10は3つの部分となる。第2のセル本体部分11Bには扁平楕円柱状のセル空間13を貫通形成する。第2のセル本体部分11Bを、第1のセル本体部分11Aと蓋体12ではさむ形で組み合わせて、実施形態1で説明した扁平楕円柱状のセル空間13と同様の空間を形成することができる。この形態によれば、実施形態1と比較して、製作がより一層容易になる利点がある。
Claims (14)
- セル内に流入するガス成分を評価するためのガスセンサであって、ガス成分評価用の光を発する光源と、セル内を反射しながら伝達してきた光を受光する光検出器を有するガスセンサにおいて、
前記セルが、平行平板のセル本体と、該セル本体の上に取り付けられた平行平板の蓋体からなり、
セル本体は、一定の深さの扁平楕円柱状のセル空間を備え、
蓋体又はセル本体には被測定ガスの流入と流出を施すための開口が形成されており、
扁平楕円柱状のセル空間の一方の焦点線上に光源が設けられ、
扁平楕円柱状のセル空間のもう一方の焦点線上に光検出器が設けられ、
セル空間を包囲する全面は光反射面に形成されていることを特徴とするガスセンサ。 - 光源と光検出器の間に、被測定ガスの種類に応じた波長選択性を有する光学フィルタが配置されていることを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ。
- 光検出器の直前に、光学フィルタが配置されていることを特徴とする請求項2に記載のガスセンサ。
- 扁平楕円柱状のセル空間の底面を規定するセル本体に第1の開口部が形成され、この第1の開口部の下方側に光源が配置され、光源から発せられた光はこの第1の開口部を通じてセル空間の放射されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 扁平楕円柱状のセル空間の底面を規定するセル本体に第2の開口部が形成され、この第2の開口部の下方側に光検出器が配置され、光源から発せられた光はこの第2の開口部を通じて光検出器で受光されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 第1の開口部の口径を光源からの見込み角に応じて設定し、第1の開口部からの光の放射角を焦点線に対して一定角度以上とならないようにしたことを特徴とする請求項4又は5に記載のガスセンサ。
- 第1の開口部の近傍に円錐形レンズを配置し、第1の開口部からの光の放射角を焦点線に対して一定角度以上とならないようにしたことを特徴とする請求項4又は5に記載のガスセンサ。
- 第1の開口部に対向する蓋体下面に凸面鏡を配置し、反射した光の放射角が所定角度となるようにしたことを特徴とする請求項4又は5に記載のガスセンサ。
- 第2の開口部から光検出器までの距離を調整することにより、光検出器に対する光入射角が一定の角度以下となるに制御したことを特徴とする請求項5ないし8のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 第2の開口部に対向する蓋体下面に凹面鏡を配置し、光検出器への入射光量を増加させることを特徴とする請求項5ないし9のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 光源をセル空間内の焦点線上に配置するとともに、遮蔽部材又は反射部材を配置し、光源からの光の放射角を制限したことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 第1の開口部に対向する蓋体下面に第3の開口部が形成され、この第3の開口部の上方側に光源輝度の経時変化を参照するための別の光検出器を配置したことを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- セル本体が、扁平楕円柱状の貫通部を有する第1のセル本体部分と、平行平板からなる第2のセル本体部分を貼り合わせて形成されていることを特徴とする請求項1ないし12のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 蓋体には被測定ガスの流入と流出を促すための開口が一つ以上形成され、そのうちの一つ以上を、蓋体において扁平楕円柱状のセル空間の二つの焦点線をつなぐ線上に配置することを特徴とする請求項1ないし13のいずれか一項に記載のガスセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012515952A JP5515102B2 (ja) | 2010-05-21 | 2011-05-20 | ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010117445 | 2010-05-21 | ||
JP2010117445 | 2010-05-21 | ||
JP2012515952A JP5515102B2 (ja) | 2010-05-21 | 2011-05-20 | ガスセンサ |
PCT/JP2011/061693 WO2011145736A1 (ja) | 2010-05-21 | 2011-05-20 | ガスセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011145736A1 true JPWO2011145736A1 (ja) | 2013-07-22 |
JP5515102B2 JP5515102B2 (ja) | 2014-06-11 |
Family
ID=44991822
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012515952A Active JP5515102B2 (ja) | 2010-05-21 | 2011-05-20 | ガスセンサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2573546A4 (ja) |
JP (1) | JP5515102B2 (ja) |
WO (1) | WO2011145736A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3048084A1 (fr) * | 2016-02-18 | 2017-08-25 | Commissariat Energie Atomique | Capteur infrarouge non-dispersif pour detecter un gaz. |
DE102019210253A1 (de) * | 2019-07-11 | 2021-01-14 | Robert Bosch Gmbh | Reflektoreinrichtung für eine optische Analyseeinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Reflektoreinrichtung |
CN112378876B (zh) * | 2020-11-03 | 2021-07-20 | 深圳市诺安环境安全股份有限公司 | 一种低功耗微型红外气体传感器及其实现方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5926894B2 (ja) * | 1979-07-31 | 1984-07-02 | 松下電工株式会社 | 光散乱式煙感知器 |
JPS63304137A (ja) * | 1987-06-04 | 1988-12-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 赤外分光分析器用試料セル |
WO1991005240A1 (en) * | 1989-09-29 | 1991-04-18 | Atomic Energy Of Canada Limited | Infrared-based gas detector |
JPH07198589A (ja) * | 1993-12-31 | 1995-08-01 | Horiba Ltd | 一点集中型高密度光源 |
DE4434814A1 (de) * | 1994-09-29 | 1996-04-04 | Microparts Gmbh | Infrarotspektrometrischer Sensor für Gase |
JPH09229858A (ja) * | 1996-02-20 | 1997-09-05 | Horiba Ltd | 赤外線ガス分析計 |
SE506942C2 (sv) * | 1996-08-28 | 1998-03-02 | Hans Goeran Evald Martin | Gassensor |
SE520664C2 (sv) * | 2000-04-27 | 2003-08-05 | Senseair Ab | Koldioxidanpassad gascell |
FR2869686B1 (fr) * | 2003-12-11 | 2009-06-05 | Flowgene Sa | Detecteur de lumiere a chambre elliptique |
JP2006275980A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Denso Corp | 赤外線式ガス検出器 |
DE102005055860B3 (de) * | 2005-11-23 | 2007-05-10 | Tyco Electronics Raychem Gmbh | Gassensoranordnung mit Lichtkanal in Gestalt eines Kegelschnittrotationskörpers |
WO2008127648A1 (en) * | 2007-04-13 | 2008-10-23 | Ion Optics, Llc | Absorption spectroscopy apparatus and method |
FR2982026B1 (fr) * | 2011-11-02 | 2014-05-16 | Ethylo | Cuve d'analyse et dispositif d'analyse d'un fluide |
-
2011
- 2011-05-20 JP JP2012515952A patent/JP5515102B2/ja active Active
- 2011-05-20 WO PCT/JP2011/061693 patent/WO2011145736A1/ja active Application Filing
- 2011-05-20 EP EP11783668.4A patent/EP2573546A4/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011145736A1 (ja) | 2011-11-24 |
EP2573546A4 (en) | 2016-03-09 |
JP5515102B2 (ja) | 2014-06-11 |
EP2573546A1 (en) | 2013-03-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8743368B2 (en) | Optical sensor system and method of sensing | |
US8576396B2 (en) | Cell construction for light scatter detectors having self-focusing properties | |
EP1972923A2 (en) | Optical absorption gas sensor | |
EP2772749B1 (en) | Detector | |
EP1509759B1 (en) | Gas sensors | |
KR101108495B1 (ko) | 적외선 가스 센서 | |
CN110715909A (zh) | 多通道多反射气体检测装置 | |
KR101108497B1 (ko) | 적외선 가스 센서 | |
JP5515102B2 (ja) | ガスセンサ | |
KR101026030B1 (ko) | 거리 측정 장치 | |
JP5252892B2 (ja) | 光学ユニット | |
JP2021117224A (ja) | レーザー探知機 | |
JP6336544B2 (ja) | 液体濃度検出装置 | |
JP2007205920A (ja) | 多重反射型セルおよび赤外線式ガス検知器 | |
KR840002359B1 (ko) | 적외선 필름 두께 측정기 | |
JP2011237317A (ja) | 赤外線分析装置 | |
WO2016200802A1 (en) | Backscatter reductant anamorphic beam sampler | |
KR101760031B1 (ko) | 감도와 신뢰성 향상을 위한 광학적 가스 센서 | |
US9719919B2 (en) | Method for measuring refractive index, and refractometer | |
RU2634372C1 (ru) | Устройство для контроля углового положения дифракционных порядков дифракционных элементов (варианты) | |
US20200041408A1 (en) | Total internal reflection optical member, and total internal reflection measuring device provided with same | |
US20180045642A1 (en) | Gas detection device and method for detecting gas concentration | |
JP2002081993A (ja) | 放射温度計 | |
JPS61235707A (ja) | 膜厚測定装置 | |
JP2003075231A (ja) | 液体検出センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131029 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131227 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140123 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140218 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140311 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5515102 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |