JPWO2009088053A1 - 測定装置および方法、並びに、プログラム - Google Patents
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Abstract
始点が設定された画像について、指定位置アドレス算出回路43は始点の座標を記憶し、代表点設定回路44は代表点を設定し、その座標および近傍の画像の特徴量を記憶する。以後の終点が設定されるまでの画像において、代表点探索回路45は直前画像の代表点を探索し、その座標を記憶し、代表点設定回路44は新たな代表点を設定し、その座標および近傍の画像の特徴量を記憶する。指定位置アドレス算出回路43は終点が設定された画像上の終点の座標を記憶する。ベクトル算出部61は、始点、代表点および終点を設定順に接続した各2点間のベクトルを算出し、距離算出部62は、始点から終点までのベクトルの大きさに基づいて、始点と終点の間の距離を算出する。本発明は、例えば、顕微鏡を用いた測定システムに適用できる。
Description
ただし、この場合、代表点がコントラストまたはエッジ強度が弱い画素に設定されることがあり、探索処理において、代表点の誤検出が発生する可能性が高くなる。
本発明の第2の側面の測定装置は、被検面状の異なる2点間の距離を測定する測定装置において、前記被検面の像を結像する結像光学系と、前記結像光学系により形成された像を撮像する撮像手段と、前記異なる2点の一方から他方へ、前記被検面に対して前記撮像手段を相対的に移動させながら、少なくとも前記一方の点を含む撮影画像および前記他方の点を含む撮影画像を取得し、かつ前記撮像手段で撮像された撮影画像の一部の領域が重なるように前記撮像手段を制御する制御手段と、それぞれの前記撮影画像のうち、前記重複した領域中に距離測定のための代表点を設定する設定手段と、各々の前記撮影画像に存在する前記一方の点、前記他方の点、前記代表点のうち2点の座標の差を前記各々の撮影画像から求め、それぞれの前記撮影画像について求められた前記座標の差を用いて前記2点間の距離を算出する算出手段とを備える。
本発明の第2の側面においては、結像光学系により形成された像が撮像され、被検面状の異なる2点の一方から他方へ、前記被検面に対して撮像手段を相対的に移動させながら、少なくとも前記一方の点を含む撮影画像および前記他方の点を含む撮影画像を取得し、かつ前記撮像手段で撮像された撮影画像の一部の領域が重なるように前記撮像手段が制御され、それぞれの前記撮影画像のうち、前記重複した領域中に距離測定のための代表点が設定され、各々の前記撮影画像に存在する前記一方の点、前記他方の点、前記代表点のうち2点の座標の差が前記各々の撮影画像から求められ、それぞれの前記撮影画像について求められた前記座標の差を用いて前記2点間の距離が算出される。
Claims (7)
- 測定対象物の撮影範囲を移動させながら撮影した複数の画像を用いて始点と終点との2点間の距離を測定する測定装置において、
前記始点が設定された画像における前記始点の座標、および、前記終点が設定された画像における前記終点の座標を算出し、記憶部に記憶させる座標算出手段と、
前記始点が設定された画像において前記始点とは異なる座標の位置に代表点を設定し、前記代表点の座標および近傍の画像の特徴量を記憶するとともに、前記始点が設定された画像より後の前記終点が設定されるまでの各画像において、直前に設定された前記代表点が探索され、検出された前記代表点の座標と異なる座標の位置に新たな前記代表点を設定し、新たな前記代表点の座標および近傍の画像の特徴量を前記記憶部に記憶させる代表点設定手段と、
前記始点が設定された画像より後の前記終点が設定されるまでの各画像において、直前に設定された前記代表点の近傍の画像の特徴量に基づいて前記代表点を探索し、検出した前記代表点の座標を前記記憶部に記憶させる代表点探索手段と、
記憶されている前記始点、前記代表点および前記終点の座標を用いて、前記始点が設定された画像での前記始点から前記代表点まで、同一画像で異なる位置に設定された前記代表点間、および、前記終点が設定された画像での前記代表点と前記終点を接続した同一画像上での各2点間のベクトルを算出するベクトル算出手段と、
算出された前記ベクトルを全て加算することにより求められる前記始点から前記終点までのベクトルに基づいて、前記始点と前記終点の間の距離を算出する距離算出手段と
を備えることを特徴とする測定装置。 - 前記代表点探索手段は、画像の中央の所定の範囲の外において前記代表点を検出した場合、検出した前記代表点の座標を前記記憶部に記憶させ、前記所定の範囲内において前記代表点を検出した場合、検出した前記代表点の座標を前記記憶部に記憶させず、
前記代表点設定手段は、前記所定の範囲の外において前記代表点が検出された場合、新たな前記代表点を設定し、前記所定の範囲内において前記代表点が検出された場合、新たな前記代表点を設定しない
ことを特徴とする請求項1に記載の測定装置。 - 前記代表点設定手段は、画像の中央の所定の範囲内の画素の中から前記代表点を設定する
ことを特徴とする請求項1に記載の測定装置。 - 前記代表点設定手段は、所定の特徴量が大きい画素を前記代表点に設定する
ことを特徴とする請求項1に記載の測定装置。 - 前記代表点検索手段により直前に設定された前記代表点が検出できなかった場合、測定の失敗を通知する通知手段を
さらに備えることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。 - 測定対象物の撮影範囲を移動させながら撮影した複数の画像を用いて始点と終点との2点間の距離を測定する測定方法において、
前記始点が設定された画像における前記始点の座標を取得する始点座標取得ステップと、
前記始点が設定された画像において前記始点とは異なる代表点を設定し、設定した前記代表点の座標および近傍の画像の特徴量を取得する第1の代表点設定ステップと、
前記始点が設定された画像より後の終点が設定されるまでの各画像において、直前に設定された前記代表点の近傍の画像の特徴量に基づいて前記代表点を探索し、直前に設定された代表点の座標を取得する代表点探索ステップと、
前記代表点探索ステップにより検出した前記代表点の座標とは異なる座標の位置に新たな前記代表点を設定し、新たな前記代表点の座標および近傍の画像の特徴量を取得する第2の代表点設定ステップと、
前記終点が設定された画像における前記終点の座標を取得する終点座標取得ステップと、
取得された前記始点、前記代表点および前記終点の座標を用いて、前記始点が設定された画像での前記始点から前記代表点まで、同一画像で異なる位置に設定された前記代表点間、および、前記終点が設定された画像での前記代表点と前記終点を接続した同一画像上での各2点間のベクトルを算出するベクトル算出ステップと、
算出された前記ベクトルを全て加算することにより求められる前記始点から前記終点までのベクトルに基づいて、前記始点と前記終点の間の距離を算出する距離算出ステップと を含むことを特徴とする測定方法。 - 測定対象物の撮影範囲を移動させながら撮影した複数の画像を用いて始点と終点との2点間の距離を測定する処理を、コンピュータに実行させるプログラムにおいて、
前記始点が設定された画像における前記始点の座標を取得する始点座標取得ステップと、
前記始点が設定された画像において前記始点とは異なる代表点を設定し、設定した前記代表点の座標および近傍の画像の特徴量を取得する第1の代表点設定ステップと、
前記始点が設定された画像より後の終点が設定されるまでの各画像において、直前に設定された前記代表点の近傍の画像の特徴量に基づいて前記代表点を探索し、直前に設定された代表点の座標を取得する代表点探索ステップと、
前記代表点探索ステップにより検出した前記代表点の座標とは異なる座標の位置に新たな前記代表点を設定し、新たな前記代表点の座標および近傍の画像の特徴量を取得する第2の代表点設定ステップと、
前記終点が設定された画像における前記終点の座標を取得する終点座標取得ステップと、
取得された前記始点、前記代表点および前記終点の座標を用いて、前記始点が設定された画像での前記始点から前記代表点まで、同一画像で異なる位置に設定された前記代表点間、および、前記終点が設定された画像での前記代表点と前記終点を接続した同一画像上での各2点間のベクトルを算出するベクトル算出ステップと、
算出された前記ベクトルを全て加算することにより求められる前記始点から前記終点までのベクトルに基づいて、前記始点と前記終点の間の距離を算出する距離算出ステップと を含む処理をコンピュータに実行させるプログラム。
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