JPWO2008050685A1 - 内部共振器型shg光源 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施の形態1は、波長変換素子の温度変化に応じて波長変換素子の位相整合波長を調整することにより、ペルチェ素子などの温度制御デバイスによる波長変換素子の温度制御を不要とする内部共振器型のSHG光源にかかる形態である。図1は、本発明の実施の形態1にかかる内部共振器型SHG光源の構成を示す概略図である。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。本実施の形態では、上記の実施の形態1で説明した温度変化に対応するための内部共振器型SHG光源の制御方法において、波長変換素子7の回転をより少なくする方法について説明する。基本的な構成や制御方法などは実施の形態1と同様である。本実施の形態では、図6に示す構造の波長変換素子7を用いた。本実施の形態における波長変換素子7は、波長変換素子7内に形成されている分極反転領域19が入射面7aに対して斜めに(図中のθpをもって)形成されている。このように分極反転領域19を斜めに形成しておくと温度変化に対応して波長変換素子7を回転させる際の回転角が少なくて済む。
次に、本発明の実施の形態3について説明する。本実施の形態は、上記の実施の形態1および2にかかる内部共振器型SHG光源の駆動方法の処理手順にかかる形態である。図8は、本実施の形態にかかる内部共振器型SHG光源の駆動方法の処理手順を示すフローチャートである。
本発明の実施の形態1は、波長変換素子の温度変化に応じて波長変換素子の位相整合波長を調整することにより、ペルチェ素子などの温度制御デバイスによる波長変換素子の温度制御を不要とする内部共振器型のSHG光源にかかる形態である。図1は、本発明の実施の形態1にかかる内部共振器型SHG光源の構成を示す概略図である。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。本実施の形態では、上記の実施の形態1で説明した温度変化に対応するための内部共振器型SHG光源の制御方法において、波長変換素子7の回転をより少なくする方法について説明する。基本的な構成や制御方法などは実施の形態1と同様である。本実施の形態では、図6に示す構造の波長変換素子7を用いた。本実施の形態における波長変換素子7は、波長変換素子7内に形成されている分極反転領域19が入射面7aに対して斜めに(図中のθpをもって)形成されている。このように分極反転領域19を斜めに形成しておくと温度変化に対応して波長変換素子7を回転させる際の回転角が少なくて済む。
次に、本発明の実施の形態3について説明する。本実施の形態は、上記の実施の形態1および2にかかる内部共振器型SHG光源の駆動方法の処理手順にかかる形態である。図8は、本実施の形態にかかる内部共振器型SHG光源の駆動方法の処理手順を示すフローチャートである。
Claims (9)
- ポンプ光を出射するポンプ光源と、
前記ポンプ光を吸収し、基本波を出力する固体レーザーと、
前記固体レーザーと対向し、前記固体レーザーと共に共振器を構成する出力ミラーと、
前記共振器内に配置され、前記基本波を高調波に変換する波長変換素子と、
前記波長変換素子の温度を検知する検知部と、
前記波長変換素子を回転させることにより前記波長変換素子に対する前記基本波の入射角を変化させる回転部と
を備え、
前記回転部は、前記検知部により検知される前記波長変換素子の温度に応じて前記波長変換素子を回転させることを特徴とする内部共振器型SHG光源。 - 前記波長変換素子から前記出力ミラーに向けて出射される基本波の光軸と前記出力ミラーの光軸とが略一致するように、前記回転部により回転される前記波長変換素子の回転角に応じて前記出力ミラーを移動させる移動部をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の内部共振器型SHG光源。
- 前記波長変換素子の位相整合温度と前記波長変換素子の回転角との対応関係を表わす回転角データが記録された記憶部をさらに備え、
前記回転部は、前記検知部により検知される前記波長変換素子の温度に基づいて前記波長変換素子を回転させる回転機構と、前記回転機構による前記波長変換素子の回転を制御する制御部とを含み、
前記制御部は、前記検知部により検知された前記波長変換素子の温度と前記波長変換素子の位相整合温度とが略一致するように、前記記憶部に記録された回転角データを参照して前記波長変換素子の回転を制御することを特徴とする請求項2に記載の内部共振器型SHG光源。 - 前記移動部は、前記回転部により回転される前記波長変換素子の回転角に基づいて前記前記出力ミラーを移動させる移動機構を含み、
前記制御部はさらに、前記移動機構による前記出力ミラーの移動を制御し、
前記記憶部はさらに、前記波長変換素子から前記出力ミラーに向けて出射される基本波の光軸と前記出力ミラーの光軸とが略一致するための、前記波長変換素子の回転角と前記出力ミラーの移動量との対応関係を表わす移動量データを記録しており、
前記制御部は、前記波長変換素子から前記出力ミラーに向けて出射される基本波の光軸と前記出力ミラーの光軸とが略一致するように、前記記憶部に記録された移動量データを参照して前記出力ミラーの移動を制御することを特徴とする請求項3に記載の内部共振器型SHG光源。 - 前記制御部および前記記憶部は、集積回路に搭載されていることを特徴とする請求項3または4に記載の内部共振器型SHG光源。
- 前記波長変換素子の素子長は、0.3〜2mmであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の内部共振器型SHG光源。
- 前記波長変換素子に形成された分極反転領域は、前記波長変換素子の前記固体レーザー側の端面に対し所定の傾斜角を成すことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の内部共振器型SHG光源。
- 前記所定の傾斜角は、2〜30°であることを特徴とする請求項7に記載の内部共振器型SHG光源。
- 前記波長変換素子の材料は、Mg添加ニオブ酸リチウム結晶であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の内部共振器型SHG光源。
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