JPWO2008041448A1 - 音響光学フィルタ - Google Patents
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Abstract
基板(10)の上に光導波路(11,12)を形成し、基板表面に光学的に光導波路(11,12)より低屈折率の薄膜(13)を形成し、この薄膜(13)の上に弾性表面波導波路(16)を、光導波路(11,12)を斜めに過るように形成する。光導波路(11,12)はSAW導波路(16)の位置に直接影響されずに光導波路の位相整合条件が変化せず、SAW強度重み付けによる光学フィルタのサイドローブ特性が悪化することがない。
Description
この発明は、音響光学効果を利用した音響光学フィルタに関するものである。
近年のインターネットの爆発的な普及や企業内LAN間間接需要の急増等データトラフィックが急速に増大している。それに伴い、大容量通信が可能な光通信は基幹系をはじめアクセス系にまで普及し始めている。光通信の大容量化には、光伝送速度の高速化や光波長多重化がある。光波長多重化を実現するための重要な構成部品として光波長フィルタがある。これは、ある特定波長の光をフィルタリングするものであり、光波長多重通信のキーデバイスである。高密度に多重化する場合、特定の波長をフィルタリングする際、隣接チャンネルは遮断する必要がある。そのために、必要な光波長フィルタのフィルタ特性は隣接チャンネルをある程度以上遮断するような低サイドローブであることが必要になる。
上記サイドローブを抑圧するようにした音響光学フィルタは特許文献1,2に示されている。
図1は特許文献1に示されている音響光学フィルタの構成を示す平面図である。この音響光学フィルタは、xカットのLiNbO3基板110にy軸方向に延びる光導波路111,112が形成されている。この光導波路111,112の上に、光学的に透明で基板110よりも屈折率が低い薄膜からなるSAW導波路118が光導波路111,112を斜めに過ぎるように形成されている。
SAW導波路118の一方の端部には弾性表面波を発生させる櫛型電極からなるトランスデューサ115が形成されている。また、SAW導波路118の一方の端部との間でトランスデューサ115を挟む位置にレジストからなるSAW吸収体119が形成されている。さらに、SAW導波路118の他方の端部(終点)にレジストからなるSAW吸収体120が形成されている。
このように光導波路111,112に対して斜めに交差するようにSAW導波路を配置することによって、光導波路111,112を伝搬する光のTE−TMのモード変換が光導波路の進行方向に対してガウス分布的な重み付けがなされることになり、フィルタ特性におけるサイドローブが低減される。
一方、図2は特許文献2に示されている音響光学フィルタの構成を示す平面図である。この音響光学フィルタは、xカットのLiNbO3基板210に弾性表面波を励起するためのトランスデューサ212が形成されている。基板210の上には2本の平行なSAW導波路壁部214a,214bによって区画された領域であるSAW導波路216が形成されて、このSAW導波路216に沿って光導波路218が設けられている。SAW導波路の両端にはSAW吸収体220a,220bが形成されている。
また、この音響光学フィルタには、特定方向の偏波(TE波)のみを信号光として光導波路218に結合させる入射光用偏光子222を備えている。この偏光子222によって分離されたTE波はSAWの波長に応じた特定の波長の信号光のみTM波に変換される。その結果、TE波の偏光方向と直交する偏光方向のTM波に変換された信号光が出射光用偏光子224によって出射光から分離される。
このように直線の光導波路218を挟んで2本の平行なSAW導波路壁部214a,214bを光導波路218の延在する方向に対して斜めに設けているので、光導波路に沿った結合係数を急激に変化させることなくTE−TMモード変換を行うことができる。
特開平11−64809号公報
特開平8−114776号公報
特許文献1に示されている音響光学フィルタでは、TE−TMのモード変換の重み付けを光導波路の進行方向に対してガウス分布的にすることによってフィルタ特性におけるサイドローブが低減できるが、実際に装置を作成して特性を測定したところ、サイドローブ低減効果は理論値よりかなり小さいことが分かった。図3はその特性を示している。この例では波長1575nmの光が通過し、それ以外の波長は遮断されるが最大サイドローブ比の理論値が−40dBであるのに対し、実際は−15.6dB程度しか得られていない。このような場合でも従来のSAW強度重み付けを行わない場合の9dB程度に比べてサイドローブ抑圧効果は見られるが、光波長多重化を高める上で上記サイドローブを更に抑圧する必要が生じてきている。
この発明の目的は、フィルタ特性におけるサイドローブを更に低減した音響光学フィルタを提供することにある。
この発明の発明者は、前記サイドローブの低減効果の悪化原因を見いだし、その原因を解消する構成に想到した。すなわちこの発明の音響光学フィルタは、光導波路がSAW導波路の影響を受けて光導波路の光伝搬定数が変化していることと推測して、光導波路がSAW導波路の影響を受けないようにしたものである。
この発明は、基板上に、交差する光導波路と弾性表面波導波路とを備え、前記弾性表面波導波路の作用領域の開始部と終了部で前記光導波路と前記弾性表面波導波路は離れていて、少なくとも前記作用領域内で前記光導波路上部が光学的に一定な構造としたことを特徴としている。
例えば、光伝送路の上部に光導波路より低屈折率の薄膜を形成して前記光学的に一定な構造とする。
また前記弾性表面波導波路は、例えば前記薄膜上に形成した薄膜の弾性表面波導波路とする。
前記弾性表面波導波路は、例えば前記薄膜上に2つの薄膜の弾性表面波障壁部を形成することにより、その2つの薄膜の弾性表面波障壁部で挟まれる領域に設ける。
作用領域内での光導波路上に直接弾性表面波導波路が配置されている場合には光導波路の伝搬定数が変化してしまうが、この発明によれば、弾性表面波導波路の作用領域内で光導波路上部が弾性表面波導波路の配置(位置関係)にかかわらず光学的に一定であるため、光の伝搬定数が光導波路上で変化せず、位相整合条件が変化しない。その結果、SAW強度重み付けを行うことによるサイドローブの低減効果が大きくなって低サイドローブの音響光学フィルタが得られる。
また、前記光導波路の上部にその光導波路より低屈折率の薄膜を形成することによって光導波路上部が弾性表面波導波路の配置に係わらず光学的に一定とすることにより構造が単純にでき製造が容易となる。
また、前記薄膜上に薄膜の弾性表面波導波路を形成すれば構造が単純化され、製造が容易となる。
また、前記薄膜上に2つの薄膜の弾性表面波障壁部を形成することにより、その弾性表面波障壁部で挟まれる領域を弾性表面波導波路として構成すれば構造が単純化され、製造が容易となる。
11,12,21−光導波路
14,15−PBS(Polarization Beam Splitter)
16,36−SAW導波路
17,27−トランスデューサ
18,19,28,29−SAW吸収体
10,20−基板
13,23,33−薄膜
24,25−SAW導波路壁部
14,15−PBS(Polarization Beam Splitter)
16,36−SAW導波路
17,27−トランスデューサ
18,19,28,29−SAW吸収体
10,20−基板
13,23,33−薄膜
24,25−SAW導波路壁部
《第1の実施形態》
第1の実施形態に係る音響光学フィルタについて図4〜図7を参照して説明する。
図4は第1の実施形態に係る音響光学フィルタの平面図である。また図5は図4におけるA,B,C部分の断面図である。
第1の実施形態に係る音響光学フィルタについて図4〜図7を参照して説明する。
図4は第1の実施形態に係る音響光学フィルタの平面図である。また図5は図4におけるA,B,C部分の断面図である。
この音響光学フィルタは、基板10にy軸方向に延びる光導波路11,12およびPBS14,15を形成している。この光導波路11,12の上部には薄膜13を形成している。さらに、この薄膜13の上面に、SAW導波路16を光導波路11,12に対して斜めに過ぎるように形成している。
SAW導波路16の一方の端部には弾性表面波を発生させる櫛型電極からなるトランスデューサ17を形成している。また、SAW導波路16の一方の端部との間でトランスデューサ17を挟む位置にレジストからなるSAW吸収体18を形成している。さらに、SAW導波路16の他方の端部(終点)にレジストからなるSAW吸収体19を形成している。
具体的には、xカットy方向伝搬のLiNbO3基板10に深さ90nmのTi拡散光導波路11,12を形成している。この光導波路11,12は1040℃で8時間熱拡散させることによって形成したものである。トランスデューサ17は波長λ=20μm、交差幅60μmであり、周波数170〜180MHzで駆動する。
図中A−Bの区間が作用領域であり、この作用領域の光導波路に沿った長さは40mmである。また光導波路11,12とSAW導波路16との交差角は0.29°である。
基板10の上面には上記作用領域を含む範囲に厚さ0.3μmのZnOの薄膜13を形成している。この薄膜13としては光導波路11,12の光伝搬損失が大きくならないもので、且つSAW伝搬損失が小さなものが望ましい。たとえばZnO以外にSiO2等を用いる。
上記薄膜13の上面には厚さ0.3μmのZnOからなるSAW導波路16を形成している。このSAW導波路16は弾性表面波の伝搬損失の小さなものが望ましく、ZnO膜以外に金属膜も使える。
図4において、PBS14,15は、TEモード光を直進方向に通過させ、TMモード光を交差方向に通過させる偏波分離器である。2つの光導波路11,12を伝搬する光は、作用領域を通過するうちにSAW導波路16を伝搬する弾性表面波の波長に応じて、偏波面が回転するので、ポート#1から入射した光のうち、SAW導波路を伝搬する弾性表面波の波長に応じた光がポート#4から出射されることになる。
図6は図5(C)に示したSAW導波路16のSAW強度の分布を示している。ここで横軸はSAW導波路の中間から幅方向への距離[au]、縦軸は規格化強度[au]である。この例ではSAW導波路の中間から幅方向への距離がa,−aの位置で規格化強度分布が0.5である例を示している。弾性表面波が実際にSAW導波路を伝搬するのは、そのSAW導波路部分だけではなく図6に示したようないわゆるしみだしが生じる。このしみだし量が図7に示すようにSAW導波路内外のSAWの音速差やSAW導波路の幅によって決まる。そのため、このしみだし部分も含め、光導波路を伝搬する光に、SAW導波路を伝搬する弾性表面波によるモード変換(偏波面の回転)が生じる。
次に、作用領域の位相整合条件について示す。
ここで、光の波長をλ、TE,TMモードの伝搬定数をβa,βb、実効屈折率をNa,Nbとし、弾性表面波の位相速度をΛとすると、位相整合条件は
|βa−βb|=(2π/λ)|Na−Nb|=2π/Λ
で表される。
ここで、光の波長をλ、TE,TMモードの伝搬定数をβa,βb、実効屈折率をNa,Nbとし、弾性表面波の位相速度をΛとすると、位相整合条件は
|βa−βb|=(2π/λ)|Na−Nb|=2π/Λ
で表される。
図4に示した作用領域における光導波路上の位相定数βa,βbは、薄膜13を形成したことによりほぼ一定であるので、上記位相整合条件が変化せず、SAW強度重み付けを行うことによるサイドローブの低減効果が大きくなって低サイドローブの音響光学フィルタが得られる。
《第2の実施形態》
図8は第2の実施形態に係る音響光学フィルタの平面図である。また、図9は図8におけるA,B,C部分の断面図である。
図8は第2の実施形態に係る音響光学フィルタの平面図である。また、図9は図8におけるA,B,C部分の断面図である。
この音響光学フィルタは、基板20にy軸方向に延びる光導波路21を形成している。この光導波路21の上部には薄膜23を形成している。さらに、この薄膜23の上面に、SAW導波路壁部24,25を光導波路21に対して斜めに過ぎるように形成している。
SAW導波路壁部24,25で挟まれるSAW導波路の一方の端部には弾性表面波を発生させる櫛型電極からなるトランスデューサ27を形成している。また、SAW導波路の一方の端部との間でトランスデューサ27を挟む位置にレジストからなるSAW吸収体28を形成している。さらに、SAW導波路の他方の端部(終点)にレジストからなるSAW吸収体29を形成している。
具体的には、xカットy方向伝搬のLiNbO3基板10に深さ90nmのTi拡散光導波路11,12を形成している。この光導波路11,12は1040℃で8時間熱拡散させることによって形成したものである。トランスデューサ17は波長λ=20μm、交差幅60μmであり、周波数170〜180MHzで駆動する。
図中A−Bの区間が作用領域であり、この作用領域の光導波路に沿った長さは40mmである。また光導波路21とSAW導波路との交差角は0.29°である。
基板20の上面には上記作用領域を含む範囲に厚さ0.3μmのZnOの薄膜23を形成している。この薄膜23としては光導波路21の光伝搬損失が大きくならないもので、且つSAW伝搬損失が小さなものが望ましい。たとえばZnO以外にSiO2等を用いる。
上記薄膜23の上面には厚さ0.3μmのSiNからなるSAW導波路壁部24,25を形成している。このSAW導波路壁部24,25は、その形成により弾性表面波の伝搬速度が速くなる必要があり、且つ弾性表面波の伝搬損失の小さなものが望ましい。SiN膜以外にAlN膜も使える。
このように光導波路21の上には薄膜23を形成して、光学的に一定(屈折率が一様な状態)になっている。そのため、光導波路の位相定数は一定となる。したがってSAW強度分布の設計に応じたサイドローブを得ることができる。
なお、薄膜23上にSAW導波路壁部24,25を形成し、光導波路21の上には薄膜23しか形成していない(図9(C))ため、SAW伝搬損失は第1の実施形態に比べて低く抑えられる。
《第3の実施形態》
図10は第3の実施形態に係る音響光学フィルタの断面図である。この音響光学フィルタの平面図は図4に示したものと同様の構成となる。但し、SAW導波路36を基板10の表面に直接形成し、このSAW導波路36を含む基板10の上面の全面(作用領域)に薄膜33を形成している。ここで薄膜33はSAW導波路36と光学的屈折率がほぼ等しい材料である。
図10は第3の実施形態に係る音響光学フィルタの断面図である。この音響光学フィルタの平面図は図4に示したものと同様の構成となる。但し、SAW導波路36を基板10の表面に直接形成し、このSAW導波路36を含む基板10の上面の全面(作用領域)に薄膜33を形成している。ここで薄膜33はSAW導波路36と光学的屈折率がほぼ等しい材料である。
このような構成であるため、図10に示した(A),(B),(C)のいずれの断面領域においても光導波路11,12の伝搬定数はほぼ一定であり、位相整合条件が変化することがなく、SAW強度の重み付けによるサイドローブの抑制が悪化することなく、低サイドローブの音響光学フィルタが得られる。
Claims (4)
- 基板上に、交差している光導波路と弾性表面波導波路とを備え、前記弾性表面波導波路の作用領域の開始部と終了部で前記光導波路と前記弾性表面波導波路は離れていて、少なくとも前記作用領域内で前記光導波路上部が光学的に一定な構造である音響光学フィルタ。
- 前記光学的に一定な構造は、前記光導波路の上部に前記光導波路より低屈折率の薄膜を形成したものである請求項1に記載の音響光学フィルタ。
- 前記弾性表面波導波路は、前記薄膜上に形成した薄膜の弾性表面波導波路である請求項2に記載の音響光学フィルタ。
- 前記弾性表面波導波路は、前記薄膜上に2つの薄膜の弾性表面波障壁部を形成することにより、該2つの薄膜の弾性表面波障壁部で挟まれる領域に設けてなる請求項2に記載の音響光学フィルタ。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120207 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120925 |