JPWO2006134901A1 - Coaxial cable unit, device interface device, and electronic component testing device - Google Patents
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Abstract
信号を伝達するための同軸ケーブルユニット(40a)は、グランド層(413)、及び、グランド層(413)に囲まれた信号線(411)、を有する2本の同軸ケーブル(41)と、当該2本の同軸ケーブル(411)の端部に設けられたモールド(42a)と、を備え、2本の同軸ケーブル(411)が有する各グランド層(413)は、グランド用プレスフィットピン(43)に電気的に接続され、当該グランド用プレスフィットピン(43)は、モールド(42a)から導出しており、2本の同軸ケーブル(41)が有する各信号線(411)は、モールド(42a)から個別に導出している。The coaxial cable unit (40a) for transmitting signals includes two coaxial cables (41) having a ground layer (413) and a signal line (411) surrounded by the ground layer (413), A mold (42a) provided at an end of the two coaxial cables (411), and each ground layer (413) included in the two coaxial cables (411) includes a ground press-fit pin (43). The ground press-fit pin (43) is led out from the mold (42a), and each signal line (411) of the two coaxial cables (41) is connected to the mold (42a). Are derived individually from
Description
本発明は、信号を伝達するための同軸ケーブルユニットに関し、半導体集積回路素子等の各種電子部品(以下、単に「IC」とも称する。)をテストするためのデバイスインターフェース装置や電子部品試験装置等に適用して好ましい同軸ケーブルユニットに関する。 The present invention relates to a coaxial cable unit for transmitting a signal, and is used in a device interface device, an electronic component test apparatus, and the like for testing various electronic components (hereinafter also simply referred to as “IC”) such as a semiconductor integrated circuit element. The present invention relates to a preferred coaxial cable unit to be applied.
電子部品試験装置では、テスタ(tester)に電気的に接続されたテストヘッドをハンドラ(handler)にセットし、当該テストヘッドに接続されたソケットに、ハンドラ側で搬送されたICを押し付けた状態で、テスタにより試験実施される。そして、試験を終了するとハンドラによりICをテスト工程から搬出し、試験結果に応じて良品や不良品といったカテゴリへの分類が行われている。 In an electronic component testing apparatus, a test head electrically connected to a tester is set in a handler, and an IC conveyed on the handler side is pressed into a socket connected to the test head. Tested by a tester. When the test is completed, the ICs are taken out of the test process by the handler, and are classified into categories such as non-defective products and defective products according to the test results.
テスト工程に設けられたテストヘッドには、ICと当該テストヘッドとの間で信号の授受を中継するためのハイフィックス(デバイスインターフェース装置)が装着されている。このハイフィックスは、ICが電気的に接触されるソケットが装着されたソケットボードと、テストヘッドに電気的に接続されたパフォーマンスボードと、ソケットボードとパフォーマンスボードとを電気的に接続する複数の同軸ケーブルユニットと、これらを支持する支持構造体と、から構成されている。このハイフィックスは、ICの品種に応じて各種取り揃えられており、ICの品種交換に伴って交換される。 A test head provided in the test process is equipped with a HiFix (device interface device) for relaying signal transmission / reception between the IC and the test head. This HiFix has a socket board with a socket to which the IC is electrically contacted, a performance board electrically connected to the test head, and a plurality of coaxials that electrically connect the socket board and the performance board. It is comprised from the cable unit and the support structure which supports these. Various types of HiFix are available according to the type of IC and are exchanged when the IC type is changed.
ソケットボードとパフォーマンスボードを接続する同軸ケーブルユニットとして、同軸ケーブルの終端部のグランド層の外周を、ケーブルターミナルの囲部により囲むと共に、この囲部に電気的に接続された取付部を、信号線から所望の距離を隔てて同軸ケーブルの軸方向に伸ばしたものが従来から知られている(例えば、特許文献1参照)。 As a coaxial cable unit that connects the socket board and the performance board, the outer periphery of the ground layer at the end of the coaxial cable is surrounded by the cable terminal enclosure, and the mounting part electrically connected to this enclosure is connected to the signal line. In the past, a cable that is extended in the axial direction of the coaxial cable at a desired distance from the cable is known (see, for example, Patent Document 1).
また、別の構成の同軸ケーブルユニットとして、電気回路基板のグランドラインに電気的に接続されたケーブルブロックを有し、当該ケーブルブロックに同軸ケーブルのグランド層が電気的に接続されたものが従来から知られている(例えば、特許文献2参照)。 In addition, as a coaxial cable unit having another configuration, a coaxial cable unit that has a cable block electrically connected to a ground line of an electric circuit board, and a ground layer of the coaxial cable is electrically connected to the cable block has been conventionally used. It is known (see, for example, Patent Document 2).
前者の同軸ケーブルユニットでは、電気回路基板に形成されたスルーホールに信号線及び取付部を挿入することにより、同軸ケーブルユニットが電気回路基板に接続される。この際、電気回路基板の挿入側の面において取付部をスルーホールに半田付けすると共に、貫通側の面において信号線及び取付部をスルーホールに半田付けする必要がある。従って、両面で半田付けする必要がある。 In the former coaxial cable unit, the coaxial cable unit is connected to the electric circuit board by inserting a signal line and an attachment portion into a through hole formed in the electric circuit board. At this time, it is necessary to solder the attachment portion to the through hole on the surface on the insertion side of the electric circuit board, and to solder the signal line and the attachment portion to the through hole on the surface on the penetration side. Therefore, it is necessary to solder on both sides.
また、後者の同軸ケーブルユニットでも、同軸ケーブルのグランド層をケーブルブロックに半田付けすると共に、同軸ケーブルの信号線を電気回路基板の電極パッドに半田付けする必要がある。 Also in the latter coaxial cable unit, it is necessary to solder the ground layer of the coaxial cable to the cable block and to solder the signal line of the coaxial cable to the electrode pad of the electric circuit board.
従って、上記の何れの同軸ケーブルユニットも多くの取付工数を必要としている。また、これに伴って、同軸ケーブルユニットを交換する等のリペア時にも多くの工数を必要としている。 Therefore, any of the above coaxial cable units requires a large number of mounting steps. Along with this, many man-hours are required for repairs such as replacement of the coaxial cable unit.
さらに、近年、半田の鉛フリー化が要求されているが、鉛フリー半田では従来の半田と比較して約40℃程度融点が高くなる。このため、半田付け箇所の多い上記の同軸ケーブルユニットでは、鉛フリー化に対応する際に必然的に多くの取付工数の増加を招来する。 Furthermore, in recent years, there has been a demand for lead-free solder, but lead-free solder has a melting point of about 40 ° C. higher than that of conventional solder. For this reason, in the above-described coaxial cable unit with many soldering points, a large increase in the number of mounting steps is inevitably caused when dealing with lead-free.
また、他の同軸ケーブルユニットとして、図18に示すような同軸ケーブルユニット40kが知られている。この同軸ケーブルユニット40kでは、同軸ケーブル41の端部に設けられたモールド42k内において、信号線411を覆った絶縁層412と、グランド層413とがそれぞれ所定の長さづつ露出して分離している。そして、先端で絶縁層412から露出した信号線411が信号用端子48に接続されていると共に、露出したグランド層413がグランド用端子49に取り付けられており、信号用端子48とグランド用端子49とがモールド42kから平行に導出している。
As another coaxial cable unit, a
このような構造の同軸ケーブルユニット40kでも、電気回路基板のスルーホールにそれぞれの端子48、49を挿入した後に半田付けする必要があるので、多くの取付工数を必要とする。また、図18に示す同軸ケーブルユニット40kでは、同軸構造不整合距離L1が長い構造となっている。当該部位において、同軸ケーブル41の特性インピーダンスが異なる結果、伝送するパルス信号波形が歪み、また反射によるジッタが生じる。これに伴い、特に高速デバイスを試験する場合には試験品質の低下を招く難点がある。この為、高速デバイスを試験する電子部品試験装置としては、課題となっている。
Even in the
本発明は、電気回路基板への取付作業性に優れた同軸ケーブルユニット、該同軸ケーブルユニットを用いたデバイスインターフェース装置及び電子部品試験装置を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a coaxial cable unit excellent in workability to an electric circuit board, a device interface apparatus using the coaxial cable unit, and an electronic component testing apparatus.
(1)上記目的を達成するために、本発明によれば、信号を伝達するための同軸ケーブルユニットであって、グランド層、及び、前記グランド層に囲まれた信号線、を有する単一又は複数の同軸ケーブルと、前記単一又は複数の同軸ケーブルの少なくとも一方の端部に設けられたモールドと、を備え、前記単一又は複数の同軸ケーブルが有する前記各グランド層は、単一のプレスフィットピンに電気的に接続され、前記プレスフィットピンは前記モールドから導出しており、前記単一又は複数の同軸ケーブルが有する前記各信号線は、前記モールドから導出している同軸ケーブルユニットが提供される(請求項1参照)。 (1) In order to achieve the above object, according to the present invention, a coaxial cable unit for transmitting a signal, which has a ground layer and a signal line surrounded by the ground layer, A plurality of coaxial cables and a mold provided on at least one end of the single or multiple coaxial cables, and each ground layer of the single or multiple coaxial cables has a single press Provided by a coaxial cable unit that is electrically connected to a fit pin, the press-fit pin is led out from the mold, and each signal line of the single or plural coaxial cables is led out from the mold (See claim 1).
本発明では、同軸ケーブルのグランド層をプレスフィットピンに接続し、このプレスフィットピンをモールドから導出させる。これにより、同軸ケーブルユニットと電気回路基板とを接続する際にグランド層と電気回路基板との半田付け作業が不要となるので、工数を低減させることが出来る。 In the present invention, the ground layer of the coaxial cable is connected to the press-fit pin, and the press-fit pin is led out from the mold. This eliminates the need for soldering the ground layer and the electric circuit board when connecting the coaxial cable unit and the electric circuit board, thereby reducing the number of man-hours.
また、複数の同軸ケーブルの少なくとも一方の端部に設けられたモールドから導出している単一のプレスフィットピンを複数の同軸ケーブルのグランド層で共用する。これにより、半田付け箇所数が減少するので、同軸ケーブルユニットの電気回路基板への取付工数が更に低減する。また、単一のプレスフィットピンを共用することにより、高密度な密着実装が容易に可能となる。さらに、半田付け箇所が減少することに伴って、リペア性が向上すると共に、取付工数の増加を少なく抑えながら鉛フリー化に対応することが出来る。 In addition, a single press-fit pin derived from a mold provided at at least one end of the plurality of coaxial cables is shared by the ground layers of the plurality of coaxial cables. Thereby, since the number of soldering locations is reduced, the man-hour for attaching the coaxial cable unit to the electric circuit board is further reduced. In addition, by sharing a single press-fit pin, high-density close mounting can be easily performed. Furthermore, as the number of soldering points decreases, the repairability is improved, and it is possible to cope with lead-free while suppressing an increase in the number of mounting steps.
これに対し、単一の同軸ケーブルの少なくとも一方の端部にモールドが設けられている場合には、上記の共用タイプでは実装し得ない電気回路基板上の狭い箇所にも実装することが可能となり、同軸ケーブルの実装密度を向上させることが出来る。 On the other hand, when a mold is provided on at least one end of a single coaxial cable, it can be mounted in a narrow area on an electric circuit board that cannot be mounted with the above-mentioned shared type. The packaging density of the coaxial cable can be improved.
上記発明においては特に限定されないが、前記プレスフィットピンは、前記モールドから所定方向に導出しており、前記各信号線は、前記モールドから前記所定方向と異なる方向に導出していることが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that the press-fit pin is led out from the mold in a predetermined direction, and the signal lines are led out from the mold in a direction different from the predetermined direction.
これにより、同軸構造不整合距離を短くすることが出来、高周波伝送に適した同軸ケーブルユニットを提供することが出来る。また、電気回路基板にはプレスフィットを接続するためのスルーホールを形成するのみで良く、信号線を接続するためのスルーホールが不要なので、同軸ケーブルユニットを電気回路基板上に高密度に実装しても、多層の電気回路基板中の内層に所望の特性のインピーダンス条件で多数本の信号線を通過させ易い利点を得ることも出来る。 Thereby, a coaxial structure mismatch distance can be shortened and the coaxial cable unit suitable for high frequency transmission can be provided. Also, it is only necessary to form a through hole for connecting the press-fit to the electric circuit board, and no through hole for connecting the signal line is required. Therefore, the coaxial cable unit is mounted on the electric circuit board with high density. However, it is also possible to obtain an advantage that a large number of signal lines can easily pass through the inner layer in the multilayer electric circuit board under impedance conditions having desired characteristics.
上記発明においては特に限定されないが、前記信号線は、前記モールドから前記所定方向に対して実質的に直交する方向に導出していることが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that the signal line is led out from the mold in a direction substantially orthogonal to the predetermined direction.
上記発明においては特に限定されないが、前記所定方向は、前記同軸ケーブルの軸方向に実質的に平行な方向、又は、前記同軸ケーブルの軸方向に対して実質的に直交する方向であることが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, the predetermined direction is preferably a direction substantially parallel to the axial direction of the coaxial cable or a direction substantially orthogonal to the axial direction of the coaxial cable. .
上記発明においては特に限定されないが、前記モールドの表面に形成された単一又は複数の電極パッドをさらに備えており、前記単一又は複数の同軸ケーブルが有する前記各信号線は、前記各電極パッドにそれぞれ電気的に接続され、前記各信号線は、前記各電極パッドを介して前記モールドから導出していることが好ましい(請求項2参照)。 Although not particularly limited in the above invention, the signal line further includes a single or a plurality of electrode pads formed on the surface of the mold, and the signal lines included in the single or a plurality of coaxial cables are the electrode pads. Preferably, each signal line is led out from the mold via each electrode pad (refer to claim 2).
電極パッドを介して同軸ケーブルの信号線をモールドから導出させることにより、同軸ケーブルユニットを電気回路基板に実装する際に、手作業による半田付けに代えて、リフロー工法を採用することが出来るので、取付工数の更なる低減を図ることが可能となる。 By deriving the signal line of the coaxial cable from the mold via the electrode pad, when mounting the coaxial cable unit on the electric circuit board, instead of manual soldering, a reflow method can be adopted. It is possible to further reduce the number of mounting steps.
上記発明においては特に限定されないが、前記モールドにおける電子回路基板と接する表面に、弾性と導電性を有するバネ部材を配設して備え、前記バネ部材の一端が前記信号線に電気的に接触又は接続され、前記各信号線は、前記バネ部材を介して前記モールドから導出しており、前記バネ部材の他端が前記電子回路基板の表面に形成される電極に弾性的に押圧接触して当該電極に電気的に接続することが好ましい(請求項3参照)。 Although not particularly limited in the above invention, a spring member having elasticity and conductivity is provided on the surface of the mold that contacts the electronic circuit board, and one end of the spring member is in electrical contact with the signal line. Each signal line is led out from the mold via the spring member, and the other end of the spring member is elastically pressed into contact with an electrode formed on the surface of the electronic circuit board. It is preferable to electrically connect to the electrode (see claim 3).
上記発明においては特に限定されないが、前記プレスフィットピンが挿入されるスルーホールを閉塞する閉塞手段をさらに備えていることが好ましい(請求項5参照)。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable to further include a closing means for closing the through hole into which the press-fit pin is inserted (see claim 5).
電子部品試験装置では、ハンドラのチャンバ内でICに高温又は低温の温度ストレスを印加した状態で当該ICの試験が行われる。また、プレスフィットピンを電気回路基板のスルーホールに圧入した場合には、当該プレスフィットピンとスルーホールの内壁面との間に隙間が生じる場合がある。このため、チャンバ内の冷気が、当該隙間を通じて、電子回路基板や同軸ケーブルユニット等に結露が生じる場合がある。これに対し、本発明では、閉塞手段により電気回路基板のスルーホールを閉塞することにより、電気回路基板や同軸ケーブルユニットに結露が発生するのを防止することが出来る。 In the electronic component test apparatus, the IC is tested in a state where high or low temperature stress is applied to the IC in the chamber of the handler. Further, when the press fit pin is press-fitted into the through hole of the electric circuit board, a gap may be generated between the press fit pin and the inner wall surface of the through hole. For this reason, the cool air in the chamber may cause condensation on the electronic circuit board, the coaxial cable unit, and the like through the gap. On the other hand, in the present invention, it is possible to prevent dew condensation from occurring on the electric circuit board or the coaxial cable unit by closing the through hole of the electric circuit board by the closing means.
上記発明においては特に限定されないが、前記閉塞手段は、前記モールドから導出している前記プレスフィットピンが圧入されたパッキンを含むことが好ましい。 Although it does not specifically limit in the said invention, It is preferable that the said closure means contains the packing in which the said press fit pin derived | led-out from the said mold was press-fit.
上記発明においては特に限定されないが、前記閉塞手段は、前記モールドの一部を盛り上げて形成された凸状部を含むことが好ましい(請求項6参照)。 Although it does not specifically limit in the said invention, It is preferable that the said obstruction | occlusion means contains the convex-shaped part formed by raising the part of the said mold (refer Claim 6).
上記発明においては特に限定されないが、前記閉塞手段は、前記プレスフィットピンの一部を拡径して形成された拡径部を含むことが好ましい。 Although it does not specifically limit in the said invention, It is preferable that the said obstruction | occlusion means contains the enlarged diameter part formed by enlarging a part of said press fit pin.
上記発明においては特に限定されないが、前記閉塞手段は、前記スルーホールにおいて前記プレスフィットピンが圧入される側の開口に対して反対側に位置する開口を閉塞するプラグ又はシールを含むことが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that the closing means includes a plug or a seal that closes an opening located on the opposite side to the opening on the side where the press-fit pin is press-fitted in the through hole.
上記発明においては特に限定されないが、前記モールドから導出している前記プレスフィットピンは、電気回路基板に形成されたスルーホールに挿入され、前記モールドから導出している前記各信号線は、前記電気回路基板の主面に沿って導出していることが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, the press-fit pins led out from the mold are inserted into through holes formed in an electric circuit board, and the signal lines led out from the mold are It is preferable to lead out along the main surface of a circuit board.
(2)上記目的を達成するために、本発明によれば、信号を伝達するための同軸ケーブルユニットであって、グランド層、及び、前記グランド層に囲まれた信号線、を有する同軸ケーブルと、前記同軸ケーブルの少なくとも一方の端部に設けられたモールドと、前記モールドから導出しているプレスフィットピンと、を備え、前記プレスフィットピンは、前記グランド層に電気的に接続されたグランド用プレスフィットピンと、前記信号線に電気的に接続された信号用プレスフィットピンと、を含む同軸ケーブルユニットが提供される(請求項4参照)。 (2) To achieve the above object, according to the present invention, a coaxial cable unit for transmitting a signal, the coaxial cable having a ground layer and a signal line surrounded by the ground layer; A ground press that is electrically connected to the ground layer, and a mold provided on at least one end of the coaxial cable, and a press-fit pin led out from the mold. A coaxial cable unit including a fit pin and a signal press-fit pin electrically connected to the signal line is provided (see claim 4).
本発明では、同軸ケーブルのグランド層をグランド用プレスフィットピンに電気的に接続してモールドから導出させると共に、当該同軸ケーブルの信号線を信号用プレスフィットピンに電気的に接続してモールドから導出させる。 In the present invention, the ground layer of the coaxial cable is electrically connected to the press-fit pin for ground and led out from the mold, and the signal line of the coaxial cable is electrically connected to the press-fit pin for signal and led out from the mold. Let
これにより、同軸ケーブルユニットを電気回路基板に取り付ける際に、プレスフィットピンの半田付け作業が一切不要となるので、取付工数を低減することが出来る。また、半田付けが不要となることに伴ってリペア性も向上する。 Thereby, when attaching a coaxial cable unit to an electric circuit board, the soldering work of a press fit pin becomes unnecessary, and it can reduce an installation man-hour. In addition, repairability is improved as soldering is not required.
上記発明においては特に限定されないが、前記グランド用プレスフィットピンと前記信号用プレスフィットピンとは、前記モールドから実質的に同一方向に導出していることが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that the ground press-fit pin and the signal press-fit pin are led out from the mold in substantially the same direction.
上記発明においては特に限定されないが、前記プレスフィットピンが挿入されるスルーホールを閉塞する閉塞手段をさらに備えていることが好ましい(請求項5参照)。これにより、電気回路基板や同軸ケーブルユニットに結露が発生するのを防止することが出来る。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable to further include a closing means for closing the through hole into which the press-fit pin is inserted (see claim 5). Thereby, it can prevent that dew condensation generate | occur | produces on an electric circuit board | substrate or a coaxial cable unit.
上記発明においては特に限定されないが、前記閉塞手段は、前記モールドから導出している前記プレスフィットピンが圧入されたパッキンを含むことが好ましい。 Although it does not specifically limit in the said invention, It is preferable that the said closure means contains the packing in which the said press fit pin derived | led-out from the said mold was press-fit.
上記発明においては特に限定されないが、前記閉塞手段は、前記モールドの一部を盛り上げて形成された凸状部を含むことが好ましい(請求項6参照)。 Although it does not specifically limit in the said invention, It is preferable that the said obstruction | occlusion means contains the convex-shaped part formed by raising the part of the said mold (refer Claim 6).
上記発明においては特に限定されないが、前記閉塞手段は、前記プレスフィットピンの一部を拡径して形成された拡径部を含むことが好ましい。 Although it does not specifically limit in the said invention, It is preferable that the said obstruction | occlusion means contains the enlarged diameter part formed by enlarging a part of said press fit pin.
上記発明においては特に限定されないが、前記閉塞手段は、前記スルーホールにおいて前記プレスフィットピンが圧入される側の開口に対して反対側に位置する開口を閉塞するプラグ又はシールを含むことが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that the closing means includes a plug or a seal that closes an opening located on the opposite side to the opening on the side where the press-fit pin is press-fitted in the through hole.
上記発明においては特に限定されないが、前記モールドから導出している前記グランド用プレスフィットピン及び前記信号用プレスフィットピンは、電気回路基板に形成されたスルーホールにそれぞれ圧入されることが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, the ground press-fit pins and the signal press-fit pins led out from the mold are preferably press-fitted into through holes formed in the electric circuit board, respectively.
(3)上記目的を達成するために、本発明によれば、電子部品が電気的に接触されるソケットが装着されたソケットボードと、前記電子部品を試験するテスタに電気的に接続されたパフォーマンスボードと、前記ソケットボードと前記パフォーマンスボードとを電気的に接続する請求項1〜6の何れかに記載の同軸ケーブルユニットと、を備えたデバイスインターフェース装置が提供される(請求項7参照)。 (3) In order to achieve the above object, according to the present invention, a socket board having a socket to which an electronic component is electrically contacted and a performance electrically connected to a tester for testing the electronic component A device interface apparatus comprising: a board; and the coaxial cable unit according to any one of claims 1 to 6, which electrically connects the socket board and the performance board (see claim 7).
これにより、同軸ケーブルユニットの電気回路基板への取付工数が低減されるので、デバイスインターフェース装置のコスト低減を図ることが出来る。 Thereby, since the man-hour for attaching the coaxial cable unit to the electric circuit board is reduced, the cost of the device interface apparatus can be reduced.
また、上記目的を達成するために、本発明によれば、電子部品が電気的に接触されるソケットが装着されたソケットボードと、前記電子部品を試験するテスタに電気的に接続されたパフォーマンスボードと、前記ソケットボードと前記パフォーマンスボードとを電気的に接続する第1の同軸ケーブルユニット及び第2の同軸ケーブルユニットと、を備えたデバイスインターフェース装置であって、前記第1の同軸ケーブルユニットは、グランド層、及び、前記グランド層に囲まれた信号線、を有する複数の同軸ケーブルと、前記複数の同軸ケーブルの少なくとも一方の端部に設けられたモールドと、を備え、前記複数の同軸ケーブルが有する前記各グランド層は、単一のプレスフィットピンに電気的に接続され、前記プレスフィットピンは前記モールドから導出しており、前記複数の同軸ケーブルが有する前記各信号線は、前記モールドから導出しており、前記第2の同軸ケーブルユニットは、グランド層、及び、前記グランド層に囲まれた信号線、を有する単一の同軸ケーブルと、前記単一の同軸ケーブルの少なくとも一方の端部に設けられたモールドと、を備え、前記単一の同軸ケーブルが有する前記グランド層はプレスフィットピンに電気的に接続され、前記プレスフィットピンは前記モールドから導出しており、前記単一の同軸ケーブルが有する前記信号線は、前記モールドから導出しているデバイスインターフェース装置が提供される。 In order to achieve the above object, according to the present invention, a socket board on which a socket to which an electronic component is electrically contacted is mounted, and a performance board electrically connected to a tester for testing the electronic component A first coaxial cable unit and a second coaxial cable unit for electrically connecting the socket board and the performance board, wherein the first coaxial cable unit comprises: A plurality of coaxial cables having a ground layer and a signal line surrounded by the ground layer, and a mold provided at at least one end of the plurality of coaxial cables, the plurality of coaxial cables being Each ground layer having is electrically connected to a single press-fit pin, the press-fit pin being in front Each signal line of the plurality of coaxial cables derived from a mold is derived from the mold, and the second coaxial cable unit includes a ground layer and a signal surrounded by the ground layer. A single coaxial cable having a wire, and a mold provided on at least one end of the single coaxial cable, and the ground layer of the single coaxial cable is electrically connected to the press-fit pin. There is provided a device interface device in which the press-fit pins are led out from the mold, and the signal lines of the single coaxial cable are led out from the mold.
グランド層を共用するタイプの同軸ケーブルユニットのみを用いた場合には電気回路基板上の狭い箇所に同軸ケーブルを実装し得ない場合がある。これに対し、本発明では、グランド層を共有していないタイプの同軸ケーブルも併用することにより、電気回路基板上における同軸ケーブルの実装密度を向上させることが出来る。 When only a coaxial cable unit of a type sharing a ground layer is used, it may not be possible to mount the coaxial cable in a narrow place on the electric circuit board. On the other hand, in the present invention, the mounting density of the coaxial cable on the electric circuit board can be improved by using a coaxial cable of a type not sharing the ground layer together.
(4)上記目的を達成するために、本発明によれば、請求項7記載のデバイスインターフェース装置と、前記デバイスインターフェース装置が装着され、前記電子部品との間で電気的な信号の授受を行うテストヘッドと、前記テストヘッドを介して、前記電子部品の試験を実行するテスタと、を備えた電子部品試験装置が提供される(請求項8参照)。 (4) To achieve the above object, according to the present invention, the device interface apparatus according to claim 7 and the device interface apparatus are mounted, and electrical signals are exchanged between the electronic components. An electronic component testing apparatus is provided that includes a test head and a tester that executes a test of the electronic component via the test head (see claim 8).
これにより、電気回路基板への同軸ケーブルユニットの取付工数が低減されるので、電子部品試験装置のコスト低減を図ることが出来る。 Thereby, since the man-hour for attaching the coaxial cable unit to the electric circuit board is reduced, the cost of the electronic component testing apparatus can be reduced.
上記発明においては特に限定されないが、前記テストヘッドに試験前の前記電子部品を供給し、試験済みの前記電子部品を試験結果に応じて分類するハンドラをさらに備えていることが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable to further include a handler that supplies the electronic component before the test to the test head and classifies the tested electronic component according to a test result.
(5)上記目的を達成するために、本発明によれば、信号を伝達するための同軸ケーブルユニットであって、グランド層、及び、前記グランド層に囲まれた信号線、を有する単一又は複数の同軸ケーブルと、前記単一又は複数の同軸ケーブルの少なくとも一方の端部に設けられたモールドと、前記モールドから導出して、電子回路基板のスルーホールへ圧入されるプレスフィットピンと、を備え、前記プレスフィットピンは、前記同軸ケーブルの前記グランド層の円周上にプレスフィットピンを直接接続する構造とし、同軸構造不整合距離が最小となるように、前記信号線を露出させて前記モールドから導出する信号端子を備えることを特徴とする同軸ケーブルユニットが提供される(請求項9参照)。 (5) To achieve the above object, according to the present invention, a coaxial cable unit for transmitting a signal, comprising a ground layer and a signal line surrounded by the ground layer, A plurality of coaxial cables, a mold provided on at least one end of the single or plural coaxial cables, and a press-fit pin that is led out from the mold and press-fitted into a through hole of an electronic circuit board. The press-fit pin has a structure in which the press-fit pin is directly connected to the circumference of the ground layer of the coaxial cable, and the signal line is exposed so that the mismatch distance of the coaxial structure is minimized. A coaxial cable unit is provided, comprising a signal terminal derived from (refer to claim 9).
また、上記目的を達成するために、本発明によれば、信号を伝達するための同軸ケーブルユニットであって、グランド層、及び、前記グランド層に囲まれた信号線、を有する同軸ケーブルと、前記同軸ケーブルの少なくとも一方の端部に設けられたモールドと、前記モールドから導出して、電子回路基板のスルーホールへ圧入されプレスフィットピンと、を備え、前記プレスフィットピンは、前記同軸ケーブルの前記グランド層の円周上にプレスフィットピンを直接接続する構造とし、同軸構造不整合距離が最小となるように、前記同軸ケーブルの前記信号線の端部にプレスフィットピンを接続する信号用プレスフィットピンを備えることを特徴とする同軸ケーブルユニットが提供される(請求項10参照)。 In order to achieve the above object, according to the present invention, a coaxial cable unit for transmitting a signal, the coaxial cable having a ground layer and a signal line surrounded by the ground layer, A mold provided on at least one end of the coaxial cable; and a press-fit pin that is led out from the mold and press-fitted into a through hole of the electronic circuit board. A press-fit pin for signals that has a structure in which press-fit pins are directly connected to the circumference of the ground layer, and a press-fit pin is connected to the end of the signal line of the coaxial cable so as to minimize the coaxial structure mismatch distance. A coaxial cable unit comprising a pin is provided (see claim 10).
上記発明においては特に限定されないが、前記電子回路基板のスルーホールと前記モールドとの間に、前記スルーホールを閉塞する閉塞手段を備えることを特徴とすることが好ましい(請求項11参照)。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that a closing means for closing the through hole is provided between the through hole of the electronic circuit board and the mold (see claim 11).
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は本発明の第1実施形態に係る電子部品試験装置を示す側面図、図2は本発明の第1実施形態に係るハイフィックス及びテストヘッドを示す分解斜視図である。 FIG. 1 is a side view showing an electronic component testing apparatus according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view showing a hifix and a test head according to the first embodiment of the present invention.
本発明の第1実施形態に係る電子部品試験装置1は、図1に示すように、被試験ICが電気的に接触されるハイフィックス10と、このハイフィックス10が装着され、被試験ICとの間で電気的な信号の授受を行うテストヘッド50と、このテストヘッド50にテスト信号を送り、被試験ICのテストを実行するテスタ60と、試験前の被試験ICをテストヘッド50に供給するとともに、試験済みの被試験ICを試験結果に応じて分類するハンドラ70と、から構成されている。ハンドラ70には図示しないチャンバが設けられ、ICに高温又は低温の温度ストレスを印加することが可能となっている。そして、この電子部品試験装置1は、温度ストレスを印加した状態でICが適切に動作するか否かを試験(検査)し、当該試験結果に応じてICを分類することが可能となっている。
As shown in FIG. 1, the electronic component testing apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention includes a
本発明の第1実施形態に係るハイフィックス10は、図2に示すように、被試験ICが電気的に接触されるソケット21が装着されたソケットボード20と、被試験ICを試験するテスタ60に電気的に接続されたパフォーマンスボード30と、これらソケットボード20とパフォーマンスボード30とを電気的に接続する第1及び第2の同軸ケーブルユニット40a、40bと、から構成されている。なお、図2には第2の同軸ケーブルユニット40bは図示していない。また、図2では同軸ケーブルユニット40aの一方の端部がソケットボード20の裏側に隠れているため、他方の端部のモールド42aしか図示していないが、本実施形態における第1及び第2の同軸ケーブルユニット40a、40bは、その両端にモールド42a、42bを備えている。このハイフィックス10は、テストヘッド50に装着され、ケーブルを介してテスタ60に電気的に接続されている。
As shown in FIG. 2, the
ソケットボード20は、図示しない断熱構造体(スペーシングフレーム)と共に、ハンドラ70のチャンバ内に配置される。このソケットボード20には、図2に示すように、グランド用スルーホール22と信号用スルーホール24が設けられている。ここで、上述の通り、電子部品試験装置1ではICに温度ストレスを印加した状態で試験が行われるため、ソケットボード20に設けられた各スルーホール22、24を介して、ハンドラ70のチャンバ内と外気との流通を阻止する必要がある。特にチャンバ内を冷却運転する場合、外気の湿気の侵入により結露が発生してソケットボード20や同軸ケーブルユニット40の端子間の絶縁不良が発生する結果、良品デバイスを不良として分別してしまう場合があり、試験実施に支障をもたらす。この点で、大きな難点がある。ここで、ソケットボード20における、その他のスルーホールは、予め封止されているものとする。
The
グランド用スルーホール22は、当該ソケットボード20の内層に設けられたソケットボード20全面のグランド用平面パターン23に接続されている(図6A参照)。このグランド用スルーホール22には、図4A〜D及び図7A〜Dに示す同軸ケーブルユニット40a、40bのグランド用プレスフィットピン43が圧入される。この圧入に伴って、同図に示すパッキン45がグランド用スルーホール22を塞ぐので、ハンドラ70のチャンバからの気体の流出が阻止される。
The ground through
信号用スルーホール24は、当該ソケットボード20の内層に設けられた信号用配線パターン25に接続されている(図6A参照)。また、この信号用スルーホール24は、ソケットボード20において同軸ケーブルユニット40a、40bが取り付けられる面(図2において下面)に形成された信号用電極パッド26(図6A参照)に接続されている。この信号用電極パッド26には、同軸ケーブルユニット40a、40bから導出した信号線411が半田付けされる。この半田付けに伴って、当該スルーホール24の貫通孔が半田により封止されるので、当該スルーホール24を介したハンドラ70のチャンバからの気体の流出が阻止される。なお、必要に応じて、信号用スルーホール24を、例えば印刷穴埋め法により形成したり、SVHのような非貫通型スルーホールとしても良い。
The signal through
パフォーマンスボード30にも、特に図示しないが、グランド用スルーホールと信号用スルーホールが設けられている。
The
パフォーマンスボード30のグランド用スルーホールは、特に図示しないが、当該パフォーマンスボード30の内層に設けられたグランド用平面パターンに接続されている。このグランド用スルーホールには、同軸ケーブルユニット40a、40bのグランド用プレスフィットピン43が圧入される。なお、パフォーマンスボード30のグランド用スルーホールに圧入されるグランド用プレスフィットピン43には、図10に示すパッキン45は挿入されていなくても良い。
The ground through hole of the
また、パフォーマンスボード30の信号用スルーホールは、特に図示しないが、当該パフォーマンスボード30の内層に設けられた信号用配線パターンに接続されている。また、この信号用スルーホールは、パフォーマンスボード30において同軸ケーブルユニット40a、40bが取り付けられる面(図2において上面)に形成された信号用電極パッドに接続されている。この信号用電極パッドには、同軸ケーブルユニット40a、40bから導出した信号線411が半田付けされる。
Further, the signal through hole of the
以上のような構成のハイフィックス10を用いて被試験ICのテストを行う場合には、先ず、テストヘッド50から、被試験ICを試験するための高速な試験信号が、ハイフィックス10のパフォーマンスボード30に伝送される。そして、このパフォーマンスボード30に伝送された試験信号は、同軸ケーブルユニット40a、40b及びソケットボード20を経て、ソケットボード20に設けられた信号用配線パターン25に提供され、さらにソケット21を経由して被試験ICに与えられる。同様に、試験した際に被試験ICから出力される出力信号は、ソケット21、ソケットボード20、同軸ケーブルユニット40a、40b、及び、パフォーマンスボード30を経て、テストヘッド50へ与えられる。
When testing the IC under test using the
図3は本発明の第1実施形態に係る第1の同軸ケーブルユニットの全体を示す側面図、図4Aは図3に示す第1の同軸ケーブルユニットの端部の斜視図、図4Bは図4Aに示す第1の同軸ケーブルユニットの端部の正面図、図4Cは図4Aに示す第1の同軸ケーブルユニットの端部の側面図、図4Dは図4Aに示す第1の同軸ケーブルユニットの端部の内部構造を示す図、図5は図4CのV-V線に沿った断面図、図6A〜図6Cは本発明の第1実施形態に係る第1の同軸ケーブルユニットをソケットボードに取り付けた状態を示す断面図である。 3 is a side view showing the entirety of the first coaxial cable unit according to the first embodiment of the present invention, FIG. 4A is a perspective view of an end portion of the first coaxial cable unit shown in FIG. 3, and FIG. 4B is FIG. FIG. 4C is a side view of the end of the first coaxial cable unit shown in FIG. 4A, and FIG. 4D is an end of the first coaxial cable unit shown in FIG. 4A. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line VV in FIG. 4C, and FIGS. 6A to 6C are views showing a state in which the first coaxial cable unit according to the first embodiment of the present invention is attached to the socket board. FIG.
本実施形態に係る第1の同軸ケーブルユニット40aは、図3〜図5に示すように、信号線411及びグランド層413を有する2本の同軸ケーブル41と、同軸ケーブル41の端部に設けられたモールド42aと、モールド42aから導出したグランド用プレスフィットピン43と、グランド用プレスフィットピン43が挿入されるスルーホールを閉塞するためのパッキン45と、を有している。
As shown in FIGS. 3 to 5, the first
各同軸ケーブル41は、図3に示すように、信号線411と、信号線411の外周に配置された絶縁層412と、絶縁層412の外周に配置されたグランド層413と、これらを被覆している被覆層414と、から構成されている。
As shown in FIG. 3, each
信号線411は、例えば金属材料等の導電性に優れた材料から構成されており、複数の素線を撚って形成されている。グランド層413は、例えば金属材料等の導電性に優れた材料から成る編組体により構成されている。絶縁層412及び被覆層414は、例えば合成樹脂材料等の柔軟性及び電気絶縁性に優れた材料により構成されている。なお、信号線411を単線で構成しても良いが、上述のように複数の素線を撚って形成した方が好ましい。また、グランド層413を導電性に優れた箔で構成しても良いが、上述のように編組体で構成した方が好ましい。
The
モールド42aは、図3〜図5に示すように、2本の同軸ケーブル41の端部に設けられている。このモールド42aは、例えば合成樹脂材料等の電気絶縁性に優れた材料から構成されており、厚さをより薄く形成することが好ましい。これにより、電気回路基板への高密度な実装が容易になる。なお、本発明においては、一つのモールド42aに対して3本以上の同軸ケーブルを取り付けても良い。
The
図3では、説明の便宜のために同軸ケーブル41の一方の端部のみにモールド42aが設けられているように図示しているが、実際には、本実施形態では、同軸ケーブル41の両方の端部にモールド42aが設けられている。
In FIG. 3, for convenience of explanation, the
図4D及び図5に示すように、各同軸ケーブル41は、モールド42a内において、被覆層414が剥離されることにより、グランド層413が露出している。この露出した各グランド層413は、例えば半田付け等の手法を用いて、単一のグランド用プレスフィットピン43の後端部に接合されている。従って、本実施形態に係る第1の同軸ケーブルユニット40aでは、一つのグランド用プレスフィットピン43を、2つの同軸ケーブル41がグランド層として共用している。なお、露出したグランド層413とグランド用プレスフィットピン43の後端部とを包むように金属板で巻いてスポット溶接或いは半田付けして接合しても良い。
As shown in FIGS. 4D and 5, in each
2つの同軸ケーブル41の各グランド層413が後端部に接合されたグランド用プレスフィットピン43は、モールド42aにおいて同軸ケーブル41が導出する側とは反対の側の面から、同軸ケーブル41の軸方向に実質的に平行な方向に沿って導出している。このプレスフィットピン43は、例えば金属材料等の導電性に優れた材料から構成されている。また、このプレスフィットピン43は、弾性的に窄められてスルーホール内に圧入される形状のプレスフィット部431を有している。ここで、プレスフィット部431は、接続相手のグランド用スルーホール22と電気的に接続される距離が短いことが好ましい。例えば、圧入により的確に保持できる範囲でプレスフィット部431をモールド42a側に接近させて配置させる。また、プレスフィット部431の部位を長く形成しても良いし、上下の2箇所に備えるように形成しても良い。
The ground press-
さらに、各同軸ケーブル41は、モールド42a内において、グランド層413が所定長さ露出された後に剥離されることにより、絶縁層412が露出している。そして、図4D及び図5において左側に位置してモールド42aに進入している同軸ケーブル41は、グランド用プレスフィットピン43が導出している方向に対して実質的に直交する方向(図中の左方向)に折れ曲がった後、モールド42aの左側面から導出している。同様に、図5において右側に位置してモールド42aに進入している同軸ケーブル41は、グランド用プレスフィットピン43が導出方向に対して実質的に直交する方向(図中の右方向)に折れ曲がった後、モールド42aの右側面から導出している。モールド42aの側面から導出した各同軸ケーブル41の絶縁層412は、当該側面から所定距離の位置で剥離されており、各同軸ケーブル41の信号線411が個別に露出している。
Furthermore, each
従って、同軸ケーブル41の被覆層414を剥がして、露出したグランド層413の所望の部位にグランド用プレスフィットピン43を直接接続する。これにより、信号線411を覆った絶縁層412と、グランド層413とをそれぞれ所定の長さだけ露出して分離する必要が無く、グランド用プレスフィットピン43を直接接続することができる。
Therefore, the
また、同軸ケーブル41の信号線411は、同軸構造不整合距離L2が最小となるように、モールド42の導出部の近くまで同軸ケーブル41の構造を維持させた後、信号線411の端子とすべき部分を露出させる。これにより、同軸ケーブル41の特性インピーダンスと異なる部位が最短となる結果、優れた伝送特性の同軸ケーブルユニットが実現できる。
Further, the
また、所望により、同軸構造不整合距離L2に隣接する部位のモールド42の外面に、グランド用のメッキ処理等を付与しても良い。この場合には、同軸構造不整合距離L2における特性インピーダンスを、同軸ケーブルの特性インピーダンスに近づけることができる。また、所望により、モールド42と接する基板側にグランド面を設けても良い。この場合には、同軸構造不整合距離L2における特性インピーダンスを、同軸ケーブルの特性インピーダンスに近づけることができる。
Further, if desired, a ground plating process or the like may be applied to the outer surface of the
パッキン45は、前記チャンバ内でICに高温又は低温の温度ストレスを印加した状態で当該ICの試験が行われる際に、グランド用スルーホール22を介した気体の流通を阻止するものであり、図3〜図5に示すように、環状形状を有しており、モールド42aから導出しているグランド用プレスフィットピン43がその内孔に挿入されている。このパッキン45を構成する材料としては、例えば、ゴム弾性を有するエラストマー等を挙げることが出来る。その中でも耐熱性・耐寒性に優れたシリコーン(silicone)樹脂を用いることが好ましいが、前記当該試験時の目的に対応できればこれに限定しない。なお、グランド用スルーホール22としてSVHのような非貫通型スルーホールを適用した場合には、当該パッキン45は不要である。
The packing 45 prevents gas from flowing through the ground through-
以上のように構成される第1の同軸ケーブルユニット40aは、以下のように、ソケットボード20に取り付けられる。即ち、図6Aに示すように、先ず、同軸ケーブルユニット40aのグランド用プレスフィットピン43を、モールド42aがソケットボード20に突き当たるまで、ソケットボード20の裏面側からグランド用スルーホール22に圧入する。この圧入に伴って、グランド用プレスフィットピン43が挿入されたパッキン45により、グランド用スルーホール22の下側の開口部221が閉塞される。
The first
圧入されたグランド用プレスフィットピン43のプレスフィット部431はグランド用スルーホール22内で弾性的に窄められているので、グランド用プレスフィットピン43とグランド用スルーホール22とを半田付けをする必要はない。
Since the press-
次に、モールド42aから横方向にそれぞれ導出している各信号線411を、ソケットボード20の裏面に形成された信号用電極パッド26に、半田付けにより接続する。
Next, each
第1の同軸ケーブルユニット40aをパフォーマンスボード30に取り付ける場合にも、特に図示しないが、先ず、グランド用プレスフィットピン43をパフォーマンスボード30の表面側からグランド用スルーホールに圧入する。次に、モールド42aから導出している各信号線411を、パフォーマンスボード30の表面に形成された信号用電極パッドに半田付けにより接続する。但し、パフォーマンスボード30側のグランド用プレスフィットピン43にはパッキン45は挿入されていなくても良い。
Even when the first
なお、図6Aは信号用スルーホール24が貫通型のスルーホールの場合の例であるのに対し、図6BはSVH(Surface Via Hole)による非貫通の場合の例である。本実施形態に係る第1の同軸ケーブルユニット40aは、図6Aに示す貫通型スルーホールの他に、図6Bに示すSVHによる非貫通型スルーホールにも対応することが可能となっている。
6A is an example in the case where the signal through
また、図6Cは、グランド用スルーホール22の開口221の周囲にグランド用パッド22bを形成した例である。これにより、モールド42a内においてグランド層413が剥離された信号線411の周囲に、グランド用パッド22bが配置されることにより、同軸ケーブル41の特性インピーダンスに近づけることが出来る。
FIG. 6C shows an example in which a
本実施形態に係る第1の同軸ケーブルユニット40aは、モールド42aから導出している一本のグランド用プレスフィットピン43を、2本の同軸ケーブル41の各グランド層413が共用する構造となっているので、数百個〜数千個にも及ぶ多数の同軸ケーブルユニット40aを高密度な密着実装が容易に出来ると共に、ソケットボード20やパフォーマンスボード30に取り付ける際に、半田付け箇所数を減少させることが出来る。また、基板の一方の面から全ての接続作業が行えるので、取付工数の低減を図ることが出来る。さらに、修理保守等のリペア性も一方の面から全ての接続作業が行えるので作業性が向上する。
The first
一般的に、鉛フリー半田は従来半田(鉛含有)に比べて約40℃程度融点が高くなっている。そのため、同軸ケーブルのグランド等のように熱容量を必要とする半田付けは困難となっている。 しかしながら、同じ同軸ケーブルであっても信号等の半田付けはグランド程の熱容量を必要としないために、グランドの場合に比べてかなり容易であり、鉛フリー化が可能である。この点、本実施形態では、グランドの半田付け箇所の減少により、取付工数の増加を少なく抑えながら半田の鉛フリー化に対応することが出来る。しかも、同軸ケーブルユニットの伝送経路に関しては、図4Dに示す同軸構造不整合距離L2を短くすることが出来、高周波伝送に適した同軸ケーブルユニットを提供することが出来る。 Generally, lead-free solder has a melting point of about 40 ° C. higher than that of conventional solder (containing lead). For this reason, soldering that requires heat capacity such as the ground of a coaxial cable is difficult. However, even with the same coaxial cable, the soldering of a signal or the like does not require a heat capacity as large as the ground, and therefore is considerably easier than the ground and can be made lead-free. In this respect, according to the present embodiment, it is possible to cope with lead-free soldering while suppressing an increase in the number of mounting steps by reducing the number of soldering portions of the ground. Moreover, regarding the transmission path of the coaxial cable unit, the coaxial structure mismatch distance L2 shown in FIG. 4D can be shortened, and a coaxial cable unit suitable for high-frequency transmission can be provided.
また、本実施形態に係る第1の同軸ケーブルユニット41では、グランド用プレスフィットピン43が挿入されたパッキン45によりソケットボード20のグランド用スルーホール22を閉塞しているので、ハンドラ70のチャンバ内の冷気の流通を阻止し得る結果、ソケットボード20や同軸ケーブルユニット40等に結露が発生するのを防止することが出来る。従って、結露に伴う絶縁不良等の発生が防止できる結果、常に安定した試験品質を維持することができる。
Further, in the first
図7Aは本発明の第1実施形態における第2の同軸ケーブルユニットの端部を示す斜視図、図7Bは図7Aに示す同軸ケーブルユニットの端部の正面図、図7Cは図7Aに示す同軸ケーブルユニットの端部の側面図、図7Dは図7Aに示す第1の同軸ケーブルユニットの端部の内部構造を示す図、図8は図7CのVIII-VIII線に沿った断面図である。 7A is a perspective view showing the end of the second coaxial cable unit in the first embodiment of the present invention, FIG. 7B is a front view of the end of the coaxial cable unit shown in FIG. 7A, and FIG. 7C is the coaxial shown in FIG. 7A. 7D is a side view of the end portion of the cable unit, FIG. 7D is a view showing the internal structure of the end portion of the first coaxial cable unit shown in FIG. 7A, and FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line VIII-VIII in FIG.
本発明の第1実施形態に係るハイフィックス10では、ソケットボード20とパフォーマンスボード30を電気的に接続するケーブルとして、上述の第1の同軸ケーブルユニット40aの他に、以下に説明する第2の同軸ケーブルユニット40bを用いている。
In the
本発明の第1実施形態における第2の同軸ケーブルユニット40bは、図7A〜図8に示すように、第1の同軸ケーブルユニット40aと異なり、1つの同軸ケーブル41しかモールド42bに取り付けられていない。これに伴って、モールド42bの一方の側面からしか信号線411が導出しておらず、他方の側面からは信号線は導出していない。また、図8に示すように、モールド42bから導出しているグランド用プレスフィットピン43には、1つの同軸ケーブル41のグランド層413しか接続されていない。
Unlike the first
以上のような構成の第2の同軸ケーブルユニット40bを用いることにより、ソケットボード20やパフォーマンスボード30上において、第1の同軸ケーブルユニット40aでは不可能な狭い箇所にも同軸ケーブル41を実装することが可能となり、同軸ケーブル41の実装密度を向上させることが出来る。
By using the second
図9は本発明の第2実施形態に係る同軸ケーブルユニットの端部を示す斜視図である。 FIG. 9 is a perspective view showing an end portion of the coaxial cable unit according to the second embodiment of the present invention.
本発明の第2実施形態に係る同軸ケーブルユニット40cでは、図9に示すように、第1実施形態に係る第1の同軸ケーブルユニット40aと同様に、2つの同軸ケーブル41の各グランド層413が電気的に接続されたグランド用プレスフィットピン43がモールド42cから導出している。
In the
本実施形態では、第1実施形態に係る第1の同軸ケーブルユニット40aと異なり、同図において左側に位置してモールド42cに進入している同軸ケーブル41の信号線411は、モールド42cの上面及び左側面に形成された電極パッド421に電気的に接続されている。また、同図において右側に位置してモールド42cに進入している同軸ケーブル41の信号線411は、モールド42cの上面及び右側面に形成された電極パッド421に電気的に接続されている。両信号線411は、電極パット421(例えば半田付に適した材料もしくはメッキもの)に電気的に接続され、これを図9に示すモールド42cのように、電極パッド421を露出させている。
In the present embodiment, unlike the first
この同軸ケーブルユニット40cのソケットボード20への取付時には、グランド用プレスフィットピン43をグランド用スルーホール22に圧入した後に、モールド42c表面に形成された各電極パッド421を、ソケットボード20の下面に形成された信号用電極パッド26(図6A参照)に、リフロー工法等により接続する。パフォーマンスボード30への取付時にも同様に、グランド用プレスフィットピン43をパフォーマンスボード30に形成されたグランド用スルーホールに圧入した後に、モールド42cの表面に形成された各電極パッド421を、パフォーマンスボード30の表面に形成された信号用電極パッドに、リフロー工法等により接合する。
When the
このように、本実施形態に係る同軸ケーブルユニット40cでは、電極パッド421を介して同軸ケーブル41の信号線411をモールド42cから導出させることにより、同軸ケーブルユニット40cを電気回路基板に実装する際に、手作業による半田付けに代えて、リフロー工法を採用することが出来るので、取付工数の更なる低減を図ることが可能となる。
As described above, in the
図10Aは本発明の第3実施形態に係る同軸ケーブルユニットの端部を示す斜視図、図10Bは図10Aに示す同軸ケーブルユニットの正面図、図10Cは図10Aに示す同軸ケーブルユニットの側面図、図11は本発明の第3実施形態に係る同軸ケーブルユニットをソケットボードに取り付けた状態を示す断面図である。 10A is a perspective view showing an end portion of the coaxial cable unit according to the third embodiment of the present invention, FIG. 10B is a front view of the coaxial cable unit shown in FIG. 10A, and FIG. 10C is a side view of the coaxial cable unit shown in FIG. FIG. 11 is a cross-sectional view showing a state in which the coaxial cable unit according to the third embodiment of the present invention is attached to the socket board.
本発明の第3実施形態に係る同軸ケーブルユニット40dは、図10A〜図10Cに示すように、モールド42dに1つの同軸ケーブル41が取り付けられていると共に、当該モールド42dから2つのプレスフィットピン43、44が導出している。
As shown in FIGS. 10A to 10C, the
グランド用プレスフィットピン43には、第1実施形態と同様に、同軸ケーブル41のグランド層413が電気的に接続されている。これに対し、第1実施形態と異なり、信号用プレスフィットピン44には、同軸ケーブル41の信号線411が溶接等の手法を用いて電気的に接続されている。
As in the first embodiment, the
なお、モールド42dにおいて絶縁層412、グランド層413及び被覆層414が剥離された信号線411は、その露出された部分の長さが最短となるように、信号用プレスフィットピン44に接続されている。これにより、当該部位における異なる特性インピーダンスを最小距離にできる。従って、特に高速デバイスを試験する場合の波形品質が向上できる結果、より良好なデバイス試験の品質が図れる。
The
これらプレスフィットピン43、44は、モールド42dから実質的に同一方向に導出している。また、これらのプレスフィットピン43、44は、第1実施形態と同様に、それぞれパッキン45の内孔に挿入されている。
These press-fit pins 43 and 44 are led out from the
以上のような構成の同軸ケーブルユニット40dは、図11に示すように、グランド用プレスフィットピン43をグランド用スルーホール22に圧入すると同時に、信号用プレスフィットピン44を信号用スルーホイール24に圧入することにより、ソケットボード20に取り付けられる。この圧入に伴って、グランド用プレスフィットピン43が挿入されたパッキン45により、グランド用スルーホール22の下側の開口部221が閉塞されると共に、信号用プレスフィットピン44が挿入されたパッキン45により、信号用スルーホール24の下側の開口部241が閉塞される。
As shown in FIG. 11, the
この際、圧入されたグランド用プレスフィットピン43のプレスフィット部431がグランド用スルーホール22内で弾性的に窄められているので、グランド用プレスフィットピン43とグランド用スルーホール22とを半田付けする必要はない。同様に、圧入された信号用プレスフィットピン44のプレスフィット部441が信号用スルーホール24内で弾性的に窄められているので、信号用プレスフィットピン44と信号用プレスフィットピン24とを半田付けする必要はない。従って、本実施形態に係る同軸ケーブルユニット40dをソケットボード20に取り付ける際には、半田付け作業が一切不要となっている。
At this time, since the press-
パフォーマンスボード30への取付時にも同様に、プレスフィットピン43、44をスルーホール22、24に圧入することにより、半田付け作業を行うことなく、同軸ケーブルユニット40dがパフォーマンスボード30に取り付けられる。但し、パフォーマンスボード30側のプレスフィットピン43、44にはパッキン45は挿入されていなくとも良い。
Similarly, the press-fit pins 43 and 44 are press-fitted into the through
以上のように、本実施形態に係る同軸ケーブルユニット40dでは、ソケットボード20やパフォーマンスボード30への取付時に半田付け作業が一切不要であるので、取付工数の低減を図ることが出来る。また、半田付けが不要になることに伴ってリペア性も向上する。
As described above, the
さらに、本実施形態に係る同軸ケーブルユニット40dでは、各プレスフィットピン43、44が挿入されたパッキン45により各スルーホール22、24を閉塞しているので、ハンドラ70のチャンバ内の冷気により、ソケットボード20や同軸ケーブルユニット40d等に結露が発生するのを防止することが出来る。また、結露に伴う絶縁不良等の発生が防止できる結果、常に安定した試験品質を維持することができる。
Furthermore, in the
図12は本発明の第4実施形態に係る同軸ケーブルユニットを示す部分拡大断面図である。 FIG. 12 is a partially enlarged sectional view showing a coaxial cable unit according to the fourth embodiment of the present invention.
本発明の第4実施形態に係る同軸ケーブルユニット40eでは、図12に示すように、第1実施形態におけるパッキン45の代わりに、モールド42eにその一部を凸状に盛り上げた凸状部422が形成されている。そして、グランド用プレスフィットピン43がグランド用スルーホール22に圧入される際に、この凸状部422がグランド用スルーホール22の下側の開口部221を閉塞する。この場合には、パッキン45を備えることなくハンドラ70のチャンバ内の冷気によるソケットボード20や同軸ケーブルユニット40e等への結露の発生が防止され、その結果、より安価に構成できる。また、図12に示すモールドに凸状部422を形成する構造例の他に、モールド42eをプレスフィットピン43方向へ延伸させた環状構造を形成し、且つ、スルーホール22を塞ぐように軽く圧入する形状としても良い。この場合にも、パッキン45を削除できるのでより安価に構成できる。
In the
図13は本発明の第5実施形態に係る同軸ケーブルユニットを示す部分拡大断面図である。 FIG. 13 is a partially enlarged cross-sectional view showing a coaxial cable unit according to a fifth embodiment of the present invention.
本発明の第5実施形態に係る同軸ケーブルユニット40fでは、図13に示すように、第1実施形態におけるパッキン45の代わりに、グランド用プレスフィットピン43にその根本部分を拡径した拡径部432が形成されている。そして、グランド用プレスフィットピン43がグランド用スルーホール22に圧入される際に、この拡径部432がグランド用スルーホール22の下側の開口部221を閉塞する。これにより、ハンドラ70のチャンバ内の冷気によるソケットボードや同軸ケーブルユニット40f等への結露の発生が防止される。
In the
図14及び図15は本発明の第6及び第7実施形態に係る同軸ケーブルユニットをそれぞれ示す部分拡大図である。 14 and 15 are partially enlarged views showing coaxial cable units according to sixth and seventh embodiments of the present invention, respectively.
本発明の第6実施形態に係る同軸ケーブルユニット40gでは、図14に示すように、第1実施形態におけるパッキン45の代わりに、グランド用スルーホール22の上側の開口部222にプラグ46が挿入されている。この開口部222は、グランド用スルーホール22において、グランド用プレスフィットピン43が挿入される側とは反対側に位置している。
In the
また、本発明の第7実施形態に係る同軸ケーブルユニット40hでは、図15に示すように、第1実施形態におけるパッキン45の代わりに、グランド用スルーホール22の上側の開口部222にシール47が貼り付けられている。
Further, in the
以上のようなプラグ46やシール47を用いてグランド用スルーホール22の上側の開口部222を閉塞することにより、ハンドラ70のチャンバ内の冷気によるソケットボード20や同軸ケーブルユニット40g、40h等への結露の発生が防止される。所望により、パッキン45と併用して、ソケットボード20の上下でシールする構成としても良い。
By closing the
図16は本発明の第8実施形態に係る同軸ケーブルユニットの端部を示す断面図である。 FIG. 16 is a cross-sectional view showing the end of the coaxial cable unit according to the eighth embodiment of the present invention.
本発明の第8実施形態に係る同軸ケーブルユニット40iでは、図16に示すように、第1実施形態に係る第1の同軸ケーブルユニット40aと同様に、2本の同軸ケーブル41の端部にモールド42iが設けられており、当該2つの同軸ケーブル41の各グランド層413が電気的に接続されたグランド用プレスフィットピン42がモールド42iから導出していると共に、2つの同軸ケーブル41の各信号線411がモールド42iから個別に導出している。
In the
なお、図16では、一方の同軸ケーブル41が他方の同軸ケーブル41の後方に隠れているので、一本の同軸ケーブル411しか図示されていない。また、同図では、一方の信号線411が他方の信号線411の後方に隠れているので、一本の信号線411しか図示されていない。
In FIG. 16, since one
本実施形態に係る同軸ケーブルユニット40iは、グランド用プレスフィットピン43が同軸ケーブル41の軸方向に対して実質的に直交する方向に沿ってモールド42iから導出している点で第1実施形態に係る第1の同軸ケーブルユニット40aと異なる。また、本実施形態に係る同軸ケーブルユニット40iは、各信号線411が同軸ケーブル41の軸方向に沿ってモールド42iから導出している。
The
図17は本発明の第9実施形態に係る同軸ケーブルユニットの端部を示す断面図である。
本発明の第9実施形態に係る同軸ケーブルユニット40jでは、モールド42jにおいて電気回路基板と接する接面部位に2つの板バネ424が設けられている。この板バネ424は、例えば隣青銅など導電性で弾性にすぐれた金属板で構成されており、プレスフィットピン43の両側に配設されている。板バネ424の一端は、接面部位を貫通してモールド42j内部の信号線411に電気的に接続されている。また、板バネ424の他端は、モールド42jの接面部位の上に弾性的に形成されて配置されている。FIG. 17 is a sectional view showing an end of a coaxial cable unit according to the ninth embodiment of the present invention.
In the
ここで、板バネ424の一端と信号線411との接続形態は、板バネ424自身の弾性を利用して、押圧時に両者が電気的に接触する構造としても良い。また、溶接や半田付け等で両者を機械的/電気的に接続する構造としても良い。
Here, the connection form between the one end of the
また、本実施形態では、長期使用によるプレスフィットピン43の抜け方向への動きを防止するために、当該プレスフィットピン43にくさび433が形成されている。なお、くさび433の代わりに、リング状の凸部又は凹部、螺旋状の凸部又は凹部、をプレスフィット43に形成しても良い。これにより、プレスフィットピン43を電気回路基板のスルーホールへ圧入すると同時に、2つの板バネ424が電気回路基板の信号用電極パッド26(図4D参照)へ接触して電気的に接続される結果、半田付けが不要にできる利点が得られる。また、隣接する同軸ケーブルユニット40を密着実装することができる結果、数千にも及ぶ多数の同軸ケーブルユニット40を高密度に実装できる。
In the present embodiment, a
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。 The embodiment described above is described for facilitating the understanding of the present invention, and is not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.
例えば、第1実施形態に係る第1及び第2の同軸ケーブルユニット40a、40bでは、グランド用プレスフィットピン43を用いて同軸ケーブル41のグランド層413をモールド42aから導出させるように構成したが、本発明においてはこれに限定されず、プレスフィットピンを用いずに、グランド層413自体を相互に電気的に接続させて、単一の共用グランド層としてモールド42aから導出させても良い。
For example, in the first and second
また、第2実施形態や第3実施形態に係る同軸ケーブルユニット40c、40dにおいて、パッキン45の代わりに、第4実施形態のようにモールドに凸状部422を形成したり、第5実施形態のようにプレスフィットピン43、44に拡径部432を形成したり、第6実施形態のようにスルーホール22、24の開口にプラグ46を挿入したり、第7実施形態のようにスルーホール22、24の開口にシール47を貼り付けても良い。
Further, in the
また、プレスフィットピン43の圧入に支障とならない部位(例えば先端部、中間部、根元部)に対して、プレスフィットピンの一部を拡径して、スルーホール22の内周に押圧接触するリング状の構造を形成しても良い。これらの構造によっても、空気の流通を阻止することができる結果、結露に伴う絶縁不良等の発生が防止できる。
In addition, a part of the press-fit pin is enlarged to a portion that does not hinder press-fit of the press-fit pin 43 (for example, a tip portion, an intermediate portion, and a root portion), and is pressed into contact with the inner periphery of the through
また、プレスフィットピン43に対してくさび433、リング状の凸部又は凹部、螺旋状の凸部又は凹部、を形成しても良い。これによれば、プレスフィットピン43の抜け方向への動きを防止できるので、長期使用や温度変化の大きな使用環境においても、圧入した位置状態を安定して維持できる。
Further, a
また、第3実施形態に係る同軸ケーブルユニット40dにおいて、同一のモールド42dに対して複数の同軸ケーブル41を取り付け、しかも、各同軸ケーブル41のグランド層413が1つのグランド用プレスフィットピン43を共用するように構成しても良い。これにより、同軸ケーブルユニット40hのソケットボード20やパフォーマンスボード30への取付工数の更なる低減を図ることが出来る。
Further, in the
Claims (11)
グランド層、及び、前記グランド層に囲まれた信号線、を有する単一又は複数の同軸ケーブルと、
前記単一又は複数の同軸ケーブルの少なくとも一方の端部に設けられたモールドと、を備え、
前記単一又は複数の同軸ケーブルが有する前記各グランド層は、単一のプレスフィットピンに電気的に接続され、前記プレスフィットピンは前記モールドから導出しており、
前記単一又は複数の同軸ケーブルが有する前記各信号線は、前記モールドから導出している同軸ケーブルユニット。A coaxial cable unit for transmitting signals,
A single or a plurality of coaxial cables having a ground layer and a signal line surrounded by the ground layer;
A mold provided on at least one end of the single or plural coaxial cables,
Each ground layer of the single or plural coaxial cables is electrically connected to a single press-fit pin, and the press-fit pin is derived from the mold,
Each signal line of the single or plural coaxial cables is a coaxial cable unit derived from the mold.
前記単一又は複数の同軸ケーブルが有する前記各信号線は、前記各電極パッドにそれぞれ電気的に接続され、
前記各信号線は、前記各電極パッドを介して前記モールドから導出している請求項1記載の同軸ケーブルユニット。A single or a plurality of electrode pads formed on the surface of the mold;
Each signal line of the single or multiple coaxial cables is electrically connected to each electrode pad,
The coaxial cable unit according to claim 1, wherein the signal lines are led out from the mold through the electrode pads.
前記バネ部材の一端が前記信号線に電気的に接触又は接続され、前記各信号線は、前記バネ部材を介して前記モールドから導出しており、
前記バネ部材の他端が前記電子回路基板の表面に形成される電極に弾性的に押圧接触して当該電極に電気的に接続する請求項1記載の同軸ケーブルユニット。On the surface in contact with the electronic circuit board in the mold, provided with a spring member having elasticity and conductivity,
One end of the spring member is electrically contacted or connected to the signal line, and each signal line is led out from the mold through the spring member,
The coaxial cable unit according to claim 1, wherein the other end of the spring member is elastically pressed into contact with an electrode formed on the surface of the electronic circuit board to be electrically connected to the electrode.
グランド層、及び、前記グランド層に囲まれた信号線、を有する同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルの少なくとも一方の端部に設けられたモールドと、
前記モールドから導出しているプレスフィットピンと、を備え、
前記プレスフィットピンは、
前記グランド層に電気的に接続されたグランド用プレスフィットピンと、
前記信号線に電気的に接続された信号用プレスフィットピンと、を含む同軸ケーブルユニット。A coaxial cable unit for transmitting signals,
A coaxial cable having a ground layer and a signal line surrounded by the ground layer;
A mold provided on at least one end of the coaxial cable;
A press-fit pin derived from the mold, and
The press fit pin is
A press-fit pin for ground electrically connected to the ground layer;
And a signal press-fit pin electrically connected to the signal line.
前記電子部品を試験するテスタに電気的に接続されたパフォーマンスボードと、
前記ソケットボードと前記パフォーマンスボードとを電気的に接続する請求項1〜6の何れかに記載の同軸ケーブルユニットと、を備えたデバイスインターフェース装置。A socket board with a socket on which electronic components are electrically contacted;
A performance board electrically connected to a tester for testing the electronic component;
A device interface apparatus comprising: the coaxial cable unit according to claim 1, which electrically connects the socket board and the performance board.
前記デバイスインターフェース装置が装着され、前記電子部品との間で電気的な信号の授受を行うテストヘッドと、
前記テストヘッドを介して、前記電子部品の試験を実行するテスタと、を備えた電子部品試験装置。A device interface apparatus according to claim 7;
A test head that is mounted with the device interface device and that exchanges electrical signals with the electronic component;
An electronic component testing apparatus comprising: a tester that executes a test of the electronic component via the test head.
グランド層、及び、前記グランド層に囲まれた信号線、を有する単一又は複数の同軸ケーブルと、
前記単一又は複数の同軸ケーブルの少なくとも一方の端部に設けられたモールドと、
前記モールドから導出して、電子回路基板のスルーホールへ圧入されるプレスフィットピンと、を備え、
前記プレスフィットピンは、前記同軸ケーブルの前記グランド層の円周上にプレスフィットピンを直接接続する構造とし、同軸構造不整合距離が最小となるように、前記信号線を露出させて前記モールドから導出する信号端子を備えることを特徴とする同軸ケーブルユニット。A coaxial cable unit for transmitting signals,
A single or a plurality of coaxial cables having a ground layer and a signal line surrounded by the ground layer;
A mold provided at at least one end of the single or plural coaxial cables;
A press-fit pin that is derived from the mold and press-fitted into the through hole of the electronic circuit board,
The press-fit pin has a structure in which the press-fit pin is directly connected on the circumference of the ground layer of the coaxial cable, and the signal line is exposed from the mold so that a coaxial structure mismatch distance is minimized. A coaxial cable unit comprising a signal terminal to be led out.
グランド層、及び、前記グランド層に囲まれた信号線、を有する同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルの少なくとも一方の端部に設けられたモールドと、
前記モールドから導出して、電子回路基板のスルーホールへ圧入されプレスフィットピンと、を備え、
前記プレスフィットピンは、前記同軸ケーブルの前記グランド層の円周上にプレスフィットピンを直接接続する構造とし、同軸構造不整合距離が最小となるように、前記同軸ケーブルの前記信号線の端部にプレスフィットピンを接続する信号用プレスフィットピンを備えることを特徴とする同軸ケーブルユニット。A coaxial cable unit for transmitting signals,
A coaxial cable having a ground layer and a signal line surrounded by the ground layer;
A mold provided on at least one end of the coaxial cable;
Derived from the mold, and press-fit pins that are press-fitted into the through holes of the electronic circuit board,
The press-fit pin has a structure in which the press-fit pin is directly connected to the circumference of the ground layer of the coaxial cable, and the end portion of the signal line of the coaxial cable has a minimum coaxial structure mismatch distance. A coaxial cable unit comprising a signal press-fit pin for connecting a press-fit pin to the cable.
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08236227A (en) * | 1995-02-27 | 1996-09-13 | Yokowo Co Ltd | Coaxial connector between boards |
JPH10189167A (en) * | 1996-12-25 | 1998-07-21 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | Two-line connecting cable with pin terminal |
JP2000040543A (en) * | 1998-07-10 | 2000-02-08 | Advantest Europ Gmbh | Cable adapter |
JP2000235061A (en) * | 1999-02-12 | 2000-08-29 | Advantest Corp | Cable terminal, coaxial cable unit, and high-fix |
JP2001291565A (en) * | 2000-04-10 | 2001-10-19 | Hirakawa Hewtech Corp | Coaxial cable for substrate connection |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5046966A (en) * | 1990-10-05 | 1991-09-10 | International Business Machines Corporation | Coaxial cable connector assembly |
JP2629555B2 (en) * | 1993-04-28 | 1997-07-09 | 日本電気株式会社 | Electronic component mounting structure |
JPH11237439A (en) * | 1998-02-20 | 1999-08-31 | Advantest Corp | Test fixture |
JP3676073B2 (en) * | 1998-02-24 | 2005-07-27 | 株式会社カネカ | Polyimide film and manufacturing method thereof |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08236227A (en) * | 1995-02-27 | 1996-09-13 | Yokowo Co Ltd | Coaxial connector between boards |
JPH10189167A (en) * | 1996-12-25 | 1998-07-21 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | Two-line connecting cable with pin terminal |
JP2000040543A (en) * | 1998-07-10 | 2000-02-08 | Advantest Europ Gmbh | Cable adapter |
JP2000235061A (en) * | 1999-02-12 | 2000-08-29 | Advantest Corp | Cable terminal, coaxial cable unit, and high-fix |
JP2001291565A (en) * | 2000-04-10 | 2001-10-19 | Hirakawa Hewtech Corp | Coaxial cable for substrate connection |
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