JPWO2006112260A1 - 圧電薄膜フィルタ - Google Patents
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Abstract
Description
10x 単位ユニット
12,12x 基板
13,13x 空隙
14,14x 圧電薄膜
14a 上面(一方の主面)
14b 下面(他方の主面)
16 絶縁膜
16a GND端子(第2端子)
16b ポート1端子(第1端子)
16c GND端子(第2端子)
16d ポート2端子(第3端子)
16e ポート3端子(第4端子)
17a GND端子(第2端子)
17b ポート1端子(第1端子)
17c GND端子(第2端子)
17d GND端子(第4端子)
17e ポート2端子(第3端子)
17f GND端子(第4端子)
18a,18b 第2の絶縁膜
20,20x 第1電極対
22 第2電極指
24 第1電極指
26 第1電極指
30,30x 第2電極対
32 第4電極指
34 第3電極指
36 第3電極指
40 第3電極対
42 第2電極指
44 第1電極指
50 第4電極対
52 第4電極指
54 第3電極指
60 圧電薄膜フィルタ
61 第1電極指
62 第2電極指
63 第3電極指
64 第4電極指
65 絶縁膜
66 圧電薄膜
66a,66b 主面
70 圧電薄膜フィルタ
71 第1電極指
72 第2電極指
73 第3電極指
74 第4電極指
75 絶縁膜
76 圧電薄膜
76a,76b 主面
80 圧電薄膜フィルタ
81 第1電極指
82 第2電極指
83 第3電極指
84 第4電極指
85 絶縁膜
86 圧電薄膜
88 ラティスフィルタ
90 複合フィルタ
91,92 単位ユニット
101,102 単位ユニット
110 圧電薄膜フィルタ
112 基板
113 空隙
114 圧電薄膜
116a GND端子(第1端子)
116b ポート1端子(第2端子)
116c GND端子(第2端子)
116d ポート2端子(第3端子)
116e ポート3端子(第4端子)
120 第1電極対
122 第2電極指
124 第1電極指
130 第2電極対
132 第4電極指
134 第3電極指
140 第3電極対
142 第2電極指
144 第1電極指
150 第4電極対
152 第4電極指
154 第3電極指
160,170 単位ユニット
210 圧電薄膜フィルタ
212 基板
213 空隙
214 圧電薄膜
216a ポート1端子(第1端子)
216b GND端子(第2端子)
216c ポート2端子(第3端子)
216d ポート3端子(第4端子)
220 第1電極対
222 第2電極指
224 第1電極指
230 第2電極対
232 第4電極指
234 第3電極指
240 第3電極対
242 第2電極指
244 第1電極指
250 第4電極対
252 第4電極指
254 第3電極指
260 第5電極対
262 第2電極指
264 第1電極指
270 第6電極対
272 第4電極指
274 第3電極指
280 第7電極対
282 第2電極指
284 第1電極指
290 第8電極対
292 第4電極指
294 第3電極指
310,320,330,340 単位ユニット
Claims (22)
- 基板と、
前記基板に支持され、前記基板から音響的に分離されている部分を含む圧電薄膜と、
前記基板から音響的に分離されている部分の前記圧電薄膜の一方の主面に配置された2以上の第1電極指と、前記基板から音響的に分離されている部分の前記圧電薄膜の他方の主面に前記圧電薄膜を介してそれぞれ前記第1電極指に対向して配置された2以上の第2電極指とを有する第1電極対と、
前記基板から音響的に分離されている部分の前記圧電薄膜の前記一方の主面に前記第1電極指と互いに間隔を設けて交互に配置された2以上の第3電極指と、前記基板から音響的に分離されている部分の前記圧電薄膜の前記他方の主面に前記圧電薄膜を介してそれぞれ前記第3電極指に対向して配置された第4電極指とを有する第2電極対とを備え、
前記各第1電極指に接続される第1端子及び前記各第2電極指に接続される第2端子と、前記各第3電極指に接続される第3端子及び前記各第4電極指に接続される第4端子との間に、前記第1電極対及び前記第2電極対によりフィルタ要素が形成される圧電薄膜フィルタにおいて、
前記圧電薄膜の前記一方の主面には、互いに間隔を設けて交互に配置された前記第1電極指と前記第3電極指との間に、絶縁膜を備え、
互いに間隔を設けて交互に配置された前記第1電極指と前記第3電極指との間の中心間距離が、前記基板から音響的に分離されている部分の前記圧電薄膜の厚さの2倍よりも大きいことを特徴とする、圧電薄膜フィルタ。 - 基板と、
前記基板に支持され、前記基板から音響的に分離されている部分を含む圧電薄膜と、
前記基板から音響的に分離されている部分の前記圧電薄膜の一方の主面に配置された2以上の第1電極指と、前記基板から音響的に分離されている部分の前記圧電薄膜の前記一方の主面に前記第1電極指と互いに間隔を設けて交互に配置された2以上の第3電極指と、
前記基板から音響的に分離されている部分の前記圧電薄膜の他方の主面に配置され前記圧電薄膜を介して前記第1電極指及び前記第3電極指に対向する部分を含む共通電極とを備え、
前記第1電極指と前記共通電極とにより第1電極対を形成し、
前記第3電極指と前記共通電極とにより第2電極対を形成し、
前記各第1電極指に接続される第1端子及び前記共通電極に接続される第2端子と、前記各第3電極指に接続される前記第3端子及び前記共通電極に接続される第4端子の間に、前記第1電極対及び前記第2電極対によりフィルタ要素を形成し、
前記圧電薄膜の前記一方の主面は、互いに間隔を設けて交互に配置された前記第1電極指と前記第3電極指との間に、絶縁膜を備え、
互いに間隔を設けて交互に配置された前記第1電極指と前記第3電極指との間の中心間距離が、前記圧電薄膜の厚さの2倍よりも大きいことを特徴とする、圧電薄膜フィルタ。 - 前記各電極指の幅が、前記基板から音響的に分離されている部分の前記圧電薄膜の厚さの2倍よりも大きいことを特徴とする、請求項1又は2に圧電薄膜フィルタ。
- 少なくとも2組の前記フィルタ要素を含み、
それぞれの前記フィルタ要素の前記第1端子及び前記第2端子が、入力端子又は出力端子のいずれか一方に並列接続され、
それぞれの前記フィルタ要素の前記第3端子及び前記第4端子が、前記入力端子又は前記出力端子の他方の間に直列接続されたことを特徴とする、請求項1、2又は3に記載の圧電薄膜フィルタ。 - 前記第1端子及び前記第2端子が不平衡端子に接続され、
前記第3端子及び前記第4端子が平衡端子に接続されることを特徴とする、請求項1ないし4に記載の圧電薄膜フィルタ。 - 前記圧電薄膜は、空隙層または開口を介して、前記基板から音響的に分離されていることを特徴とする、請求項1ないし5のいずれか一つに記載の圧電薄膜フィルタ。
- 前記圧電薄膜の前記一方の主面は、前記第1電極指及び前記第3電極指と前記絶縁膜とが配置された共振領域の外側に、該共振領域から連続して延在する非共振領域を含むことを特徴とする、請求項1ないし7のいずれか一つに記載の圧電薄膜フィルタ。
- 前記第1電極指及び前記第3電極指と前記絶縁膜とを覆う第1領域と、前記第2電極指及び前記第4電極指を覆う第2領域と、前記共通電極を覆う第3領域とのうち、少なくとも一つに、第2の絶縁膜をさらに備えたことを特徴とする、請求項1ないし7のいずれか一つに記載の圧電薄膜フィルタ。
- 前記圧電薄膜の前記一方の主面に、共通のレジストパターンを用いて、前記第1電極指及び前記第3電極指と前記絶縁膜とを形成することを特徴とする、請求項1ないし8のいずれか一つに記載の圧電薄膜フィルタ。
- 前記圧電薄膜がエピタキシャル膜であることを特徴とする、請求項1ないし9のいずれか一つに記載の圧電薄膜フィルタ。
- 前記第1電極対における前記第1電極指と前記第2電極指又は前記共通電極との対の数と、前記第2電極対における前記第3電極指と前記第4電極指又は前記共通電極との対の数との合計である総対数が、20対以上であることを特徴とする、請求項1ないし10のいずれか一つに記載の圧電薄膜フィルタ。
- 前記第1電極対における前記第1電極指と前記第2電極指又は前記共通電極との対の数と、前記第2電極対における前記第3電極指と前記第4電極指又は前記共通電極との対の数とが異なることを特徴とする、請求項1ないし11のいずれか一つに記載の圧電薄膜フィルタ。
- ラダー型フィルタ又はラティス型フィルタのいずれかと、
請求項1ないし12のいずれか一つに記載の圧電薄膜フィルタとがカスケード接続されていることを特徴とする、複合フィルタ。 - 前記フィルタ要素を単位ユニットとし、
入力端子又は出力端子のいずれか一方に直列接続される少なくとも2つの前記単位ユニットを含み、
前記少なくとも2つの単位ユニットの少なくとも2つは、前記出力端子又は前記入力端子の他方に並列接続されていることを特徴とする、請求項1に記載の圧電薄膜フィルタ。 - 前記少なくとも2つの前記単位ユニットが互いに隣接して配置され、隣接する前記単位ユニット同士が機械的に結合されていることを特徴とする、請求項14に記載の圧電薄膜フィルタ。
- 前記入力端子が不平衡端子に接続され、
前記出力端子が平衡端子に接続されていることを特徴とする、請求項14又は15に記載の圧電薄膜フィルタ。 - 前記圧電薄膜は、空隙または開口を介して、前記基板から音響的に分離されていることを特徴とする、請求項14、15又は16に記載の圧電薄膜フィルタ。
- 第1及び第2の前記単位ユニットを含み、
前記各単位ユニットの前記第1端子が、前記入力端子の一方に接続され、
前記各単位ユニットの前記第2端子が、前記入力端子の他方に接続され、
前記第1の単位ユニットの前記第4端子と前記第2の単位ユニットの前記第3端子とが接続され、
前記第1の単位ユニットの前記第3端子が、前記出力端子の一方に接続され、
前記第2の単位ユニットの前記第4端子が、前記出力端子の他方に接続され、
前記出力端子が平衡端子に接続されることを特徴とする、請求項14ないし17のいずれか一つに記載の圧電薄膜フィルタ。 - 第1及び第2の前記単位ユニットを含み、
前記第1の単位ユニットの前記第1端子と前記第2の単位ユニットの前記第2端子とが、前記入力端子の一方に接続され、
前記第1の単位ユニットの前記第2端子と前記第2の単位ユニットの前記第1端子とが、前記入力端子の他方に接続され、
前記各単位ユニットの前記第4端子同士が接続され、
前記第1の単位ユニットの前記第3端子と前記第2の単位ユニットの前記第3端子とが、それぞれ前記出力端子に接続され、
前記出力端子が平衡端子に接続されることを特徴とする、請求項14ないし17のいずれか一つに記載の圧電薄膜フィルタ。 - 第1ないし第4の前記単位ユニットを含み、
前記第1の単位ユニットの前記第1端子と前記第2の単位ユニットの前記第1端子とが、前記入力端子の一方に接続され、
前記第1の単位ユニットの前記第2端子と、前記第2の単位ユニットの前記第2端子と、前記第3の単位ユニットの前記第1端子と、前記第4の単位ユニットの前記第1端子とが互いに接続され、
前記第3の単位ユニットの前記第2端子と前記第4の単位ユニットの前記第2端子とが、前記入力端子の他方に接続され、
前記第1の単位ユニットの前記第3端子が、前記出力端子の一方に接続され、
前記第1の単位ユニットの前記第4端子と、前記第2の単位ユニットの前記第3端子とが接続され、
前記第2の単位ユニットの前記第4端子と、前記第3の単位ユニットの前記第3端子とが接続され、
前記第3の単位ユニットの前記第4端子と、前記第4の単位ユニットの前記第3端子とが接続され、
前記第4の単位ユニットの前記第4端子が、前記出力端子の他方に接続され、
前記出力端子が平衡端子に接続されることを特徴とする、請求項14ないし17のいずれか一つに記載の圧電薄膜フィルタ。 - 前記基板から音響的に分離されている部分の前記圧電薄膜の前記一方の主面(又は、前記他方の主面)に、少なくとも一つの共通電極が配置され、
少なくとも一つの前記単位ユニットの前記第1電極指及び前記第3電極指(又は、前記第2電極指及び前記第4電極指)が、同一の前記共通電極の一部分に含まれることを特徴とする、請求項14ないし20のいずれか一つに記載の圧電薄膜フィルタ。 - 前記基板から音響的に分離されている部分の前記圧電薄膜の主面の少なくとも一方において、隣接する前記電極指の間に絶縁膜が配置されたことを特徴とする、請求項14ないし20のいずれか一つに記載の圧電薄膜フィルタ。
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