JPWO2005093792A1 - 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の第1の実施形態を図1〜図10に基づいて説明する。
次に、本発明の第2の実施形態を図11、図12に基づいて説明する。ここで、前述した第1の実施形態と同一若しくは同等の部分については、同一の符号を用いるとともにその説明を簡略にし、若しくは省略するものとする。この第2の実施形態の露光装置では、計測部としての計測ステージの構成等が前述の第1の実施形態と異なっており、その他の部分の構成等は、前述の第1の実施形態と同様になっている。従って、以下では重複説明を避ける観点から相違点を中心として説明する。
Claims (37)
- 投影光学系を介して基板を露光する露光装置であって、
前記基板を載置して移動可能な基板ステージと;
液体が供給されるプレートを有し、前記投影光学系及び前記液体を介して前記露光に関する計測を行う計測部と;を備え、
前記計測部を構成する前記プレートを含む少なくとも一部が交換可能に構成されていることを特徴とする露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記計測部は、前記基板ステージの一部にその少なくとも一部が設けられた計測ユニットから成り、該計測ユニットを構成する前記プレートを少なくとも含む一部の構成部材は、前記基板ステージに着脱自在に取り付けられていることを特徴とする露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記計測部は、前記基板ステージとは独立して2次元面内で移動可能な計測ステージ本体と、前記プレートを保持する計測テーブル本体と、を備えていることを特徴とする露光装置。 - 請求項3に記載の露光装置において、
前記プレートは前記計測テーブル本体から着脱可能に保持されていることを特徴とする露光装置。 - 請求項4に記載の露光装置において、
前記計測ステージ本体上に取り付けられたレベリングテーブルを更に備え、
前記計測テーブル本体は、前記レベリングテーブル上で微動可能に支持されていることを特徴とする露光装置。 - 請求項5に記載の露光装置において、
前記レベリングテーブルは、6自由度方向に駆動可能であり、
前記計測テーブル本体は、水平面内の3自由度方向に駆動可能であることを特徴とする露光装置。 - 請求項3に記載の露光装置において、
前記計測テーブル本体の自重を補償する自重補償機構を備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記プレートには、少なくとも1つの基準マークと、少なくとも1つの計測用パターンとが形成され、
前記計測部は、前記投影光学系を介して前記プレートに照射される露光光を、前記計測用パターンを介して受光する受光系を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項8に記載の露光装置において、
前記プレートには、複数種類の計測用パターンが形成され、
前記計測部は、前記計測用パターンに対応して、前記受光系を複数有することを特徴とする露光装置。 - 請求項9に記載の露光装置において、
前記複数種類の計測用パターンは、空間像計測用開口パターン、照明むら計測用ピンホール開口パターン、照度計測用開口パターン、波面収差計測用開口パターンのうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記基板が載置される前記基板ステージとは別の基板ステージを少なくとも1つ更に備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記計測部による計測を、前記基板ステージ上での基板の交換時間に応じて実行する制御装置を更に備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項12に記載の露光装置において、
前記制御装置は、特定種類の計測を、前記基板の交換時間に応じて複数回に分けて実行することを特徴とする露光装置。 - 投影光学系を介して基板を露光する露光装置であって、
前記基板を載置して移動可能な基板ステージと;
少なくとも1つの端面が鏡面加工されたプレートを有し、前記投影光学系を介して前記露光に関する計測を行う計測部と;を備え、
前記計測部を構成する前記プレートを含む少なくとも一部が交換可能に構成されていることを特徴とする露光装置。 - 請求項14に記載の露光装置において、
前記計測部は、前記基板ステージの一部にその少なくとも一部が設けられた計測ユニットから成り、該計測ユニットを構成する前記プレートを少なくとも含む一部の構成部材は、前記基板ステージに着脱自在に取り付けられていることを特徴とする露光装置。 - 請求項14に記載の露光装置において、
前記計測部は、前記基板ステージとは独立して2次元面内で移動可能な計測ステージ本体と、前記プレートを保持する計測テーブル本体と、を備えていることを特徴とする露光装置。 - 請求項16に記載の露光装置において、
前記プレートは前記計測テーブル本体から着脱可能に保持されていることを特徴とする露光装置。 - 請求項17に記載の露光装置において、
前記計測ステージ本体上に取り付けられたレベリングテーブルを更に備え、
前記計測テーブル本体は、前記レベリングテーブル上で微動可能に支持されていることを特徴とする露光装置。 - 請求項18に記載の露光装置において、
前記レベリングテーブルは、6自由度方向に駆動可能であり、
前記計測テーブル本体は、水平面内の3自由度方向に駆動可能であることを特徴とする露光装置。 - 請求項17に記載の露光装置において、
前記計測テーブル本体の自重を補償する自重補償機構を備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項14に記載の露光装置において、
前記プレートには、少なくとも1つの基準マークと、少なくとも1つの計測用パターンとが形成され、
前記計測部は、前記投影光学系を介して前記プレートに照射される露光光を、前記計測用パターンを介して受光する受光系を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項21に記載の露光装置において、
前記プレートには、複数種類の計測用パターンが形成され、
前記計測部は、前記計測用パターンに対応して、前記受光系を複数有することを特徴とする露光装置。 - 請求項22に記載の露光装置において、
前記複数種類の計測用パターンは、空間像計測用開口パターン、照明むら計測用ピンホール開口パターン、照度計測用開口パターン、波面収差計測用開口パターンのうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項14に記載の露光装置において、
前記基板が載置される前記基板ステージとは別の基板ステージを少なくとも1つ更に備える露光装置。 - 請求項14に記載の露光装置において、
前記計測部による計測を、前記基板ステージ上での基板の交換時間に応じて実行する制御装置を更に備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項25に記載の露光装置において、
前記制御装置は、特定種類の計測を、前記基板の交換時間に応じて複数回に分けて実行することを特徴とする露光装置。 - 投影光学系を介して基板を露光する露光装置であって、
前記基板を載置して移動可能な基板ステージと;
交換可能なプレートを有し、前記投影光学系を介して前記露光に関する計測を行う計測部と;
前記プレートの交換時期を検出する検出装置と;を備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項27に記載の露光装置において、
前記プレートには、少なくとも1つの基準マークと、少なくとも1つの計測用パターンとが形成され、
前記計測部は、前記投影光学系を介して前記プレートに照射される露光光を、前記計測用パターンを介して受光する受光系を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項28に記載の露光装置において、
前記プレートには、複数種類の計測用パターンが形成され、
前記計測部は、前記計測用パターンに対応して、前記受光系を複数有することを特徴とする露光装置。 - 請求項29に記載の露光装置において、
前記複数種類の計測用パターンは、空間像計測用開口パターン、照明むら計測用ピンホール開口パターン、照度計測用開口パターン、波面収差計測用開口パターンのうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする露光装置。 - 請求項27に記載の露光装置において、
前記基板が載置される前記基板ステージとは別の基板ステージを少なくとも1つ更に備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項27に記載の露光装置において、
前記計測部による計測を、前記基板ステージ上での基板の交換時間に応じて実行する制御装置を更に備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項32に記載の露光装置において、
前記制御装置は、特定種類の計測を、前記基板の交換時間に応じて複数回に分けて実行することを特徴とする露光装置。 - 請求項1〜33のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板上にデバイスパターンを転写するリソグラフィ工程を含む、デバイス製造方法。
- 基板を露光する露光方法であって、
液体が供給されるプレートを介して前記露光に関する計測を行う計測部のうち、前記プレートを含む少なくとも一部を交換する工程と;
前記交換後に前記計測部を用いて前記露光に関する計測を行い、その計測結果を反映させて前記基板を露光する工程と;を含む露光方法。 - 基板を露光する露光方法であって、
少なくとも1つの端面が鏡面加工されたプレートを介して前記露光に関する計測を行う計測部のうち、前記プレートを含む少なくとも一部を交換する工程と;
前記交換後の前記プレートの位置を前記端面を介して計測し、前記計測部を用いて前記計測を行う工程と;
前記計測結果を反映させて前記基板を露光する工程と;を含む露光方法。 - 基板を露光する露光方法であって、
プレートを介して前記露光に関する計測を行う計測部を用いて前記計測を行う工程と;
前記プレートの交換時期を検出し、前記プレートを交換する工程と;
前記計測結果を反映させて前記基板を露光する工程と;を含む露光方法。
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