JPWO2005057649A1 - 半導体ウェーハキャリア容器 - Google Patents
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Abstract
Description
2 カバー
3 開口部上縁
4 斜面
5 斜面
6 フラット部分
射出成形して得られた容器の容器本体及びカバーをそれぞれ24時間常温放置した後、それぞれの外観状態を評価した。評点は次の基準にしたがった。
A:ソリやヒケ、歪が認められず、本体と蓋体の間にほとんど隙間が生じない。
B:ソリやヒケ、歪がやや認められ、本体と蓋体の間にやや隙間が生じる。
C:ソリやヒケ、歪が顕著に認められ、本体と蓋体の間に顕著な隙間が生じる。
容器内部に、表面にラベルを貼着した8インチウェーハキャリアを収納し、ラベルに記載されている文字の視認性を評価した。評点は次の基準にしたがった。
A:容器外から鮮明に読める。
B:ぼやけてはいるが読める。
C:全く読めない。
射出成形して得られた成形品を室温で24時間放置した後、23℃、湿度50%RH下で6時間以上状態調整した。状態調節後の成形品について、図3及び図6に示す5箇所の部位の表面抵抗率(Ω/□)を、東亜電波工業株式会社製抵抗計「SUPER MEGOHMMETER SM−21E」にて100Vの印加電圧を与えて測定した。このとき、正極及び負極の端子と成形品表面との間には、いずれも厚さ2mmで、10mm角の導電性ゴムを配置し、それらの導電性ゴム相互間の間隔は10mmとした。ここで使用した導電性ゴムの抵抗値は、評価する成形品よりもはるかに小さく、それに由来する抵抗値は無視することが可能である。
射出成形して得られた容器の容器本体に25枚の8インチシリコンウェーハを装着したカーボン粉末を含有するポリエーテルエーテルケトン(PEEK)製キャリアを30回/分のスピードで15分間の出し入れをする試験を行った。この試験後の容器本体の外観状態を目視評価した。評点は次の基準にしたがった。
A:傷はわずかにつくが、摩耗粉の発生はない。
B:傷はつくが、摩耗粉の発生は少ない。
C:傷が激しくつき、摩耗粉も多く発生する。
射出成形して得られた容器の容器本体に25枚の8インチシリコンウェーハを装着したカーボン粉末を含有するポリエーテルエーテルケトン(PEEK)製キャリアを載せ、パンチング孔の開いたステンレス板上で摺動距離30cmを30往復/分のスピードで15分間摺動させた。この試験後、容器本体の摺動摩耗面の外観状態を目視評価した。評点は次の基準にしたがった。
A:傷はわずかにつくが、摩耗粉の発生はない。
B:傷はつくが、摩耗粉の発生は少ない。
C:傷が激しくつき、摩耗粉も多く発生する。
射出成形して得られた容器本体とカバーとを使用し、30回/分のスピードで60分間の開閉試験を行った。この試験後の容器本体とカバーの相互の擦れ部分の外観状態を目視評価した。評点は次の基準にしたがった。
A:摩擦部分に傷がわずかにつくが、摩耗粉の付着はない。
B:摩擦部分に傷がつき、微細な摩耗粉のみがわずかに付着する。
C:摩擦部分に傷がつき、微細な摩耗粉が付着し、大きな摩耗粉もわずかに付着する。
D:摩擦部分に傷がつき、微細な摩耗粉も大きな摩耗粉も多数付着する。
樹脂組成物(A)として、炭素繊維含有導電性ポリカーボネート樹脂組成物(住友ダウ株式会社製「SD POLYCA CF5101V」)を使用した。当該樹脂組成物は、炭素繊維の短繊維を10重量%ポリカーボネートに配合した樹脂組成物である。当該樹脂組成物を用い、株式会社日本製鋼所製射出成形機「J450E−C5」で、図1〜3に示される容器本体を作製した。当該射出成形機のスクリューの直径は76mmである。また、成形条件は、以下のとおりである。
・シリンダー設定温度:290℃
・金型設定温度:50℃
・スクリューの射出設定スピード:45mm/sec
(樹脂組成物の射出スピード:204ml/sec)
・射出設定圧力:200MPa
・シリンダー設定温度:200℃
・金型設定温度:40℃
・スクリューの射出設定スピード:45mm/sec
(樹脂組成物の射出スピード:204ml/sec)
・射出設定圧力:200MPa
樹脂組成物(A)として、カーボン繊維系導電性ポリプロピレン樹脂(大阪ガスケミカル株式会社製「LRP410C」)を使用した。当該樹脂組成物は、炭素繊維の短繊維約10重量%をポリプロピレンに配合した樹脂組成物である。当該樹脂組成物を用い、株式会社日本製鋼所製射出成形機「J450E−C5」を用い、図1〜3に示される容器本体を作製した。当該射出成形機のスクリューの直径は76mmである。また、成形条件は、以下のとおりである。
・シリンダー設定温度:230℃
・金型設定温度:60℃
・スクリューの射出設定スピード:45mm/sec
(樹脂組成物の射出スピード:204ml/sec)
・射出設定圧力:200MPa
容器本体及びカバーのいずれも、実施例1で使用したのと同じ日本エイアンドエル株式会社製「テクニエースTE−2200」を使用し、実施例1と同様に成形した。成形条件は、容器本体及びカバーともに実施例1のカバーの成形のときと同様である。得られた成形品について、実施例1と同様に外観評価、視認性評価、表面抵抗値評価、耐擦傷性評価の各評価を行った。その結果を表1にまとめて示す。
東レ株式会社製ポリブチレンテレフタレート樹脂ペレット「トレコン1401−X06」85重量部と、ライオン株式会社製ケッチェンブラック「ケッチェンブラックEC」15重量部とを二軸押出機(株式会社プラスチック工学研究所製、スクリュー直径32mm、L/D=33)を用いて溶融混練した。ケッチェンブラックはベント口より重量式フィーダーを使用して添加し、230℃で溶融押出ししてストランドを得た。このストランドをペレタイザーでカットすることによって樹脂組成物ペレットを得た。得られた樹脂組成物ペレットを使用し、株式会社日本製鋼所製射出成形機「J450E−C5」で、図1〜3に示される容器本体を作製した。当該射出成形機のスクリューの直径は76mmである。また、成形条件は、以下のとおりである。
・シリンダー設定温度:280℃
・金型設定温度:80℃
・スクリューの射出設定スピード:45mm/sec
(樹脂組成物の射出スピード:204ml/sec)
・射出設定圧力:200MPa
実施例1と同じポリカーボネート樹脂「SD POLYCA CF5101V」を使用し、実施例1と同様に図1〜3に示される容器本体を作製した。
・シリンダー設定温度:200℃
・金型設定温度:40℃
・スクリューの射出設定スピード:45mm/sec
(樹脂組成物の射出スピード:204ml/sec)
・射出設定圧力:200MPa
容器本体及びカバーのいずれも、実施例1で使用したのと同じ住友ダウ株式会社製ポリカーボネート樹脂「SD POLYCA CF5101V」を使用し、実施例1と同様に成形した。成形条件は、ケース本体及び蓋体ともに実施例1の本体の成形のときと同様である。得られた成形品について、実施例1と同様に外観評価、視認性評価、表面抵抗値評価、耐擦傷性評価の各評価を行った。その結果を表1にまとめて示す。
Claims (17)
- 半導体ウェーハキャリアが載置される容器本体と、該容器本体を覆うカバーとから構成される半導体ウェーハキャリア容器であって、前記容器本体が熱可塑性樹脂(a1)及び炭素繊維(a2)からなる樹脂組成物(A)を成形してなり、該容器本体の表面抵抗率が102〜1012Ω/□であり、前記カバーが熱可塑性樹脂(b1)及び有機化合物である帯電防止剤(b2)からなる樹脂組成物(B)を成形してなり、該カバーの表面抵抗率が103〜1013Ω/□であり、かつ該カバーが透明性を有することを特徴とする半導体ウェーハキャリア容器。
- 樹脂組成物(A)が熱可塑性樹脂(a1)を60〜99重量%及び炭素繊維(a2)を1〜40重量%含有する請求項1記載の半導体ウェーハキャリア容器。
- 熱可塑性樹脂(a1)が非晶性熱可塑性樹脂である請求項1又は2記載の半導体ウェーハキャリア容器。
- 熱可塑性樹脂(a1)が、ポリカーボネートである請求項3記載の半導体ウェーハキャリア容器。
- 樹脂組成物(A)のロックウェル硬度が110〜140(単位:Rスケール)である請求項1〜4のいずれか記載の半導体ウェーハキャリア容器。
- 樹脂組成物(A)の曲げ弾性率が4000〜21000MPaである請求項1〜5のいずれか記載の半導体ウェーハキャリア容器。
- 樹脂組成物(B)が熱可塑性樹脂(b1)を70〜99重量%及び帯電防止剤(b2)を1〜30重量%含有する請求項1〜6のいずれか記載の半導体ウェーハキャリア容器。
- 熱可塑性樹脂(b1)が、スチレン系重合体、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、ポリアクリロニトリル、ポリカーボネートからなる群から選択される1種である請求項1〜7のいずれか記載の半導体ウェーハキャリア容器。
- 帯電防止剤(b2)が、高分子化合物である請求項1〜8のいずれか記載の半導体ウェーハキャリア容器。
- 樹脂組成物(B)が、厚さ3mmの射出成形品にしたときのヘイズが30%以下の樹脂組成物である請求項1〜9のいずれか記載の半導体ウェーハキャリア容器。
- 樹脂組成物(B)のロックウェル硬度が80〜140(単位:Rスケール)である請求項1〜10のいずれか記載の半導体ウェーハキャリア容器。
- 前記カバーが、樹脂組成物(A)と樹脂組成物(B)とが複合された成形品であり、前記容器本体と接触する部分が樹脂組成物(A)で構成されている請求項1〜11のいずれか記載の半導体ウェーハキャリア容器。
- インサート成形又は二色成形によって樹脂組成物(A)と樹脂組成物(B)とが複合されてなる請求項12記載の半導体ウェーハキャリア容器。
- 前記容器本体又は前記カバーのいずれかに弾性部材が固着されてなり、容器を閉じたときに、前記容器本体と前記カバーとの間に前記弾性部材が配置され、前記容器本体と前記カバーとが相互に接触しない請求項1〜11のいずれか記載の半導体ウェーハキャリア容器。
- 前記弾性部材の高さが1mm以下である請求項14記載の半導体ウェーハキャリア容器。
- 前記容器本体の開口部上縁の外側を前記カバーの周縁部が覆って閉じられる請求項1〜15のいずれか記載の半導体ウェーハキャリア容器。
- 前記容器本体がその開口部上縁から外側斜め下方に斜面を有し、前記カバーがその周縁部の内面に斜面を有し、両斜面が互いに略平行に対向する構成であり、両斜面間のクリアランスが1mm以下であり、かつ両斜面の対向する幅が5〜50mmである請求項16記載の半導体ウェーハキャリア容器。
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