JPS61195059U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61195059U JPS61195059U JP7849285U JP7849285U JPS61195059U JP S61195059 U JPS61195059 U JP S61195059U JP 7849285 U JP7849285 U JP 7849285U JP 7849285 U JP7849285 U JP 7849285U JP S61195059 U JPS61195059 U JP S61195059U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- silicon wafers
- photomask
- photomasks
- organic polymer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- -1 polypropylene Polymers 0.000 claims 2
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Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第１図は本考案に係る収納容器の概略図、第２
図は炭素繊維を含む有機高分子樹脂の比抵抗と炭
素繊維の含有量との関係を示すグラフである。 １：容器外箱、２：容器蓋、３：内箱、４：収
納基板、５：収納容器。
図は炭素繊維を含む有機高分子樹脂の比抵抗と炭
素繊維の含有量との関係を示すグラフである。 １：容器外箱、２：容器蓋、３：内箱、４：収
納基板、５：収納容器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 少なくとも容器外箱及び容器蓋を含むフオ
トマスク、フオトマスク素材、シリコンウエーハ
等の収納容器において、上記容器外箱及び容器蓋
が炭素繊維を含む有機高分子樹脂により構成され
ていることを特徴とするフオトマスク、フオトマ
スク素材、シリコンウエーハ等の収納容器。 (2) 容器外箱及び容器蓋が炭素繊維を１〜３０
ｗｔ％含む有機高分子樹脂により構成されている
ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
記載のフオトマスク、フオトマスク素材、シリコ
ンウエーハ等の収納容器。 (3) 有機高分子樹脂が、ＡＢＳ樹脂、ポリプロ
ピレン、ポリスチレン、ポリエチレン、アクリル
樹脂及びメタクリル樹脂の群のいずれか１つから
選ばれることを特徴とする実用新案登録請求の範
囲第１項記載のフオトマスク、フオトマスク素材
、シリコンウエーハ等の収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7849285U JPS61195059U (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7849285U JPS61195059U (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61195059U true JPS61195059U (ja) | 1986-12-04 |
Family
ID=30622522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7849285U Pending JPS61195059U (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61195059U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03117693U (ja) * | 1990-03-05 | 1991-12-05 | ||
| WO2005057649A1 (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-23 | Fuji Bakelite Co., Ltd. | 半導体ウェーハキャリア容器 |
-
1985
- 1985-05-28 JP JP7849285U patent/JPS61195059U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03117693U (ja) * | 1990-03-05 | 1991-12-05 | ||
| WO2005057649A1 (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-23 | Fuji Bakelite Co., Ltd. | 半導体ウェーハキャリア容器 |
| JPWO2005057649A1 (ja) * | 2003-12-10 | 2007-07-05 | 冨士ベークライト株式会社 | 半導体ウェーハキャリア容器 |
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