JPWO2002082578A1 - コネクタピンと信号線の接続構造及びそれを用いた半導体パッケージ - Google Patents
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Abstract
コネクタピンと信号線の接続部において、高周波化された信号が棒状同軸構造から平面導波路である信号線に誘電される際、信号が外部に放射されたり発信側に反射して透過率が悪くなるのを防ぐと共に、半導体パッケージへの組付けの際、組立誤差による伝送損失を最小化できる接続構造を提供する。コネクタピン1と接続される部分の信号線3の幅を、コネクタ特性インピーダンスとの整合がとれる非接続部の信号線の幅より狭くし、さらに、コネクタピン1と接続される接続部の信号線3の幅を、コネクタピン径の投影幅よりも狭くする。
Description
技術分野
本発明は、高周波デバイス用半導体パッケージの構造に関し、特に平面導波路である信号線を備えた回路基板とコネクタピンの接続構造に関する。
背景技術
近年、半導体素子の動作速度の高速化、信号密度を高めるための高周波化に伴い、数GHz以上の高周波信号を効率よく伝送する信号線回路をもつ高周波用半導体パッケージが求められている。
この様な高周波用半導体パッケージに於いては、同軸線を経由して伝送される高周波の信号をコネクタピンから、平面導波路の信号線に接続部を経て、各種半導体デバイスに伝送する場合、接続部による信号の反射や損失を抑える必要がある。特に、信号が高周波になるに従い、こうした効果が顕著になる。なお、平面導波路の様式は様々あるが、本発明はマイクロストリップ線路とコプレナー線路のいずれにも適用されるものである。
特開平11−224757号公報には、コネクタピンと信号線を高精度に接続する構造の一例が提案されている。図15は、半導体パッケージ100におけるコネクタピン103と信号線106の接続構造の部分断面図である。図15において、101は、パッケージ枠の一部である。同軸線の終端に接続されるガラスビーズ102は、矢印X方向に進んでパッケージ枠101に設ける止まり穴104にガイドされる。一方、誘電体基板105上に形成される信号線106の接続端には、コネクタピン103の挿入されるリセス溝107が形成されている。
コネクタピン103と信号線106とを接続する際には、リセス溝107内にコネクタピン103の先端が収まるように双方を嵌合させ、半田108にて最終的に接続する。この様な構造であれば、コネクタピン103とリセス溝107が正しく位置決めされ、自動的にコネクタピン103と信号線106の位置決め精度は向上すると説明されている。しかし、コネクタピン103の端部の位置が誘電体基板105上に形成されるリセス溝107の位置に合致していないと、これらを物理的に接続できない。
発明の開示
このように、特開平11−224757号公報に提案される接続構造では、特に信号の周波数が高くなり、コネクタピン径が小さくなると信号の高周波領域における伝送損失を最小化するには不充分である。つまり、コネクタピン径が細くなると、リセス溝とコネクタピンの位置合せが困難になることに加えて、信号線とコネクタピンの上下位置変動により、平面導波路である信号線側への伝送損失、及びリセス溝を埋める半田の付着量の変動から伝送回路の幅が不連続となるための伝送損失の発生が懸念される。
本発明は、信号の高周波領域における上記のような伝送損失の生ずる要因を最小化し、放射や反射を抑えることを課題とする。
本発明を実施するのに好適な半導体パッケージのコネクタピンと信号線の接続構造は、コネクタピンと接続される信号線の幅を、コネクタ特性インピーダンスとの整合がとれる信号線の幅より狭くする。
前記接続構造を有する接続部は、同軸線を経由して伝送される電気信号を、シールドされているガラスビーズの内部を通るコネクタピンの先端から平面導波路である誘電体基板上に薄膜として形成された信号線上に誘電する接続部である。
また、前記接続部は、光ファイバーを経由して伝送される光信号を光半導体素子により変換した電気信号を同軸線に伝送する接続部である。
コネクタピンと接続される部分の信号線の幅を、コネクタピン径の投影幅よりも狭くする。
コネクタピンと接続される接続部の信号線の狭い幅から、非接続部の広い信号線幅への変化は、非接続部の信号線側に次第に広くする。
発明を実施するための最良の形態
以下に、本発明を具体化した好適な実施例を図面に基づき詳細に説明する。図1に、本発明のコネクタピンと信号線の接続構造を有する半導体パッケージの概念図を示す。
同軸線(図示なし)を経由して伝送される高周波の信号は、シールドされたガラスビーズ2の内部を貫通するコネクタピン1に伝達される。ガラスビーズ2の外周は、銅−タングステン系合金あるいは鉄−ニッケル系合金から成るパッケージ枠9に嵌装して固定される。又、半導体パッケージの底部には、パッケージ枠9と同種の金属から成る搭載ベース10が鑞材により接合される。窒化アルミニウムセラミックス等から成る誘電体基板4上には、金等の低抵抗金属が真空蒸着やメッキにより、薄膜状の信号線3として形成されている。コネクタピン1および信号線の双方は、半田5により接合される。
一方、パッケージ枠9の側方には、その上部にメタライズ配線8に接続されDC端子7を設けたセラミックス端子部材6が接合されている。そして半導体パッケージの内部には、放熱性の良好な絶縁基板(図示なし)を設置し、そこに電気信号や光信号を相互に変換するレーザーダイオードまたはフォトダイオード等の光半導体素子、その他電子冷却素子であるペルチェ素子、コンデンサ、抵抗等を搭載し、これらの素子と信号線3及びメタライズ配線8の間をワイヤボンデイング等で接続し、DC端子7に供給される電力によって各種素子を駆動して半導体モジュールとして機能させる。窓11は、光ファイバーとモジュール間の光信号の入出力に用いられる。
図2は、図1におけるA部の信号線3周辺を拡大した平面図である。誘電体基板4の上に真空蒸着された薄膜状の信号線3の非接続部はB1の幅を有し、コネクタピン1との接続部3aは非接続部より狭い幅B2に設定する。そして信号線3の非接続部の幅B1を1としたとき、接続部3aの幅B2は0.4〜0.7であることが好ましい。
また、幅B2から幅B1への変化は、次第に広くなるようにすることが望ましい。さらに、信号線3の急激な変動による伝送損失を防ぐため、幅B2から幅B1への変化は、傾き角度をθとし変動幅をSとした場合、tanθ=2S/(B1−B2)の任意の角度θで非接続部の信号線3側に倒れるように変化させるのが好ましい。幅B2から幅B1への変化を直角ではなく、次第に広くなるように変化させることにより、信号の反射をより小さく抑える効果がある。
実施例
次に、本発明の特徴を実施したときの効果について説明する。図3は、図1におけるA部分を上方から見て、コネクタピン1の輪郭線1aを信号線3上に投影したものである。この比較例1の実寸法は、誘電体基板4に形成されている信号線3の幅B1が0.23mmの同一幅に形成され、基板の比誘電率は9.0である。又、ガラスビーズ2を貫通するコネクタピン1のピン径dは、0.23mmであり、ガラスの比誘電率は4.4である。コネクタピン1と信号線3は、予め定めた一定容量の半田にて接合した。
図4も、図1におけるA部分を上方から見たもので、コネクタピン1の輪郭線1aを信号線3上に投影したものである。この実施例1の実寸法は、誘電体基板4上の信号線3の幅B1が、0.23mmであり、接続部の信号線3aの幅B2は0.12mmである。接続部の信号線3aから非接続部の信号線3への線幅は、直角コーナーを介して変化させた。ガラスビーズ2を貫通するコネクタピン1のピン径dは、比較例1と同様に0.23mmである。コネクタピン1と信号線3を接合する半田の容量は、比較例1と同等に設定した。
この比較例1と実施例1の試料について、シミュレーションを実施した。このシミュレーションでは、図3または図4に示される左側の同軸構造から右側の平面導波路間の反射特性と透過特性を有限要素法(FEM)にて計算した。その計算結果を図5及び図6に示す。
図5は、反射の周波数依存性を片対数表示したものであり、マイナスの数字が少ないほど反射が少ないことを示している。図5において実線の細線は、図3の比較例1における横軸に周波数を縦軸に反射特性の大きさを表したシミュレーション計算結果を示したものであり、実線の太線は、図4における実施例1の反射特性のシミュレーション計算結果を示したものである。図5を考察すると、周波数20GHzを超えるあたりから周波数50GHzを超える高周波領域で、実施例1のほうが顕著に反射特性が良好であることを示している。
図6は、信号の透過特性を評価したものであり、零に近づく程信号が失われることなく伝送されていることを示している。図5と同様に実線の細線は、図3における比較例1の透過特性の大きさを表したシミュレーション計算結果を示したものであり、実線の太線は図4における実施例1の透過特性を示したものである。図6を考察すると、周波数20GHzを超えるあたりから周波数50GHzを超える高周波領域で、実施例1のほうが透過特性の良好なることを示している。
参考までに、シミュレーション計算結果の信頼性を実証するために、実施例1および比較例1と同一仕様の試料を準備して、ネットワークアナライザーにより反射特性と透過特性を実測した結果を表1に示す。
【表1】
絶対値に相違はあるものの、シミュレーション計算結果と実測値は定性的に一致する傾向を示している。しかも、実施例1の方が幅広い周波数領域において良好な特性を示した。
コネクタピン1の中心と信号線3の中心は合致させるのが好ましいが、パッケージ枠9に誘電体基板4を接合する際の組立誤差の生ずるのは避けられない。そこで、その影響をシミュレーション計算した結果を図8、9、11、12に示す。
まず、図3の比較例1と図7に示す比較例2を評価して見る。比較例2の図7は、コネクタピン1と信号線3の中心を合致させた比較例1と基本的には同じ接続構造の計算モデルであるが、信号線3の外側とコネクタピン1の輪郭線1aとが0.1mmズレているケースである。図8において、細線の一点鎖線は、図7の比較例2におけるの反射特性の大きさを表したシミュレーション計算結果を示したものであり、実線の細線は比較例1の反射特性を示したものである。比較例1と比較例2の反射特性のシミュレーション計算結果である図8を考察すると、周波数20GHzを超えるあたりから周波数60GHzに至る高周波領域で、コネクタピン1の中心と信号線3の中心の合致している比較例1のほうが反射特性が良好であることを示している。
また、図9に透過特性のシミュレーション計算結果を示す。図9において、細線の一点鎖線は、図7の比較例2における透過特性のシミュレーション計算結果を示したものであり、実線の細線は比較例1の透過特性を示したものである。図9を考察すると、周波数20GHzを超えるあたりから周波数60GHzに至る高周波領域で、コネクタピン1の中心と信号線3の中心の合致している比較例1のほうが透過特性が良好であることを示している
さらに、実施例1と対比するため用意した実施例2を図10に示す。実施例2は、コネクタピン1と信号線3の中心を合致させた実施例1と基本的に同じ接続構造の計算モデルであるが、接続部の信号線3aの外側とコネクタピン1の輪郭線1aとが0.1mmズレているケースである。図11において、点線の細線は図10における実施例2の反射特性の大きさを表したシミュレーション計算結果を示したものであり、実線の太線は実施例1の反射特性を示したものである。実施例1と実施例2の反射特性のシミュレーション計算結果である図11を考察すると、周波数36GHz近傍で僅かに実施例1のほうが反射特性の良好なることを示している。
次の図12においては、点線の細線は図10における実施例2の透過特性の大きさを表したシミュレーション計算結果を示したものであり、実線の太線は実施例1の透過特性を示したものである。実施例1と実施例2の透過特性のシミュレーション計算結果である図12を考察すると、周波数30GHz近傍から60GHzにかけて僅かに実施例1のほうが透過特性の良好なることが伺えるが僅差である。これらの結果により、実施例2の接続構造とすることによって、同程度のズレを想定した比較例2の場合よりも、ズレの両特性への影響の小さいことが判る。それ故、本発明の実施例は組立誤差の影響を受け難いと言える。
次に、信号線3の接続部3aの適切な幅について調べた結果につき説明する。比較評価した試料は、本発明の実施例1を示す図4において、コネクタピン径d、信号線3の回路部の幅B1、その他の仕様を実施例1と同等とし、接続部3aの幅B2のみ0.05mmの試料を比較例3、幅B1の0.4に相当する0.1mmの試料を実施例3、幅B1の0.7に相当する0.16mmの実施例4の3種類と、対比のため図3の比較例1を用意した。そして、前記と同様のシミュレーション計算手法を用いて、図13に反射特性を、図14に透過特性を示す。
図13及び図14において、比較例1は実線の細線で、比較例3は黒丸一点鎖線の太線で、実施例3は白丸一点鎖線の太線で、実施例4は白三角一点鎖線の太線で表されている。
まず、反射特性のシミュレーション計算結果である図13を考察すると、周波数20GHzを超える辺りから周波数55GHzに至る高周波領域で、実施例3と4が特に良好な結果を示している。それに比較し比較例1は反射が大きく、比較例3も若干大きくなる傾向を示している。
また、透過特性のシミュレーション計算結果である図14を考察すると、周波数10GHz近傍から周波数60GHzに至る高周波領域で、実施例3と4が優れた透過特性を示している。それに比較し比較例1は、これらの領域全般にわたり透過性が低下している。比較例3は、部分的に透過性の良くなる領域が存在するものの狭い周波数領域に限られる。以上の結果から、信号線の接続部の線幅比B2/B1を0.4〜0.7とすることによって20〜55GHzの高周波領域での反射ならびに透過特性に優れた接続構造の得られることが判る。
産業上の利用可能性
コネクタピンと信号線の接続構造において、コネクタピンと接続される部分の信号線の幅を、コネクタ特性インピーダンスとの整合がとれる非接続部の信号線の幅より狭くし、さらに、コネクタピンと接続される接続部の信号線の幅を、コネクタピン径の投影幅よりも狭くしたことにより、接続部における信号の放射や反射が最小化され伝送損失の低下を防ぐことができる。又、この様な接続構造を含む半導体パッケージは、コネクタピンと信号線の組立誤差を吸収して信号の伝送損失の低下を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
図1は、本発明のコネクタピンと信号線の接続構造を有する半導体パッケージの概念図である。
図2は、本発明の信号線の平面図である。
図3は、比較例1の接続部における投影図である。
図4は、実施例1の接続部における投影図である。
図5は、比較例1と実施例1の反射特性を比較したシミュレーション結果である。
図6は、比較例1と実施例1の透過特性を比較したシミュレーション結果である。
図7は、比較例2の接続部における投影図である
図8は、比較例1と比較例2の反射特性を比較したシミュレーション結果である。
図9は、比較例1と比較施例2の透過特性を比較したシミュレーション結果である。
図10は、実施例2の接続部における投影図である
図11は、実施例1と実施例2の反射特性を比較したシミュレーション結果である。
図12は、実施例1と実施例2の透過特性を比較したシミュレーション結果である。
図13は、比較例1と3及び実施例3と4の反射特性を比較したシミュレーション結果である。
図14は、比較例1と3及び実施例3と4の透過特性を比較したシミュレーション結果である。
図15は、従来技術の接続部の部分断面図である。
本発明は、高周波デバイス用半導体パッケージの構造に関し、特に平面導波路である信号線を備えた回路基板とコネクタピンの接続構造に関する。
背景技術
近年、半導体素子の動作速度の高速化、信号密度を高めるための高周波化に伴い、数GHz以上の高周波信号を効率よく伝送する信号線回路をもつ高周波用半導体パッケージが求められている。
この様な高周波用半導体パッケージに於いては、同軸線を経由して伝送される高周波の信号をコネクタピンから、平面導波路の信号線に接続部を経て、各種半導体デバイスに伝送する場合、接続部による信号の反射や損失を抑える必要がある。特に、信号が高周波になるに従い、こうした効果が顕著になる。なお、平面導波路の様式は様々あるが、本発明はマイクロストリップ線路とコプレナー線路のいずれにも適用されるものである。
特開平11−224757号公報には、コネクタピンと信号線を高精度に接続する構造の一例が提案されている。図15は、半導体パッケージ100におけるコネクタピン103と信号線106の接続構造の部分断面図である。図15において、101は、パッケージ枠の一部である。同軸線の終端に接続されるガラスビーズ102は、矢印X方向に進んでパッケージ枠101に設ける止まり穴104にガイドされる。一方、誘電体基板105上に形成される信号線106の接続端には、コネクタピン103の挿入されるリセス溝107が形成されている。
コネクタピン103と信号線106とを接続する際には、リセス溝107内にコネクタピン103の先端が収まるように双方を嵌合させ、半田108にて最終的に接続する。この様な構造であれば、コネクタピン103とリセス溝107が正しく位置決めされ、自動的にコネクタピン103と信号線106の位置決め精度は向上すると説明されている。しかし、コネクタピン103の端部の位置が誘電体基板105上に形成されるリセス溝107の位置に合致していないと、これらを物理的に接続できない。
発明の開示
このように、特開平11−224757号公報に提案される接続構造では、特に信号の周波数が高くなり、コネクタピン径が小さくなると信号の高周波領域における伝送損失を最小化するには不充分である。つまり、コネクタピン径が細くなると、リセス溝とコネクタピンの位置合せが困難になることに加えて、信号線とコネクタピンの上下位置変動により、平面導波路である信号線側への伝送損失、及びリセス溝を埋める半田の付着量の変動から伝送回路の幅が不連続となるための伝送損失の発生が懸念される。
本発明は、信号の高周波領域における上記のような伝送損失の生ずる要因を最小化し、放射や反射を抑えることを課題とする。
本発明を実施するのに好適な半導体パッケージのコネクタピンと信号線の接続構造は、コネクタピンと接続される信号線の幅を、コネクタ特性インピーダンスとの整合がとれる信号線の幅より狭くする。
前記接続構造を有する接続部は、同軸線を経由して伝送される電気信号を、シールドされているガラスビーズの内部を通るコネクタピンの先端から平面導波路である誘電体基板上に薄膜として形成された信号線上に誘電する接続部である。
また、前記接続部は、光ファイバーを経由して伝送される光信号を光半導体素子により変換した電気信号を同軸線に伝送する接続部である。
コネクタピンと接続される部分の信号線の幅を、コネクタピン径の投影幅よりも狭くする。
コネクタピンと接続される接続部の信号線の狭い幅から、非接続部の広い信号線幅への変化は、非接続部の信号線側に次第に広くする。
発明を実施するための最良の形態
以下に、本発明を具体化した好適な実施例を図面に基づき詳細に説明する。図1に、本発明のコネクタピンと信号線の接続構造を有する半導体パッケージの概念図を示す。
同軸線(図示なし)を経由して伝送される高周波の信号は、シールドされたガラスビーズ2の内部を貫通するコネクタピン1に伝達される。ガラスビーズ2の外周は、銅−タングステン系合金あるいは鉄−ニッケル系合金から成るパッケージ枠9に嵌装して固定される。又、半導体パッケージの底部には、パッケージ枠9と同種の金属から成る搭載ベース10が鑞材により接合される。窒化アルミニウムセラミックス等から成る誘電体基板4上には、金等の低抵抗金属が真空蒸着やメッキにより、薄膜状の信号線3として形成されている。コネクタピン1および信号線の双方は、半田5により接合される。
一方、パッケージ枠9の側方には、その上部にメタライズ配線8に接続されDC端子7を設けたセラミックス端子部材6が接合されている。そして半導体パッケージの内部には、放熱性の良好な絶縁基板(図示なし)を設置し、そこに電気信号や光信号を相互に変換するレーザーダイオードまたはフォトダイオード等の光半導体素子、その他電子冷却素子であるペルチェ素子、コンデンサ、抵抗等を搭載し、これらの素子と信号線3及びメタライズ配線8の間をワイヤボンデイング等で接続し、DC端子7に供給される電力によって各種素子を駆動して半導体モジュールとして機能させる。窓11は、光ファイバーとモジュール間の光信号の入出力に用いられる。
図2は、図1におけるA部の信号線3周辺を拡大した平面図である。誘電体基板4の上に真空蒸着された薄膜状の信号線3の非接続部はB1の幅を有し、コネクタピン1との接続部3aは非接続部より狭い幅B2に設定する。そして信号線3の非接続部の幅B1を1としたとき、接続部3aの幅B2は0.4〜0.7であることが好ましい。
また、幅B2から幅B1への変化は、次第に広くなるようにすることが望ましい。さらに、信号線3の急激な変動による伝送損失を防ぐため、幅B2から幅B1への変化は、傾き角度をθとし変動幅をSとした場合、tanθ=2S/(B1−B2)の任意の角度θで非接続部の信号線3側に倒れるように変化させるのが好ましい。幅B2から幅B1への変化を直角ではなく、次第に広くなるように変化させることにより、信号の反射をより小さく抑える効果がある。
実施例
次に、本発明の特徴を実施したときの効果について説明する。図3は、図1におけるA部分を上方から見て、コネクタピン1の輪郭線1aを信号線3上に投影したものである。この比較例1の実寸法は、誘電体基板4に形成されている信号線3の幅B1が0.23mmの同一幅に形成され、基板の比誘電率は9.0である。又、ガラスビーズ2を貫通するコネクタピン1のピン径dは、0.23mmであり、ガラスの比誘電率は4.4である。コネクタピン1と信号線3は、予め定めた一定容量の半田にて接合した。
図4も、図1におけるA部分を上方から見たもので、コネクタピン1の輪郭線1aを信号線3上に投影したものである。この実施例1の実寸法は、誘電体基板4上の信号線3の幅B1が、0.23mmであり、接続部の信号線3aの幅B2は0.12mmである。接続部の信号線3aから非接続部の信号線3への線幅は、直角コーナーを介して変化させた。ガラスビーズ2を貫通するコネクタピン1のピン径dは、比較例1と同様に0.23mmである。コネクタピン1と信号線3を接合する半田の容量は、比較例1と同等に設定した。
この比較例1と実施例1の試料について、シミュレーションを実施した。このシミュレーションでは、図3または図4に示される左側の同軸構造から右側の平面導波路間の反射特性と透過特性を有限要素法(FEM)にて計算した。その計算結果を図5及び図6に示す。
図5は、反射の周波数依存性を片対数表示したものであり、マイナスの数字が少ないほど反射が少ないことを示している。図5において実線の細線は、図3の比較例1における横軸に周波数を縦軸に反射特性の大きさを表したシミュレーション計算結果を示したものであり、実線の太線は、図4における実施例1の反射特性のシミュレーション計算結果を示したものである。図5を考察すると、周波数20GHzを超えるあたりから周波数50GHzを超える高周波領域で、実施例1のほうが顕著に反射特性が良好であることを示している。
図6は、信号の透過特性を評価したものであり、零に近づく程信号が失われることなく伝送されていることを示している。図5と同様に実線の細線は、図3における比較例1の透過特性の大きさを表したシミュレーション計算結果を示したものであり、実線の太線は図4における実施例1の透過特性を示したものである。図6を考察すると、周波数20GHzを超えるあたりから周波数50GHzを超える高周波領域で、実施例1のほうが透過特性の良好なることを示している。
参考までに、シミュレーション計算結果の信頼性を実証するために、実施例1および比較例1と同一仕様の試料を準備して、ネットワークアナライザーにより反射特性と透過特性を実測した結果を表1に示す。
【表1】
絶対値に相違はあるものの、シミュレーション計算結果と実測値は定性的に一致する傾向を示している。しかも、実施例1の方が幅広い周波数領域において良好な特性を示した。
コネクタピン1の中心と信号線3の中心は合致させるのが好ましいが、パッケージ枠9に誘電体基板4を接合する際の組立誤差の生ずるのは避けられない。そこで、その影響をシミュレーション計算した結果を図8、9、11、12に示す。
まず、図3の比較例1と図7に示す比較例2を評価して見る。比較例2の図7は、コネクタピン1と信号線3の中心を合致させた比較例1と基本的には同じ接続構造の計算モデルであるが、信号線3の外側とコネクタピン1の輪郭線1aとが0.1mmズレているケースである。図8において、細線の一点鎖線は、図7の比較例2におけるの反射特性の大きさを表したシミュレーション計算結果を示したものであり、実線の細線は比較例1の反射特性を示したものである。比較例1と比較例2の反射特性のシミュレーション計算結果である図8を考察すると、周波数20GHzを超えるあたりから周波数60GHzに至る高周波領域で、コネクタピン1の中心と信号線3の中心の合致している比較例1のほうが反射特性が良好であることを示している。
また、図9に透過特性のシミュレーション計算結果を示す。図9において、細線の一点鎖線は、図7の比較例2における透過特性のシミュレーション計算結果を示したものであり、実線の細線は比較例1の透過特性を示したものである。図9を考察すると、周波数20GHzを超えるあたりから周波数60GHzに至る高周波領域で、コネクタピン1の中心と信号線3の中心の合致している比較例1のほうが透過特性が良好であることを示している
さらに、実施例1と対比するため用意した実施例2を図10に示す。実施例2は、コネクタピン1と信号線3の中心を合致させた実施例1と基本的に同じ接続構造の計算モデルであるが、接続部の信号線3aの外側とコネクタピン1の輪郭線1aとが0.1mmズレているケースである。図11において、点線の細線は図10における実施例2の反射特性の大きさを表したシミュレーション計算結果を示したものであり、実線の太線は実施例1の反射特性を示したものである。実施例1と実施例2の反射特性のシミュレーション計算結果である図11を考察すると、周波数36GHz近傍で僅かに実施例1のほうが反射特性の良好なることを示している。
次の図12においては、点線の細線は図10における実施例2の透過特性の大きさを表したシミュレーション計算結果を示したものであり、実線の太線は実施例1の透過特性を示したものである。実施例1と実施例2の透過特性のシミュレーション計算結果である図12を考察すると、周波数30GHz近傍から60GHzにかけて僅かに実施例1のほうが透過特性の良好なることが伺えるが僅差である。これらの結果により、実施例2の接続構造とすることによって、同程度のズレを想定した比較例2の場合よりも、ズレの両特性への影響の小さいことが判る。それ故、本発明の実施例は組立誤差の影響を受け難いと言える。
次に、信号線3の接続部3aの適切な幅について調べた結果につき説明する。比較評価した試料は、本発明の実施例1を示す図4において、コネクタピン径d、信号線3の回路部の幅B1、その他の仕様を実施例1と同等とし、接続部3aの幅B2のみ0.05mmの試料を比較例3、幅B1の0.4に相当する0.1mmの試料を実施例3、幅B1の0.7に相当する0.16mmの実施例4の3種類と、対比のため図3の比較例1を用意した。そして、前記と同様のシミュレーション計算手法を用いて、図13に反射特性を、図14に透過特性を示す。
図13及び図14において、比較例1は実線の細線で、比較例3は黒丸一点鎖線の太線で、実施例3は白丸一点鎖線の太線で、実施例4は白三角一点鎖線の太線で表されている。
まず、反射特性のシミュレーション計算結果である図13を考察すると、周波数20GHzを超える辺りから周波数55GHzに至る高周波領域で、実施例3と4が特に良好な結果を示している。それに比較し比較例1は反射が大きく、比較例3も若干大きくなる傾向を示している。
また、透過特性のシミュレーション計算結果である図14を考察すると、周波数10GHz近傍から周波数60GHzに至る高周波領域で、実施例3と4が優れた透過特性を示している。それに比較し比較例1は、これらの領域全般にわたり透過性が低下している。比較例3は、部分的に透過性の良くなる領域が存在するものの狭い周波数領域に限られる。以上の結果から、信号線の接続部の線幅比B2/B1を0.4〜0.7とすることによって20〜55GHzの高周波領域での反射ならびに透過特性に優れた接続構造の得られることが判る。
産業上の利用可能性
コネクタピンと信号線の接続構造において、コネクタピンと接続される部分の信号線の幅を、コネクタ特性インピーダンスとの整合がとれる非接続部の信号線の幅より狭くし、さらに、コネクタピンと接続される接続部の信号線の幅を、コネクタピン径の投影幅よりも狭くしたことにより、接続部における信号の放射や反射が最小化され伝送損失の低下を防ぐことができる。又、この様な接続構造を含む半導体パッケージは、コネクタピンと信号線の組立誤差を吸収して信号の伝送損失の低下を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
図1は、本発明のコネクタピンと信号線の接続構造を有する半導体パッケージの概念図である。
図2は、本発明の信号線の平面図である。
図3は、比較例1の接続部における投影図である。
図4は、実施例1の接続部における投影図である。
図5は、比較例1と実施例1の反射特性を比較したシミュレーション結果である。
図6は、比較例1と実施例1の透過特性を比較したシミュレーション結果である。
図7は、比較例2の接続部における投影図である
図8は、比較例1と比較例2の反射特性を比較したシミュレーション結果である。
図9は、比較例1と比較施例2の透過特性を比較したシミュレーション結果である。
図10は、実施例2の接続部における投影図である
図11は、実施例1と実施例2の反射特性を比較したシミュレーション結果である。
図12は、実施例1と実施例2の透過特性を比較したシミュレーション結果である。
図13は、比較例1と3及び実施例3と4の反射特性を比較したシミュレーション結果である。
図14は、比較例1と3及び実施例3と4の透過特性を比較したシミュレーション結果である。
図15は、従来技術の接続部の部分断面図である。
Claims (6)
- コネクタピンと信号線の接続部において、コネクタピンと接続される信号線の幅を、コネクタ特性インピダンスとの整合がとれる信号線の幅より狭くしたことを特徴とする半導体パッケージのコネクタピンと信号線の接続構造。
- 前記接続部が、同軸線を経由して伝送される電気信号を、シールドされているガラスビーズの内部を通るコネクタピンの先端から平面導波路である誘電体基板上に薄膜として形成された信号線上に誘電する接続部である請求項1に記載のコネクタピンと信号線の接続構造。
- 前記接続部が、光ファイバーを経由して伝送される光信号を光半導体素子により変換した電気信号を同軸線に伝送する接続部である請求項1に記載のコネクタピンと信号線の接続構造。
- 前記コネクタピンと接続される部分の前記信号線の幅を、前記コネクタピン径の投影幅より狭くしたことを特徴とする請求項1乃至3に記載のコネクタピンと信号線の接続構造。
- 前記コネクタピンと接続される接続部の前記信号線の狭い幅から、非接続部の広い幅への変化は、非接続部の信号線側に次第に広くなることを特徴とする請求項1乃至3に記載のコネクタピンと信号線の接続構造。
- 前記コネクタピンと接続する前記信号線の接続構造が、請求項1乃至5のいずれかに記載の特徴を有する半導体パッケージ。
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