JPS647903U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示す縦断面図、第２
図は従来例の縦断面略図、第３図は電磁弁のデユ
ーテイ比とダイヤフラム・ロツドのストロークと
の関係図である。 １……流体圧アクチユエータ、２，１２……ダ
イヤフラム、３……ダイヤフラム・ロツド、４…
…圧力室、６……戻しばね、７……圧力制御弁、
１０……弁通路、１１……弁体、１３……制御室
、１４……開弁ばね、１５……補助ばね、１９…
…電磁弁、２０……空気放出口。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被作動部を駆動するダイヤフラム２およびダイ
   ヤフラム・ロツド３と、前記ダイヤフラム２に一
   定圧力に調整された圧力空気を作用させる圧力室
   ４と、前記ダイヤフラム２に前記圧力空気と対抗
   して作用させた戻しばね６と、電磁弁１９および
   空気放出口２０により制御され閉弁方向へ働く圧
   力空気と開弁方向へ働く開弁ばね１４とを受ける
   ダイヤフラム１２によつて開閉され前記圧力室４
   の圧力空気を排出する圧力制御弁７とを具え、前
   記ダイヤフラム・ロツド３のストロークが前記電
   磁弁１９を開閉駆動するパルス信号のデユーテイ
   比によつて決定されるように構成された空気圧ア
   クチユエータにおいて、前記圧力制御弁７のダイ
   ヤフラム１２に前記開弁ばね１４と対抗して閉弁
   方向へ働く小荷重の補助ばね１５を作用させた空
   気圧アクチユエータ。