JPS6448680U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6448680U JPS6448680U JP14330387U JP14330387U JPS6448680U JP S6448680 U JPS6448680 U JP S6448680U JP 14330387 U JP14330387 U JP 14330387U JP 14330387 U JP14330387 U JP 14330387U JP S6448680 U JPS6448680 U JP S6448680U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal element
- laser beam
- electro
- optic crystal
- linearly polarized
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
Description
第１図は、本考案の表面電位分布検出装置の主
要部分の構成図、第２図は被測定物電位とセンサ
出力の関係を表わす図、第３図は、本考案の使用
例を表わす図、第４図は、従来例の主要部分の断
面図である。 １…レーザ発振器、２…集束レンズ、３，９…
偏光板、４…ハーフミラー、５…透明電極、６…
電気光学結晶素子、７…被測定物、８…１／４波
長板、１０…フオトセンサ、１１…検出部、１２
…検出用電極、１３…リード線、１４…検出回路
、ａ…対向部。
要部分の構成図、第２図は被測定物電位とセンサ
出力の関係を表わす図、第３図は、本考案の使用
例を表わす図、第４図は、従来例の主要部分の断
面図である。 １…レーザ発振器、２…集束レンズ、３，９…
偏光板、４…ハーフミラー、５…透明電極、６…
電気光学結晶素子、７…被測定物、８…１／４波
長板、１０…フオトセンサ、１１…検出部、１２
…検出用電極、１３…リード線、１４…検出回路
、ａ…対向部。
補正 昭６３．１．１８
考案の名称を次のように補正する。
考案の名称 表面電位分布検出装置
実用新案登録請求の範囲、図面の簡単な説明を
次のように補正する。
次のように補正する。
【実用新案登録請求の範囲】
レーザ光を発振するレーザ発振器と、
入射したレーザ光を常光線と異常光線の２つの
異なつた位相速度の光線に分ける為の電気光学結
晶素子と、 この電気光学結晶素子に電界を生じさせて屈折
率変化を生じさせる為に、この電気光学結晶素子
の上部に設けた透明電極と、 上記電気光学結晶素子を通過し、被測定物の表
面で反射し再び上記電気光学結晶素子を通過した
レーザ光を反射させ、方向を変えるビームスプリ
ツタと、 このビームスプリツタによつて反射されたレー
ザ光を、上記電気光学結晶素子に供給される前の
直線偏波とは略９０度異なる偏光方向に設定した
偏光板と、 この偏光板を通過したレーザ光を感知し、電気
信号として出力するフオトセンサとを備えたこと
を特徴とする表面電位分布検出装置。
異なつた位相速度の光線に分ける為の電気光学結
晶素子と、 この電気光学結晶素子に電界を生じさせて屈折
率変化を生じさせる為に、この電気光学結晶素子
の上部に設けた透明電極と、 上記電気光学結晶素子を通過し、被測定物の表
面で反射し再び上記電気光学結晶素子を通過した
レーザ光を反射させ、方向を変えるビームスプリ
ツタと、 このビームスプリツタによつて反射されたレー
ザ光を、上記電気光学結晶素子に供給される前の
直線偏波とは略９０度異なる偏光方向に設定した
偏光板と、 この偏光板を通過したレーザ光を感知し、電気
信号として出力するフオトセンサとを備えたこと
を特徴とする表面電位分布検出装置。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の表面電位分布検出装置の主
要部分の構成図、第２図は、被測定物電位とセン
サ出力の関係を表わす図、第３図は、本考案の使
用例を表わす図、第４図は、従来例の主要部分の
断面図である。 １…レーザ発振器、２…集束レンズ、３，９…
偏光板、４…ビームスプリツタ、５…透明電極、
６…電気光学結晶素子、７…被測定物、８…波長
板、１０…フオトセンサ、１１…検出部、１２…
検出用電極、１３…リード線、１４…検出回路、
ａ…対向部。
要部分の構成図、第２図は、被測定物電位とセン
サ出力の関係を表わす図、第３図は、本考案の使
用例を表わす図、第４図は、従来例の主要部分の
断面図である。 １…レーザ発振器、２…集束レンズ、３，９…
偏光板、４…ビームスプリツタ、５…透明電極、
６…電気光学結晶素子、７…被測定物、８…波長
板、１０…フオトセンサ、１１…検出部、１２…
検出用電極、１３…リード線、１４…検出回路、
ａ…対向部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 レーザ光を発振するレーザ発振器と、 このレーザ発振器より発振されたレーザ光を集
束するためのレンズと、 このレンズにより集束されたレーザ光を複屈折
により常光線と異常光線の２つの屈折光に分け、
直線偏波を楕円偏波にする電気光学結晶素子と、 この電気光学結晶素子が上記レーザ光を複屈折
させる様に電圧をかける為に、この電気光学結晶
素子の上部に設けた透明電極と、 上記電気光学結晶素子により複屈折し、楕円偏
波となつた上記レーザ光を反射させ、方向を変え
るハーフミラーと、 このハーフミラーによつて反射された上記楕円
偏波のレーザ光を、上記電気光学結晶素子に供給
される前の直線偏波とは振動方向が９０度異なる
直線偏波にするための偏光板と、 この直線偏波を感知し、電気信号として出力す
るフオトセンサとを備え、 微小面積の表面電位の検出を可能としたことを
特徴とする表面電位分布検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14330387U JPH0519816Y2 (ja) | 1987-09-19 | 1987-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14330387U JPH0519816Y2 (ja) | 1987-09-19 | 1987-09-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6448680U true JPS6448680U (ja) | 1989-03-27 |
| JPH0519816Y2 JPH0519816Y2 (ja) | 1993-05-25 |
Family
ID=31410003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14330387U Expired - Lifetime JPH0519816Y2 (ja) | 1987-09-19 | 1987-09-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0519816Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-09-19 JP JP14330387U patent/JPH0519816Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0519816Y2 (ja) | 1993-05-25 |
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