JPS6447559U - - Google Patents

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JPS6447559U
JPS6447559U JP14136687U JP14136687U JPS6447559U JP S6447559 U JPS6447559 U JP S6447559U JP 14136687 U JP14136687 U JP 14136687U JP 14136687 U JP14136687 U JP 14136687U JP S6447559 U JPS6447559 U JP S6447559U
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JP14136687U
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による三軸制御磁気軸受装置を
ターボ分子ポンプに応用した一実施例を示す断面
図、第２図は第１図における永久磁石１８，１８
′近辺の拡大図である。 １……ターボ分子ポンプ、２……ハウジング、
３……ステータ翼、５……ロータ（回転体）、６
……ロータ翼、８……固定筒、１０……ロータ軸
（回転体）、１２……モータ、１４……径方向電
磁気軸受、１５……軸方向電磁気軸受、１７……
アーマチヤーデイスク、１８，１８′……永久磁
石（永久磁気手段）、２１，２２……保護用ドラ
イベアリング、２４……リテーナ、２４ａ……周
部、２６……静止部材、２６ａ……内周小径部、
２６ｂ……中径段部、２８……Ｏリング（弾性手
段）、３０……バネ（摩擦力軽減手段）。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 回転体の回転軸回りの回転を除く５自由度
    に対し、前記回転体の一端部の径方向の２自由度
    を能動的に制御拘束する径方向電磁気軸受と、前
    記回転体の軸方向の１自由度を能動的に制御拘束
    する軸方向電磁気軸受と、残りの前記回転体の他
    端部の径方向の２自由度を受動的に拘束し互いに
    対向する少なくとも一対の永久磁石により構成さ
    れる永久磁気手段と、を備えた三軸制御磁気軸受
    装置において、前記一対の永久磁石の一方が前記
    回転体の他端部とともに径方向に変位するときに
    他方の永久磁石も追随して多少変位可能に静止部
    材側に設けられることを特徴とする三軸制御磁気
    軸受装置。 (2) 前記他方の永久磁石と静止部材との間に径
    方向に弾性手段を介装するとともに、前記両者の
    間に軸方向に摩擦力軽減手段を介装したことを特
    徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の三
    軸制御磁気軸受装置。
JP14136687U 1987-09-16 1987-09-16 Pending JPS6447559U (ja)

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JP14136687U JPS6447559U (ja) 1987-09-16 1987-09-16

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JP14136687U JPS6447559U (ja) 1987-09-16 1987-09-16

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JPS6447559U true JPS6447559U (ja) 1989-03-23

Family

ID=31406359

Family Applications (1)

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JP14136687U Pending JPS6447559U (ja) 1987-09-16 1987-09-16

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JP (1) JPS6447559U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997013985A1 (en) * 1995-10-11 1997-04-17 Seiko Seiki Kabushiki Kaisha Magnetic bearing device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997013985A1 (en) * 1995-10-11 1997-04-17 Seiko Seiki Kabushiki Kaisha Magnetic bearing device

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