JPS6435655U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6435655U JPS6435655U JP13080887U JP13080887U JPS6435655U JP S6435655 U JPS6435655 U JP S6435655U JP 13080887 U JP13080887 U JP 13080887U JP 13080887 U JP13080887 U JP 13080887U JP S6435655 U JPS6435655 U JP S6435655U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate valve
- high vacuum
- sample chamber
- pressure
- vacuum
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 description 1
Description
第１図は電子顕微鏡の試料室の排気系統を示す
図、第２図は表示ランプ点灯条件の一例を示す図
である。 １……試料室、２……イオンポンプ、３……仕
切弁、４，５……真空計、６……表示装置、７，
８，９……表示ランプ、１０……仕切弁、１１…
…真空ポンプ、１２……リーク弁。
図、第２図は表示ランプ点灯条件の一例を示す図
である。 １……試料室、２……イオンポンプ、３……仕
切弁、４，５……真空計、６……表示装置、７，
８，９……表示ランプ、１０……仕切弁、１１…
…真空ポンプ、１２……リーク弁。
Claims (1)
- 試料室と高真空ポンプとの間に設けられた仕切
弁と、試料室の圧力を検出する第１の真空計と、
高真空ポンプの圧力を検出する第２の真空計と、
第１、第２の真空計の出力及び仕切弁の開閉状態
を示す信号が、第１、第２、第３の条件を満たす
ことを条件に点灯する第１、第２、第３の表示ラ
ンプとを備えた高真空装置用仕切弁開閉指示装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13080887U JPS6435655U (ja) | 1987-08-27 | 1987-08-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13080887U JPS6435655U (ja) | 1987-08-27 | 1987-08-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6435655U true JPS6435655U (ja) | 1989-03-03 |
Family
ID=31386306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13080887U Pending JPS6435655U (ja) | 1987-08-27 | 1987-08-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6435655U (ja) |
-
1987
- 1987-08-27 JP JP13080887U patent/JPS6435655U/ja active Pending
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