JPS641848B2 - - Google Patents
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- JPS641848B2 JPS641848B2 JP58172339A JP17233983A JPS641848B2 JP S641848 B2 JPS641848 B2 JP S641848B2 JP 58172339 A JP58172339 A JP 58172339A JP 17233983 A JP17233983 A JP 17233983A JP S641848 B2 JPS641848 B2 JP S641848B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3906—Details related to the use of magnetic thin film layers or to their effects
- G11B5/3916—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide
- G11B5/3919—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide the guide being interposed in the flux path
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、磁気記録媒体から情報を読取る磁気
感知素子に係り、特にハンドスキヤナのセンサと
して磁気抵抗効果素子を使用する磁気読取器に関
する。
感知素子に係り、特にハンドスキヤナのセンサと
して磁気抵抗効果素子を使用する磁気読取器に関
する。
例えば磁気テープのような磁気媒体から磁束変
化を読取る磁気抵抗効果素子は周知である。1974
年11月に発行されたIBM Journal of research
and Developmentの第541頁乃至第546頁に掲載
されたC.H.Bajorek外による“Hand−Held
Magnetoresistive Transducer”という題名の論
文は、上述のような磁気抵抗効果素子の設計に関
するものである。この論文に記載されたトランス
ジユーサによれば、磁気抵抗効果素子は、この論
文の第1図に示されているように磁気転移と整列
したときに最大信号を発生し、ハンドヘルド・ス
キヤナの場合に生じるように整列からスキユー
(Skew)したときに小さな信号を発生する。磁
気抵抗効果素子は、分解能を改良し且つ磁束転移
からの磁界に有効に反応できるように磁気テープ
面に非常に接近して配置される。トランスジユー
サの寿命は、磁気抵抗効果素子とテープ接触摩耗
面との間の距離すなわち“飛行の高さ”の直接の
関数である。
化を読取る磁気抵抗効果素子は周知である。1974
年11月に発行されたIBM Journal of research
and Developmentの第541頁乃至第546頁に掲載
されたC.H.Bajorek外による“Hand−Held
Magnetoresistive Transducer”という題名の論
文は、上述のような磁気抵抗効果素子の設計に関
するものである。この論文に記載されたトランス
ジユーサによれば、磁気抵抗効果素子は、この論
文の第1図に示されているように磁気転移と整列
したときに最大信号を発生し、ハンドヘルド・ス
キヤナの場合に生じるように整列からスキユー
(Skew)したときに小さな信号を発生する。磁
気抵抗効果素子は、分解能を改良し且つ磁束転移
からの磁界に有効に反応できるように磁気テープ
面に非常に接近して配置される。トランスジユー
サの寿命は、磁気抵抗効果素子とテープ接触摩耗
面との間の距離すなわち“飛行の高さ”の直接の
関数である。
米国特許第3921217号は、磁気抵抗効果素子を
摩耗面からさらに遠くに配置できるようにする磁
束導通ヨークによつて磁気抵抗効果素子が取り囲
まれる磁気トランスジユーサを開示している。こ
の特許の場合、磁気抵抗効果素子は3脚ヨークの
透磁性中間脚の2つの部分の間のブリツジとして
配置される。中間脚の下部は、移動テープ面に隣
接している。この中間脚及び2つの外脚は、感知
された転移から磁気抵抗効果素子を介して隣接し
た転移へ磁束を結合するのに有効な通路を提供す
る。この有効な通路により、磁気抵抗効果素子は
テープ面からより遠くに配置することができる。
同時に、外脚は、感知された転移からの磁界を妨
害する磁界を発生する外の転移から磁気抵抗効果
素子を遮断する。従つて、磁気抵抗効果素子を移
動テープ面から遠くに配置することによつて磁気
抵抗効果素子の摩耗を最小にできるとともに、隣
接した転移への有効な通路を形成し且つ感知領域
の外側に生じる磁束変化から磁気抵抗効果素子を
遮断することにより分解能を改良できる。しか
し、センサ出力はスキユーすなわち方位変化に対
して非常に敏感である。
摩耗面からさらに遠くに配置できるようにする磁
束導通ヨークによつて磁気抵抗効果素子が取り囲
まれる磁気トランスジユーサを開示している。こ
の特許の場合、磁気抵抗効果素子は3脚ヨークの
透磁性中間脚の2つの部分の間のブリツジとして
配置される。中間脚の下部は、移動テープ面に隣
接している。この中間脚及び2つの外脚は、感知
された転移から磁気抵抗効果素子を介して隣接し
た転移へ磁束を結合するのに有効な通路を提供す
る。この有効な通路により、磁気抵抗効果素子は
テープ面からより遠くに配置することができる。
同時に、外脚は、感知された転移からの磁界を妨
害する磁界を発生する外の転移から磁気抵抗効果
素子を遮断する。従つて、磁気抵抗効果素子を移
動テープ面から遠くに配置することによつて磁気
抵抗効果素子の摩耗を最小にできるとともに、隣
接した転移への有効な通路を形成し且つ感知領域
の外側に生じる磁束変化から磁気抵抗効果素子を
遮断することにより分解能を改良できる。しか
し、センサ出力はスキユーすなわち方位変化に対
して非常に敏感である。
上記論文の装置及び上記特許の装置は、読取ら
れるべき磁束パターンに対する磁気抵抗効果素子
の角度不整列に非常に敏感である。
れるべき磁束パターンに対する磁気抵抗効果素子
の角度不整列に非常に敏感である。
本発明の目的は、磁束転移に対する磁気抵抗効
果素子の方位角に影響されない出力信号レベルを
提供するにある。
果素子の方位角に影響されない出力信号レベルを
提供するにある。
本発明によれば、広範囲の磁束転移密度にわた
つて感度を保持しつつ従来の欠点を解消すること
ができる。磁気抵抗効果素子と同一面又はこれに
かなり近接した面において磁気抵抗効果素子を十
分に取り囲むことによつて、磁束転移に対する磁
気抵抗効果素子の面の角度不整列に関係無く比較
的均一な信号応答を得ることができる。磁気抵抗
効果素子は磁束転移と整列しているときには、従
来と同様に、ヨーク無しで磁束転移に有効に結合
される。角度不整列による非結合を補償する為
に、透磁性ヨークは次の隣接した磁束転移に及
び、磁気抵抗効果素子が感知されるべき磁束転移
に対してスキユーしているときに磁気抵抗効果素
子の面へ磁束を案内する。このような構成をとれ
ば、磁気テープに垂直な軸に関して読取器が回転
しても、感知されるべきテープの転移と磁気抵抗
効果素子との間に適当な結合を保持できる。換言
すれば、上記ヨーク構成は、磁気抵抗効果素子そ
れ自体が磁束転移に対してスキユーしていても磁
気抵抗効果素子の面を通る有効な磁束結合を提供
できる。
つて感度を保持しつつ従来の欠点を解消すること
ができる。磁気抵抗効果素子と同一面又はこれに
かなり近接した面において磁気抵抗効果素子を十
分に取り囲むことによつて、磁束転移に対する磁
気抵抗効果素子の面の角度不整列に関係無く比較
的均一な信号応答を得ることができる。磁気抵抗
効果素子は磁束転移と整列しているときには、従
来と同様に、ヨーク無しで磁束転移に有効に結合
される。角度不整列による非結合を補償する為
に、透磁性ヨークは次の隣接した磁束転移に及
び、磁気抵抗効果素子が感知されるべき磁束転移
に対してスキユーしているときに磁気抵抗効果素
子の面へ磁束を案内する。このような構成をとれ
ば、磁気テープに垂直な軸に関して読取器が回転
しても、感知されるべきテープの転移と磁気抵抗
効果素子との間に適当な結合を保持できる。換言
すれば、上記ヨーク構成は、磁気抵抗効果素子そ
れ自体が磁束転移に対してスキユーしていても磁
気抵抗効果素子の面を通る有効な磁束結合を提供
できる。
本発明は、磁気媒体面に記録された2進磁束転
移を検出する改良された磁気読取器を提供する。
読取ヘツドは、転移を検出するときに媒体面に垂
直となるようにヘツド内に取り付けられる薄い実
質的に平坦な磁気抵抗効果素子を有する。比較的
厚いヨークは磁気抵抗効果素子と同一面内に配設
される。ヨークは、媒体面に隣接した少くとも1
つの極面を有するとともに、磁気抵抗効果素子の
面が磁束転移に対してスキユーしているときに該
素子の下に位置する磁束転移に隣接した磁束転移
に及ぶのに十分な幅を有する。ヨークの別の極面
は、媒体面から最も遠い磁気抵抗効果素子の縁に
隣接して配置される。導通手段は、磁気抵抗効果
素子の抵抗の変化を検出できるように該素子の2
つの別個の点に接続される。
移を検出する改良された磁気読取器を提供する。
読取ヘツドは、転移を検出するときに媒体面に垂
直となるようにヘツド内に取り付けられる薄い実
質的に平坦な磁気抵抗効果素子を有する。比較的
厚いヨークは磁気抵抗効果素子と同一面内に配設
される。ヨークは、媒体面に隣接した少くとも1
つの極面を有するとともに、磁気抵抗効果素子の
面が磁束転移に対してスキユーしているときに該
素子の下に位置する磁束転移に隣接した磁束転移
に及ぶのに十分な幅を有する。ヨークの別の極面
は、媒体面から最も遠い磁気抵抗効果素子の縁に
隣接して配置される。導通手段は、磁気抵抗効果
素子の抵抗の変化を検出できるように該素子の2
つの別個の点に接続される。
第1図及び第2図は上記論文に記載された従来
の磁気抵抗効果感知ヘツドの動作を概略的に示
す。このヘツドは磁気抵抗効果素子10を含む。
ヘツドは通常、磁気テープ11の面を横切つて手
でヘツドを引くことができるように読取器内の構
造体に取り付けられている。この構造体は、最良
の応答を得られるように、センサ・ヘツドの面を
デープ11の面に垂直に保持するジンバル取付体
を含む。転移12からの磁束と磁気抵抗効果素子
10との相互作用により磁気抵抗効果素子10の
電気抵抗は低下し、従つて例えば電圧センサ13
によつて検出可能な電圧降下が生じる。
の磁気抵抗効果感知ヘツドの動作を概略的に示
す。このヘツドは磁気抵抗効果素子10を含む。
ヘツドは通常、磁気テープ11の面を横切つて手
でヘツドを引くことができるように読取器内の構
造体に取り付けられている。この構造体は、最良
の応答を得られるように、センサ・ヘツドの面を
デープ11の面に垂直に保持するジンバル取付体
を含む。転移12からの磁束と磁気抵抗効果素子
10との相互作用により磁気抵抗効果素子10の
電気抵抗は低下し、従つて例えば電圧センサ13
によつて検出可能な電圧降下が生じる。
第1A図により良く示されているように、従来
は、磁気抵抗効果素子10と磁束転移との間に最
大の結合が生じるように磁気抵抗効果素子10は
磁気テープ11の磁束転移12に平行に配設され
る。第2図には、磁気抵抗効果素子10が磁束転
移12と整列する位置から回転すなわちスキユー
したときに、平坦な磁気抵抗効果素子10を通る
磁束がしだいに低下することが示されている。磁
気抵抗効果素子10に結合する磁束は小さいの
で、磁気テープ11上の磁束転移12に対する磁
気抵抗効果素子10の応答は低下し磁束変化に対
してより敏感となる。何故なら、磁気抵抗効果素
子10を飽和させるのに十分な磁束が存在しない
からである。
は、磁気抵抗効果素子10と磁束転移との間に最
大の結合が生じるように磁気抵抗効果素子10は
磁気テープ11の磁束転移12に平行に配設され
る。第2図には、磁気抵抗効果素子10が磁束転
移12と整列する位置から回転すなわちスキユー
したときに、平坦な磁気抵抗効果素子10を通る
磁束がしだいに低下することが示されている。磁
気抵抗効果素子10に結合する磁束は小さいの
で、磁気テープ11上の磁束転移12に対する磁
気抵抗効果素子10の応答は低下し磁束変化に対
してより敏感となる。何故なら、磁気抵抗効果素
子10を飽和させるのに十分な磁束が存在しない
からである。
本発明は、第3図に示されているように、磁気
抵抗効果素子14と実質的に同一な面に透磁性ヨ
ーク15を設けることにより従来の問題点を解決
する。
抵抗効果素子14と実質的に同一な面に透磁性ヨ
ーク15を設けることにより従来の問題点を解決
する。
ヨーク15は3つの脚16,17および18を
有する透磁率の高い物質から成る。ヨーク15
は、透磁率が高く、保磁力が低く、バルクハウゼ
ン雑音が低いものならどのような物質でもよい。
磁気抵抗効果素子14は中央脚17の2つの部分
の間に介挿される。
有する透磁率の高い物質から成る。ヨーク15
は、透磁率が高く、保磁力が低く、バルクハウゼ
ン雑音が低いものならどのような物質でもよい。
磁気抵抗効果素子14は中央脚17の2つの部分
の間に介挿される。
磁気転移は脚16,17及び18の面の下で生
じる。これらの面は隣接した転移に関連した極間
における磁気抵抗効果素子14を通る磁束伝送路
を提供する。磁気抵抗効果素子14を通る磁束が
最適なものとなるように磁気抵抗効果素子14は
ヨーク15の面と実質的に同一な面に配設されて
いる。磁束がヨーク15の脚を通つて磁気抵抗効
果素子14に到達し且つ磁束がヨーク15の1つ
の脚からこれに隣接した脚へ直接行かないように
ヨーク15の脚は十分に離隔されなければならな
い。
じる。これらの面は隣接した転移に関連した極間
における磁気抵抗効果素子14を通る磁束伝送路
を提供する。磁気抵抗効果素子14を通る磁束が
最適なものとなるように磁気抵抗効果素子14は
ヨーク15の面と実質的に同一な面に配設されて
いる。磁束がヨーク15の脚を通つて磁気抵抗効
果素子14に到達し且つ磁束がヨーク15の1つ
の脚からこれに隣接した脚へ直接行かないように
ヨーク15の脚は十分に離隔されなければならな
い。
第3図の配置構成において、外ヨーク脚16及
び18は、十分な磁束路を完成するために、すな
わち隣接した磁束転移19及び20並びに磁気抵
抗効果素子14の直下の転移21によつて示され
る磁極の間を結合するために、磁束転移19及び
20に及ぶほど延びている。かかる構成によれ
ば、感知装置が転移12と整列する位置から90度
ずれても、良好な信号を依然として得ることがで
きる。事実、感知信号レベルは、第4図に示され
ているように、ヘツド/転移スキユー方位角全体
にわたつて比較的一定にすることができる。第4
図は、本発明によれば、磁気抵抗効果素子14の
出力信号の相対的変化が方位角全体にわたつて実
質的に一定に維持されること、一方、従来装置に
よれば、方位角が増加するに従つて抵抗降下の相
対変化がかなり低下することを示している。
び18は、十分な磁束路を完成するために、すな
わち隣接した磁束転移19及び20並びに磁気抵
抗効果素子14の直下の転移21によつて示され
る磁極の間を結合するために、磁束転移19及び
20に及ぶほど延びている。かかる構成によれ
ば、感知装置が転移12と整列する位置から90度
ずれても、良好な信号を依然として得ることがで
きる。事実、感知信号レベルは、第4図に示され
ているように、ヘツド/転移スキユー方位角全体
にわたつて比較的一定にすることができる。第4
図は、本発明によれば、磁気抵抗効果素子14の
出力信号の相対的変化が方位角全体にわたつて実
質的に一定に維持されること、一方、従来装置に
よれば、方位角が増加するに従つて抵抗降下の相
対変化がかなり低下することを示している。
外脚16及び18は、スキユー角が90度から減
少するときにこれらの脚が転移19及び20の位
置にくるような幅にされる。
少するときにこれらの脚が転移19及び20の位
置にくるような幅にされる。
垂直磁界の関数として磁気抵抗効果素子の抵抗
の百分率変化ΔR/Rの形で示されたセンサ応答
が第5図に示されている。第5図のaは、平坦な
透磁性ヨークが設けられていない従来のセンサの
応答を示し、第5図のbは、透磁性ヨークが設け
られている本発明によるセンサの応答を示す。こ
れらの比較から容易にわかるように本発明による
センサは小さな磁界に対して非常に敏感である。
このように信号応答がより敏感になるので、磁気
抵抗効果素子は従来可能であつたよりもテープ面
からより遠い距離で同じ間隔の転移を感知でき、
またテープ面から同じ距離に配置された場合には
より近接した転移を感知できる。これは、すべて
の方向にわたつて上記ヨークによつて形成される
より有効な磁束路によるとともに、上記ヨークが
磁気抵抗効果素子を横切る消磁界を減少させるこ
とによる。
の百分率変化ΔR/Rの形で示されたセンサ応答
が第5図に示されている。第5図のaは、平坦な
透磁性ヨークが設けられていない従来のセンサの
応答を示し、第5図のbは、透磁性ヨークが設け
られている本発明によるセンサの応答を示す。こ
れらの比較から容易にわかるように本発明による
センサは小さな磁界に対して非常に敏感である。
このように信号応答がより敏感になるので、磁気
抵抗効果素子は従来可能であつたよりもテープ面
からより遠い距離で同じ間隔の転移を感知でき、
またテープ面から同じ距離に配置された場合には
より近接した転移を感知できる。これは、すべて
の方向にわたつて上記ヨークによつて形成される
より有効な磁束路によるとともに、上記ヨークが
磁気抵抗効果素子を横切る消磁界を減少させるこ
とによる。
第6図は本発明によるセンサの具体的構成例を
示す。第6図のセンサは、テープ係合面22及び
磁気抵抗効果素子14を含む。ヨーク部16及び
18は分割部23,24,25及び26によつて
形成されている。ヨーク部17は分割部27及び
28並びに分割部24及び26の一部によつて形
成されている。出力信号は、読取装置の層31の
金導電部(接点)29及び30を通る導電路によ
つて磁気抵抗効果素子14に接続された出力線で
検出される。ヨーク部23及び25は、脚が単一
構造体とされた場合に生じる腐食の移動又は汚染
を減少させ、且つ導電部29及び30を金属31
の残りの部分から絶縁するために、隣接ヨーク部
24及び26からギヤツプ32によつて分離され
ている。ギヤツプ33は、ヨークが導電部29及
び30を横切る信号の短絡回路となるのを防止す
る。ヨーク部17の分割部27及び28は、腐食
の移動及び汚染を回避するために分離されてい
る。
示す。第6図のセンサは、テープ係合面22及び
磁気抵抗効果素子14を含む。ヨーク部16及び
18は分割部23,24,25及び26によつて
形成されている。ヨーク部17は分割部27及び
28並びに分割部24及び26の一部によつて形
成されている。出力信号は、読取装置の層31の
金導電部(接点)29及び30を通る導電路によ
つて磁気抵抗効果素子14に接続された出力線で
検出される。ヨーク部23及び25は、脚が単一
構造体とされた場合に生じる腐食の移動又は汚染
を減少させ、且つ導電部29及び30を金属31
の残りの部分から絶縁するために、隣接ヨーク部
24及び26からギヤツプ32によつて分離され
ている。ギヤツプ33は、ヨークが導電部29及
び30を横切る信号の短絡回路となるのを防止す
る。ヨーク部17の分割部27及び28は、腐食
の移動及び汚染を回避するために分離されてい
る。
磁気抵抗効果素子14及び透磁性ヨークはとも
に平坦な構造体中に配設できるので、製造が比較
的容易である。本発明の好ましい実施例の製造に
際しては、NiFe合金の第1層がサフイア基板2
2に蒸着される。NiFe層は約3000オングストロ
ームの厚さを有する。NiFeの好ましい形態は約
19%のFeと約81%のNiからなる合金である。こ
の物質は、0に近い磁歪フアクタ、低い保磁力及
び低いバルクハウゼン雑音を有する。この層のう
ち磁気抵抗効果素子14より広い領域がエツチン
グされる。然る後に基板22の面上に第2の
NiFe層が蒸着される。この第2の層は約300オン
グストロームの厚さを有する。この第2の層の厚
さによつて磁気抵抗効果素子14の厚さが決ま
る。この第2の層の厚さは、ヨークが飽和する前
に磁気抵抗効果素子14が飽和するような値とさ
れる。従つて、磁気抵抗効果素子14とヨークが
同じ物資から成る場合には、ヨークは素子14の
厚さよりかなり厚くなければならない。次に、磁
気抵抗効果素子14とヨーク部24,26及び2
8とを自己整合で形成するために、単一のマスク
を使用して両層に対してスパツタ・エツチングす
ることにより磁気抵抗効果素子14とヨーク部の
最終パターンが形成される。分割部23乃至28
は、NiFeの両層の厚さを組合せた厚さを有する。
磁気抵抗効果素子14は第2層のみの厚さを有す
る。金層31は、NiFeを保護し且つ磁気抵抗効
果素子14の両端への電気的接続手段を与えるた
めに適当なマスクを介して電気メツキされる。導
電部29及び30並びに金層31はすべて単一動
作で付着されるが、ヨーク部24及び26と磁気
抵抗効果素子14との間に厚さの差異があるた
め、導電部29及び30が金層31に接続される
領域において金層31は傾斜している。
に平坦な構造体中に配設できるので、製造が比較
的容易である。本発明の好ましい実施例の製造に
際しては、NiFe合金の第1層がサフイア基板2
2に蒸着される。NiFe層は約3000オングストロ
ームの厚さを有する。NiFeの好ましい形態は約
19%のFeと約81%のNiからなる合金である。こ
の物質は、0に近い磁歪フアクタ、低い保磁力及
び低いバルクハウゼン雑音を有する。この層のう
ち磁気抵抗効果素子14より広い領域がエツチン
グされる。然る後に基板22の面上に第2の
NiFe層が蒸着される。この第2の層は約300オン
グストロームの厚さを有する。この第2の層の厚
さによつて磁気抵抗効果素子14の厚さが決ま
る。この第2の層の厚さは、ヨークが飽和する前
に磁気抵抗効果素子14が飽和するような値とさ
れる。従つて、磁気抵抗効果素子14とヨークが
同じ物資から成る場合には、ヨークは素子14の
厚さよりかなり厚くなければならない。次に、磁
気抵抗効果素子14とヨーク部24,26及び2
8とを自己整合で形成するために、単一のマスク
を使用して両層に対してスパツタ・エツチングす
ることにより磁気抵抗効果素子14とヨーク部の
最終パターンが形成される。分割部23乃至28
は、NiFeの両層の厚さを組合せた厚さを有する。
磁気抵抗効果素子14は第2層のみの厚さを有す
る。金層31は、NiFeを保護し且つ磁気抵抗効
果素子14の両端への電気的接続手段を与えるた
めに適当なマスクを介して電気メツキされる。導
電部29及び30並びに金層31はすべて単一動
作で付着されるが、ヨーク部24及び26と磁気
抵抗効果素子14との間に厚さの差異があるた
め、導電部29及び30が金層31に接続される
領域において金層31は傾斜している。
第1図は典型的な記録テープの磁束転移と整列
しているときの従来の磁気抵抗効果感知装置を示
す概略図、第1A図は第1図の一部を拡大して示
す部分拡大図、第2図は磁束転移に対してスキユ
ーしたときすなわち不整列なときの従来の磁気抵
抗効果感知装置を示す概略図、第3図は磁束転移
に対して最大90度不整列の状態にある本発明によ
る磁気抵抗効果感知装置の一実施例を示す斜視
図、第4図は不整列すなわちスキユー角を変化さ
せたときの本発明の磁気抵抗効果感知装置の一例
の応答特性の変化を従来のそれと比較して示す応
答特性図、第5図は本発明による磁気抵抗効果感
知装置の一例の応答と従来のそれとを比較して示
す応答図、第6図は本発明による磁気抵抗効果感
知装置の具体的構成例を示す斜視図である。 11……磁気テープ、12,19,20……磁
束転移、14……磁気抵抗効果素子、15……透
磁性ヨーク、16,17,18……脚、29,3
0……導電部。
しているときの従来の磁気抵抗効果感知装置を示
す概略図、第1A図は第1図の一部を拡大して示
す部分拡大図、第2図は磁束転移に対してスキユ
ーしたときすなわち不整列なときの従来の磁気抵
抗効果感知装置を示す概略図、第3図は磁束転移
に対して最大90度不整列の状態にある本発明によ
る磁気抵抗効果感知装置の一実施例を示す斜視
図、第4図は不整列すなわちスキユー角を変化さ
せたときの本発明の磁気抵抗効果感知装置の一例
の応答特性の変化を従来のそれと比較して示す応
答特性図、第5図は本発明による磁気抵抗効果感
知装置の一例の応答と従来のそれとを比較して示
す応答図、第6図は本発明による磁気抵抗効果感
知装置の具体的構成例を示す斜視図である。 11……磁気テープ、12,19,20……磁
束転移、14……磁気抵抗効果素子、15……透
磁性ヨーク、16,17,18……脚、29,3
0……導電部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 磁気媒体の表面に記録された磁束転移を検出
するための磁気読取ヘツドであつて、 前記磁束転移を検出するときに前記表面に垂直
となるように当該ヘツドに取り付けられた平坦な
磁気抵抗効果素子と、 前記磁気抵抗効果素子の離隔した2つの点に接
続される導電体と、 前記磁気抵抗効果素子の面が前記表面の磁束転
移に対してスキユーしているときに前記磁気抵抗
効果素子の下の磁束転移に隣接した少くとも1つ
の磁束転移へ及ぶ寸法を有し且つ前記表面に面す
る第1の極面、及び前記表面から最も離れた前記
磁気抵抗効果素子の縁部に面する第2の極面を提
供する少くとも1つの脚部を含み、前記磁気抵抗
効果素子と実質的に同一の面になるように配設さ
れる透磁性ヨークと、 を具備し、 前記磁気抵抗効果素子の面が前記磁束転移に対
してスキユーしていたときは前記脚部の前記第1
及び第2の極面を介して磁束を前記磁気抵抗効果
素子に結合するようにしたことを特徴とする磁気
読取ヘツド。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/454,916 US4566050A (en) | 1982-12-30 | 1982-12-30 | Skew insensitive magnetic read head |
US454916 | 1995-05-31 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59127219A JPS59127219A (ja) | 1984-07-23 |
JPS641848B2 true JPS641848B2 (ja) | 1989-01-12 |
Family
ID=23806600
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58172339A Granted JPS59127219A (ja) | 1982-12-30 | 1983-09-20 | 磁気読取ヘツド |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4566050A (ja) |
EP (1) | EP0114997B1 (ja) |
JP (1) | JPS59127219A (ja) |
DE (1) | DE3370392D1 (ja) |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6089804A (ja) * | 1983-10-24 | 1985-05-20 | Olympus Optical Co Ltd | 垂直磁気ヘツド |
JPS60251682A (ja) * | 1984-05-29 | 1985-12-12 | Hitachi Ltd | 磁気抵抗効果型素子 |
US4668913A (en) * | 1985-03-14 | 1987-05-26 | International Business Machines Corporation | Constant flux magneto resistive magnetic reluctance sensing apparatus |
US4935832A (en) * | 1987-04-01 | 1990-06-19 | Digital Equipment Corporation | Recording heads with side shields |
US5081554A (en) * | 1987-04-01 | 1992-01-14 | Digital Equipment Corporation | Biasing conductor for MR head |
US5159511A (en) * | 1987-04-01 | 1992-10-27 | Digital Equipment Corporation | Biasing conductor for MR head |
JPH0216475A (ja) * | 1988-07-04 | 1990-01-19 | Sharp Corp | 超電導磁気測定装置 |
US5085935A (en) * | 1988-08-03 | 1992-02-04 | Digital Equipment Corporation | Flux spreading thin film magnetic devices |
US5089334A (en) * | 1988-08-03 | 1992-02-18 | Digital Equipment Corporation | Flux spreading thin film magnetic devices |
CA1334447C (en) * | 1988-08-03 | 1995-02-14 | Digital Equipment Corporation | Perpendicular anisotropy in thin film devices |
JP2728487B2 (ja) * | 1989-02-08 | 1998-03-18 | 株式会社日立製作所 | 録再分離複合型磁気ヘッド |
US5184267A (en) * | 1989-06-02 | 1993-02-02 | Digital Equipment Corporation | Transducer with improved inductive coupling |
US5195005A (en) * | 1989-06-02 | 1993-03-16 | Digital Equipment Corporation | Tranducer with improved inductive coupling |
US5311386A (en) * | 1989-06-02 | 1994-05-10 | Digital Equipment Corporation | Transducer with improved inductive coupling |
US5428893A (en) * | 1989-06-02 | 1995-07-04 | Quantum Corporation | Method of making a transducer with improved inductive coupling |
US5097372A (en) * | 1989-08-04 | 1992-03-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Thin film magnetic head with wide recording area and narrow reproducing area |
JP2563597B2 (ja) * | 1989-08-04 | 1996-12-11 | 松下電器産業株式会社 | 複合型薄膜磁気ヘッド |
NL9001629A (nl) * | 1990-07-18 | 1992-02-17 | Philips Nv | Dunnefilm magneetkop. |
US5065094A (en) * | 1990-08-07 | 1991-11-12 | Seagate Technology, Inc. | Two terminal magnetoresistive sensor having DC blocking capacitor |
US5164869A (en) * | 1991-02-27 | 1992-11-17 | International Business Machines Corporation | Magnetic recording head with integrated magnetoresistive element and open yoke |
US5331496A (en) * | 1992-02-14 | 1994-07-19 | Digital Equipment Corporation | Thin-film magnetic transducer with a multitude of magnetic flux interactions |
US5452151A (en) * | 1992-05-29 | 1995-09-19 | J. Money & Associates, Inc. | Data access module |
JP2788403B2 (ja) * | 1993-03-18 | 1998-08-20 | 富士通株式会社 | 磁気抵抗効果ヘッド |
US5995339A (en) * | 1993-03-18 | 1999-11-30 | Fujitsu Limited | Magnetoresistive head with a front flux guide and an embedded MR element |
US5546256A (en) * | 1994-10-21 | 1996-08-13 | Seagate Technology, Inc. | Inductive transducer with closed-loop pole circumscribing I-shaped pole to reduce leakage flux |
US8390283B2 (en) * | 2009-09-25 | 2013-03-05 | Everspin Technologies, Inc. | Three axis magnetic field sensor |
US8518734B2 (en) | 2010-03-31 | 2013-08-27 | Everspin Technologies, Inc. | Process integration of a single chip three axis magnetic field sensor |
US9134386B2 (en) * | 2011-06-28 | 2015-09-15 | Oracle International Corporation | Giant magnetoresistive sensor having horizontal stabilizer |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2165206A5 (ja) * | 1971-12-22 | 1973-08-03 | Cii | |
US3921217A (en) * | 1971-12-27 | 1975-11-18 | Ibm | Three-legged magnetic recording head using a magnetorestive element |
US3881190A (en) * | 1973-09-20 | 1975-04-29 | Ibm | Shielded magnetoresistive magnetic transducer and method of manufacture thereof |
US3921218A (en) * | 1973-12-26 | 1975-11-18 | Honeywell Inf Systems | Thin film magnetoresistive transducers with rotated magnetic easy axis |
US3975772A (en) * | 1975-06-02 | 1976-08-17 | International Business Machines Corporation | Double shielded magnetorestive sensing element |
NL7508533A (nl) * | 1975-07-17 | 1977-01-19 | Philips Nv | Dunne film magneetkop voor het lezen en schrijven van informatie. |
JPS5255513A (en) * | 1975-10-30 | 1977-05-07 | Fujitsu Ltd | Magnetic head |
US4296377A (en) * | 1978-03-27 | 1981-10-20 | Sony Corporation | Magnetic signal field sensor that is substantially immune to angular displacement relative to the signal field |
JPS54157610A (en) * | 1978-05-26 | 1979-12-12 | Sony Corp | Magnetic head |
JPS57172525A (en) * | 1981-04-15 | 1982-10-23 | Canon Inc | Magnetic head for reproduction |
DE3229774C2 (de) * | 1981-08-10 | 1987-05-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma, Osaka | Magnetoresistives Bauelement |
EP0081240B1 (en) * | 1981-12-09 | 1989-06-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Thin film magnetic head |
-
1982
- 1982-12-30 US US06/454,916 patent/US4566050A/en not_active Expired - Fee Related
-
1983
- 1983-09-20 JP JP58172339A patent/JPS59127219A/ja active Granted
- 1983-12-15 DE DE8383112633T patent/DE3370392D1/de not_active Expired
- 1983-12-15 EP EP83112633A patent/EP0114997B1/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS59127219A (ja) | 1984-07-23 |
US4566050A (en) | 1986-01-21 |
EP0114997A1 (en) | 1984-08-08 |
EP0114997B1 (en) | 1987-03-18 |
DE3370392D1 (en) | 1987-04-23 |
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