JPS6412039B2 - - Google Patents

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JPS6412039B2
JPS6412039B2 JP10769481A JP10769481A JPS6412039B2 JP S6412039 B2 JPS6412039 B2 JP S6412039B2 JP 10769481 A JP10769481 A JP 10769481A JP 10769481 A JP10769481 A JP 10769481A JP S6412039 B2 JPS6412039 B2 JP S6412039B2
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JP
Japan
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memory cell
transistor
generation circuit
potential generation
transistors
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JP10769481A
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JPS589287A (en
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Hiroshi Iwahashi
Masamichi Asano
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Toshiba Corp
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Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication of JPS6412039B2 publication Critical patent/JPS6412039B2/ja
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    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/34Determination of programming status, e.g. threshold voltage, overprogramming or underprogramming, retention
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/06Sense amplifiers; Associated circuits, e.g. timing or triggering circuits
    • GPHYSICS
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    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
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  • Read Only Memory (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)
  • Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、信頼性を向上できる不揮発性半導
体メモリに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a nonvolatile semiconductor memory that can improve reliability.

一般に、不揮発性半導体メモリにおいて、浮遊
ゲート構成をしたMOS型電界効果トランジスタ
(MOS FET)をメモリセルとするものは、何回
も記憶内容の書き換えが出来るため、マイクロコ
ンピユータ等の普及にともなつて広く用いられる
ようになつた。この浮遊ゲート構造をしたMOS
FETは、周知の様に、半導体基板に形成された
拡散部と浮遊ゲート,制御ゲートから成る。そし
て、浮遊ゲートに電子が注入されている状態で
は、制御ゲートに所定の電位(例えば5V)を与
えても導通せず、浮遊ゲートが中性状態にある時
は導通する。したがつて、トランジスタの導通状
態により「0」および「1」の情報を記憶でき
る。
In general, non-volatile semiconductor memories whose memory cells are MOS field effect transistors (MOS FETs) with a floating gate configuration can have their memory contents rewritten many times, so they have become more popular with the spread of microcomputers, etc. It has become widely used. MOS with this floating gate structure
As is well known, an FET consists of a diffusion region formed in a semiconductor substrate, a floating gate, and a control gate. When electrons are injected into the floating gate, the control gate does not conduct even if a predetermined potential (for example, 5V) is applied to it, but when the floating gate is in a neutral state, it conducts. Therefore, information of "0" and "1" can be stored depending on the conduction state of the transistor.

ところで、浮遊ゲートに電子を注入する際に
は、制御ゲート及びドレインに高電圧(20V〜
25V)を印加し、ドレイン近くのチヤネル領域の
ピンチオフ領域で生ずるインパクト電離により発
生した電子・正孔対のうち、電子を浮遊ゲートに
注入している。このようなピンチオフ領域は、
MOSトランジスタが五極管動作をする時に生じ
ることは良く知られている。もし、トランジスタ
が五極管動作するような状態でこのメモリセルを
用いると、読み出し状態、すなわち、ドレイン,
制御ゲート間に高電圧が印加されない状態であつ
てもピンチオフ領域が存在するため、インパクト
電離が生じてしまう。この場合、電圧が低い
(5V)ためチヤネル電流が少なく、発生する電
子・正孔対もわずかで、確率的に非常に少ない
が、わずかずつ電子が浮遊ゲートに注入される。
したがつて、長時間使用するうちに浮遊ゲートに
電子が蓄積され、記憶内容が変化してしまう危険
がある。このため、メモリセルのドレイン電圧は
ゲート電圧より低く設定され、トランジスタに三
極管動作を行なわせて、前記ピンチオフ領域を作
らない状態で使用されている。
By the way, when injecting electrons into the floating gate, a high voltage (20V~20V) is applied to the control gate and drain.
25V) is applied, and among the electron-hole pairs generated by impact ionization that occurs in the pinch-off region of the channel region near the drain, electrons are injected into the floating gate. Such a pinch-off region is
It is well known that this occurs when a MOS transistor performs pentode operation. If this memory cell is used in a state where the transistor operates as a pentode, it will be in the read state, that is, the drain,
Even when no high voltage is applied between the control gates, the pinch-off region exists, resulting in impact ionization. In this case, since the voltage is low (5V), the channel current is small, and only a few electron-hole pairs are generated, and although the probability is extremely small, electrons are injected into the floating gate little by little.
Therefore, after long-term use, there is a risk that electrons will accumulate in the floating gate and the stored contents will change. For this reason, the drain voltage of the memory cell is set lower than the gate voltage, and the transistor is used in a state where it performs triode operation without creating the pinch-off region.

第1図は、このような不揮発性半導体メモリの
回路図である。すなわち、特定される一方向に設
定される複数の行線R1〜Rn、およびこの行線に
直光するように設定した、複数の列線S1〜Soで設
定される各交差位置に対応して、メモリセルM11
〜Mnoが配置される。そして、行線は行デコーダ
の制御信号により、メモリセルをスイツチング制
御し、列線は列デコーダの出力により、列ゲート
トランジスタT1〜Toをスイツチング制御して、
メモリセル中の情報を読み出し、あるいはメモリ
セルに書き込んでいる。さらに、上記メモリセル
のドレインに電源を供給するために、トランジス
タTr1〜Tr4で構成される電源供給回路が設けら
れる。この回路は、メモリセルのドレイン電圧を
低く設定するためのもので、トランジスタTr3
Tr4により所定の電位とし、トランジスタTr1
Tr2のゲート電圧を低く設定して導通させ、メモ
リセルのドレインに電源を供給している。また、
トランジスタTr2と、後述する差動型センスアン
11を構成するトランジスタTr11との間に、
負荷素子として働くデイプレツシヨン型トランジ
スタTr5を配置し、電源Vcを供給して、トランジ
スタTr11のゲートに供給される列線電位(メモ
リセルM11〜Mnoから読み出された信号)の振幅
を大きくしている。上記差動型センスアンプ11
は、トランジスタTr6〜Tr14によつて構成され、
トランジスタTr11およびTr13のゲート側入力電
位VA,VBの電位差を検出し、この検出値により、
次段の出力バツフア回路へ信号Aを供給するよう
にして成る。差動型センスアンプ11の他方の入
力端には、比較電位発生回路12が設けられる。
この比較電位発生回路12は、トランジスタ
Tr1′〜Tr5′、およびトランジスタT1′、メモリセ
ルと同じ構造をしたトランジスタM′によつて構
成されるもので、メモリセルのしきい値電圧の変
化に対応して、差動型センスアンプの入力電位
VBを制御し、メモリセルのしきい値電圧の変化
による「0」と「1」の読み出し速度の変化を防
止するものである。上記比較電位発生回路12
トランジスタM′を導通制御する制御電位発生回
13は、電源VCと接地点VSとの間に直列接続
され、ゲートが電源VCおよび接地点VSに接続さ
れた、デイプレツシヨン型トランジスタTr15
Tr16によつて構成される。
FIG. 1 is a circuit diagram of such a nonvolatile semiconductor memory. That is, each intersection position is set by a plurality of row lines R 1 to R n that are set in one specified direction, and a plurality of column lines S 1 to S o that are set to directly illuminate the row lines. Corresponding to memory cell M 11
~M no is placed. Then, the row line controls switching of the memory cells by the control signal of the row decoder, and the column line controls the switching of the column gate transistors T 1 to T o by the output of the column decoder.
Information in the memory cell is read or written to the memory cell. Furthermore, a power supply circuit composed of transistors Tr 1 to Tr 4 is provided to supply power to the drains of the memory cells. This circuit is to set the drain voltage of the memory cell low, and the transistors Tr 3 ,
A predetermined potential is set by Tr 4 , and transistors Tr 1 ,
The gate voltage of Tr 2 is set low to make it conductive and supply power to the drain of the memory cell. Also,
Between the transistor Tr 2 and the transistor Tr 11 that constitutes a differential sense amplifier 11 to be described later,
The amplitude of the column line potential (signal read from memory cells M11 to Mno ) supplied to the gate of transistor Tr11 is determined by arranging a depletion type transistor Tr5 that acts as a load element and supplying power supply Vc . is increasing. The above differential sense amplifier 11
is composed of transistors Tr 6 to Tr 14 ,
The potential difference between the gate side input potentials V A and V B of transistors Tr 11 and Tr 13 is detected, and based on this detected value,
The signal A is supplied to the output buffer circuit at the next stage. A comparison potential generation circuit 12 is provided at the other input end of the differential sense amplifier 11 .
This comparison potential generation circuit 12 includes a transistor
It is composed of transistors Tr 1 ′ to Tr 5 ′, transistor T 1 ′, and transistor M′, which has the same structure as the memory cell. Sense amplifier input potential
This is to control VB and prevent changes in the reading speed of "0" and "1" due to changes in the threshold voltage of the memory cell. The control potential generation circuit 13 that controls conduction of the transistor M' of the comparison potential generation circuit 12 is connected in series between the power supply V C and the ground point V S , and has a gate connected to the power supply V C and the ground point V S. In addition, depletion type transistor Tr 15 ,
Composed by Tr 16 .

ところで、メモリセルから供給される列線電位
VAは、トランジスタM11〜Mno、すなわち、メモ
リセルの記憶内容により二種類の電圧値を持つて
いる。そして、記憶内容が「0」の時、メモリセ
ルのゲートに電圧が印加されてもメモリセルはオ
ンせず、記憶内容が「1」の時は、選択されたメ
モリセルがオン状態となる。この選択されたメモ
リセルの列線電位は、徐々に下がり始め、第2図
のイで示す区間の様になる。この時の列線電位
が、比較電位より高いか低いかによつて、「0」
あるいは「1」の状態が設定される。したがつ
て、第2図の実線14、および破線15で示すよ
うに、メモリセルのしきい値電圧Vthが変動する
と、出力特性が変化してしまう。すなわち、例え
ばメモリセルのしきい値電圧Vthが高くなると、
メモリセル電流が減少するため、列線の放電時間
が遅くなる(第2図の実線14)。これに対し、
列線の充電は速くなり、「1」および「0」の読
み出し速度にアンバランスが生ずる。このため、
メモリセルと同等のトランジスタM′を用いて、
メモリセルのしきい値電圧Vthの変化に対応して
比較電位を変えることにより補正している(第2
図の実線14′、および破線15′)。第2図の実
線14に対応して14′がその比較電位である。
メモリセルのしきい値電圧が変わつたため、列線
の充放電時間が変化した第2図の破線15に対応
した比較電位が、第2図の破線15′である。列
線電位と比較電位は、メモリセルのしきい値電圧
がかわつても、充電,放電とも、第2図の一点鎖
線で示した様に、同じ所(同じ時間)で交わる。
すなわち、メモリセルのしきい値電圧が変わり、
これにより列線の充放電時間に変化が生じても、
比較電位がそれに対応して変わるため、「0」お
よび「1」の読み出し速度に変化はない。
By the way, the column line potential supplied from the memory cell
V A has two types of voltage values depending on the storage contents of the transistors M 11 to M no , that is, the memory cells. When the stored content is "0", the memory cell is not turned on even if a voltage is applied to the gate of the memory cell, and when the stored content is "1", the selected memory cell is turned on. The column line potential of the selected memory cell gradually begins to fall, becoming like the section indicated by A in FIG. "0" depending on whether the column line potential at this time is higher or lower than the comparison potential.
Alternatively, a state of "1" is set. Therefore, as shown by the solid line 14 and broken line 15 in FIG. 2, if the threshold voltage V th of the memory cell changes, the output characteristics change. That is, for example, when the threshold voltage V th of a memory cell increases,
As the memory cell current decreases, the column line discharge time slows down (solid line 14 in FIG. 2). On the other hand,
The column lines charge faster, creating an imbalance in the read speeds of "1" and "0". For this reason,
Using a transistor M′ equivalent to a memory cell,
Correction is made by changing the comparison potential in response to changes in the threshold voltage V th of the memory cell (second
solid line 14' and dashed line 15'). Corresponding to the solid line 14 in FIG. 2, 14' is the comparison potential.
The comparison potential corresponding to the broken line 15 in FIG. 2 in which the charging/discharging time of the column line has changed due to the change in the threshold voltage of the memory cell is the broken line 15' in FIG. Even if the threshold voltage of the memory cell changes, the column line potential and the comparison potential intersect at the same place (at the same time) in both charging and discharging, as shown by the dashed line in FIG.
In other words, the threshold voltage of the memory cell changes,
As a result, even if the column line charging/discharging time changes,
There is no change in the reading speed of "0" and "1" since the comparison potential changes accordingly.

ところで、第1図に示す回路では、メモリセル
と同等のトランジスタM′のゲート電位、すなわ
ち、制御電位発生回路13の出力VRは、電源VC
より低い値になつている。また、正規のメモリセ
ルのゲート電位、すなわち行線電位は、選択され
た時には電源VCと同レベルになる。したがつて、
このメモリセルと同等のトランジスタM′は、正
規のメモリセルよりも五極管に近い動作をしてい
る。また、製造工程からくるしきい値電圧のばら
つき、トランジスタの寸法のばらつき等によつて
は、トランジスタM′は五極管動作になりうる危
険性がある。さらに、正規のメモリセルは、選
択,非選択あるいはパワーダウン等の状態があ
り、常時ドレイン,ゲートに電圧が印加されてい
るわけではないが、トランジスタM′には常時電
圧がかかつている。このため、正規のメモリセル
に比べて大きなストレスがかかる。このような理
由から、比較電位発生のためにメモリセルと同等
のトランジスタを使用することは、信頼性の上か
ら好ましくない。
By the way, in the circuit shown in FIG. 1, the gate potential of the transistor M' equivalent to the memory cell, that is, the output V R of the control potential generation circuit 13 , is equal to the power supply V C
It has become a lower value. Further, the gate potential of a regular memory cell, that is, the row line potential, becomes the same level as the power supply V C when selected. Therefore,
A transistor M' equivalent to this memory cell operates more like a pentode than a regular memory cell. Furthermore, due to variations in threshold voltage caused by the manufacturing process, variations in transistor dimensions, etc., there is a risk that transistor M' may operate as a pentode. Furthermore, a regular memory cell has a state of selection, non-selection, or power down, and a voltage is not always applied to the drain and gate, but a voltage is always applied to the transistor M'. Therefore, it is subjected to greater stress than regular memory cells. For these reasons, it is not preferable from the viewpoint of reliability to use a transistor equivalent to a memory cell for generating a comparison potential.

この発明は、上記のような事情を鑑みてなされ
たもので、その目的とするところは、比較電位発
生のために設けられるメモリセルと同等のトラン
ジスタのストレスを低減することにより、信頼性
の高い不揮発性半導体メモリを提供することであ
る。
This invention was made in view of the above-mentioned circumstances, and its purpose is to reduce stress on transistors equivalent to memory cells provided for generating comparison potentials, thereby increasing reliability. An object of the present invention is to provide a non-volatile semiconductor memory.

以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説
明する。
Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第3図はその構成を示す。最近のメモリにおい
ては、非動作状態にある時、その消費電流を低減
するためにパワーダウンモードとされるものがあ
るが、この発明においては、このパワーダウンモ
ード時にメモリセルと同等のトランジスタM′に
も電圧が印加されないようにしたものである。す
なわち、上述した比較電位発生回路12および制
御電位発生回路13の電源VC側にトランジスタ
Tr17〜Tr20を付加したもので、これらのトラン
ジスタのゲートにはパワーダウン信号を供給
する。また、トランジスタT1′のゲートにも電源
VCに換えて上記パワーダウン信号を印加す
る。このパワーダウン信号は、パワーダウン
時には「0」としてトランジスタTr17〜Tr20
オフ状態とし、通常動作時には「1」としてオン
状態とする。
FIG. 3 shows its configuration. Some recent memories are put into a power-down mode in order to reduce current consumption when they are in a non-operating state, but in this invention, in this power-down mode, a transistor M' equivalent to a memory cell is used. This prevents voltage from being applied to both. That is, a transistor is connected to the power supply V C side of the comparison potential generation circuit 12 and control potential generation circuit 13 described above.
Tr 17 to Tr 20 are added, and a power down signal is supplied to the gates of these transistors. Also, the gate of transistor T 1 ′ is also connected to the power supply.
The above power down signal is applied instead of V C. This power down signal is set to "0" to turn off the transistors Tr 17 to Tr 20 during power down, and is set to "1" to turn on the transistors during normal operation.

このような構成によれば、パワーダウン時にト
ランジスタM′への電流供給を阻止してストレス
がかからないようにできるばかりでなく、比較電
位発生回路12および制御電位発生回路13の消
費電流もほぼ零にできる。
According to such a configuration, not only can the current supply to the transistor M' be prevented from being stressed during power down, but also the current consumption of the comparison potential generation circuit 12 and the control potential generation circuit 13 can be reduced to almost zero. can.

なお、第3図の回路において、トランジスタ
Tr17〜Tr20は全て設ける必要はなく、例えばト
ランジスタT1′のゲートにパワーダウン信号を供
給するだけでも良い。また、トランジスタTr18
だけを設けてパワーダウン時に電流供給を阻止し
てもトランジスタM′のストレスを減少できる。
あるいは、トランジスタTr17〜Tr20のいずれか
1つを設けても良い。
Note that in the circuit shown in Figure 3, the transistor
It is not necessary to provide all of Tr 17 to Tr 20 ; for example, it is sufficient to simply supply a power down signal to the gate of transistor T 1 '. Also, transistor Tr 18
The stress on transistor M' can also be reduced even if only one is provided to block current supply during power down.
Alternatively, any one of transistors Tr 17 to Tr 20 may be provided.

第4図は、この発明の他の実施例を示すもの
で、比較電位発生回路12を構成するトランジス
タT1′およびM′を列ゲートトランジスタの数だけ
設け、選択されたメモリセルの列に対応するトラ
ンジスタM′のみが動作するようにしたものであ
る。ここで、トランジスタT1-1′〜T1-o′は列ゲー
トトランジスタと同等のトランジスタとし、その
ゲートには列デコーダの出力C1〜Coを供給する。
FIG. 4 shows another embodiment of the present invention, in which transistors T 1 ' and M' constituting the comparison potential generation circuit 12 are provided in the same number as the column gate transistors, and are arranged to correspond to the selected column of memory cells. In this case, only the transistor M' that operates is operated. Here, the transistors T 1-1 ′ to T 1-o ′ are transistors equivalent to column gate transistors, and the outputs C 1 to Co of the column decoder are supplied to their gates.

このような構成によれば、トランジスタM′の
ドレインに電圧が印加されるのは、その列が選択
された時、すなわち、トランジスタT1-1′〜
T1-o′のいずれかが選択されて導通した時のみで
あるので、トランジスタM′にかかるストレスは
大幅に低減できる。この回路を第3図に示した回
路と併用しても良いのはもちろんであり、また、
この回路は列デコーダの出力信号C1〜Coを利用
したが、この信号は列アドレス出力でも良く、こ
の場合はトランジスタM′の数を減らすことがで
きる。しかし、トランジスタM′の数を減らすと
1つのトランジスタにかかるストレスは増加す
る。
According to such a configuration, a voltage is applied to the drain of the transistor M' when that column is selected, that is, when the transistors T1-1 ' to
Since this occurs only when one of T 1-o ′ is selected and turned on, the stress applied to the transistor M′ can be significantly reduced. Of course, this circuit can be used in combination with the circuit shown in Figure 3, and
Although this circuit uses the output signals C 1 -C o of the column decoder, these signals may also be column address outputs, and in this case, the number of transistors M' can be reduced. However, reducing the number of transistors M' increases the stress applied to each transistor.

第5図a,bはそれぞれ、さらに他の実施例を
示す回路図で、この回路においては行デコーダの
出力信号からつくる信号VR1〜VRnを利用して
メモリセルと同等のトランジスタを導通制御する
ものである。すなわちa図に示す回路を比較電位
発生回路12のトランジスタT1′,M′のかわりに
設け、b図に示す回路を制御電位発生回路13
する。そして、トランジスタTr20のゲートには
行デコーダの出力信号を供給する。上記行デコー
ダの出力信号が「0」の場合、第5図bに示した
制御電位発生回路13の出力VRは「0」とな
り、出力信号が「1」の場合は出力VRは所定の
電位に設定される。なお、トランジスタT1′のゲ
ートにはパワーダウン信号を供給したが、電
源VCを供給しても良い。
Figures 5a and 5b are circuit diagrams showing still other embodiments, in which the conduction of transistors equivalent to memory cells is controlled using signals VR 1 to VR n generated from the output signals of the row decoder. It is something to do. That is, the circuit shown in FIG . Then, the output signal of the row decoder is supplied to the gate of the transistor Tr20 . When the output signal of the row decoder is "0", the output VR of the control potential generation circuit 13 shown in FIG. Set. Note that although the power down signal is supplied to the gate of the transistor T 1 ', the power supply V C may also be supplied.

このような構成によれば、選択された行線に対
応したトランジスタM′のゲートが「1」になり、
他のトランジスタM′のゲートには電位が供給さ
れないので、トランジスタM′のストレスを低減
できる。
According to such a configuration, the gate of the transistor M' corresponding to the selected row line becomes "1",
Since no potential is supplied to the gates of the other transistors M', stress on the transistors M' can be reduced.

なお、この発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、上述した回路を各々組み合わせても実
施可能である。例えば第3図に示した回路と第5
図に示した回路の組み合わせ、あるいは第4図に
示した回路と第5図に示した回路、さらに第3
図,第4図,第5図に示した回路を併用すれば、
トランジスタM′にかかるストレスはより低減で
きる。
Note that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and can be implemented by combining the above-mentioned circuits. For example, the circuit shown in Figure 3 and the circuit shown in Figure 5
A combination of the circuits shown in the figure, or the circuit shown in Fig. 4 and the circuit shown in Fig. 5, and the circuit shown in Fig.
If the circuits shown in Fig. 4 and Fig. 5 are used together,
The stress applied to transistor M' can be further reduced.

以上説明したようにこの発明によれば、比較電
位発生回路に用いるメモリセルと等価なトランジ
スタのストレスを軽減することができるため、よ
り信頼性の高い不揮発性半導体メモリが得られ
る。
As described above, according to the present invention, it is possible to reduce the stress on the transistor equivalent to the memory cell used in the comparison potential generation circuit, so that a more reliable nonvolatile semiconductor memory can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の不揮発性半導体メモリを示す回
路図、第2図は浮遊ゲート構造をしたメモリセル
のデータ読み出しにおける特性図、第3図はこの
発明の一実施例に係る不揮発性半導体メモリの比
較電位発生回路および制御電位発生回路を示す
図、第4図および第5図a,bはそれぞれこの発
明の他の実施例を示す図である。 R1〜Rn行線、S1〜So……列線、M11〜Mno
…メモリセル、11……差動型センスアンプ、
2……比較電位発生回路、13……制御電位発生
回路、Tr17〜Tr20……トランジスタ、……パ
ワーダウン信号。
FIG. 1 is a circuit diagram showing a conventional non-volatile semiconductor memory, FIG. 2 is a characteristic diagram for data reading of a memory cell having a floating gate structure, and FIG. 3 is a diagram of a non-volatile semiconductor memory according to an embodiment of the present invention. 4 and 5a and 5b are diagrams showing other embodiments of the present invention, respectively, showing a comparison potential generation circuit and a control potential generation circuit. R 1 ~ R n row lines, S 1 ~ S o ... column lines, M 11 ~ M no ...
...Memory cell, 11 ...Differential sense amplifier, 1
2... Comparison potential generation circuit, 13 ... Control potential generation circuit, Tr 17 to Tr 20 ... Transistor,... Power down signal.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 複数の行線と複数の列線とで設定される各交
差位置に対応して配置されるメモリセルと、上記
列線から一方の入力信号が供給される差動型セン
スアンプと、この差動型センスアンプの他方の入
力信号としてメモリセルのしきい値電圧に対応し
た電位を供給する比較電位発生回路と、この比較
電位発生回路を構成するメモリセルと同等のトラ
ンジスタと、上記比較電位発生回路のメモリセル
と同等のトランジスタの導通を制御する制御電位
発生回路とを具備することを特徴とする不揮発性
半導体メモリ。 2 上記メモリセルと同等のトランジスタの導通
を制御する手段として、比較電位発生回路あるい
は制御電位発生回路の電源供給側にトランジスタ
を設け、パワーダウンモード時にこのトランジス
タをオフ状態として電流の供給を阻止する如く構
成したことを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載の不揮発性半導体メモリ。 3 上記メモリセルと同等のトランジスタの導通
を制御する手段として、メモリセルと同等の複数
個のトランジスタを備え、これらのトランジスタ
を各々所定の出力で導通制御するように構成した
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の不
揮発性半導体メモリ。
[Claims] 1. A memory cell arranged corresponding to each intersection position set by a plurality of row lines and a plurality of column lines, and a differential type in which one input signal is supplied from the column line. A sense amplifier, a comparison potential generation circuit that supplies a potential corresponding to the threshold voltage of a memory cell as the other input signal of this differential sense amplifier, and a transistor equivalent to the memory cell that constitutes this comparison potential generation circuit. and a control potential generation circuit that controls conduction of a transistor equivalent to a memory cell of the comparison potential generation circuit. 2. As a means for controlling the conduction of a transistor equivalent to the above memory cell, a transistor is provided on the power supply side of the comparison potential generation circuit or control potential generation circuit, and this transistor is turned off during power down mode to prevent the supply of current. A nonvolatile semiconductor memory according to claim 1, characterized in that it is constructed as follows. 3. A patent characterized in that, as a means for controlling the conduction of a transistor equivalent to the memory cell, a plurality of transistors equivalent to the memory cell are provided, and the conduction of each of these transistors is controlled by a predetermined output. A nonvolatile semiconductor memory according to claim 1.
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