JPS6398583A - Ｘ線スペクトル測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はＸ線スペクトル測定装置に関する。更に詳しく
は、厚さの異なるＸｉミツイルターシンチレータ−と光
検出器とを有する複数のＸ線検出器により、該Ｘ線フィ
ルターに対するＸ線の減弱曲線からそのＸ線のスペクト
ル分布を簡便に求め゛られるＸ線スペクトル１１ツ定装
置に関する。　　″［従来技術］ 従来、医療分野において使用されるＸ線撮影のためのＸ
線あるいは治療における高エネルギーＸ線に関して、そ
の線量の測定は種々の目的のために度々行われ、非常に
高精度に測定がなされている。これに対して線質、即ち
そのＸ線のスペクトル分布の確認はほとんど行われてお
らず、便宜的に入射Ｘ線の強度を半減させる吸収層の厚
さく半価層）を求めることによって、その平均エネルギ
ー又は実効エネルギーを推定するにとどまっている場合
が多い。

［発明が解決しようとする問題点］ これは、従来から採用されている５ｉ（Ｌｉ）結晶、Ｇ
ｅ（Ｌｉ）結晶等の半導体結晶からなる半導体検出器を
用いる方法、シンチレーシヨン・スペクトロメーターに
よるＸ線分光法、結晶のＸ線回折現象を利用する結晶Ｘ
線分光法等の方法によるＸ線スペクトル分布の測定方法
においては、検出器を冷却する必要があったり、測定操
作が煩雑であったり、線量率の高いＸ線では精度が悪か
ったりする等の問題点があるためであり、そのため簡易
にｘ！ａのスペクトルｌ１ｌｌｌ定が出来る測定装置の
開発が望まれていた。

本発明はこのような状況に鑑みてなされたものである。

本発明の目的は放射されたＸ線を検出し、そのエネルギ
ースペクトル分布を簡便にＪｌｌｌ定し得るＸ線スペク
トル測定装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記本発明の目的は、入射するｘ！ａを蛍光に変換する
シンチレーターと、このシンチレータ−の後面に配され
た前記蛍光を検出する光検出器と。

前記シンチレータ−の前面に配されたそれぞれ厚さの異
なるＸ線フィルターとを有する複数のＸ線検出器を必須
の構成部材とするＸ線検出部と。

予め複数の領域に区画された前記Ｘ線のエネルギー分布
の各エネルギー領域に該当する成分のフルエンス量と、
前記Ｘ線の該エネルギー領域のエネルギーと、前記シン
チレータ−の該エネルギー領域における質量エネルギー
吸収係数と、前記Ｘ＠フィルターにより前記フルエンス
量が減弱する割合とを乗じた量の植算量と、前記各Ｘ線
検出器からの各出力信号に対応する前記Ｘ線の全吸収線
量との前記Ｘ線検出器毎に与えられた複数の一次方程式
が記憶され、前記各Ｘ線検出器からの各出力信号をもと
に前記複数の一次方程式からなる連立一次方程式を解き
、求められた前記フルエンス量から前記Ｘ線のスペクト
ルを求める記憶・演算部とを有することを特徴とする本
発明のｘ６スペクトル測定装置によって達成される。

［作用］ 本発明は、予め複数の領域に区画されたＸ線のエネルギ
ー分布の各エネルギー領域に該当する成分のフルエンス
量と、前記ｘ６の該エネルギー領域のエネルギーと、前
記シンチレータ−の該エネルギー領域における質量エネ
ルギー吸収係数と。

前記Ｘ線フィルターにより前記フルエンス量が減弱する
割合とを乗じた量のａ算量と、前記各ｘｍ検出器からの
各出力信号に対応する前記Ｘ線の全吸収線量との前記ｘ
！！検出器毎に与えられた複数の一次方程式からなる連
立一次方程式を解き、求められた前記フルエンス量から
前記Ｘ線のスペクトルを求めるものである。

以下、本発明のＸ線スペクトル測定装置の測定原理につ
いて説明する。

Ｘ線をＸ線フィルターたる、ある特定の吸収材に照射し
てその透過線量を測定すると、それはｘｉの全ての波長
（エネルギー）に対する透過線量であるが、それはまた
各波長（エネルギー）のＸ線量（フルエンス量）の情報
を精算した値を測定していることになる。第４図はＸ線
スペクトルを例示するものであり、横軸はＸ線の波長（
即ち、エネルギーＥ）であり、縦軸はＸｉ強度（即ち、
Ｘ線フルエンス量φ）である、今、Ｘ線エネルギーＥｉ
のＸ線フルエンス量をφｉとし、Ｘ線が厚さＸ、吸収係
数ｇｒの吸収材（Ｘ線フィルター）によって吸収を受け
ると、Ｘ線フルエンス量はφｉ　ｅｘｐＣ−ｇｉ　Ｘ）
に減弱する。Ｘ線エネルギー分布が広範囲にわたる時、
各エネルギーのＸ線フルエンス量φｉに対してそれぞれ
その吸収係数ＩＬｉで決まるＸ線フィルターによるＸ線
の吸収効果があるために、測定によって得られるＸ線フ
ルエンス量φは、これら各エネルギー成分に分解された
透過フルエンス量φｉ　ｅｘｐ（−ＩＬｉ　ｘ）の積算
量となる。従って、Ｘ線フィルターの厚みを変えると各
々のエネルギーに対して異なった吸収効果を与えること
が出来、その積算量は異なる結果となる。

このようにＸ線フィルターの厚みを種々変化させると、
各々異なる結果を得ることから数学的にはＸ線フィルタ
ーの厚みをパラメーターとして、Ｘ線フィルターを透過
した各エネルギーのＸ線フルエンス量（φｉ）を未知数
とし、これらを加算したｖＩ算値と各Ｘ線検出器によっ
て得られるＸ線の全フルエンス量（実際には各検出器に
より吸収線量として求められる）との関係を示す複数の
一次方程式からなる連立一次方程式にまとめることがで
き、この方程式を解くことは、未知数である各エネルギ
ーのＸ線フルエンス量（φｉ）が求められることであり
、物理的にはこれらの積算量として、もとのＸ線の波長
分布（スペクトル分布）を求めることに外ならない。す
なわち、上記のようなａ１１定植をｘ！ｉ９フィルター
の厚みを変化させながら求めることは、そのＸ線の減弱
曲線を求めることになり、従ってＸ線フィルターに対す
るｘｌｉＱの減弱曲線からＸ線スペクトルが得られるこ
とになる。

本発明のＸ線スペクトル測定装置のＸ線検出部において
、ｘＶｊの吸収に関係する物質はシンチレータ−たる蛍
光板とＸ線フィルターである。いま、エネルギーＥｉの
Ｘ線に対する蛍光板の質量エネルギー吸収係数及びＸ！
！ａフィルターの吸収係数をそれぞれ（ＪＬｅｎ／ρ）
ｉ及びＩＬｉ　とし、エネルギーＥｉに相当するＸ線フ
ルエンス量をφｉとおくと、厚みがＸであるＸ線フィル
ターを透過したＸ線を検出したＸ線検出器の全出力■（
吸収線量に比例する線量）の内、エネルギーＥｉのＸ線
に対応する出力Ｉｉは、 ｉ ；φｉ　Ｅｉ　（ＩＬｅｎ／　ρ）ｉ　ｅｘｐ（−ｇｉ
　ｘ）ΔＥであり、ＩはＩｆの積算量で与えられるから
、■ ＝Σφｉ　Ｅｉ　（ｇｅｎ／　ρ）ｉ　ｅｘｐ（−ｐｉ
　ｘ）ΔＥである。

そして、Ｘ線フィルターの厚さＸを変化させた時のｘ１
ｉａ検出器からの出力Ｉｊは。

ｊ ＝Σφｉ　Ｅｉ　（ＩＬｅｎ／ρ）ｉ　ｅｘｐ（−ｐｉ
　ｘｊ）ΔＥで与えられる。ここで、 ｂｉｊ＝Ｅｉ　（ｇ、ｅｎ／ρ）ｉ　ｅｘｐ（−ｇｉ　
ｘｊ）ΔＥとおくと、 Ｉｊ＝＝Σｂｉｊφｉ　・・・・−（１）なる関係が得
られる。

そこで、求めようとするＸ線スペクトルのエネルギー領
域をｎ個に区画したとしく　ｉ　＝　１−　ｎの場合）
、例えばＸ線フィルターの厚みを異にするｎ個のＸ線検
出器を用いれば（ｊ　＝　１　”　ｎの場合）、ｎ個の
Ｘ線検出器からの各出方（１１。

Ｉ２　、Ｉ３　、ｓｅａ　、Ｉｎ）４ｆ、ツレツレ１１
＝ｂｌｌφ１＋ｂ２１φ２＋＊＊ｓ＋ｂｎｌφｎＩｎ＝
ｂｌｎφ１＋ｂ２ｎφ２＋＊＊＊＋ｂｎｎφｎとなる。

なお、　ｘ１ｉＩａ検出器を構成する蛍光板のエネルギ
ーＥｉに対するＸ線の質量エネルギー吸収係数（ルｅｎ
／ρ）ｉ及びＸ線フィルターの吸収係数Ｂｉはその材質
及びエネルギーが決まれば全て決まる定数なので、これ
らの値から予め上記式（１）の定数ｂｉｊを計算によっ
て求めておき、これと各Ｘ線検出器からのｎ個の出力値
（１１。

１２　、Ｉ３　、ｓｅａ、Ｉｎ）を用いて、ｎ個ノ、ｈ
２式（１）からなりφｉを未知数とする連立一次方程式
を解くことによってφｉが求められ、従ってこの時照射
されたＸ線のスペクトルを求めることが出来る。

［実施例］ 以下１本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。

第１図は本発明のＸ線スペクトル測定装置の構成の一実
施例を示すブロック図である。

第２図は本発明におけるＸ線検出部の一実施例を説明す
るための概略図である。

本実施例のＸ線スペクトル測定装置の構成は第１図に示
すように基本的には２入射したＸ線を検出する複数のＸ
線検出器からなるＸ線検出部１と、Ｘ線検出部ｌからの
出力信号をデジタル化し演算処理をする演算処理部２と
、求められた演算イ１６を表示する表示部６とからなる
。演算処理部２はさらにＸ線検出部１からの出力信号を
増幅する増幅部３と、増幅部３で得られたアナログ情報
をデジタル化するＡ／Ｄ変換部４と、デジタル化された
情報を演算し、記憶する演算◆記憶部５とから構成され
る。

Ｘ線検出部１は第２図に示すように、隔壁によって区画
された複数の小室を有する外囲器７の各小室内に、基準
Ｘ線検出器１ｓ及び複数のＸ線検出器１ａ、ｌｂ、ｌｃ
、ｌｄが配設されて構成されたものである。基準Ｘ線検
出器ＩＳは入射したＸ線りをその入射量に比例する量の
蛍光に変換させるシンチレータ−たる蛍光板８Ｓと、こ
のコミｔ光板８ｓに密着して、Ｘ線入射面と反対の面に
設けられ、前記蛍光を検出する光検出器１０ｓとからな
り、Ｘ線検出器１ａ、ｌｂ、ｌｃ、ｌｄは同じく入射Ｘ
線りの入射量に比例する量の蛍光に変換するシンチレー
タ−たる蛍光板８ａ、８ｂ。

８ｃ　、８ｄと、これらの蛍光板のＸ線入射面に設けら
れた同種の材料でＪゾさのみ異なる複数のＸ線フィルタ
ー９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄと、前記蛍光板のＸ線入射面
とは反対の面に密着させて設けられた光検出器１０ａ、
１０ｂ　、ｌｏｃ　、１０ｄとからなる。

ここで、Ｘ線フィルター９ａ、９ｂ、９ｃ。

９ｄ（７）厚さｔはそれぞれｔａ、ｔｂ、ｔｃ。

ｔｄとし、本実施例においてはｔ　ａ＜ｔ　ｂ＜ｔ　ｃ
＜ｔｄとした。

本実施例において、前記Ｘ線検出器は５個設けたが、Ｘ
線スペクトル測定器の精度を高めるには、Ｘ線検出部１
に配設されるＸ線検出器の数は多い程良く、実用」−は
１０個以上設けることが望ましい。外囲器７はＸ線検出
器１ｓ、ｌａ〜１ｄの保護と外光の侵入及び他の蛍光板
からの蛍光の漏洩防止のために設けられたものであり、
Ｘ線吸収が少なく、所定の硬度を有し外光及び蛍光を透
過させない材質が選択され、例えば着色アクリル板、ベ
ークライト板等のプラスチックを用いることが好ましい
。ｘｖｊフィルター９ａ。

９ｂ、９ｃ、９ｄとしてはＸ線吸収能が大きく、数ｍｍ
以下の厚さのものであっても、厚さの変化に対してＸ線
の減弱率の変化が大きい材質のものが好ましく、例えば
Ｃｕ、ＡＩ　、Ｓｎ、ＰｂｋＪ（７）金属板が好適に用
いられる。

蛍光板８ｓ、８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄはＣａＷＯ４、Ｂ
　ｉ　４　Ｇ　ｅ３０１２、ＺｎＳ：Ａｇ、ＢａＦＣｌ
　：Ｅｕ、Ｌａ０Ｂｒ：Ｔｍ、（Ｚｎ。

Ｃｄ）Ｓ　：Ａｇ、Ｙ２０２　Ｓ　：Ｔｂ　、Ｇｄ２Ｏ
２Ｓ　：Ｔｂ、Ｇｄ２０２　Ｓ　：　Ｐｒ等の、Ｘ線照
射により高効率に発光するＸ線用蛍光体を結合剤樹脂中
に分散させてなる蛍光体塗布液を紙、プラスチック等の
支持体上に塗布し、乾燥させて支持体上に蛍光体層を形
成することによって得た蛍光板、又はガラス板等の基板
上に蛍光体塗布液を塗布し、乾燥して得られた蛍光体層
を該基板から剥離して得た自己支持型蛍光板が使用され
る。

光検出器１０ｓ、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ。

１０ｄとしては、蛍光板８Ｓ、８ａ〜８ｄから発する蛍
光を電気的な信号に変換するフォトダイオードや光電子
増倍管等の光電変換素子が使用され得るが、Ｘ線検出部
１の容積を小さくすることができる、製造コストを低く
抑えることができる茅の点からフォトダイオードを用い
ることが特に好ましい。

なお、本発明のｘ！！ｉｔスペクトル測定装置において
、これをＸ線照射量を°測る線量計として併用する場合
や、Ｘ線フィルターとなる金属フィルターの透過率曲線
のこう配から照射されたＸ線の管電圧を測る管電圧計と
して併用する場合等、本発明のＸ線スペクトルΔＩ４定
装置をＸ線のスペクトル甜室以外の機能をも有する多機
梯型のＸ線測定装着として用いるのでなければ、Ｘ線検
出部１を構成するｘ！！ａ検出器の内、基準Ｘ線検出器
ＩＳは設けなくても良い。

第１図に示したように、照射されたＸ線のｘ１ａ情報信
号はＸ線検出部１によってその中に配設された各Ｘ線検
出器毎に検知され、それぞれ電気的信号に変換され、増
幅部３で増幅される。ここで増幅された信号はＡ／Ｄ変
換部４でデジタル化された後、各Ｘ線検出器毎に演算・
記憶部５に一旦記憶保存される。この時Ｘ線検出部１内
のＸ線検出器の数をｊ個とすると、ｘ＆ａ検出検出部熱
射されたＸ線情報はｊ個の出力信号［Ｉｊｌとして別々
に演算・記憶部に入力される。これとは別にＸ線検出部
１に照射されたｘ６のエネルギー領域（Ｅ）を予めｎ個
（但し、ｎ≦ｊ）に区画し、Ｘ線検出部ｌに配設されて
いるｊ個のＸ線検出器に対してそれぞれ上記式（１）で
表わされるｊ個の一次方程式（Ｉｊ＝Σｂｉｊφｉ）を
演算拳記憶部５に記憶させておく、なお、定数ｂｉｊは
各エネルギーにおける蛍光板の質量エネルギー吸収係数
（ｇ　ｅｎ／ρ）ｉ、　Ｘ線フィルターの吸収係数ルｉ
及びＸ線フィルターの厚さｘｊの値から予め各Ｘ線検出
器毎に計算され、上記式（１）に代入される。この時演
算・記憶部では、ここに入力された各Ｘ線検出器からの
ｊ個の出力信号［Ｉｊｌを各Ｘ線検出器に対応するｊ個
の一次方程式（Ｉｊ＝Σｂｉｊφｉ）にそれぞれ取込み
、各エネルギー成分のＸ線フルエンス量φｉを未知数と
するこれらの連立一次方程式の解を演算し、各エネルギ
ー成分のＸ線フルエンス量φｉ　（即ち、Ｘ線のスペク
トル分布）を計測する。

なお、Ｘ線の出力は交流的波形成分を有し、時間と共に
その強度は変動するので精度の点から、複数のＸ線検出
器から取り込まれ、演算処理されるそれぞれの情報は同
時又は出来るだけ短詩間の間隔で取り込まれた情報であ
ることが望ましい。

従ってＸ線検出部１からの出力信号を増幅する増幅部３
及び増幅されたアナログ信号をデジタル信号に変換する
Ａ／Ｄ変換部４は一組ではなく複数の組み合わせとする
のが好ましく、特に各Ｘ線検出器毎に独立した増幅部及
びＡ／Ｄ変換部を接続しておくことがより好ましい。こ
のようにして演算処理部？で得られたＸ線スペクトル分
布のデータは陰８ｉ線管ディスプレイやレコーダー等の
表示部６に表示されるほか、演算・記憶部５に記憶、保
存させておくことも出来る。

第３図（ａ）は、本発明のＸ線スペクトル測定装置のＸ
線検出部の別の実施例を示す概略図であり、また第３図
（ｂ）は本実施例のＸ線検出部に用いられるコリメータ
ーを例示する斜視図である。

本実施例のｘｖｊ検出部１１は同じく隔壁によって区画
された複数の小室を有する外囲器１７の各小室に配設さ
れた複数のＸ線検出器１１ａ、ｌｌｂ、ｌｌｃ、ｌｉｄ
、ｌｉｅとこれらのｘ６検出器の前面（Ｘ線入射側）に
設けられたコリメーター１５により構成されている。Ｘ
線検出器１１ａ、ｌｌｂ、ｌｌｃ、ｌｉｄ。

ｌｉｅはそれぞれコリメーター１６ａ、１６ｂ　。

１６ｃ、１６ｄ、１６ｅを挟んで、そのＸ線の入射側に
同種の材料からなり、厚さのみの異なる金属フィルター
等のＸ線フィルター１９ａ。

１９ｂ　、１９ｃ　、１９ｄ　、１９ｅを設け、他方の
側に入射ＸｖＱＬを、その入射量に比例する量の蛍光に
変換するシンチレータ−たる蛍光板１８ａ。

１８ｂ　、１８ｃ　、１８ｄ　、１８ｅを配すると共に
、その蛍光板の後側にこれと接触させて該蛍光板からの
蛍光を検出する光検出器２０ａ。

２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ、２０ｅを設けてなる。

コリメーター１５及びコリメーター１６ａ。

１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ、１６ｅはＰｂ　、　Ｃｕ　。

Ｓｎ等のＸ線吸収能の大きい金属片を一定の間隔を隔て
て入射Ｘ線束とほぼ平行となるように並置してなる。こ
の時、各金属片間の間隙中（ｂｆ？！ｉ）に対する各金
属片の高さくＸ線の入射方向の金属片の１０．ｈ値）の
比（ｈ／ｂ値）はおよそ２／ｌ〜３０／ｌとなるように
するのが好ましい。なお、上記実施例において、コリメ
ーター１５及びコリメーター１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、
１６ｄ。

１６ｅは第３図（ａ）及び（ｂ）に例示したように各コ
リメーターの開口部が平行に並ぶように配置しているが
、入射するＸ線が放射状に入射する場合は、各コリメー
ターの開口部がそれぞれ放射されたＸ線束の中心に向う
ように中心から離れた所に位置するコリメーターはど内
側に傾けて配置しても良い。また、コリメーターはＸ線
検出部の各Ｘ線検出器の内部（各Ｘ線フィルターと各蛍
光板の間）及び各Ｘ線検出器の前面（Ｘ線の入射側）の
少なくとも一方に設ければ良いが、その両方に設けるの
がより好ましい。このようにＸ線検出部内の各Ｘ線検出
器内（各Ｘ線フィルターと各蛍光板との間）及び各Ｘ線
検出器の前面（Ｘ線の入射側）にこのようなコリメータ
ーを設けてＸ線検出部内に入射したＸ線の散乱線成分を
除去し、Ｘ線の照射方向に対してほぼ平行な直接線のみ
を検出することによって、Ｘ線スペクトルの測定精度を
一層向上させることができる。

［発明の効果］ 以」二詳細に説明したように、本発明のＸ線スペクトル
３１一定装置においては、Ｘ線の情報をＸ線フィルター
を介してシンチレータ−により一旦光に変換してこれを
検出することとし、Ｘ線検出器はＸ線フィルターとシン
チレータ−と光検出器とを密着させて一体化する構造と
したので、Ｘ線検出器の容積を小さくし、且つ高感度に
することができる。その結果として、Ｘ線検出部内に多
数のＸ線検出器をコンパクトに並置出来、同時に多数の
Ｘ線情報が得られるため、きわめて短時間のうちに精度
良くＸ線スペクトルを測定することが出来る。また、本
発明のＸ線スペクトルａ１１定装はによれば、従来の半
導体検出器のように検出器を冷却する等の煩雑な操作が
不要であり、きわめて簡便にＸ線スペクトルの測定を行
うことが出来る等の利点を有する。

更に１本発明のＸ＠スペクトルｆｌ１１定装置において
は、シンチレータ−とＸ線フィルターとの間又は／及び
ＸｔＬＱフィルターの前面に配され且つ前記Ｘ線の入射
方向に対して平行に配されたコリメーターを設ければ、
検出したいＸ線以外の不要なＸ線の散乱線等をコリメー
ターで防ぎ、Ｘ線の照射方向に対してほぼ平行な直接線
のみを検出するが可能となり、Ｘ線スペクトルの゛測定
精度を一層向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のＸ線スペクトル測定装置の構成を例示
するブロック図である。 第２図は本発明のＸ線スペクトル測定装置のＸ線検出部
を例示する概略図である。 第３図は本発明のＸ線スペクトル測定装置のＸ線検出部
の別の実施例を例示する概略図である。 第４図は本発明のＸ線スペクトル測定装置の作用を説明
するために描かれたＸ線スペクトル分布の概略図である
。 ｌ、１１φ・・・・Ｘ線検出部 ２・・・・−演算処理部 ３φ・・Φ・増幅部 ４・・・・・Ａ／Ｄ変換部 ５・・・・・演算・記憶部 ６・−噂・・表示部 ７．１７・Φ・・・外囲器 １５、ｌｅａ、１８ｂ　。 １６ｃ、ｌｅｄ、ｌｅｅ　＊　争＊　＊　ａ　＝＋リメ
ーター８ｇ、８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、１８ａ。 １８ｂ、１８ｃ、１８ｄ、１８ｅ　ｅ　・＊　・蛍光板
９ｓ、９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、１９ａ。 １９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅ　　＊　＊　拳ｅ　Ｘ
線フィルター１０ｓ、１０ａ、ｌＯｂ、１０ｃ、１０ｄ
、２０ａ。 ２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ、２０ｅ　ａ　＊　ｅ　＠光検
出器特許出願人　化成オプトニクス株式会社第１図 第２図 Ｍ３　図 （ｂ） 第４図 手続補正書 昭和６２年　８月２１日 特許庁長官　　小　川　邦　夫　殿 １、事件の表示 特願昭６１−２４３０９１号 ２、発明の名称 Ｘ線スペクトル測定装置 ３、掛止をする者 事件との関係　　　特許出願人 名　　称　　　化成オプトニクス株式会社４、代理人 住所　東京都港区虎ノ門五丁目１３番１号虎ノ門４０森
ビル５、補正の対象 明細書の特許請求の範囲の欄 発明の詳細な説明の欄、及び図面 ６、補正の内容 （１）明細書の特許請求の範囲を別紙の通り補正する。 （２）明細書第５頁第１行目「Ｘ線フィルターにより前
記フルエンス量が城弱」を「フルエンス量のＸ￥ｊが前
記Ｘ線フィルターを透過」に訂正する。 （４）同書同頁第８行目「記憶・演算」を「演算処理」
に訂正する。 （５）同書同頁第１７行目〜１８行目「Ｘ線フィルター
により前記フルエンス量が城弱」を「フルエンス量のＸ
線が前記Ｘ線フィルターを透過」に訂正する。 （６）同書第６頁第１８行目ｒｉ　ｅｘｐ（−ｐ、　ｉ
　ｘ）　Ｊを「１　・ｅｘｐ（−トｉ＊ｘ）」に訂正す
る。 （７）同書第７頁第４行目ｒｉ　ｅｘｐ（−μ１ｘ）４
を’ｉ　　・ｅｘｐＣ−ｐｉ　ａ　Ｘ）　Ｊに訂正する
。 （８）同ｍ第８頁第２０行目「＝φｉ　Ｅｉ　（ｇｅｎ
／ρ）ｉ　ｅｘｐ（−ｇｉ　ａＸ）ΔＥ」を「：φｉ＊
Ｅｉｅ（ｕ−ｅｎ／　ρ）ｉｓ　ｅｘｐ（−ＩＬｉ　Ｉ
Ｉｘ）　＊ΔＥ」に訂正する。 （９）同書第９頁第３行目「＝Σφｉ　Ｅｉ　（ｐ、ｅ
ｎ／ｐ）ｉ　　ｅｘｐ（−８Ｌｉ　ｘ）　ΔＥＪを「＝
Σφ１−Ｅｉ　ａ　　（ｐＬｅｎ／　　１０）　　ｉ　
　ａ　　ｅｘｐ（−ｇｉ　　＊　　ｘ）　　＊ΔＥ」に
訂正する。 （１０）同書同頁第８行目［−Σφｉ　Ｅ　　ｉ　（ｇ
ｅｎ／ｐ）　ｉ　　ｅｚｐ（−ｐｉ　ｘｊ）ΔＥ」を「
−Σφｉ争Ｅｉ＊（ｇｅｎ／ρ）　ｓ　＊ｅｘｐ　（−
ｇｉ　ＩＩｘ　ｊ）　・ΔＥ」に訂正する。 （１１）同書同頁第１０行目ｒＥｉ　（ｇｅｎ／　ρ）
ｉ　　ｅｘｐ（−Ｂｉ　ｘ　ｊ）　ΔＥｊをｒＥｉ　＊
（ｇｅｎ／／））　ｉ　　１１ｅｘｐ（−ｐｉ　１１ｘ
　ｊ）・ΔＥ」に訂正する。 （１２）同書同頁第１２行目「Σｂｉｊφｉ」を「Σｂ
ｉｊ　争φｌ」に訂正する。 （工３）同書第１０頁第１０行目「に対するＸ線の」を
「のＸ線に対する」に訂正する。 （１４）同書第２１頁第３行目「が可能となり」を「こ
とが可能となり」に訂正する。 （１５）第２図、第３図（ａ）及びｉ４図を別紙の通り
訂正する。 特許請求の範囲 （１）入射するＸ線を蛍光に変換するシンチレーターと
、このシンチレータ−の後面に配された前記−１ｆｆ光
を検出する光検出器と、前記シンチレータ−の前面に配
されたそれぞれ厚さの異なるＸ線フィルターとを有する
複数のＸ線検出器を必須の構成部材とするｘ６検出部と
、 予め複数の領域に区画された前記Ｘ線のエネルギー領域
の各エネルギー領域に該ちする成分のフルエンス量と、
前記Ｘ線の該エネルギー領域のエネルギーと、前記シン
チレータ−の該エネルギー領域における質量エネルギー
吸収係数と、前記フルエンス量のＸ線が前記Ｘ線フィル
ターを透過する割合とを乗じた量の積算量と、前記各Ｘ
線検出器からの各出力信号に対応する前記Ｘ線の全吸収
線量との前記Ｘ線検出器毎に学えられた複数の一次方程
式が記憶され、前記各Ｘ線検出器からの各出力信号をも
とに前記複数の一次方程式からなる連立一次方程式を解
き、求められた前記フルエンス量から前記Ｘ線のスペク
トルを求める演算処理部とを有することを特徴とするＸ
線スペクトルΔ１１１定装置。 （２）前記Ｘ線検出器を構成する夫々の前記シンチレー
タ−と夫々の前記Ｘ線フィルターとの間又は／及び夫々
の前記Ｘ線フィルターの前面にそれぞれコリメーターが
前記Ｘ線の入射方向に対して平行に配されていることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のＸ線スペクトル
測定装置。 第２図 第３図（ａ） 第４日

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）入射するＸ線を蛍光に変換するシンチレーターと
   、このシンチレーターの後面に配された前記蛍光を検出
   する光検出器と、前記シンチレーターの前面に配された
   それぞれ厚さの異なるＸ線フィルターとを有する複数の
   Ｘ線検出器を必須の構成部材とするＸ線検出部と、 予め複数の領域に区画された前記Ｘ線のエネルギー分布
   の各エネルギー領域に該当する成分のフルエンス量と、
   前記Ｘ線の該エネルギー領域のエネルギーと、前記シン
   チレーターの該エネルギー領域における質量エネルギー
   吸収係数と、前記Ｘ線フィルターにより前記フルエンス
   量が減弱する割合とを乗じた量の積算量と、前記各Ｘ線
   検出器からの各出力信号に対応する前記Ｘ線の全吸収線
   量との前記Ｘ線検出器毎に与えられた複数の一次方程式
   が記憶され、前記各Ｘ線検出器からの各出力信号をもと
   に前記複数の一次方程式からなる連立一次方程式を解き
   、求められた前記フルエンス量から前記Ｘ線のスペクト
   ルを求める記憶・演算部とを有することを特徴とするＸ
   線スペクトル測定装置。
2. （２）前記Ｘ線検出器を構成する夫々の前記シンチレー
   ターと夫々の前記Ｘ線フィルターとの間又は／及び夫々
   の前記Ｘ線フィルターの前面にそれぞれコリメーターが
   前記Ｘ線の入射方向に対して平行に配されていることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載のＸ線スペクトル
   測定装置。