JPS6396377A - 圧電弁駆動回路 - Google Patents
圧電弁駆動回路Info
- Publication number
- JPS6396377A JPS6396377A JP24348786A JP24348786A JPS6396377A JP S6396377 A JPS6396377 A JP S6396377A JP 24348786 A JP24348786 A JP 24348786A JP 24348786 A JP24348786 A JP 24348786A JP S6396377 A JPS6396377 A JP S6396377A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezo
- collector
- piezoelectric
- transistor
- electric body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製造装置などにおいて用いられるマス
７０−コントローラ等の圧電弁を駆動制御する際に便用
される駆動回路に関するものである０ 〔従来の技術〕 従来、圧電体を駆動する回路においては、第２図に示す
如く、圧電体１に、直列にスイッチング素子７を接続し
、ベース電流の０Ｎ−ＯＦＦ動作で、圧電体への印加電
圧のスイッチング動作を行っていた。
７０−コントローラ等の圧電弁を駆動制御する際に便用
される駆動回路に関するものである０ 〔従来の技術〕 従来、圧電体を駆動する回路においては、第２図に示す
如く、圧電体１に、直列にスイッチング素子７を接続し
、ベース電流の０Ｎ−ＯＦＦ動作で、圧電体への印加電
圧のスイッチング動作を行っていた。
しかしながら、上記の圧電体駆動回路では、圧電体の機
械的な耐久性あるいは、印加電極の印刷不良等により、
圧電端子間が短絡された場合に瞬時に過電流が流れ、ト
ランジスタ及びその周辺回路の破損を招くという問題点
がありた。
械的な耐久性あるいは、印加電極の印刷不良等により、
圧電端子間が短絡された場合に瞬時に過電流が流れ、ト
ランジスタ及びその周辺回路の破損を招くという問題点
がありた。
本発明の目的は、圧電端子間の短絡事故時に、過電流等
が流れずに、周辺回路等の保護が出来る圧電弁駆動回路
を提供することである。
が流れずに、周辺回路等の保護が出来る圧電弁駆動回路
を提供することである。
本発明の基本回路構成図を第１図に示す。圧電体１と直
列に保護抵抗３を接続し、かつその２素子を制御トラン
ジスタ７と並列に接続する。これによシトランジスタの
コレクタ、エミッタ間のスイツチング動作で、圧電体へ
の印加電圧を制御できる。この際、仮に圧電体両端の端
子が短絡されてもコレクタ抵抗４がある為、高電圧発生
回路２からは過大電流が流れず、また、保護抵抗６が有
る為コレクタエミッタ間が急激にＯＮ状態となっても、
圧電体に蓄積された電荷は徐々に流れ出す。
列に保護抵抗３を接続し、かつその２素子を制御トラン
ジスタ７と並列に接続する。これによシトランジスタの
コレクタ、エミッタ間のスイツチング動作で、圧電体へ
の印加電圧を制御できる。この際、仮に圧電体両端の端
子が短絡されてもコレクタ抵抗４がある為、高電圧発生
回路２からは過大電流が流れず、また、保護抵抗６が有
る為コレクタエミッタ間が急激にＯＮ状態となっても、
圧電体に蓄積された電荷は徐々に流れ出す。
この作用により、高電圧発生回路及び制御トランジスタ
及び周辺回路は保護される。
及び周辺回路は保護される。
本発明によれば、圧電体の破損事故等の際に生じる過渡
電流による周辺回路の破損が失くなυ、事故時の安全保
護が達成できる。
電流による周辺回路の破損が失くなυ、事故時の安全保
護が達成できる。
第１図は本発明の詳細な回路図、第２図は従来の回路図
である。 １：圧電体 ２：高電圧発生回路６：保護抵抗
４：コレクタ抵抗５：エミッタ抵抗 ６：ベー
ス抵抗 環 １ ＠ 第 ２ 回
である。 １：圧電体 ２：高電圧発生回路６：保護抵抗
４：コレクタ抵抗５：エミッタ抵抗 ６：ベー
ス抵抗 環 １ ＠ 第 ２ 回
Claims (1)
- 圧電ユニモルフや圧電積層体等の圧電弁を用いて流体の
流量制御を行なう装置の圧電弁駆動回路において、圧電
体に印加する直流高電圧の発生回路と、前記高電圧を制
御するトランジスタのコレクタ及びエミッタに各々抵抗
を接続した制御回路とを設け、かつ、前記トランジスタ
のコレクタ端子と接地端子との間に抵抗体と前記圧電体
を直列に接続し、前記トランジスタのベース電流により
、圧電弁を制御することを特徴とする圧電弁駆動回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24348786A JPS6396377A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | 圧電弁駆動回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24348786A JPS6396377A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | 圧電弁駆動回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6396377A true JPS6396377A (ja) | 1988-04-27 |
Family
ID=17104618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24348786A Pending JPS6396377A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | 圧電弁駆動回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6396377A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0229366U (ja) * | 1988-08-15 | 1990-02-26 | ||
| JPH0240175U (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-19 | ||
| US5201529A (en) * | 1990-02-16 | 1993-04-13 | Nok Corporation | Sealing device |
| JP2008196568A (ja) * | 2007-02-13 | 2008-08-28 | Nok Corp | ウォーターポンプ用密封装置 |
| JPWO2009130933A1 (ja) * | 2008-04-25 | 2011-08-11 | Nok株式会社 | 密封装置 |
-
1986
- 1986-10-14 JP JP24348786A patent/JPS6396377A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0229366U (ja) * | 1988-08-15 | 1990-02-26 | ||
| JPH0240175U (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-19 | ||
| US5201529A (en) * | 1990-02-16 | 1993-04-13 | Nok Corporation | Sealing device |
| JP2008196568A (ja) * | 2007-02-13 | 2008-08-28 | Nok Corp | ウォーターポンプ用密封装置 |
| JPWO2009130933A1 (ja) * | 2008-04-25 | 2011-08-11 | Nok株式会社 | 密封装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0510522Y2 (ja) | ||
| JPH0237234Y2 (ja) | ||
| US3931557A (en) | DC Motor stall protection circuit | |
| JPH0421418B2 (ja) | ||
| JPH0213115A (ja) | 電力用電界効果トランジスタ駆動回路 | |
| US4215279A (en) | Apparatus for controlling the operation of power transistors in a switching mode | |
| US4439721A (en) | Magneto alternator regulator with tachometer output | |
| GB1574078A (en) | Voltage-limiting circuit | |
| JPS6396377A (ja) | 圧電弁駆動回路 | |
| JPH06209592A (ja) | 誘導性負荷を給電する回路構成 | |
| JP2704913B2 (ja) | 誘導負荷を駆動する電力装置及びこの電力装置のための制御装置を含むモノリシック集積回路における電源電圧の負のインパルスに起因する寄生効果に対する保護装置 | |
| US5548462A (en) | Protective circuit | |
| JP3040782B2 (ja) | 回転機の短絡保護装置 | |
| JP3467851B2 (ja) | 短絡回路 | |
| JPH0191620A (ja) | Ｈブリツジ保護回路 | |
| JPH01220915A (ja) | トランジスタの出力短絡保護回路 | |
| JPS57210683A (en) | Semiconductor laser protective circuit | |
| JPS6340314Y2 (ja) | ||
| JPH0352011A (ja) | 関連した制御回路を持つ電力装置を含む集積回路の電源を横切った負の過電圧に対する保護回路 | |
| JPH0620352B2 (ja) | 過電圧保護回路 | |
| SU951615A1 (ru) | Устройство дл управлени реверсивным электроприводом посто нного тока | |
| SU675530A1 (ru) | Способ защиты от коммутационных перенапр жений | |
| SU1667189A1 (ru) | Устройство дл защиты при включении источника питани с обратной пол рностью импульсного регул тора | |
| JPH04199569A (ja) | Ｃｍｏｓ入力保護回路 | |
| JPH02193526A (ja) | 過電圧保護装置 |