JPS6382305A - 半導体装置の外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体装置製造時に半導体装置の外観を検査
する検査装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、この種の半導体装置の外観検査装置は、概略第３
図に示すような構成とされていた。第３図において、１
は検査対象としての半導体装置、　−２は半導体装置１
を滑走させるように傾斜配置されたガイドレールであり
、ガイドレール２の上流側には、そのガイドレール２上
に突出することにより１個ずつ半導体装置１を分離して
下流側に供給する供給用ストッパ３が、送出し機構とし
て配設されている。そして、ガイドレール２の途中には
、同様にガイドレール２上に選択的に突出することによ
り滑走してきた半導体装置１を検査のために静止させる
検査用ストッパ４が配設されている。また、検査用スト
ッパ４による静止位置に対応するようにして、半導体装
置１の有無を検出するセンサ５と、半導体装置１を照明
する照明ランプ６と、静止した半導体装置１を撮影する
ためのＴＶカメラ７とが設けられている。さらに、下流
側で回動切替え制御を行なう振分はレール８と、良品ま
たは不良品と判定した半導体装置を別々に蓄積するアン
ローダレール９，１０とが設けられている。

以上の構成を有する従来の外観検査においては、供給用
ストツバ３により１個ずつ分離され自然落下により滑走
して供給される半導体装置１は、ガイドレール２途中に
設けられた検査用ストッパ４部分で停止する。そして、
この停止した半導体装置１は、センサ５で検出されるこ
とにより、半導体装置１を照らしている照明ランプ６の
照明下でＴＶカメラ７により画像処理ユニット（図示せ
ず）に画像入力される。この画像入力は、半導体装置１
が静止した状態でセンサ５の検出信号に基づき開始され
る。そして画像処理ユニットでの検査が終了すると、選
別処理機構を構成する振分はレール８がアンローダレー
ル９，１０のうちの検査結果に対応する側に移動変位し
、さらに、検査用ストッパ４を外すことにより半導体装
置１を下流側へ滑走させ、所要のレール９または１０側
に分類して半導体装置１を蓄積させるものであった。

〔発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら、上述した構成の従来の外観検査装置にお
いては、半導体装置１は、外観検査装置内を滑走するに
あたって、供給用ストッパ３や検査用ストッパ４等によ
り一時的に停止し、１個ずつ間欠的に送出されるもので
、その移動速度は遅い。また、画像入力時に半導体装置
１を一旦静止させることが必要とされる。このため、従
来の外観検査装置の処理能力は低いものであった。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、半導体装置を高速に検査でき、
しかも信頼性高く検査できる外観検査装置を得ることに
ある。

〔問題点を解決するための手段〕

このような目的を達成するために本発明は、半導体装置
を一定以上の間隔で搬送する送出し機構と、半導体装置
の位置に同期した検出信号を発生する検出信号発生装置
と、上記検出信号により半導体装置を瞬時照明する閃光
装置と、この閃光装置の瞬時照明と同期して移動中の半
導体装置の瞬時画像を取り込むＴＶカメラと、その瞬時
画像を多値化回路により多値画像とし、この多値画像を
多値メモリに記憶し、この多値メモリ内の前記多値画像
を２値化して半導体装置を検査する画像処理装置とを設
けるようにしたものである。

〔作用〕

本発明に係る外観検査装置においては、一定収上の間隔
で送られて来る半導体装置を位置検出センサで検出し、
ストロボライトで閃光照明し、静止画像を多値化メモリ
に取り込み、その多値化メモリ内の多値画像をもとに２
値化して高速外観検査を行なう。

〔実施例〕

本発明に係わる外観検査装置の一実施例を第１図に示す
。第２図は第１図の装置の制御システムを示す系統図で
ある。

第１図において、２０および２１は半導体装置１を送る
ための送出し機構としての前側および後側ローラ、２２
は半導体装置１を閃光照明する閃光装置としてのストロ
ボライトである。第１図において第３図と同一部分又は
相当部分には同一符号が付しである。

第２図において、３０は画像処理装置としての制御装置
、３１はＴＶカメラ７からの画像信号を多値化して多値
画像データとして出力する多値化回路、３２は多値化回
路３１からの多値画像データを保持する多値メモリ、３
３は多値メモリ３２からの多値画像データを２値化して
２値画像データを出力する２値化回路、３４は２値化回
路３３からの２値画像データを保持する２値メモリ、３
５は制御および画像処理を司るＣＰＵ、３６は検出信号
発生装置としてのセンサ５．ストロボライト２２および
外部機構部４０とＣＰＵ３５とを接続するためのインタ
フェースである。

次に本装置の動作について説明する。まず、送出し機構
について説明する。送出し機構においては、例えば前側
ローラ２０と後側ローラ２１の回転速度を異ならしめる
（前側ローラ２０よりも後側ローラ２１を遅くする）こ
とにより、上流側に連続して待機している半導体装置１
を１個ずつ所定間隔をおいて分離させるとともに、その
強制力により高速状態で送り出すことが可能となる。し
かし、この種の送出し機構としては、上述した構造には
必ずしも限定されず、これに類する機能を有するもので
あればよく、種々の変形例が考えられる。そして、上述
した構造による外観検査装置によれば、ローラ２０．２
１の送出し機構により順次高速状態で送り出された半導
体装置１は、ガイドレール２上を高速滑走し、センサ５
により検出される。

半導体装置１を検出したセンサ５は、検出信号をインタ
フェース３６を介してＣＰＵ３５へ出力する。この検出
信号に基づ＜ＣＰＵ３５からの制御信号によりＴＶカメ
ラ７と同期してストロボライト２２が閃光され、高速状
態で滑走している半導体装置１の閃光時における瞬時画
像が多値の静止画像としてＴＶカメラ７から多値化回路
３１を通して多値メモリ３２に保持される。この画像は
半導体素子１がすでに移動してしまっているために再度
取り直すことはできないが、多値で取り込まれているの
で、２値化条件を変えれば異なった２値画像を作ること
ができる。

多値メモリ３２からの多値画像データは、２値化回路３
３を通して、２値画像データとして２値メモリ３４に取
り込まれ、高速に画像処理される。

良好な２値画像が得られない時は、２値化レベルを変え
て再度多値メモリ３２より取り込むことができる。良・
不良の検査結果は、画像入力に対応する半導体装置１が
選別処理機構としての振分はレール８上に到達する前に
、インタフェース３６を介してＣＰＵ３５から出力され
、その結果により振分はレール８が適宜切替え制御され
、半導体装置１は、良品または不良品を蓄積するアンロ
ーダレール９，１０に分類して蓄積される。

なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
く、各部の形状・構造や２値化の方法等を適宜変更する
ことは自由である。例えば、本実・　　施例では傾斜し
たガイドレール２を使用したが、水平ガイドレールでも
よく、またローラ２０．２１で搬送したが、ベルト等で
連続搬送してもよい。

また、多値化回路３１と多値メモリ３２とを制御装置３
０内に配置したが、ＴＶカメラ７に内蔵してもよい。さ
らに、良い２値画像が得られない時、再度２値化レベル
を変えて２値化したが、多値画像の明るさヒストグラム
を取り、最適値で当初より２値化してもよい。さらに、
センサ５で直接半導体装置を検出したが、本実施例は直
接搬送方式であるので、半導体装置の位置と同期してい
れば駆動側の位置信号で閃光照明してもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、移動中の半導体装置を閃
光装置の瞬時照明の下でＴＶカメラにより撮像して瞬時
画像を取り込み、この瞬時画像を最終的に２値画像とし
て外観検査を行なうことにより、半導体装置の搬送を停
止する必要がなくなるので、高速の外観検査を行なうこ
とができる効果がある。

また、瞬時画像を多値画像データとして多値メモリに記
憶し、この多値画像データを２値化レベルで２値化して
２値画像データとすることにより、種々の２（′ｅＬ化
レ化生ベルする２値画像データを得ることができ、従っ
て検査のための最良の２値画像データを得ることができ
るので、検査信頼性を高めることができる効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係わる外観検査装置の一実施例を示す
構成図、第２図は第１図の装置の制御システムを示す系
統図、第３図は従来の外観検査装置を示す構成図である
。 １・・・半導体装置、２・・・ガイドレール、５・・・
センサ、７・・・ＴＶカメラ、８・・・振分はレール、
９．１０・・・アンローダレール、２０・・・前側ロー
ラ、２１・・・後側ローラ、２２・・・ストロボライト
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体装置を一定以上の間隔で搬送する送出し機構と、
   前記半導体装置の位置に同期した検出信号を発生する検
   出信号発生装置と、前記検出信号により前記半導体装置
   を瞬時照明する閃光装置と、この閃光装置の瞬時照明と
   同期して前記移動中の半導体装置の瞬時画像を取り込む
   ＴＶカメラと、前記瞬時画像を多値化回路により多値画
   像とし、この多値画像を多値メモリに記憶し、この多値
   メモリ内の前記多値画像を２値化して前記半導体装置を
   検査する画像処理装置とを備えたことを特徴とする半導
   体装置の外観検査装置。