JPS6380753A - リニアモ−タ駆動エアステ−ジ - Google Patents
リニアモ−タ駆動エアステ−ジInfo
- Publication number
- JPS6380753A JPS6380753A JP61225161A JP22516186A JPS6380753A JP S6380753 A JPS6380753 A JP S6380753A JP 61225161 A JP61225161 A JP 61225161A JP 22516186 A JP22516186 A JP 22516186A JP S6380753 A JPS6380753 A JP S6380753A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- linear motor
- stage
- stator
- stator holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、描画装置や露光装置あるいは検査装置などに
用いられるエア・ステージ装置、特に、リニアモータに
よって馬区動されるエア・ステージ装置の改良に関する
。
用いられるエア・ステージ装置、特に、リニアモータに
よって馬区動されるエア・ステージ装置の改良に関する
。
（従来の技術）
従来、この種のエアステージ装置としては、第２図に示
すように、移動台１を案内する２本の平行なガイドレー
ル２Ａ、２Ｂの間にリニアモータ３が設けられている形
式のものが公知である。また、この公知の装置の欠点を
解決するものとして、第３図に示すように、移動台１を
案内する１本のガイドレール２Ｃから所定の間隔だけ離
れてリニアモータ３が設けられている形式のエア・ステ
ージ装置を、本出願人は特願昭６１−１３６８０７号を
もって既に出願した。
すように、移動台１を案内する２本の平行なガイドレー
ル２Ａ、２Ｂの間にリニアモータ３が設けられている形
式のものが公知である。また、この公知の装置の欠点を
解決するものとして、第３図に示すように、移動台１を
案内する１本のガイドレール２Ｃから所定の間隔だけ離
れてリニアモータ３が設けられている形式のエア・ステ
ージ装置を、本出願人は特願昭６１−１３６８０７号を
もって既に出願した。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、第２図に示す形式のエア・ステージ装置
の場合には、リニアモータ３を挟んでガイドレール２Ａ
、２Ｂが設けられており、移動台１を案内するガイドレ
ールを２本必要とするので構成が複雑となってステージ
装置自体がコンパクトに構成できず、しかも、２本のガ
イドレール２Ａ、２Ｂとリニアモータ３との３者を極め
て高い精度で平行に設置しなければならない為、組立て
作業がむずかしい欠点があった。また、第３図に示す形
式のエア・ステージ装置の場合は、ガイドレール２Ｃに
対してリニアモータ３が偏って配置されており、移動台
１のヨーイング運動の回転中心と、リニアモータ３の駆
動中心とがずれている為、駆動時および制動時に移動台
１にモーメント力が生じる。その為、移動台の駆動制御
の際に、移動台の移動精度（特にヨーイング）に悪影響
を及ぼし、高精度な駆動制御が困難となる恐れが有る。
の場合には、リニアモータ３を挟んでガイドレール２Ａ
、２Ｂが設けられており、移動台１を案内するガイドレ
ールを２本必要とするので構成が複雑となってステージ
装置自体がコンパクトに構成できず、しかも、２本のガ
イドレール２Ａ、２Ｂとリニアモータ３との３者を極め
て高い精度で平行に設置しなければならない為、組立て
作業がむずかしい欠点があった。また、第３図に示す形
式のエア・ステージ装置の場合は、ガイドレール２Ｃに
対してリニアモータ３が偏って配置されており、移動台
１のヨーイング運動の回転中心と、リニアモータ３の駆
動中心とがずれている為、駆動時および制動時に移動台
１にモーメント力が生じる。その為、移動台の駆動制御
の際に、移動台の移動精度（特にヨーイング）に悪影響
を及ぼし、高精度な駆動制御が困難となる恐れが有る。
本発明は、上記従来装置の欠点（問題点）を解決し、移
動台の駆動、制御の際に回転モーメントを生じさせるこ
と無く、しかもコンパクトで高精度に駆動制御できるエ
アステージを提供することを目的とする。
動台の駆動、制御の際に回転モーメントを生じさせるこ
と無く、しかもコンパクトで高精度に駆動制御できるエ
アステージを提供することを目的とする。
（問題点を解決する為の手段）
上記の目的を達成するために、本発明においては、エア
パッドを介して移動可能に支持されたエアステージの移
動台のほぼ中央部の下面にリニアモータの移動子を固設
すると共に、この移動子に対向する固定子を内部に保持
し且つ移動台の移動方向に長く伸びた固定子保持部材の
長手方向の両側面を互いに平行な案内面に形成し、移動
台がその平行な案内面に沿って前記のエアパッドを介し
て移動するように構成することを技術的手段としている
。
パッドを介して移動可能に支持されたエアステージの移
動台のほぼ中央部の下面にリニアモータの移動子を固設
すると共に、この移動子に対向する固定子を内部に保持
し且つ移動台の移動方向に長く伸びた固定子保持部材の
長手方向の両側面を互いに平行な案内面に形成し、移動
台がその平行な案内面に沿って前記のエアパッドを介し
て移動するように構成することを技術的手段としている
。
（作用）
リニアモータ（１５）は移動子（１６）、固定子（１７
）および固定子（１７）を内部に保持する固定子保持部
材（１８）とを有し、その固定子保持部材（１８）の長
手方向の両側面は互いに平行な案内面（１８ｂ、１８ｃ
）に形成され、エアステージの移動台（１１）はこの案
内面ｃｉｓｂ。
）および固定子（１７）を内部に保持する固定子保持部
材（１８）とを有し、その固定子保持部材（１８）の長
手方向の両側面は互いに平行な案内面（１８ｂ、１８ｃ
）に形成され、エアステージの移動台（１１）はこの案
内面ｃｉｓｂ。
１８Ｃ）によってエアパッド（１２ｃ、１２ｄ）を介し
て案内される。また固定子（１７）に対向する移動子（
１６）は移動台（１１）のほぼ中央部分に固設されてお
り、移動台（１１）の移動中心と移動台（１１）のヨー
イング回転中心とが一致するように構成されている。従
って、移動子（１６）が固定子（１７）に沿って長手方
向に検事 動する際、移動台（１１）に回転トクを与えることなく
、移動台（１１）を案内面（１８ｂ、１８Ｃ）に沿って
円滑に移動させることが可能となる。
て案内される。また固定子（１７）に対向する移動子（
１６）は移動台（１１）のほぼ中央部分に固設されてお
り、移動台（１１）の移動中心と移動台（１１）のヨー
イング回転中心とが一致するように構成されている。従
って、移動子（１６）が固定子（１７）に沿って長手方
向に検事 動する際、移動台（１１）に回転トクを与えることなく
、移動台（１１）を案内面（１８ｂ、１８Ｃ）に沿って
円滑に移動させることが可能となる。
またヨーイング運動も減少させることができる。
さらに、案内面（１８ｂ、１８Ｃ）の中間に移動子（１
６）が設けられているので、このリニアモータ（１５）
による移動台（１１）の駆動はアツベの原理にかない、
移動精度を向上させることができる。
６）が設けられているので、このリニアモータ（１５）
による移動台（１１）の駆動はアツベの原理にかない、
移動精度を向上させることができる。
（実施例）
次に、本発明の実施例を添付の図面に基づいて詳しく説
明する。
明する。
させるためｂ上下方向のガイド面１０ａ、１０ｂがそれ
ぞれ紙面に垂直な方向に長く形成され、両ガイド面１０
ａ、１０ｂのほぼ中間に、後で詳しく述べられるリニア
モータ１５が配置されている。
ぞれ紙面に垂直な方向に長く形成され、両ガイド面１０
ａ、１０ｂのほぼ中間に、後で詳しく述べられるリニア
モータ１５が配置されている。
移動台１１の下面の両側端には、エアパッド１２ａ〜１
２ｄを取り付けるための取付は部材１３Ａ、および１３
Ｂが、移動台１１の中心Ｘに対して左右対称に固設され
ている。エアパッド１２ａと１２ｂとは、取付は部材１
３Ａと１３Ｂのそれぞれ下面に固定され、ステージ基盤
１０のガイド面１０ａ、１０ｂと対向するように設けら
れている。
２ｄを取り付けるための取付は部材１３Ａ、および１３
Ｂが、移動台１１の中心Ｘに対して左右対称に固設され
ている。エアパッド１２ａと１２ｂとは、取付は部材１
３Ａと１３Ｂのそれぞれ下面に固定され、ステージ基盤
１０のガイド面１０ａ、１０ｂと対向するように設けら
れている。
また、他のエアパッド１２ｃと１２ｄとは、それぞれ取
付は部材１３Ａと１３Ｂの側面に互いに対向するように
固設されている。それぞれのエアパッド１２ａと、１２
ｃおよび１２ｂと１２ｄは給気管１４ＡＳ１４Ｂによっ
て圧縮空気が送り込まれるように構成されている。
付は部材１３Ａと１３Ｂの側面に互いに対向するように
固設されている。それぞれのエアパッド１２ａと、１２
ｃおよび１２ｂと１２ｄは給気管１４ＡＳ１４Ｂによっ
て圧縮空気が送り込まれるように構成されている。
リニアモータ１５は、大別して、移動台１１の下面両側
部に設けられた取付は部材１３Ａと１３Ｂとのほぼ中間
の移動台１１の下面に固設され且つ電磁コイルを有する
移動子（直進移動部材）１６と、多数の永久磁力を組み
合せて移動台１１の移動方向に長く形成された固定子（
ステーター）１７と、その固定子１７を保持し且つ移動
台ＩＪを移動方向に案内する固定子保持枠１８とから構
成されている。その固定子保持枠１８は、ステージ！盤
１０上のガイド面１０ａと１０ｂとの中間に固設されて
いる。また、固定子保持枠１８は、移動台１１の移動方
向に長い溝１８ａを有し、この溝１８ａの底部に固定子
１７が設けられ、移動子１６は、固定子１７の上面に沿
ってその溝１８ａ内を移動するように構成されている。
部に設けられた取付は部材１３Ａと１３Ｂとのほぼ中間
の移動台１１の下面に固設され且つ電磁コイルを有する
移動子（直進移動部材）１６と、多数の永久磁力を組み
合せて移動台１１の移動方向に長く形成された固定子（
ステーター）１７と、その固定子１７を保持し且つ移動
台ＩＪを移動方向に案内する固定子保持枠１８とから構
成されている。その固定子保持枠１８は、ステージ！盤
１０上のガイド面１０ａと１０ｂとの中間に固設されて
いる。また、固定子保持枠１８は、移動台１１の移動方
向に長い溝１８ａを有し、この溝１８ａの底部に固定子
１７が設けられ、移動子１６は、固定子１７の上面に沿
ってその溝１８ａ内を移動するように構成されている。
さらに、固定子保持枠１８の両ガイド側面１８ｂ、１８
ｃは互いに平行するように形成され、取付は部材１３Ａ
と１３Ｂの側面に設けられたエアパッド１２ｃ、１２ｄ
が、そのガイド面１８ｂと１８Ｃにそれぞれ近接するよ
うに設けられている。なお、移動台１１を駆動する移動
子１６は、固定子保持枠台１１のヨーイング回転中心と
一致するように構成されている。
ｃは互いに平行するように形成され、取付は部材１３Ａ
と１３Ｂの側面に設けられたエアパッド１２ｃ、１２ｄ
が、そのガイド面１８ｂと１８Ｃにそれぞれ近接するよ
うに設けられている。なお、移動台１１を駆動する移動
子１６は、固定子保持枠台１１のヨーイング回転中心と
一致するように構成されている。
第１図の実施例は上記のように構成されているので、給
気管１４Ａ、１４Ｂに一定圧力の圧縮空気を送り込むと
、各エアパッド１２ａ〜１２ｄの表面から圧縮空気が噴
出し、エアパッド１２ａ、咀 １２ｂとステージ基板１０上のガイド面１０ａ、１０ｂ
との間、およびエアパッド１２ｃ、１２ｄと固定子保持
枠１８のガイド面１８ｂ、１８ｃとの間にそれぞれ、空
気の薄膜層を形成して、所定の間隙を保持し、それぞれ
のエアパッドとガイド面との間に摩擦抵抗が殆んど生じ
ないように構成されている。従って、リニアモータ１５
を駆動すると、移動台１１は、各ガイド面１０ａ、１０
ｂ１１８ｂ、１８Ｃに沿って極めて円滑に移動可能とな
る。
気管１４Ａ、１４Ｂに一定圧力の圧縮空気を送り込むと
、各エアパッド１２ａ〜１２ｄの表面から圧縮空気が噴
出し、エアパッド１２ａ、咀 １２ｂとステージ基板１０上のガイド面１０ａ、１０ｂ
との間、およびエアパッド１２ｃ、１２ｄと固定子保持
枠１８のガイド面１８ｂ、１８ｃとの間にそれぞれ、空
気の薄膜層を形成して、所定の間隙を保持し、それぞれ
のエアパッドとガイド面との間に摩擦抵抗が殆んど生じ
ないように構成されている。従って、リニアモータ１５
を駆動すると、移動台１１は、各ガイド面１０ａ、１０
ｂ１１８ｂ、１８Ｃに沿って極めて円滑に移動可能とな
る。
リニアモータ１５によって移動台１１を紙面に垂直な方
向に起動する際、移動子１６が固定子保持枠１８の両側
に形成されたガイド面１８ｂと１８０の間の中央部分に
配置され且つ移動台１１の中心部分に取り付けられてい
るため、リニアモータ１５によるステージ駆動中心Ｘと
ヨーイング回転中心とは一致する。従って、その駆動時
や制動時に、移動台１１にモーメント力が生じない。そ
の為、移動台１１は、円滑且つ効率よく直進駆動され、
しかも、ヨーイング運動も殆んど生しないようにするこ
とが可能となる。また、アツベの原理を満足するので、
極めて高精度の駆動、制御が可能となる。
向に起動する際、移動子１６が固定子保持枠１８の両側
に形成されたガイド面１８ｂと１８０の間の中央部分に
配置され且つ移動台１１の中心部分に取り付けられてい
るため、リニアモータ１５によるステージ駆動中心Ｘと
ヨーイング回転中心とは一致する。従って、その駆動時
や制動時に、移動台１１にモーメント力が生じない。そ
の為、移動台１１は、円滑且つ効率よく直進駆動され、
しかも、ヨーイング運動も殆んど生しないようにするこ
とが可能となる。また、アツベの原理を満足するので、
極めて高精度の駆動、制御が可能となる。
以上の如く本発明によれば、リニアモータの固定子保持
枠の両側面にステージ移動方向のガイド面を形成し、そ
の固定子保持枠の中央部分の溝内Ｉご に移動台のほぼ中央部に固定された移動子を配置したの
で、移動台の直進方向の移動を案内するガイド部材を特
に設ける必要が無く、エアステージをコンパクトに簡素
化して構成でき、より軽量、小型で、より組立て易いエ
アステージとすることが可能となる。さらに、移動台の
駆動中心とヨーイング回転中心とを一致させ且つアツベ
の原理にかなうように構成したので、より円滑で、しか
も高精度に駆動、制御することが可能となる利点が有る
。
枠の両側面にステージ移動方向のガイド面を形成し、そ
の固定子保持枠の中央部分の溝内Ｉご に移動台のほぼ中央部に固定された移動子を配置したの
で、移動台の直進方向の移動を案内するガイド部材を特
に設ける必要が無く、エアステージをコンパクトに簡素
化して構成でき、より軽量、小型で、より組立て易いエ
アステージとすることが可能となる。さらに、移動台の
駆動中心とヨーイング回転中心とを一致させ且つアツベ
の原理にかなうように構成したので、より円滑で、しか
も高精度に駆動、制御することが可能となる利点が有る
。
第１図は本発明の実施例を示すエアステージの構成を示
す断面図で、第２図および第３図は、それぞれガイド部
分の構成の異なる従来公知のエアステージの断面図であ
る。 （主要部分の符号の説明） １０・・・ステージ基盤、 １１・・・移動台、１２３
〜１２ｄ・・・エアパッド、 １５・・・リニアモータ、 １６・・・移動子、 １７・・・固定子、１８・・・固
定子保持枠（固定子保持部材）、面 １８ｂ、１８ｃ・・・案内樋。
す断面図で、第２図および第３図は、それぞれガイド部
分の構成の異なる従来公知のエアステージの断面図であ
る。 （主要部分の符号の説明） １０・・・ステージ基盤、 １１・・・移動台、１２３
〜１２ｄ・・・エアパッド、 １５・・・リニアモータ、 １６・・・移動子、 １７・・・固定子、１８・・・固
定子保持枠（固定子保持部材）、面 １８ｂ、１８ｃ・・・案内樋。
Claims (2)
- （１）エアパッドを介して移動可能に支持された移動台
のほぼ中央部の下面にリニアモータの移動子を固設する
と共に、前記移動子に対向する固定子を内部に保持し且
つ前記移動台の移動方向に長く伸びた固定子保持部材の
長手方向の両側面を互いに平行な案内面に形成し、前記
移動台が前記平行な案内面に沿って前記エアパッドを介
して移動する如く構成したことを特徴とするリニアモー
タ駆動エアステージ。 - （２）前記移動台（１１）は下面両側端に、前記エアパ
ッド（１２ａ〜１２ｄ）が固設された取付け部材（１３
Ａ、１３Ｂ）を有し、該取付け部材（１３Ａ、１３Ｂ）
の側面に固設されエアパッド（１２ｃ、１２ｄ）によっ
て前記固定子保持部材（１８）の案内面（１８ｂ、１８
ｃ）が挟まれる如く構成されていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のリニアモータ駆動エアステー
ジ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61225161A JPS6380753A (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | リニアモ−タ駆動エアステ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61225161A JPS6380753A (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | リニアモ−タ駆動エアステ−ジ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6380753A true JPS6380753A (ja) | 1988-04-11 |
Family
ID=16824899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61225161A Pending JPS6380753A (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | リニアモ−タ駆動エアステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6380753A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61116965A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-04 | Mitsubishi Electric Corp | エア浮上式リニア搬送装置 |
-
1986
- 1986-09-24 JP JP61225161A patent/JPS6380753A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61116965A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-04 | Mitsubishi Electric Corp | エア浮上式リニア搬送装置 |
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