JPS6380439A

JPS6380439A - シヤドウマスクの表面処理方法

Info

Publication number: JPS6380439A
Application number: JP22440386A
Authority: JP
Inventors: Tetsuya Watanabe; 徹也渡辺; Hiroshi Kimura; 寛木村; Katsuhiro Ono; 克弘大野; Morio Yamamoto; 山本　盛男
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1986-09-22
Filing date: 1986-09-22
Publication date: 1988-04-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明はカラー陰極線管に内蔵される色選別電極であ
るシャドウマスクの表面処理方法に関するものである。

［従来の技術］カラー陰極線管におけるシャドウマスクの製造方法につ
いては、株式会社産報の電子科学１９６４年、ＶＯＬ、
１４１　　ＮＯ，９，３６頁および、３９〜４０頁に示
されている。ところで、一般的に陰極線管は、第５図に
示す様に、皿状のガラス管容器であるパネル（３０）と
、電子ビームを発射する電子銃（３１）を内蔵している
ロート状のファンネル（３２）とからなり、これらパネ
ル（３０）とファンネル（３２）との間に色選別電極と
してのシャドウマスク（３３）が介在され、パネル（３
０）に支持部により保持されている。

このシャドウマスク（３３）は、厚さが０．１０〜０．
２５層馬の鉄板に丸形もしくは長方形の電子ビーム通過
孔（図示せず）をエツチング法等で形成したものであり
、初工程では平坦な形状である上記鉄板を水素雰囲気中
で７００〜９２０℃で熱処理してから、パネル（３０）
内面の球面形状にほぼ沿う形状にプレス加工し、そのの
ち、その表面に黒錆を得るための表面処理を施こして作
成される。このような表面処理を表面黒化と称しており
、表面黒化の方法には、プレス加工時に付着した油を完
全に脱脂したシャドウマスクを、アルカリ溶融塩に浸漬
する方法や、水蒸気または炭酸ガスの雰囲気中で加熱す
る方法がある。この処理で得られた黒錆は、カラー陰極
線管を製造する工程中において、シャドウマスク（３３
）が、空気中の雰囲気で４００℃前後で加熱される際に
発生する赤錆を防止するためのものである。一方、カラ
ー陰極線管の動作中に電子銃（３１）から発射された電
子ビームの８Ｍ近くは、シャドウマスク（３３）に衝突
して。

連動エネルギーが熱エネルギーに変換され、シャドウマ
スク（３３）の温度を上昇させる。このため、シャドウ
マスク（３３）は、熱膨張して歪を生じ、電子ビームの
蛍光面へのランディングの変化をもたらす、この現象を
ドーミングという。

ここで、上記黒錆の輻射率は約０，７５であり、シャド
ウマスク（３３）に黒錆を発生させることは、シャドウ
マスク（３３）の輻射率を大きくして熱放散を良好に行
うことにもなり、シャドウマスク（３３）の熱膨張によ
る歪を軽減できる。

また、最近のカラー陰極線管では、映像の忠実な再現性
という観点から、パネル（３０）面を平坦化したり、単
位面積あたりの情報量を多くするとともに、画質を明る
く鮮明化することが望まれている。このような要求に応
じるためには、単位面積あたりの情報量を決定する電子
ビーム通過孔の孔径を小さくし、かつ、ピッチを小さく
する必要がある。また、電子ビーム通過孔の孔径の最小
限界値は、シャドウマスク（３３）の板厚によって決定
されるものであり、孔径な小さくするためには板厚を薄
くしなければならない、たとえば、孔径を０．１５ｍｍ
にする場合には、板厚をほぼ０．１５ｍｍにまで薄くし
なければならない。

［発明が解決しようとする問題点］ところが、シャドウマスク（３３）は、その板厚が薄く
なると、それだけ温度が上昇しやすくなるので、黒錆を
設けて熱を放散させるだけでは、熱膨張による歪が十分
に防止されないという問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、シャドウマスクの熱膨張による歪を軽減して
、ドーミング現象を防止できるシャドウマスクの表面処
理方法を提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］この発明にかかるシャドウマスクの表面処理方法は、シ
ャドウマスクの電子銃側の表面の少なくとも一部に、重
金属またはその酸化物を主成分とする物質を、抵抗加熱
法によって蒸着させて、電子ビームを反射する膜を形成
する。

［作用］この発明において、形成された膜は、衝突する電子ビー
ムを効率よく反射させ、電子ビームの衝突によるシャド
ウマスクの温度上昇を抑制するので、シャドウマスクの
熱膨張による歪が軽減される。また、重金属またはその
酸化物を主成分とする物質は、シャドウマスクの表面に
蒸着されて膜を形成しているので、膜における上記物質
の粒子間の接着力が強く、膜から粒子がカラー陰極線管
内の浮遊粒子として離脱しない。

［発明の実施例］以下、この発明の一実施例を図面にしたがって説明する
。

第１図において、（１）は真空容器であり、この真空容
器（１）は架台（図示せず）に固定されたステンレス製
容器（２）と、このステンレス製容器（２）に開閉可悌
にかぶさるステンレス製容器（３）とでなり、ステンレ
ス製容器（２）とステンレス製容器（３）との間には、
ゴム製のパツキン（０が設けられている。

ステンレス製容器（２）の底部中央には排気管（５）が
接続されており、（６）は排気用のロータリーポンプで
ある。

真空容器（１）内のシャドウマスク（３３）は、その端
部が上記パツキン（４）上にａ？１されている。さらに
、真空容器（１）内には、たとえば、タングステンを使
用した抵抗蒸発皿（７）が支持されており、抵抗蒸発皿
（７）内には酸化ビスマス（８）が置かれている。抵抗
蒸発皿（７）は、その開口がシャドウマスク（３３）の
電子銃側の面で、かつ、熱膨張して歪み易い部分に対向
している。

さらに、抵抗蒸発皿（７）は、その底面が、シャドウマ
スク（３３）の歪の中心となる部分の法線（８）に対し
て垂直になるように支持されている。

つまり、抵抗蒸発皿（７）内の酸化ビスマス（８）から
上記歪の中心となる部分までの距離が最短になっている
。

ここで、ロータリーポンプ（８）で、真空容器（１）内
を約１０−ｆｆ１ｍ腸Ｈｇの真空にしたのち、抵抗蒸発
皿（７）に通電して、酸化ビスマス（８）を約７００〜
９００℃に加熱する。このとき、たとえば、１点から蒸
発した酸化ビスマス（８）は、その点から球面状に放射
されて、シャドウマスク（３３）に直進して蒸着する。

上記構成において、抵抗蒸発皿（７）が、シャドウマス
ク（３３）の熱膨張して歪み易い部分に向けて開口して
いるので、第２図のように、酸化ビスマスの１１９（１
０）は、シャドウマスク（３３）の熱膨張して歪み易い
部分に形成される。

酸化ビスマスの膜（１０）は、衝突する電子ビームを効
率よく反射させるので、電子ビームが衝突することによ
るシャドウマスク（３３）の温度上昇が抑制される。し
たがって、シャドウマスク（３３）の熱膨張による歪が
軽減されて、ドーミング現象が防止される。このとき、
膜（１０）の厚みの最大は約５ルｍでよい。

また、抵抗蒸発皿（７）内の酸化ビスマス（８）からシ
ャドウマスク（３３）の歪の中心となる部分までの距離
が最短となっているので、第３図および第４図のように
、膜（１０）は、シャドウマスク（３３）の歪の中心と
なる部分に最も厚く形成され、歪の中心から遠ざかるに
したがって薄くなるように形成される。したがって、シ
ャドウマスク（３３）の温度上昇を抑制するために、厚
さの大きな膜を必要とする部分には、その部分だけに厚
さの大きな膜を形成することができ、厚さが小さくても
よい部分にまで必要以上の厚さの膜が形成されるおそれ
がないので、カラー陰極線管内に不要物質を形成しなく
て済む◆ さらに、酸化ビスマス（８）（第１図）は、シャドウマ
スク（３３）に蒸着されて膜（ｌｏ）を形成しているの
で、Ｍ　（１Ｇ）における酸化ビスマスの粒子間の接着
力が強い、このため、酸化ビスマスの粒子が膜（ｌＯ）
から離脱することがないから、カラー陰極線管内に浮遊
粒子が発生しないので、カラー陰極線管の耐電圧特性が
悪化しない。

なお、この実施例では、蒸着させる物質として酸化ビス
マスを用いたが、この発明はこれに限られるものではな
く、ビスマス、鉛、鉛の酸化物質等を主成分とする物質
を用いてもよく、上記実施例と同様の効果を奏する。

また、この実施例では、第２図のように、膜（１０）を
シャドウマスク（３３）の電子銃側の表面の一部、つま
り、熱膨張して歪み易い部分にのみ形成したが、上記電
子銃側の表面全部に形成してもよいことはいうまでもな
い。

［発明の効果］以上のようにこの発明によれば、シャドウマスクに電子
ビームを反射させる膜を形成して、ドーミング現象を防
止することができる。また、膜を形成する粒子間の接着
力が強いから、膜から粒子が離脱しないので、カラー陰
極線管内に不要な浮遊粒子が発生しない。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるシャドウマスクの表
面処理を行なう装置の断面図、第２図は膜が形成された
シャドウマスクの平面図、第３図は第２図のｍ−ｍ断面
図、第４図は第２図の■−■断面図、第５図はカラー陰
極線管の組立図である。（８）・・・物質、（！０）・・・膜、（３３）・・・
シャドウマスク。なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）カラー陰極線管に内蔵される色選別電極であるシ
ヤドウマスクの電子銃側の表面の少なくとも一部に、重
金属またはその酸化物を主成分とする物質を、抵抗加熱
法によつて真空蒸着させて、電子ビームを反射させる膜
を形成するシヤドウマスクの表面処理方法。
（２）上記物質を蒸発皿に入れて、シヤドウマスクの熱
膨張して歪み易い部分に対向させて配置し、シヤドウマ
スクに蒸着させる特許請求の範囲第１項記載のシヤドウ
マスクの表面処理方法。
（３）上記物質を蒸発皿に入れて、この物質からシヤド
ウマスクにおける熱膨張による歪の中心となる部分まで
の距離が最短となるように配置した特許請求の範囲第２
項記載のシヤドウマスクの表面処理方法。