JPS6380203A - 撮像光学装置の像面照度補正方法 - Google Patents
撮像光学装置の像面照度補正方法Info
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- JPS6380203A JPS6380203A JP22646686A JP22646686A JPS6380203A JP S6380203 A JPS6380203 A JP S6380203A JP 22646686 A JP22646686 A JP 22646686A JP 22646686 A JP22646686 A JP 22646686A JP S6380203 A JPS6380203 A JP S6380203A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明は、TVカメラ等の結像光学系を有する撮像光学
装置の、像面照度の歪を補正する技術に関する。
装置の、像面照度の歪を補正する技術に関する。
(従来の技術)
例えば、TVカメラにより作業対象を撮影し、撮影した
画像を微小画素区分して画像処理し、各画素の明度(濃
度)から1作業対象の凹凸を検出し、指定部位(または
指定部材)を識別し、あるいは塗すムラ1色ムラ等を検
出して所定の作業を行なうロボットがある。これにおい
ては、各画素の明度(濃度)情報が作業種を決定するデ
ータとなるので、誤動作を防止するためにはデータを抽
出する条件をすべて同じにする必要がある。このため、
作業対象と照明およびTVカメラとの距離を一定にして
照明条件を統一し、また、これらの距離を小さくして外
乱を避けるなどの工夫がなされる、しかしながら、TV
カメラと作業対象との距離を小さくすると、TVカメラ
により撮影される作業対象の範囲(すなわち監視範囲)
が相対的に小さくなる。監視範囲は、−度の画像処理で
判定し得る作業量に対応するので、監視範囲が小さくな
ることは作業効率の低下を意味する。
画像を微小画素区分して画像処理し、各画素の明度(濃
度)から1作業対象の凹凸を検出し、指定部位(または
指定部材)を識別し、あるいは塗すムラ1色ムラ等を検
出して所定の作業を行なうロボットがある。これにおい
ては、各画素の明度(濃度)情報が作業種を決定するデ
ータとなるので、誤動作を防止するためにはデータを抽
出する条件をすべて同じにする必要がある。このため、
作業対象と照明およびTVカメラとの距離を一定にして
照明条件を統一し、また、これらの距離を小さくして外
乱を避けるなどの工夫がなされる、しかしながら、TV
カメラと作業対象との距離を小さくすると、TVカメラ
により撮影される作業対象の範囲(すなわち監視範囲)
が相対的に小さくなる。監視範囲は、−度の画像処理で
判定し得る作業量に対応するので、監視範囲が小さくな
ることは作業効率の低下を意味する。
そこで、この種のロボットにおいては、広角レンズを用
いて監視範囲を拡張し1作業効率の低下を防止している
。
いて監視範囲を拡張し1作業効率の低下を防止している
。
(発明が解決しようとする問題点)
ところが、光学レンズにおいては、eoj’ω則および
口径蝕として知られているように、結像部の像面照度は
、中心(光軸と交わる部位)から離れるに従って低下す
る。第3図に示したグラフaは、均一な光(面的に照度
分布が一定な光の意)をレンズLで受光したときの結像
部像面照度(つまり明るさ)を光軸を通る一断面につい
て示したものである。
口径蝕として知られているように、結像部の像面照度は
、中心(光軸と交わる部位)から離れるに従って低下す
る。第3図に示したグラフaは、均一な光(面的に照度
分布が一定な光の意)をレンズLで受光したときの結像
部像面照度(つまり明るさ)を光軸を通る一断面につい
て示したものである。
後者、すなわち口径蝕については、゛厚みがなるべく薄
くなるようなレンズ構成として開口効率を高めたり、レ
ンズと絞りを組み合せてレンズ口径にゆとりを持たせた
りすることにより、ある程度の像面照度の低下を抑える
ことができるが、前者、すなわちcog’ω則による像
面照度の低下については原理的に発生を防止し得ない0
例えば、ある種の広角レンズでは、このQO3’ 0則
による中心部に対する周辺部の像面照度の低下が50%
にも達する。
くなるようなレンズ構成として開口効率を高めたり、レ
ンズと絞りを組み合せてレンズ口径にゆとりを持たせた
りすることにより、ある程度の像面照度の低下を抑える
ことができるが、前者、すなわちcog’ω則による像
面照度の低下については原理的に発生を防止し得ない0
例えば、ある種の広角レンズでは、このQO3’ 0則
による中心部に対する周辺部の像面照度の低下が50%
にも達する。
このような光学レンズによる像面照度の低下をそのまま
にして、各画素の明度(濃度)情報を作業量を決定する
データとして抽出すれば、各画素ごとにデータの基準が
異なるのでロボットの誤動作は必至である。したがって
、従来のこの種のロボットにおいては、各画素の明度情
報に光学レンズによる像面照度の低下を補正する演算処
理を施して画像処理を行なっている。
にして、各画素の明度(濃度)情報を作業量を決定する
データとして抽出すれば、各画素ごとにデータの基準が
異なるのでロボットの誤動作は必至である。したがって
、従来のこの種のロボットにおいては、各画素の明度情
報に光学レンズによる像面照度の低下を補正する演算処
理を施して画像処理を行なっている。
つまり、この種のロボットのシステムは、−例を第5図
に示すと、TVカメラにより撮影した1フレ一ム分の影
像(作業対象)の、各画素ごとの明度(濃度)情報をA
/D変換し、それに演算による補正処理を施して抽出デ
ータとし、該抽出データにより画像処理を実行して作業
量を判定し、アクチュエータを駆動制御して作業を行な
っている。
に示すと、TVカメラにより撮影した1フレ一ム分の影
像(作業対象)の、各画素ごとの明度(濃度)情報をA
/D変換し、それに演算による補正処理を施して抽出デ
ータとし、該抽出データにより画像処理を実行して作業
量を判定し、アクチュエータを駆動制御して作業を行な
っている。
この場合、TVカメラにより作業対象を撮影してからア
クチュエータを駆動するまでの時間がロボットのデッド
タイムとなり1作業効率に大きく影響するので、この時
間はなるべく短いことが望ましい、つまり、明度(濃度
)情報の補正処理を行なうことは、この意に反する。
クチュエータを駆動するまでの時間がロボットのデッド
タイムとなり1作業効率に大きく影響するので、この時
間はなるべく短いことが望ましい、つまり、明度(濃度
)情報の補正処理を行なうことは、この意に反する。
本発明は、TVカメラ等の結像光学系を有する撮像光学
装置の、像面照度の歪を確実かつ簡単に補正する方法を
提供することを目的とする。
装置の、像面照度の歪を確実かつ簡単に補正する方法を
提供することを目的とする。
(問題点を解決するための手段)
上記目的を達成するため、本発明の像面照度補正方法に
おいては1面照度分布が実質的に均一な光を、補正対象
の撮像光学装置の結像手段に通して、光透過性基板に被
着した感光剤を露光し、該感光剤を現像して、該撮像光
学装置の像面照度分布と逆対応の光透過率分布の該光透
過性基板を得て、これを該撮像光学装置の光路に結合す
るものとする。
おいては1面照度分布が実質的に均一な光を、補正対象
の撮像光学装置の結像手段に通して、光透過性基板に被
着した感光剤を露光し、該感光剤を現像して、該撮像光
学装置の像面照度分布と逆対応の光透過率分布の該光透
過性基板を得て、これを該撮像光学装置の光路に結合す
るものとする。
(作用)
つまり、撮像光学装置の像面照度分布を示す対数関数(
面的な広がり関数を対数で示したもの)をFとし、定数
をkとするとき、感光剤を現像して得た光透過性基板の
光透過率分布は、1(=−F+k ・・・・
・ (1)なる対数関数Hにより示されるものとなる。
面的な広がり関数を対数で示したもの)をFとし、定数
をkとするとき、感光剤を現像して得た光透過性基板の
光透過率分布は、1(=−F+k ・・・・
・ (1)なる対数関数Hにより示されるものとなる。
したがって、これを撮像光学装置の光路に結合すれば。
任意の被写体の明度(濃度)の広がり関数(対数)をG
として、該被写体に対する撮像光学装置の像面照度の広
がり関数(対数)G′は、 G ’ =G+ F+H =G+F−F+に =G+ k ・・・・・ (2)となり、
像面照度の非線形歪が補正される。
として、該被写体に対する撮像光学装置の像面照度の広
がり関数(対数)G′は、 G ’ =G+ F+H =G+F−F+に =G+ k ・・・・・ (2)となり、
像面照度の非線形歪が補正される。
具体的には、例えば、スチールカメラ(写真機)に、補
正対象のTVカメラのレンズをセットし、均一な光源を
被写体としてネガフィルムを露光し、現像して、該TV
カメラの像面照度分布と逆対応の光透過本分布のネガ画
像を得て、これを、該TVカメラの撮像面に装着するこ
とにより、該TVカメラの像面照度分布の歪を補正する
。
正対象のTVカメラのレンズをセットし、均一な光源を
被写体としてネガフィルムを露光し、現像して、該TV
カメラの像面照度分布と逆対応の光透過本分布のネガ画
像を得て、これを、該TVカメラの撮像面に装着するこ
とにより、該TVカメラの像面照度分布の歪を補正する
。
このネガ画像を得るまでの手法は通常の写真処理にほぼ
同一であり、また、該ネガ画像をTVカメラの光路に結
合するだけであるので、非常に簡単に像面照度分布の歪
を補正を補正することができる。
同一であり、また、該ネガ画像をTVカメラの光路に結
合するだけであるので、非常に簡単に像面照度分布の歪
を補正を補正することができる。
本発明の他の目的および特徴は、以下の図面を参照した
実施例説明より明らかになろう。
実施例説明より明らかになろう。
(実施例)
第1図は1本発明を一態様で実施する光学フィルタ製造
装置の概要を示すブロック図である。
装置の概要を示すブロック図である。
第1図において、1は補正を要するTVカメラ(第2図
)のレンズ組体であり、スチールカメラ本体2とTVカ
メラに多く渭いられるCマウント方式で結合されている
。
)のレンズ組体であり、スチールカメラ本体2とTVカ
メラに多く渭いられるCマウント方式で結合されている
。
3aはASAlooの市販ネガフィルムである。
5はランプアレイであり、多数のランプが2次元稠密配
列されている。ランプアレイ5の光量は。
列されている。ランプアレイ5の光量は。
光量調整器6により任意に調整することができる。
4はランプアレイ5の光を均質化するための散光板であ
る。
る。
第2図を参照されたい、第2図は1作業対象9を撮影す
るTVカメラの概略構成図である。1は前述したレンズ
組体であり、TV左カメラ体7とCマウント方式で結合
されている。TV左カメラ体7の撮像部には、2次元配
列のCCDアレイ8があり、CCDアレイ8の撮像面に
はフィルタ3bが配設されている。
るTVカメラの概略構成図である。1は前述したレンズ
組体であり、TV左カメラ体7とCマウント方式で結合
されている。TV左カメラ体7の撮像部には、2次元配
列のCCDアレイ8があり、CCDアレイ8の撮像面に
はフィルタ3bが配設されている。
本実施例のTVカメラは、作業対象9に対して常時一定
の距離に設置される。すなわち1作業対象9の表面C2
と、TV左カメラ体7のマウント面A2との距離d2は
一定である。そこで、第1図の、散光板4の表面C1と
スチールカメラ本体2のマウント面A1との距111d
xを、d2に等しくなるようにスチールカメラ本体2を
設置している。また、スチールカメラ本体2には、フラ
ンジバックf1.すなわちスチールカメラ本体2のマウ
ント面A1と撮像面B1との距離が、TV左カメラ体7
のフランジパックf2.すなわちTV左カメラ体7のマ
ウント面A2と撮像面B2との距離に等しいものを使用
している。
の距離に設置される。すなわち1作業対象9の表面C2
と、TV左カメラ体7のマウント面A2との距離d2は
一定である。そこで、第1図の、散光板4の表面C1と
スチールカメラ本体2のマウント面A1との距111d
xを、d2に等しくなるようにスチールカメラ本体2を
設置している。また、スチールカメラ本体2には、フラ
ンジバックf1.すなわちスチールカメラ本体2のマウ
ント面A1と撮像面B1との距離が、TV左カメラ体7
のフランジパックf2.すなわちTV左カメラ体7のマ
ウント面A2と撮像面B2との距離に等しいものを使用
している。
第4図は、第1図のフィルム3aの感光特性を示すグラ
フであり、横軸は露光量Eの常用対数値。
フであり、横軸は露光量Eの常用対数値。
縦軸は濃度(すなわち、現像後の光透過率の逆数の常用
対数値)を示す、このグラフの線形部位が露光のラチチ
ュードLaであり、この範囲においてグラフの傾きθが
45° (すなわち、γ=1)であれば、露光量と濃度
とは比例する。
対数値)を示す、このグラフの線形部位が露光のラチチ
ュードLaであり、この範囲においてグラフの傾きθが
45° (すなわち、γ=1)であれば、露光量と濃度
とは比例する。
以上の、第1図、第2図および第4図を参照して、レン
ズ組体1による結像部像面照度の歪を補正する光学フィ
ルタ、すなわち、フィルタ3bを作成する方法を説明す
る。
ズ組体1による結像部像面照度の歪を補正する光学フィ
ルタ、すなわち、フィルタ3bを作成する方法を説明す
る。
ネガフィルム3aは市販のASAlooのネガフィルム
であるので、第4図に示した感光特性は既知データであ
る。そこで、まず、露光のラチチュードLaの開始点(
最も露光量の少ない端:すなわち現像後のネガフィルム
の濃度が最も低い)が、スチールカメラ結像部の像面照
度の最も暗い部位。
であるので、第4図に示した感光特性は既知データであ
る。そこで、まず、露光のラチチュードLaの開始点(
最も露光量の少ない端:すなわち現像後のネガフィルム
の濃度が最も低い)が、スチールカメラ結像部の像面照
度の最も暗い部位。
すなわち周縁の露光量となるようにランプアレイ5の光
量および露光時間を調整する9本実施例では、スチール
カメラ本体2として絞り優先のTTL自動露光量調整カ
メラを使用して、開放時の露光時間が1/125sec
となるように、光量調整器6によりランプアレイ5の光
量を調整した。
量および露光時間を調整する9本実施例では、スチール
カメラ本体2として絞り優先のTTL自動露光量調整カ
メラを使用して、開放時の露光時間が1/125sec
となるように、光量調整器6によりランプアレイ5の光
量を調整した。
市販ネガフィルムであれば現像特性(現像条件によるγ
の変化)は既知データとしであるので。
の変化)は既知データとしであるので。
露光したフィルム3aを、γ=1となる条件で現像する
0本実施例では、現像液温約25℃、現像時間約6分の
現像条件で現像した。
0本実施例では、現像液温約25℃、現像時間約6分の
現像条件で現像した。
現像後、定着したものが第2図のフィルタ3bである。
レンズ組体1による結像部像面照度低下特性が第3図の
グラフaのように表わされ(レンズ組体1はレンズLと
等価と考えられたい)、像面の中心と周縁との照度差(
明るさの差)が0.3(対数値:すなわち像面の中心に
対する周縁の照度の低下が50%)であれば、このフィ
ルタ3bは、グラフbで表わされるような1周縁と中心
との光透過率の差が0.3(対数値;すなわち周縁に対
する中心の光透過率の低下が50%)であるフィルタと
なる。この場合、γ=1であるので、グラフaとグラフ
bとは線対称となり、グラフaとグラフbとを重ね合せ
ると直線となる。つまり、このフィルタ3bをTVカメ
ラ本体7のCCDアレイ8の撮像面に装着することによ
り、CCDアレイ8の撮像面全域で、レンズ組体1の影
響を受けない画像を読み取ることができる。また、露光
のラチチュードの開始点の濃度がフィルタ3bsaの濃
度となるので、このフィルタ3bを介挿することによる
像面照度の低下〔第(2)式線形項kによる照度低下〕
は最、小限にすることができる(第4図参照)。
グラフaのように表わされ(レンズ組体1はレンズLと
等価と考えられたい)、像面の中心と周縁との照度差(
明るさの差)が0.3(対数値:すなわち像面の中心に
対する周縁の照度の低下が50%)であれば、このフィ
ルタ3bは、グラフbで表わされるような1周縁と中心
との光透過率の差が0.3(対数値;すなわち周縁に対
する中心の光透過率の低下が50%)であるフィルタと
なる。この場合、γ=1であるので、グラフaとグラフ
bとは線対称となり、グラフaとグラフbとを重ね合せ
ると直線となる。つまり、このフィルタ3bをTVカメ
ラ本体7のCCDアレイ8の撮像面に装着することによ
り、CCDアレイ8の撮像面全域で、レンズ組体1の影
響を受けない画像を読み取ることができる。また、露光
のラチチュードの開始点の濃度がフィルタ3bsaの濃
度となるので、このフィルタ3bを介挿することによる
像面照度の低下〔第(2)式線形項kによる照度低下〕
は最、小限にすることができる(第4図参照)。
第2b図のフィルタ3bを備えたTVカメラを、第5図
に示したロボットの制御システムに利用すると、TVカ
メラは、光学レンズ(レンズ組体1)による像面照度の
低下を補正した信号を出力するので、あらためて補正処
理を行なう必要がなくなり、第6図に示したようなシス
テム構成となる。
に示したロボットの制御システムに利用すると、TVカ
メラは、光学レンズ(レンズ組体1)による像面照度の
低下を補正した信号を出力するので、あらためて補正処
理を行なう必要がなくなり、第6図に示したようなシス
テム構成となる。
つまり、補正処理を行なう時間だけロボットのデッドタ
イムが短縮されて1作業効率が高くなる。
イムが短縮されて1作業効率が高くなる。
なお、上記実施例においては、フィルタ3bをCCDア
レイ8の撮像面、すなわち、TVカメラの結像部に装着
しているが、撮像面とレンズ組体1の間、あるいはレン
ズ組体1と被写体の間に配設しても良い、また、本発明
は、上記実施例で述べたTVカメラのみならず、結像光
学系を有する撮像光学装置全般に適要することができる
。
レイ8の撮像面、すなわち、TVカメラの結像部に装着
しているが、撮像面とレンズ組体1の間、あるいはレン
ズ組体1と被写体の間に配設しても良い、また、本発明
は、上記実施例で述べたTVカメラのみならず、結像光
学系を有する撮像光学装置全般に適要することができる
。
以上説明したとおり1本発明の像面照度補正方法におい
ては1面前度分布が実質的に均一な光を、補正対象の撮
像光学装置の結像手段に通して、光透過性基板に被着し
た感光剤を露光するので、該感光剤を現像したときに、
該撮像光学装置の像面照度分布と逆対応の光透過性基板
の光透過性基板が得られ、これを該撮像光学装置の光路
に結合することにより、撮像光学装置の像面照度の非線
形歪が容易かつ確実に補正される。
ては1面前度分布が実質的に均一な光を、補正対象の撮
像光学装置の結像手段に通して、光透過性基板に被着し
た感光剤を露光するので、該感光剤を現像したときに、
該撮像光学装置の像面照度分布と逆対応の光透過性基板
の光透過性基板が得られ、これを該撮像光学装置の光路
に結合することにより、撮像光学装置の像面照度の非線
形歪が容易かつ確実に補正される。
また、これにおいては、撮像光学装置の光路にに現像後
の光透過性基板を結合するのみであるので、システム内
に使用される撮像光学装置に適要する場合にも、ハード
的およびソフト的な変更を必要としない、なお、この補
正は光学的になさ九るので、補正に要する時間は零であ
る。
の光透過性基板を結合するのみであるので、システム内
に使用される撮像光学装置に適要する場合にも、ハード
的およびソフト的な変更を必要としない、なお、この補
正は光学的になさ九るので、補正に要する時間は零であ
る。
さらには、実施例で説明したように、感光剤を被着した
光透過性基板として写真用ネガフィルムを使用すれば1
通常の写真撮影と同様にして前記補正用の基板を作成す
ることができ、至って簡単であり、コスト的にも有利で
ある。
光透過性基板として写真用ネガフィルムを使用すれば1
通常の写真撮影と同様にして前記補正用の基板を作成す
ることができ、至って簡単であり、コスト的にも有利で
ある。
第1図は本発明を一態様で実施する光学フィルタ製造装
置の概要を示すブロック図である。 第2図は第1図に示した装置により作成した光学フィル
タ3bを備えたTVカメラの概略構成図である。 第3図はレンズLによる結像部像面照度低下特性および
、第1図に示した装置により作成した光学フィルタ3b
の光透過率の分布を示すグラフである。 第4図は第1図のフィルム3aの感光特性を示すグラフ
である。 第5図は従来技術による作業ロボットのシステム構成を
一例で示すブロック図、第6図は本発明技術による作業
ロボットのシステム構成を一例で示すブロック図である
。 1:レンズ組体(結像光学系) 2ニスチ一ルカメラ本体 3a;ネガフィルム(感光体) 3b:フィルタ (光学フィルタ装置)4:散光板 5:ランプアレイ 6:光量調整器 7:TVカメラ本体 8 : CCDアレイ 1.7.8: (撮像手段) 9:作業対象 特許出願人 アイシン精機株式会社 第1ワ 第30 第4図
置の概要を示すブロック図である。 第2図は第1図に示した装置により作成した光学フィル
タ3bを備えたTVカメラの概略構成図である。 第3図はレンズLによる結像部像面照度低下特性および
、第1図に示した装置により作成した光学フィルタ3b
の光透過率の分布を示すグラフである。 第4図は第1図のフィルム3aの感光特性を示すグラフ
である。 第5図は従来技術による作業ロボットのシステム構成を
一例で示すブロック図、第6図は本発明技術による作業
ロボットのシステム構成を一例で示すブロック図である
。 1:レンズ組体(結像光学系) 2ニスチ一ルカメラ本体 3a;ネガフィルム(感光体) 3b:フィルタ (光学フィルタ装置)4:散光板 5:ランプアレイ 6:光量調整器 7:TVカメラ本体 8 : CCDアレイ 1.7.8: (撮像手段) 9:作業対象 特許出願人 アイシン精機株式会社 第1ワ 第30 第4図
Claims (4)
- (1)面照度分布が実質的に均一な光を、補正対象の撮
像光学装置の結像手段に通して、光透過性基板に被着し
た感光剤を露光し、該感光剤を現像して、該撮像光学装
置の像面照度分布と逆対応の光透過率分布の該光透過性
基板を得て、これを該撮像光学装置の光路に結合する撮
像光学装置の像面照度補正方法。 - (2)前記感光剤の露光は、感光剤のラチチュードにお
いてなされる前記特許請求の範囲第(1)項記載の撮像
光学装置の像面照度補正方法。 - (3)前記感光剤の露光は、最少露光量を含む光量でな
される前記特許請求の範囲第(2)項記載の撮像光学装
置の像面照度補正方法。 - (4)前記感光剤の現像は、γ=1を現像条件とする前
記特許請求の範囲第(1)項記載の撮像光学装置の像面
照度補正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22646686A JPS6380203A (ja) | 1986-09-25 | 1986-09-25 | 撮像光学装置の像面照度補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22646686A JPS6380203A (ja) | 1986-09-25 | 1986-09-25 | 撮像光学装置の像面照度補正方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6380203A true JPS6380203A (ja) | 1988-04-11 |
Family
ID=16845538
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22646686A Pending JPS6380203A (ja) | 1986-09-25 | 1986-09-25 | 撮像光学装置の像面照度補正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6380203A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007335863A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Asml Netherlands Bv | グレーフィルタを有する波面センサおよびそれを含むリソグラフィ装置 |
-
1986
- 1986-09-25 JP JP22646686A patent/JPS6380203A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007335863A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Asml Netherlands Bv | グレーフィルタを有する波面センサおよびそれを含むリソグラフィ装置 |
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