JPS637503U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS637503U JPS637503U JP10116786U JP10116786U JPS637503U JP S637503 U JPS637503 U JP S637503U JP 10116786 U JP10116786 U JP 10116786U JP 10116786 U JP10116786 U JP 10116786U JP S637503 U JPS637503 U JP S637503U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- blade
- cutting blade
- wafer
- cutting fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 claims 5
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図は本考案の実施装置の構成を示す正面図
、第２図は第１図の縦断面図、第３図と第４図は
夫々実施装置の動作説明図、第５図は実施装置に
よる切断結果を示す図である。 １：切断ブレード、２：切断刃、４：被切断物
、８：第１の噴出ノズル、９：第２の噴出ノズル
、１２：ブレード変位センサー。
、第２図は第１図の縦断面図、第３図と第４図は
夫々実施装置の動作説明図、第５図は実施装置に
よる切断結果を示す図である。 １：切断ブレード、２：切断刃、４：被切断物
、８：第１の噴出ノズル、９：第２の噴出ノズル
、１２：ブレード変位センサー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエーハを切断するための切断刃を内周部
に形成した切断ブレードと、該切断ブレードの反
り状況を検出するブレード変位センサーと、前記
切断ブレードの切断刃の表面側と裏面側に対して
夫々別個に切削液を噴出し、表面に付着した切粉
を洗い落す２つの切削液噴出ノズルと、前記変位
センサーから送られてくる切断ブレードの反り情
報に応じて前記２つの切削液噴出ノズルによる切
削液の供給を切換え制御する制御部とを有するこ
とを特徴とするウエーハ切断装置。 (2) 反りを生じた切断ブレードの表裏面のうち
突状面側に切削液が噴出される実用新案登録請求
の範囲第１項記載のウエーハ切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10116786U JPS637503U (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10116786U JPS637503U (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS637503U true JPS637503U (ja) | 1988-01-19 |
Family
ID=30971665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10116786U Pending JPS637503U (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS637503U (ja) |
-
1986
- 1986-06-30 JP JP10116786U patent/JPS637503U/ja active Pending
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