JPH0477413U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0477413U JPH0477413U JP12052490U JP12052490U JPH0477413U JP H0477413 U JPH0477413 U JP H0477413U JP 12052490 U JP12052490 U JP 12052490U JP 12052490 U JP12052490 U JP 12052490U JP H0477413 U JPH0477413 U JP H0477413U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- wafer
- cutting wheel
- wheel
- nozzles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図ａ及びｂは本考案の一実施例を示すウエ
ーハ切断装置の正面図及び側面図、第２図は第１
図のウエーハ切断装置の動作を説明するための側
面図である。 １……砥石、２，２ａ……切削液供給用ノズル
、３，３ａ……ノズル、４……カバー、５……ス
テージ、６……水、７……ウエーハ、８……溜る
切削液。
ーハ切断装置の正面図及び側面図、第２図は第１
図のウエーハ切断装置の動作を説明するための側
面図である。 １……砥石、２，２ａ……切削液供給用ノズル
、３，３ａ……ノズル、４……カバー、５……ス
テージ、６……水、７……ウエーハ、８……溜る
切削液。
Claims (1)
- ウエーハを切断する切断砥石と、この切断砥石
の両側面に配置されるとともに切削砥石の両側面
に切削液を供給する切削液供給用ノズルとを有す
るウエーハ切断装置において、前記切削砥石の前
後に配置されるとともに所定の圧力で水あるいは
空気を噴出する２つのノズルとを備え、前記ウエ
ーハと前記切断砥石との移動方向により前記ノズ
ルから前記水あるいは空気を噴出することを特徴
とするウエーハ切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12052490U JPH0477413U (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12052490U JPH0477413U (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0477413U true JPH0477413U (ja) | 1992-07-07 |
Family
ID=31868426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12052490U Pending JPH0477413U (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0477413U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013099809A (ja) * | 2011-11-08 | 2013-05-23 | Disco Corp | 切削装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6480506A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-27 | Hitachi Ltd | Dicer |
-
1990
- 1990-11-16 JP JP12052490U patent/JPH0477413U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6480506A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-27 | Hitachi Ltd | Dicer |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013099809A (ja) * | 2011-11-08 | 2013-05-23 | Disco Corp | 切削装置 |