JPS6371627A - 圧力計試験装置 - Google Patents
圧力計試験装置Info
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- JPS6371627A JPS6371627A JP21550186A JP21550186A JPS6371627A JP S6371627 A JPS6371627 A JP S6371627A JP 21550186 A JP21550186 A JP 21550186A JP 21550186 A JP21550186 A JP 21550186A JP S6371627 A JPS6371627 A JP S6371627A
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- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007123 defense Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
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- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は例えば圧力計の校正を(うう圧力計試験装置
、特にプランジャポンプを用いた試験圧力の発生に関す
るものでおる。
、特にプランジャポンプを用いた試験圧力の発生に関す
るものでおる。
[従来の技iji ’r
ブルドン管ヤベローズを用いた圧力計及び電気式圧力計
などの目盛室めや圧力指示値の校正のため従来は分銅式
圧力計試験器が用いられている。
などの目盛室めや圧力指示値の校正のため従来は分銅式
圧力計試験器が用いられている。
第3図は分銅式圧力計試験器の構造図であり、図におい
て1は圧力を伝達する油の油タンク、9は管路を開閉す
るストップバルブ、10は目湛定めや圧力指示値の校正
を受ける圧力計、20は試験圧力の標準となる分銅、2
1は分銅20の受圧部を備えたラム、22は圧力伝達を
11う油の油路、23は試験圧力を発生させるピストン
、24はピストン23の発生する試9.圧力を調節する
ハンドル、25は分銅式圧力計試験器を保持するベラ1
〜である。
て1は圧力を伝達する油の油タンク、9は管路を開閉す
るストップバルブ、10は目湛定めや圧力指示値の校正
を受ける圧力計、20は試験圧力の標準となる分銅、2
1は分銅20の受圧部を備えたラム、22は圧力伝達を
11う油の油路、23は試験圧力を発生させるピストン
、24はピストン23の発生する試9.圧力を調節する
ハンドル、25は分銅式圧力計試験器を保持するベラ1
〜である。
従来の分銅式圧力計試験器は上記のように?を成され、
例えば、校正を行う試験圧力に相当する分銅20をラム
21に設置し、ラム21を回転させなからハンドル24
を操作してピストン23の吐出圧力を壜、加して分銅2
0とラム21が押上げられ油圧力と平衡させる、このと
きの圧力計10の指示値が分銅20とラム21相当の圧
力でおる。 \■ P = −KS f /’ c屑 〜′: 分銅20とラム21の合計重量A:ラム21の
有効受圧面積 校正が終了したとき、ハンドル24を逆方向に操作して
ピストン23の吐出圧力を低下させて分S’A 20と
ラム21を下げる。
21に設置し、ラム21を回転させなからハンドル24
を操作してピストン23の吐出圧力を壜、加して分銅2
0とラム21が押上げられ油圧力と平衡させる、このと
きの圧力計10の指示値が分銅20とラム21相当の圧
力でおる。 \■ P = −KS f /’ c屑 〜′: 分銅20とラム21の合計重量A:ラム21の
有効受圧面積 校正が終了したとき、ハンドル24を逆方向に操作して
ピストン23の吐出圧力を低下させて分S’A 20と
ラム21を下げる。
次に池の試1験圧力による校正を行うとぎ、試論圧力に
相当ターる分銅2Qをラム2]に設置して上記と同様の
操作を行い該当圧力の校正を行う。
相当ターる分銅2Qをラム2]に設置して上記と同様の
操作を行い該当圧力の校正を行う。
上記の通り、1頃次校正を行う試KFi力に相当する分
銅20を選定して、各種レンジの圧力計の目盛定めや圧
力指示の校正を行うようになっている。
銅20を選定して、各種レンジの圧力計の目盛定めや圧
力指示の校正を行うようになっている。
[発明7)1解決しようとする問題点1上記のような従
来の分銅式圧力計試駄器では圧力計]Oに入力する試験
圧力発生のため分銅20を用いているので、試験日力か
異なる度に分銅20を又模するa特に350KFJf−
′cm以上の高い試験圧力による校正を行うとき、非常
に重量の大きい分銅20′@使用し且つハンドル23の
操作力も大きくなる。その1分kli 20のラム21
への設置作業が重労働になり作業の安全性が問題となる
。
来の分銅式圧力計試駄器では圧力計]Oに入力する試験
圧力発生のため分銅20を用いているので、試験日力か
異なる度に分銅20を又模するa特に350KFJf−
′cm以上の高い試験圧力による校正を行うとき、非常
に重量の大きい分銅20′@使用し且つハンドル23の
操作力も大きくなる。その1分kli 20のラム21
への設置作業が重労働になり作業の安全性が問題となる
。
更に試験圧力か変わる都度また圧力計”IQ(7)圧力
レンジが異る都度ハシ1ヘル24を操作して、ピストン
23の吐出圧力の増加及び減少ざぜて繰返し校正試験を
行うため、圧力計10の校正試験に時間を要し作業効率
か低いという問題点がめった。
レンジが異る都度ハシ1ヘル24を操作して、ピストン
23の吐出圧力の増加及び減少ざぜて繰返し校正試験を
行うため、圧力計10の校正試験に時間を要し作業効率
か低いという問題点がめった。
この発明はかかる問題点を解決するためになされたもの
で、圧力の標準に分銅20を用いることなく、圧力計1
0のi交圧試験は設定器により試論圧力を設定し、スイ
ッチ操作のみの軽作業にて行え間熱性を要せず、安全性
が高くならびに圧力計校正時間の矧い生産性の高い圧力
計試験装置を得ることを目的とする。
で、圧力の標準に分銅20を用いることなく、圧力計1
0のi交圧試験は設定器により試論圧力を設定し、スイ
ッチ操作のみの軽作業にて行え間熱性を要せず、安全性
が高くならびに圧力計校正時間の矧い生産性の高い圧力
計試験装置を得ることを目的とする。
[問題点を解決するための手Dj
この発明に係る圧力計試験装置は、試論圧力にて校正さ
れた電気信号を出力する設定器と、試験圧力に応動して
電気信号を出力する電気式圧力計と、82定器出力と電
気式圧力計出力が入力されるサーボ増幅器と、サーボ増
幅器出力の偏差(信号によりドライバ回路8経て制御さ
れるサーボモータと、サーボモータの作動に追従した吐
出圧力を出力するプランジャポンプと、所定の空気圧に
応動しl:吐出圧力を出力する増1土シリンダと、増圧
シリンダ出力を逆止め弁を介してプランジャポンプ出力
へ加えて成るものCある。
れた電気信号を出力する設定器と、試験圧力に応動して
電気信号を出力する電気式圧力計と、82定器出力と電
気式圧力計出力が入力されるサーボ増幅器と、サーボ増
幅器出力の偏差(信号によりドライバ回路8経て制御さ
れるサーボモータと、サーボモータの作動に追従した吐
出圧力を出力するプランジャポンプと、所定の空気圧に
応動しl:吐出圧力を出力する増1土シリンダと、増圧
シリンダ出力を逆止め弁を介してプランジャポンプ出力
へ加えて成るものCある。
[作用〕
この発明においては、試験圧力の基準は設定器が出力す
る電気信号に基づいてあり、圧力計試論装置の作動の初
期に空気圧により作w3する増圧シリンダの予圧作用に
より、試験圧力(よ8速に増加して管路内空気を圧縮し
、爾後設定器による設定圧力と電気式圧力計出力との[
i差信号により作動するフィードバックサーボ方式によ
り、プランジャポンプの吐出圧力が制御され自動的に試
論圧力は設定圧力に整定される。従って設定器を用いて
試験圧力を電気的に設定することにより圧力計の校正が
行える。
る電気信号に基づいてあり、圧力計試論装置の作動の初
期に空気圧により作w3する増圧シリンダの予圧作用に
より、試験圧力(よ8速に増加して管路内空気を圧縮し
、爾後設定器による設定圧力と電気式圧力計出力との[
i差信号により作動するフィードバックサーボ方式によ
り、プランジャポンプの吐出圧力が制御され自動的に試
論圧力は設定圧力に整定される。従って設定器を用いて
試験圧力を電気的に設定することにより圧力計の校正が
行える。
:実施例j
第1図はこの発明の一実施例を示すブロック図であり、
1.9.1Qは上記従来装置と全く同一のものである。
1.9.1Qは上記従来装置と全く同一のものである。
2(1本装置の作動を11旧する指令器、3は指令器2
の指令により1π勤し油タンク1からの管路を接続する
油圧電磁弁、4は指令器2の指令により作動し空気圧源
との接続を行う空気圧電磁弁、5は油圧電磁弁3の作動
により油タンク1より浦が充満されフィートバックサー
ボの圧力に比i′;il して吐出圧力か増加するプラ
ンジャポンプ、6は管路の(由の)尾れの方向制御を行
う逆止め弁、7は逆止め弁6を介して油タンク1より浦
が充満され1次側空気圧にて作動し2次(閉油圧の吐出
圧力を出力する増圧シリンダ、8は試験圧力に応動して
電気信号を出力する電気式圧力計、9は管路の「開」、
j−間」を行うスト・ツブバルブ、10は圧力計、11
は圧力計10の試験圧力を10進3桁のディジタルスイ
ッチを用いて設定する設定器、12は電気式圧力計8と
設定器11のそれぞれの出力信号が入力されるサーボ増
幅器、13はサーボ増幅器12の出力を増幅するドライ
バ回路、14はドライバ回路13出力により制御される
サーボモータ、15はサーボモータ14とこれに追従す
るプランジャポンプ5との相互間をタイミングベルトと
ボールねじを用いて機械的に接続する連結器を用いた場
合を示している。
の指令により1π勤し油タンク1からの管路を接続する
油圧電磁弁、4は指令器2の指令により作動し空気圧源
との接続を行う空気圧電磁弁、5は油圧電磁弁3の作動
により油タンク1より浦が充満されフィートバックサー
ボの圧力に比i′;il して吐出圧力か増加するプラ
ンジャポンプ、6は管路の(由の)尾れの方向制御を行
う逆止め弁、7は逆止め弁6を介して油タンク1より浦
が充満され1次側空気圧にて作動し2次(閉油圧の吐出
圧力を出力する増圧シリンダ、8は試験圧力に応動して
電気信号を出力する電気式圧力計、9は管路の「開」、
j−間」を行うスト・ツブバルブ、10は圧力計、11
は圧力計10の試験圧力を10進3桁のディジタルスイ
ッチを用いて設定する設定器、12は電気式圧力計8と
設定器11のそれぞれの出力信号が入力されるサーボ増
幅器、13はサーボ増幅器12の出力を増幅するドライ
バ回路、14はドライバ回路13出力により制御される
サーボモータ、15はサーボモータ14とこれに追従す
るプランジャポンプ5との相互間をタイミングベルトと
ボールねじを用いて機械的に接続する連結器を用いた場
合を示している。
上記のように構成された圧力計試論装置において、指令
器2を操作して油圧電磁弁3を作動させ油タンク1より
プランジャポンプ5に油を充満させる。他方増圧シリン
ダ7は逆止め弁6を介して油タンク1より油か充満され
る、ストップバルブ9を「開」とし所定の圧力レンジを
備えた圧力計10の試験圧力に設定器11の例えば10
進3桁の試験圧力にて校正された電気信号を出力するデ
ィジタルスイッチを設定する。
器2を操作して油圧電磁弁3を作動させ油タンク1より
プランジャポンプ5に油を充満させる。他方増圧シリン
ダ7は逆止め弁6を介して油タンク1より油か充満され
る、ストップバルブ9を「開」とし所定の圧力レンジを
備えた圧力計10の試験圧力に設定器11の例えば10
進3桁の試験圧力にて校正された電気信号を出力するデ
ィジタルスイッチを設定する。
指令器2の操作により空気電磁弁4を作動させると、通
常7 Kl f / crAの空気圧源より空気電磁弁
4を経て増圧シリンダ7が作動し油圧出力の吐出圧力が
急速に増加する、同時に圧力計10の指示も増加する。
常7 Kl f / crAの空気圧源より空気電磁弁
4を経て増圧シリンダ7が作動し油圧出力の吐出圧力が
急速に増加する、同時に圧力計10の指示も増加する。
増圧シリンダ7による吐出圧力は空気圧源の圧力に依存
しており、圧力計10を含む試験装置の測定管路内の残
留空気を急速に圧縮して所定の圧力まで上昇させ圧力試
験が効率良く行えるよう整定する。圧力計10に入力さ
れる試験圧力は同時に電気式圧力計8にも入力され当該
圧力によるフィードバンク信号としての電気信号と設定
器11のデイシタルエ2定信号はアナログ信号に変換さ
れてそれぞれサーボ増幅器12に入力されその園差濡号
がドライバ回路13を経てサーボモータ14ヘカロえら
れその回転制御を行う。
しており、圧力計10を含む試験装置の測定管路内の残
留空気を急速に圧縮して所定の圧力まで上昇させ圧力試
験が効率良く行えるよう整定する。圧力計10に入力さ
れる試験圧力は同時に電気式圧力計8にも入力され当該
圧力によるフィードバンク信号としての電気信号と設定
器11のデイシタルエ2定信号はアナログ信号に変換さ
れてそれぞれサーボ増幅器12に入力されその園差濡号
がドライバ回路13を経てサーボモータ14ヘカロえら
れその回転制御を行う。
各種圧力レンジに対して♂2定器11はディジタル設定
構造であるので、ディジタル設定値及び電気式圧力計8
の各電気出力を試験圧力値にて校正することにより設定
器11のノツチを所定の試験圧力の値に設定して使用で
きる。サーボモータ14の回転動作は例えばボールねじ
とタイミングベルトを用いた連結器15によりプランジ
ャポンプ5にバックラッシュが非常に小さくなるように
連結されてピストン位置が制御されるので、プランジャ
ポンプ5はハンティング動作を発生することなく吐出圧
力が増加しその出力油路は前記増圧シリンダ7の吐出圧
力の出力油路と、逆止め弁6を介して接続されて圧力計
10に入力され、プランジャポンプ5の吐出圧力か増圧
シリンダ7の吐出圧力より大きくなると逆止め弁6が作
動し以後プランジャポンプ5の吐出圧力のみにより試験
圧力を増加させて設定器11による設定圧力と整合させ
る。
構造であるので、ディジタル設定値及び電気式圧力計8
の各電気出力を試験圧力値にて校正することにより設定
器11のノツチを所定の試験圧力の値に設定して使用で
きる。サーボモータ14の回転動作は例えばボールねじ
とタイミングベルトを用いた連結器15によりプランジ
ャポンプ5にバックラッシュが非常に小さくなるように
連結されてピストン位置が制御されるので、プランジャ
ポンプ5はハンティング動作を発生することなく吐出圧
力が増加しその出力油路は前記増圧シリンダ7の吐出圧
力の出力油路と、逆止め弁6を介して接続されて圧力計
10に入力され、プランジャポンプ5の吐出圧力か増圧
シリンダ7の吐出圧力より大きくなると逆止め弁6が作
動し以後プランジャポンプ5の吐出圧力のみにより試験
圧力を増加させて設定器11による設定圧力と整合させ
る。
従って、試験圧力の整定は応答性良く短時間にて行える
。増圧シリンダ7の吐出圧力の予1日作用により測定管
路内の残留空気が急速に圧縮されて、爾1多;コ定器1
1と電気式圧力計7の(偏差出力により作動するサーボ
モータ14にて駆動されるプランシトポンプ5の吐出圧
力のみにより試験圧力は増加するので、ドライバ回路の
利得を調整することにより制御の整定時間を通正にして
試験圧力の設定圧力への整定を正確に一致させ試験装置
としての精度の向上を計っている。
。増圧シリンダ7の吐出圧力の予1日作用により測定管
路内の残留空気が急速に圧縮されて、爾1多;コ定器1
1と電気式圧力計7の(偏差出力により作動するサーボ
モータ14にて駆動されるプランシトポンプ5の吐出圧
力のみにより試験圧力は増加するので、ドライバ回路の
利得を調整することにより制御の整定時間を通正にして
試験圧力の設定圧力への整定を正確に一致させ試験装置
としての精度の向上を計っている。
電気式圧力計8出力に指示計を付設し試験圧力を指示さ
せて、校正される圧力計10の基準とすることもてきる
。
せて、校正される圧力計10の基準とすることもてきる
。
上記の通り本発明は、本装置の作動の初期に空気圧によ
り作動する増圧シリング70予圧作用により測定管路内
残留空気が急速に圧縮されるので、設定器11による設
定圧力への整定時間が従来の1.−′4に著しく短縮さ
れ、電気式、1カ計8は高精度の圧力信号を出力し、ま
た油圧ff1ll i系のサーボモータ′14とプラン
ジgyポンプ5との接続にタイミングベルトとボールね
じを用いてバックラッシュの非常に小ざな連結器15を
採用し、フィードバックサーボ方式により制御が行われ
るので、制郭時のハンティングの発生か抑制され設定器
11の89定圧力に非常に正確に追従する高精度の試験
圧力が17られる。
り作動する増圧シリング70予圧作用により測定管路内
残留空気が急速に圧縮されるので、設定器11による設
定圧力への整定時間が従来の1.−′4に著しく短縮さ
れ、電気式、1カ計8は高精度の圧力信号を出力し、ま
た油圧ff1ll i系のサーボモータ′14とプラン
ジgyポンプ5との接続にタイミングベルトとボールね
じを用いてバックラッシュの非常に小ざな連結器15を
採用し、フィードバックサーボ方式により制御が行われ
るので、制郭時のハンティングの発生か抑制され設定器
11の89定圧力に非常に正確に追従する高精度の試験
圧力が17られる。
第2図に試験圧力の応答待[生を示し17は増圧シリン
ダ7の吐出圧力、18はプランジャポンプ5による吐出
圧力、試論圧力は本装置の作動の初期に急速に増加し、
設定圧力近傍では圧力変化は低速になる。
ダ7の吐出圧力、18はプランジャポンプ5による吐出
圧力、試論圧力は本装置の作動の初期に急速に増加し、
設定圧力近傍では圧力変化は低速になる。
従って、本弁明による圧力計試験装置を用いることによ
り圧力計10の校正試験が迅速且つ正確に効率良くiテ
うことかできる。
り圧力計10の校正試験が迅速且つ正確に効率良くiテ
うことかできる。
従来の分銅式圧力計試験器を使用するときのように試験
圧力が異なる度に分銅20S:選択してラム21へ設置
しビスl−ン23の吐出圧力をハンドル24操作により
制御するなどの分動作業から回避され、単に設定器11
のディジタルスイッチの操作により試験圧力をn9’E
シ指令器2のスイッチ操作を行うのみにて短時間に且つ
正確に圧力計の校正試絹が11える。設定器11は勿論
ディジタル方式に代わりダイヤル付き可変抵抗器などを
用いたアナログ方式においても同愼に行うことかできる
。
圧力が異なる度に分銅20S:選択してラム21へ設置
しビスl−ン23の吐出圧力をハンドル24操作により
制御するなどの分動作業から回避され、単に設定器11
のディジタルスイッチの操作により試験圧力をn9’E
シ指令器2のスイッチ操作を行うのみにて短時間に且つ
正確に圧力計の校正試絹が11える。設定器11は勿論
ディジタル方式に代わりダイヤル付き可変抵抗器などを
用いたアナログ方式においても同愼に行うことかできる
。
[発明の効果]
この発明は以上説明したとあり、空気圧にて作動する増
圧シリンダを設け、試験圧力に高精度て応動する電気式
圧力計を用いたフィードバック信号と設定器信号の偏差
出力によりプランジャポンプの吐出圧力を制御する簡単
な構造により、試験圧力の増加に予圧効果が作用し、試
験圧力の設定圧力への整定時間が著しく短縮され、設定
圧力近傍においては試験圧力の変化逼度が緩かになるの
でハンティングなとの発生か抑制され、試験圧力は類時
間に且つ正確に設定圧力に整定できる。
圧シリンダを設け、試験圧力に高精度て応動する電気式
圧力計を用いたフィードバック信号と設定器信号の偏差
出力によりプランジャポンプの吐出圧力を制御する簡単
な構造により、試験圧力の増加に予圧効果が作用し、試
験圧力の設定圧力への整定時間が著しく短縮され、設定
圧力近傍においては試験圧力の変化逼度が緩かになるの
でハンティングなとの発生か抑制され、試験圧力は類時
間に且つ正確に設定圧力に整定できる。
更に本弁明による圧力計試験装置の作動)ユ指令器によ
るスイッチ操作と設定器による試験圧力の設定のみで行
えるので、分銅やシリングのハンドル操作を要しない安
全性ならびに作業効率の高い軽作業にて行えるという効
果が市る。
るスイッチ操作と設定器による試験圧力の設定のみで行
えるので、分銅やシリングのハンドル操作を要しない安
全性ならびに作業効率の高い軽作業にて行えるという効
果が市る。
第1図はこの発明の一実施例を示すブロック図、第2図
は試験圧力の応答特性図、第3図は従来の分銅式圧力計
試験器の@造図である。 図において、1は油タンク、2は指令器、3は油圧電磁
弁、4は突気圧電磁片、5はプランジャポンプ、6は逆
止め弁、7は増圧シリンダ、8は電気式圧力計、10は
圧力計、11は設定器、12はサーボ増幅器、13はド
ライバ回路、14はサーボモータ、15は連結器である
。 なお、各図中同一符号は同一または相当81分を示す。 特許出願人 株式会社 東 京 計 器第1図
は試験圧力の応答特性図、第3図は従来の分銅式圧力計
試験器の@造図である。 図において、1は油タンク、2は指令器、3は油圧電磁
弁、4は突気圧電磁片、5はプランジャポンプ、6は逆
止め弁、7は増圧シリンダ、8は電気式圧力計、10は
圧力計、11は設定器、12はサーボ増幅器、13はド
ライバ回路、14はサーボモータ、15は連結器である
。 なお、各図中同一符号は同一または相当81分を示す。 特許出願人 株式会社 東 京 計 器第1図
Claims (1)
- (1)試験圧力にて校正された電気信号を出力する設定
器と、該試験圧力に応動して電気信号を出力する電気式
圧力計と、該設定器出力と該電気式圧力計出力とが入力
されるサーボ増幅器と、該サーボ増幅器出力の偏差信号
によりドライバ回路を経て制御されるサーボモータと、
該サーボモータの作動に追従した吐出圧力を出力するプ
ランジャポンプと、所定の空気圧に応動した吐出圧力を
出力する増圧シリンダと、該増圧シリンダ出力を逆止め
弁を介して該プランジャポンプ出力へ加えるように備え
てなることを特徴とする圧力計試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21550186A JPS6371627A (ja) | 1986-09-12 | 1986-09-12 | 圧力計試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21550186A JPS6371627A (ja) | 1986-09-12 | 1986-09-12 | 圧力計試験装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6371627A true JPS6371627A (ja) | 1988-04-01 |
JPH054624B2 JPH054624B2 (ja) | 1993-01-20 |
Family
ID=16673439
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21550186A Granted JPS6371627A (ja) | 1986-09-12 | 1986-09-12 | 圧力計試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6371627A (ja) |
Cited By (3)
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JPH02189436A (ja) * | 1989-01-17 | 1990-07-25 | Nagano Keiki Seisakusho Ltd | 加圧装置及び圧力計調整システム |
EP0694774A1 (en) * | 1994-07-27 | 1996-01-31 | Ametek Denmark A/S | Apparatus and method for the calibration of a pressure responsive device |
KR100430559B1 (ko) * | 2002-04-26 | 2004-05-10 | 한국표준과학연구원 | 분동교환장치 및 그 장치를 이용한 계측기 교정방법 |
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1986
- 1986-09-12 JP JP21550186A patent/JPS6371627A/ja active Granted
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH054624B2 (ja) | 1993-01-20 |
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