JPS637155U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS637155U JPS637155U JP10095386U JP10095386U JPS637155U JP S637155 U JPS637155 U JP S637155U JP 10095386 U JP10095386 U JP 10095386U JP 10095386 U JP10095386 U JP 10095386U JP S637155 U JPS637155 U JP S637155U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- attachment tube
- shielding plate
- peripheral wall
- pressure sensor
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 1
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例であるプラズマ遮蔽
機構の要部を示す断面図であり、第2図は同図の
A―A矢視拡大断面図であり、第3図は同遮蔽板
の拡大斜視図である。第4図は遮蔽板の変型例を
示す拡大側面図である。第5図はプラズマ応用成
膜装置の全体概略図である。 1……チヤンバ周壁、2……圧力センサ、3…
…取付管、4……外方端、4a……(外方端)外
周、4b……(外方端)内周、5……キヤツプ、
6……本体、7……圧力導入管、8a,8b……
シール材、9……当て金、10……ボルト、11
……メツシユ、12……遮蔽板、13……カラ、
14……アセンブリ用ボルト、15a,15b…
…ワツシヤ、16……アセンブリ用ナツト、17
……スクリユー状遮蔽板、18……RF電極、1
9……基板、C……チヤンバ、D……プラズマ発
生領域、M……プラズマ、m……取付管軸心、S
……迷路。
機構の要部を示す断面図であり、第2図は同図の
A―A矢視拡大断面図であり、第3図は同遮蔽板
の拡大斜視図である。第4図は遮蔽板の変型例を
示す拡大側面図である。第5図はプラズマ応用成
膜装置の全体概略図である。 1……チヤンバ周壁、2……圧力センサ、3…
…取付管、4……外方端、4a……(外方端)外
周、4b……(外方端)内周、5……キヤツプ、
6……本体、7……圧力導入管、8a,8b……
シール材、9……当て金、10……ボルト、11
……メツシユ、12……遮蔽板、13……カラ、
14……アセンブリ用ボルト、15a,15b…
…ワツシヤ、16……アセンブリ用ナツト、17
……スクリユー状遮蔽板、18……RF電極、1
9……基板、C……チヤンバ、D……プラズマ発
生領域、M……プラズマ、m……取付管軸心、S
……迷路。
Claims (1)
- チヤンバ周壁に取付管を介して圧力センサが取
り付けられるプラズマ応用成膜装置において、前
記取付管内にプラズマのその軸心方向の侵入を遮
断する迷路を形成する遮蔽板を介設したことを特
徴とするプラズマ遮蔽機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10095386U JPS637155U (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10095386U JPS637155U (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS637155U true JPS637155U (ja) | 1988-01-18 |
Family
ID=30971251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10095386U Pending JPS637155U (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS637155U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003003433A1 (fr) * | 2001-06-28 | 2003-01-09 | Tokyo Electron Limited | Port de capteur de chambre, chambre et processeur de faisceau electronique |
JP2015072792A (ja) * | 2013-10-03 | 2015-04-16 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
-
1986
- 1986-06-30 JP JP10095386U patent/JPS637155U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003003433A1 (fr) * | 2001-06-28 | 2003-01-09 | Tokyo Electron Limited | Port de capteur de chambre, chambre et processeur de faisceau electronique |
JP2015072792A (ja) * | 2013-10-03 | 2015-04-16 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |