JPS63152988U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63152988U JPS63152988U JP4536087U JP4536087U JPS63152988U JP S63152988 U JPS63152988 U JP S63152988U JP 4536087 U JP4536087 U JP 4536087U JP 4536087 U JP4536087 U JP 4536087U JP S63152988 U JPS63152988 U JP S63152988U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flange
- metal gasket
- vacuum flange
- vacuum
- seals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)
Description
第１図、第２図は、それぞれ本考案の実施例の
真空フランジの断面図である。 １，５１…フランジ、２，５２…金属ガスケツ
ト、３，５３…ボルト穴、４，５４…シールエツ
ジ、５，５５…外壁、６…スペーサー、７，５７
…空隙、８，５８…管。
真空フランジの断面図である。 １，５１…フランジ、２，５２…金属ガスケツ
ト、３，５３…ボルト穴、４，５４…シールエツ
ジ、５，５５…外壁、６…スペーサー、７，５７
…空隙、８，５８…管。
補正 昭６２．７．９
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書第５頁第８行目〜１０行目に「４．図面
の簡単な説明・・・断面図である。」とあるのを
次のように補正する。 「第１図、第２図は、それぞれ本考案の実施例
の真空フランジの断面図、第３図は、従来の真空
フランジの断面図である。」。
の簡単な説明・・・断面図である。」とあるのを
次のように補正する。 「第１図、第２図は、それぞれ本考案の実施例
の真空フランジの断面図、第３図は、従来の真空
フランジの断面図である。」。
Claims (1)
- 接合面に金属ガスケツトを挾着してシールを行
うシールエツジを備えた真空フランジにおいて、
該金属ガスケツトの外周部とは、自己の内周部で
接し且つ該フランジで挾持される環状のスペーサ
ーを備えたことを特徴とする真空フランジ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987045360U JPH0426780Y2 (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987045360U JPH0426780Y2 (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63152988U true JPS63152988U (ja) | 1988-10-06 |
| JPH0426780Y2 JPH0426780Y2 (ja) | 1992-06-26 |
Family
ID=30864030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987045360U Expired JPH0426780Y2 (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0426780Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5983282U (ja) * | 1982-11-27 | 1984-06-05 | 高エネルギ−物理学研究所長 | 超高真空用フランジ継手構造 |
| JPS6136789U (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-07 | 日本電子株式会社 | 超高真空用接続装置 |
-
1987
- 1987-03-27 JP JP1987045360U patent/JPH0426780Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5983282U (ja) * | 1982-11-27 | 1984-06-05 | 高エネルギ−物理学研究所長 | 超高真空用フランジ継手構造 |
| JPS6136789U (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-07 | 日本電子株式会社 | 超高真空用接続装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0426780Y2 (ja) | 1992-06-26 |
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