JPS62186037U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62186037U JPS62186037U JP7404186U JP7404186U JPS62186037U JP S62186037 U JPS62186037 U JP S62186037U JP 7404186 U JP7404186 U JP 7404186U JP 7404186 U JP7404186 U JP 7404186U JP S62186037 U JPS62186037 U JP S62186037U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- metal housing
- receiving diaphragm
- axial side
- cover
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第1図は本考案による圧力センサユニツトの一
実施例の縦断面図、第2図は第1図の圧力センサ
ユニツトを組み込んだ圧力変換器の縦断面図であ
る。 符号の説明、10……金属製ハウジング、11
……内向フランジ部、12……軸方向一側部、1
3……軸方向他側部、15……開口、18……圧
力導入筒、20……カバー、25……シール部材
、30……受圧ダイヤフラム、31……表面側、
32……裏面側、S……半導体圧力センサ、V…
…空間。
実施例の縦断面図、第2図は第1図の圧力センサ
ユニツトを組み込んだ圧力変換器の縦断面図であ
る。 符号の説明、10……金属製ハウジング、11
……内向フランジ部、12……軸方向一側部、1
3……軸方向他側部、15……開口、18……圧
力導入筒、20……カバー、25……シール部材
、30……受圧ダイヤフラム、31……表面側、
32……裏面側、S……半導体圧力センサ、V…
…空間。
Claims (1)
- 中央に開口を有する内向フランジ部を備えた筒
状の金属製ハウジングと、この金属製ハウジング
の軸方向一側部を覆い外周縁が同金属製ハウジン
グに気密に固着されたカバーと、円板状の受圧ダ
イヤフラムを有する半導体圧力センサを備え、前
記受圧ダイヤフラムはその表面側が環状の柔軟弾
性体よりなるシール部材を介して前記内向フラン
ジ部に前記軸方向一側部とは反対側より気密に当
接されると共に前記金属製ハウジングとカバーと
受圧ダイヤフラムにより密閉された空間を真空と
し、前記金属製ハウジングの軸方向他側部には前
記受圧ダイヤフラムの裏面側に被測定圧を導入す
る圧力導入筒を設けてなる圧力センサユニツト。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7404186U JPS62186037U (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7404186U JPS62186037U (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62186037U true JPS62186037U (ja) | 1987-11-26 |
Family
ID=30918900
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7404186U Pending JPS62186037U (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62186037U (ja) |
-
1986
- 1986-05-16 JP JP7404186U patent/JPS62186037U/ja active Pending