JPS6367834U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6367834U JPS6367834U JP16070486U JP16070486U JPS6367834U JP S6367834 U JPS6367834 U JP S6367834U JP 16070486 U JP16070486 U JP 16070486U JP 16070486 U JP16070486 U JP 16070486U JP S6367834 U JPS6367834 U JP S6367834U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermocouple
- straight rod
- face
- resistant adhesive
- ceramic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
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- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す感温ユニツ
トの縦断面図、第２図は第１図のＡ―Ａ線断面図
、第３図および第４図はこの考案の他の実施例を
示す第２図相当図である。 ３……熱電対、６……直棒体、６ａ……端面、
７……穴、８……熱電対素線、９……接合部、１
０……耐熱性接着剤、２０……異形穴、２１……
直棒体、２２……管体、２３……耐熱性接着剤、
２４……直棒体。
トの縦断面図、第２図は第１図のＡ―Ａ線断面図
、第３図および第４図はこの考案の他の実施例を
示す第２図相当図である。 ３……熱電対、６……直棒体、６ａ……端面、
７……穴、８……熱電対素線、９……接合部、１
０……耐熱性接着剤、２０……異形穴、２１……
直棒体、２２……管体、２３……耐熱性接着剤、
２４……直棒体。
Claims (1)
- セラミツク製の直棒体を貫通する２本の穴に熱
電対素線を挿通し、前記直棒体の端面から露出し
た前記熱電対素線の接合部を、耐熱性接着剤によ
り被覆するとともに前記端面に固着して成る熱電
対。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16070486U JPS6367834U (ja) | 1986-10-20 | 1986-10-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16070486U JPS6367834U (ja) | 1986-10-20 | 1986-10-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6367834U true JPS6367834U (ja) | 1988-05-07 |
Family
ID=31086331
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16070486U Pending JPS6367834U (ja) | 1986-10-20 | 1986-10-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6367834U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013036977A (ja) * | 2011-07-13 | 2013-02-21 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 温度検出装置、基板処理装置、及び半導体装置の製造方法 |
-
1986
- 1986-10-20 JP JP16070486U patent/JPS6367834U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013036977A (ja) * | 2011-07-13 | 2013-02-21 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 温度検出装置、基板処理装置、及び半導体装置の製造方法 |