JPS636728U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るスプレー装置の支持具を
示す斜視図、第２図は同支持具の一部破断分解正
面図、第３図はホルダー載置台の平面図、第４図
キヤツプの底面図、第５図〜第７図は従来のスプ
レー装置を示し、第５図は全体構成図、第６図は
支持具上に基板を設置した状態の平面図、第７図
は支持具の平面図である。 １，１′……基板、１１……回転軸、１３……
チヤンバー、１４……ノズル、１５……噴出液、
２０……支持具、２１……ホルダー載置台、２１
Ａ……円筒部、２１Ｂ……円板部、２２……ホル
ダー、２３……キヤツプ、２６……ホルダー支持
部、２９……連結部、４０……インボリユート曲
線からなる曲線溝。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) チヤンバー内に配設された駆動装置によつ
   て回転される支持具上に基板を設置し、前記チヤ
   ンバー内に設けたノズルから前記基板に向けて噴
   出液を噴出し、前記支持具の回転により前記噴出
   液を前記基板の表面全体にほぼ均一にゆきわたら
   せるようにしたスプレー装置において、前記支持
   具は、回転軸に取付けられたホルダー装着台と、
   このホルダー装着台に互いに接近離間する方向に
   移動自在に配設され前記基板を保持する少なくと
   も一対のホルダーと、各ホルダーの一端がそれぞ
   れ摺動自在に係合することによりすべてのホルダ
   ーを同時に前記ホルダー装着台の径方向に往復移
   動させる複数の曲線溝または直線溝を有して前記
   ホルダー装着台に配設された回転自在なキヤツプ
   とを備えたことを特徴とするスプレー装置。 (2) 曲線溝はインボリユート曲線からなる溝で
   構成されていることを特徴とする実用新案登録請
   求の範囲第１項記載のスプレー装置。