JPS61144637U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るスプレー装置の支持具を
示す一部分解斜視図、第２図および第３図はそれ
ぞれ支持棒の要部側面図、第４図は支持具の要部
底面図、第５図はホルダの第１図Ｖ―Ｖ線拡大断
面図、第６図および第７図は円盤状の基板に対し
て使用されるホルダの斜視図および平面図、第８
図〜第１０図は従来のスプレー装置を示し、第８
図は全体構成図、第９図は支持具に基板を設置し
た状態の平面図、第１０図は支持具の平面図であ
る。 １……基板、１３……チヤンバー、１４……噴
出孔、１５……噴出液、２０……支持具、２１，
２２……支持棒、２３，２３Ａ〜２３Ｄ……ホル
ダ、３１ａ〜３１ｊ，３２ａ，３２ｊ……係合部
、４０……本体、４１，４２……弾性係合片、５
０，５１……当接面、５２，５３……載置面。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. チヤンバー内に配設された駆動装置によつて回
   転される支持具上に基板を設置し、前記チヤンバ
   ー内に設けた噴出孔から前記基板に向けて噴出液
   を噴射し、前記支持具の回転により噴出液を前記
   基板の表面全体にほぼ均一にゆきわたらせるスプ
   レー装置において、前記支持具は、その長手方向
   中央を回転中心とする少なくとも１本の支持棒と
   、この支持棒に取付けられる一対のホルダを備え
   、前記支持棒には前記基板の各種サイズに応じて
   それぞれ１対からなる係合部が複数個前記回転中
   心を中心として左右対称な位置に形成され、前記
   １対のホルダは前記基板のサイズに対応する前記
   １対の係合部にそれぞれ着脱自在に取付けられる
   ことにより前記支持棒の長手方向における前記基
   板の端面部分に当接しかつ該端面近傍の底面部分
   を支持することを特徴とするスプレー装置。