JPH0395629U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るスプレー装置を特徴づけ
る基板支持具の一部分解斜視図、第２図は同支持
具の一部破断正面図、第３図は第２図の−線
拡大断面図、第４図ａ，ｂ，ｃはそれぞれ底面支
持部の他の実施例を示す図、第５図は支持ピンの
他の実施例を示す斜視図、第６図はスプレー装置
の従来例を示す断面図、第７図は従来装置におけ
る問題を説明するための図である。 １……チヤンバー、２……基板支持具、３……
回転軸、５……基板、７……ノズル、１３……噴
出液、２０……基板支持具、２２，２３……支持
棒、２４……基板保持部材、４３……ホルダ、４
４……支持ピン、４７……底面支持部、５０……
端面支持部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) チヤンバー内に配設され駆動装置によつて
   回転される基板支持具上に基板を設置し、前記チ
   ヤンバー内に設けた噴出孔から前記基板に向けて
   噴出液を噴射し、前記基板支持具の回転により噴
   出液を前記基板の表面全体に略均一に行き渡らせ
   るスプレー装置において、 前記基板支持具は、その長手方向中央を回転中
   心とする少なくとも１本の支持棒と、この支持棒
   に取付けられる一対の基板保持部材とを備え、前
   記基板保持部材は、前記基板の底面を支持する底
   面支持部と、端面を支持する端面支持部とを有し
   、且つ前記底面支持部と端面支持部の各々は、基
   板の底面および端面に対して点または線接触する
   形状とされることを特徴とするスプレー装置。 (2) 請求項(1)記載のスプレー装置において、前
   記支持棒の少なくとも回転方向側の側端部は上向
   きの気流を発生させる形状とされていることを特
   徴とするスプレー装置。