JPS6363938A - 浮遊標準粒子生成方法 - Google Patents
浮遊標準粒子生成方法Info
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- JPS6363938A JPS6363938A JP20684886A JP20684886A JPS6363938A JP S6363938 A JPS6363938 A JP S6363938A JP 20684886 A JP20684886 A JP 20684886A JP 20684886 A JP20684886 A JP 20684886A JP S6363938 A JPS6363938 A JP S6363938A
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Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ｉｃ、ＥのＩ ）
本発明は、気中浮遊粒子の測定、例えばエア・フィルタ
の浄化能力測定における気中浮遊粒子の測定に使われる
浮′ｊｉ標準粒子（以下、「標準粒子」という、）の生
成方法に関する。
の浄化能力測定における気中浮遊粒子の測定に使われる
浮′ｊｉ標準粒子（以下、「標準粒子」という、）の生
成方法に関する。
更米辺派遣
技術の高度化に伴いクリーンルームが半導体装置製造、
製薬、生命工学研究等の分野で使われている。クリーン
ルームにおける浮遊粒子濃度測定装置の較正や給気用フ
ィルタの浄化能力測定等のためには、粒径が１μｌ以下
のサブミクロン粒子であって粒径濃度分布が既知である
標準粒子が必要である。従来この種の標準粒子は食塩を
処理する方法又は銀塊を気中で爆発させる方法により生
成されてきた。しかし、これらの従来方法には操作が複
雑で熟練した作業員を要すること、広範囲にわたるｒｌ
径分布の生成が必ずしも容易でないこと、費用が嵩むこ
と等の問題点があった。
製薬、生命工学研究等の分野で使われている。クリーン
ルームにおける浮遊粒子濃度測定装置の較正や給気用フ
ィルタの浄化能力測定等のためには、粒径が１μｌ以下
のサブミクロン粒子であって粒径濃度分布が既知である
標準粒子が必要である。従来この種の標準粒子は食塩を
処理する方法又は銀塊を気中で爆発させる方法により生
成されてきた。しかし、これらの従来方法には操作が複
雑で熟練した作業員を要すること、広範囲にわたるｒｌ
径分布の生成が必ずしも容易でないこと、費用が嵩むこ
と等の問題点があった。
・１が ７ しようと る間１点
従って、本発明が解決しようとする問題点は、浮遊標準
粒子生成方法の簡易化にある。
粒子生成方法の簡易化にある。
間１点 解 するための−１段
第１図を参照するに、本発明による浮遊標準粒子の生成
方法においては、閉鎖空間Ｃ内で都市ガスＧと空気Ａと
の混合気体を燃焼することにより粒径１μ履以下の浮遊
粒子−を一定の粒径濃度分布で生成させる。
方法においては、閉鎖空間Ｃ内で都市ガスＧと空気Ａと
の混合気体を燃焼することにより粒径１μ履以下の浮遊
粒子−を一定の粒径濃度分布で生成させる。
粗」
メタンＣＨ４からなる都市ガスを用いた実験例により作
用を説明する。アングル部材とガラスにより燃焼室１を
作り、燃料弁２及び送風器３を介してこの場合メタンで
ある都市カスＧとりｙ気Ａとを燃焼室１内の閉鎖空間Ｃ
へ供給した。メタンガスと＋、＋＝気との混合気体をバ
ーナー５により閉鎖空間Ｃ内で燃焼した。メタンガス及
び空気の供給星をそれぞれ流ｒ、Ｂ計４で計へシするこ
とによりバーナー５における空燃比を監視した。
用を説明する。アングル部材とガラスにより燃焼室１を
作り、燃料弁２及び送風器３を介してこの場合メタンで
ある都市カスＧとりｙ気Ａとを燃焼室１内の閉鎖空間Ｃ
へ供給した。メタンガスと＋、＋＝気との混合気体をバ
ーナー５により閉鎖空間Ｃ内で燃焼した。メタンガス及
び空気の供給星をそれぞれ流ｒ、Ｂ計４で計へシするこ
とによりバーナー５における空燃比を監視した。
燃焼室ｌ内に通気管６を挿通し、この通気管６に結合さ
れた空気ポンプ７により燃焼室ｌ内の空気を抽出した０
通気管６の一部に浮ｍ微粒子濃度測定器８を接続し、空
燃比別の燃焼核発生濃度及び粒径分布の経時変化を測定
した。浮遊微粒子濃度測定器８として凝縮核（ＣＭ（：
）Δ一定式のものを用いたが、レーザ光散乱式又はハロ
ゲン光源光散乱式の浮遊微粒子濃度測定器を用いてもよ
い。
れた空気ポンプ７により燃焼室ｌ内の空気を抽出した０
通気管６の一部に浮ｍ微粒子濃度測定器８を接続し、空
燃比別の燃焼核発生濃度及び粒径分布の経時変化を測定
した。浮遊微粒子濃度測定器８として凝縮核（ＣＭ（：
）Δ一定式のものを用いたが、レーザ光散乱式又はハロ
ゲン光源光散乱式の浮遊微粒子濃度測定器を用いてもよ
い。
第２図は上記測定の結果のうち個数濃度で表した浮遊微
粒子濃度の経時変化を示す、同図に示される様に、バー
ナ一点火直後に燃焼核の発生により」−記濃度は急激に
増加し、消火後は凝集によると考えられる緩やかな濃度
減少をすする。さらに）γ遊景粒子発生状況及びその濃
度推移形態はＱｌｌらかに空燃比により異っていること
が、認められる。
粒子濃度の経時変化を示す、同図に示される様に、バー
ナ一点火直後に燃焼核の発生により」−記濃度は急激に
増加し、消火後は凝集によると考えられる緩やかな濃度
減少をすする。さらに）γ遊景粒子発生状況及びその濃
度推移形態はＱｌｌらかに空燃比により異っていること
が、認められる。
第３図はへ人後の粒径分量変化の一例を示し、第４図は
消火後の粒径介在変化の一例を示す０点火後９分までの
浮遊微粒子の粒径は０．０１−１μｍの範囲にあり１点
火直後には小粒径側に浮ｉｍ微粒子濃度ピークが突出す
る。このピークは消火後大粒経側・＼移行し、同時にそ
の濃度が減少し、はぼパ・ツクグラウンド粒径分布に５
けるピークに近い中−ピークを持つ粒径分布へと変化す
る。この様な粒径分布の変化は、点火直後に発生する燃
焼核の微ｍ粒経、点火直後における高い燃焼核発生率、
及び消火後のブラウン拡散による凝集現象に起因するも
のと考えられる。
消火後の粒径介在変化の一例を示す０点火後９分までの
浮遊微粒子の粒径は０．０１−１μｍの範囲にあり１点
火直後には小粒径側に浮ｉｍ微粒子濃度ピークが突出す
る。このピークは消火後大粒経側・＼移行し、同時にそ
の濃度が減少し、はぼパ・ツクグラウンド粒径分布に５
けるピークに近い中−ピークを持つ粒径分布へと変化す
る。この様な粒径分布の変化は、点火直後に発生する燃
焼核の微ｍ粒経、点火直後における高い燃焼核発生率、
及び消火後のブラウン拡散による凝集現象に起因するも
のと考えられる。
大気中へ放出後の燃焼核の粒径変化は凝集現象により支
配されると考えられる。 Ｚｅｂｅｌは、凝集による
粒径分布の経時変化を次式で与えている。
配されると考えられる。 Ｚｅｂｅｌは、凝集による
粒径分布の経時変化を次式で与えている。
（Ｚｅｂｅｌ、 Ｇ、：”Ｏｎ ｔｈｅ Ｔｈｅｏｒ７
ｏｆ Ｃｏａｇｕｌａｔｉｏｎ ｏｆＥｌｅｃｔｒｉ
ｃａｌｌｙ Ｕｎｃｈａｒｇｅｄ Ａｅｒｏｓｏｌｓ″
、 Ｋｏｌｌｏｉｄ−ｚ、、 １５Ｂ（２）、 ｐｐ１
０２−１０７．１９５８）３ ｎ（ｒ、ｔ） ｔ ここに。
ｏｆ Ｃｏａｇｕｌａｔｉｏｎ ｏｆＥｌｅｃｔｒｉ
ｃａｌｌｙ Ｕｎｃｈａｒｇｅｄ Ａｅｒｏｓｏｌｓ″
、 Ｋｏｌｌｏｉｄ−ｚ、、 １５Ｂ（２）、 ｐｐ１
０２−１０７．１９５８）３ ｎ（ｒ、ｔ） ｔ ここに。
Ｋ（ｒｌ 、ｒｚ）は次式で与えられる半径ｒｌの粒子
と半径 ｒ２の粒子の凝集定数 Ｋ（ｒｌ 、ｒ２） ｋ：ポルツマン定数 Ｔ：絶対温度 μ：粘性計数 Ａ：カニンガムの補正係数 ２：気体分子の平均自由行程 第５図は上式による解析値と実験値とを比較して示す、
燃焼室内壁への拡散付着によると考えら点を除き、実験
イ１は理論値とほぼ一致している。
と半径 ｒ２の粒子の凝集定数 Ｋ（ｒｌ 、ｒ２） ｋ：ポルツマン定数 Ｔ：絶対温度 μ：粘性計数 Ａ：カニンガムの補正係数 ２：気体分子の平均自由行程 第５図は上式による解析値と実験値とを比較して示す、
燃焼室内壁への拡散付着によると考えら点を除き、実験
イ１は理論値とほぼ一致している。
この一致は、燃焼核が凝集理論に合致した挙動をするこ
とを示している。
とを示している。
以上の説明及び第３図ないし第５図のカーブから明らか
な様に１本発明によれば粒径１μｓ以下の浮遊標準粒子
を簡単な方法により生成することができ、しかも粒径の
分布を空燃比の制御により容易に調整することができる
。
な様に１本発明によれば粒径１μｓ以下の浮遊標準粒子
を簡単な方法により生成することができ、しかも粒径の
分布を空燃比の制御により容易に調整することができる
。
χムｊ
上記実験例ではメタンガスを燃焼室１で燃焼したが１本
発明に使われるガスはメタンに限定されるものではなく
、他の組成の都市ガスも使用できる。さらに１粒径サブ
ミクロンの燃焼核を適当な粒度分布で発生することを条
件に都市ガス以外のガスも本発明方法に使用することが
できる。
発明に使われるガスはメタンに限定されるものではなく
、他の組成の都市ガスも使用できる。さらに１粒径サブ
ミクロンの燃焼核を適当な粒度分布で発生することを条
件に都市ガス以外のガスも本発明方法に使用することが
できる。
所望の粒度分布を得るに要する空燃比は都市ガスの組成
ごとに実験的に定めることができる。
ごとに実験的に定めることができる。
また、ガス及び空気の供給方法、空燃比制御方法、バー
ナーの形式、Ｐｉ準粒子の抽出方法などは第１図の実験
例に限定されるものではない。
ナーの形式、Ｐｉ準粒子の抽出方法などは第１図の実験
例に限定されるものではない。
魚貝１と坂」
以上詳細に説明した如く、木発す１による浮遊標準粒子
生成方法は、都市ガスの燃焼により所要の標準粒子を生
成するので、次の効果を奏する。
生成方法は、都市ガスの燃焼により所要の標準粒子を生
成するので、次の効果を奏する。
（イ）標準粒子を容易に迅速にしかも低コストで提供す
ることができる。
ることができる。
（ロ）粒径分布を簡単に調整することができる。
（ハ）安定した粒径分布の標準粒子を提供することがで
きる。
きる。
第１図は本発明による浮遊標準粒子生成方法の説明図、
第２図から第５図までは作用の説明図である。 Ａ・・・空気、 Ｇ・・・都市ガス、 Ｃ・・・閉鎖空
間、Ｄ・・・粒径、 ｌ・・・燃焼室、 ２・・・
燃ネ１弁、３・・・送風機、 ４・・・流量計、 ５・
・・バーナー。 ６・・・通気管、 ７・・・吸気ポンプ、 ８・・・浮
遊微粒子濃度測定器。 第５１゛］ 第２（コ 胚り時間 （介） 竿３図 第４：“］
第２図から第５図までは作用の説明図である。 Ａ・・・空気、 Ｇ・・・都市ガス、 Ｃ・・・閉鎖空
間、Ｄ・・・粒径、 ｌ・・・燃焼室、 ２・・・
燃ネ１弁、３・・・送風機、 ４・・・流量計、 ５・
・・バーナー。 ６・・・通気管、 ７・・・吸気ポンプ、 ８・・・浮
遊微粒子濃度測定器。 第５１゛］ 第２（コ 胚り時間 （介） 竿３図 第４：“］
Claims (1)
- 気中浮遊粒子の測定に用いられる浮遊標準粒子の生成方
法において、閉鎖空間内で都市ガスと空気との混合気体
を燃焼することにより粒径１μｍ以下の浮遊粒子を一定
の粒径濃度分布で生成させてなる浮遊標準粒子生成方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20684886A JPS6363938A (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 | 浮遊標準粒子生成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20684886A JPS6363938A (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 | 浮遊標準粒子生成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6363938A true JPS6363938A (ja) | 1988-03-22 |
| JPH0529055B2 JPH0529055B2 (ja) | 1993-04-28 |
Family
ID=16530054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20684886A Granted JPS6363938A (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 | 浮遊標準粒子生成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6363938A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007155708A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-06-21 | Ngk Insulators Ltd | Ｐｍ発生装置 |
| JP2007155712A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-06-21 | Ngk Insulators Ltd | Ｐｍ発生装置 |
| JP2011196909A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Ngk Insulators Ltd | 粒子状物質発生装置及び粒子状物質発生方法 |
| JP2011209202A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Ngk Insulators Ltd | 粒子状物質発生装置及び粒子状物質発生方法 |
| JP2012189454A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Ngk Insulators Ltd | 粒子状物質含有ガスまたはフィルタ再生用高熱ガス発生装置、粒子状物質発生方法および多孔質セラミック構造体評価装置 |
| JP2015081895A (ja) * | 2013-10-24 | 2015-04-27 | 日本碍子株式会社 | Ｐｍ発生方法及びｐｍ発生装置 |
-
1986
- 1986-09-04 JP JP20684886A patent/JPS6363938A/ja active Granted
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007155708A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-06-21 | Ngk Insulators Ltd | Ｐｍ発生装置 |
| JP2007155712A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-06-21 | Ngk Insulators Ltd | Ｐｍ発生装置 |
| JP4653719B2 (ja) * | 2005-11-14 | 2011-03-16 | 日本碍子株式会社 | Ｐｍ発生装置 |
| JP4667344B2 (ja) * | 2005-11-14 | 2011-04-13 | 日本碍子株式会社 | Ｐｍ発生装置 |
| JP2011196909A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Ngk Insulators Ltd | 粒子状物質発生装置及び粒子状物質発生方法 |
| JP2011209202A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Ngk Insulators Ltd | 粒子状物質発生装置及び粒子状物質発生方法 |
| JP2012189454A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Ngk Insulators Ltd | 粒子状物質含有ガスまたはフィルタ再生用高熱ガス発生装置、粒子状物質発生方法および多孔質セラミック構造体評価装置 |
| JP2015081895A (ja) * | 2013-10-24 | 2015-04-27 | 日本碍子株式会社 | Ｐｍ発生方法及びｐｍ発生装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0529055B2 (ja) | 1993-04-28 |
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