JPS6359320U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6359320U JPS6359320U JP15344186U JP15344186U JPS6359320U JP S6359320 U JPS6359320 U JP S6359320U JP 15344186 U JP15344186 U JP 15344186U JP 15344186 U JP15344186 U JP 15344186U JP S6359320 U JPS6359320 U JP S6359320U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- pipe
- heat treatment
- semiconductor wafers
- shaped support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例による熱処理装具の
断面側面図、第２図は本考案の一実施例による熱
処理治具の断面正面図、第３図は本考案の一実施
例による熱処理治具の断面側面図、第４図は従来
の熱処理装置を示す断面側面図、第５図は従来の
熱処理治具の断面側面図である。 図中、２はウエハ、３はヒーター、４は反応管
、５は反応ガス、６は治具受け、７は電磁弁、８
は導入パイプ、１０はパイプ状支持具、１０ａは
溝、１０ｂはガス吹出穴である。なお、各図中同
一符号は同一部分を示す。
断面側面図、第２図は本考案の一実施例による熱
処理治具の断面正面図、第３図は本考案の一実施
例による熱処理治具の断面側面図、第４図は従来
の熱処理装置を示す断面側面図、第５図は従来の
熱処理治具の断面側面図である。 図中、２はウエハ、３はヒーター、４は反応管
、５は反応ガス、６は治具受け、７は電磁弁、８
は導入パイプ、１０はパイプ状支持具、１０ａは
溝、１０ｂはガス吹出穴である。なお、各図中同
一符号は同一部分を示す。
Claims (1)
- 一端開放側よりガスが導入されるパイプ状の支
持具、このパイプ状支持具に形成され、多数の半
導体ウエハを直立、支持する多数の溝、及びこの
多数の溝相互間に設けられ、支持具内に導入され
たガスを半導体ウエハ相互間に吹出す吹出し穴を
備えた半導体ウエハ熱処理治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15344186U JPS6359320U (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15344186U JPS6359320U (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6359320U true JPS6359320U (ja) | 1988-04-20 |
Family
ID=31072326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15344186U Pending JPS6359320U (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6359320U (ja) |
-
1986
- 1986-10-06 JP JP15344186U patent/JPS6359320U/ja active Pending