JPS6353407A - 膜厚測定装置 - Google Patents
膜厚測定装置Info
- Publication number
- JPS6353407A JPS6353407A JP19704686A JP19704686A JPS6353407A JP S6353407 A JPS6353407 A JP S6353407A JP 19704686 A JP19704686 A JP 19704686A JP 19704686 A JP19704686 A JP 19704686A JP S6353407 A JPS6353407 A JP S6353407A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- measured
- thickness
- measuring
- film thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 24
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 12
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えば磁気テープ等の製造ラインで、塗布
された塗膜の膜厚などを測定するための膜厚測定装置に
関するものである。
された塗膜の膜厚などを測定するための膜厚測定装置に
関するものである。
第Ｓ図は本出願人の出Ｈ（特願昭６０−／７４７６θ９
）に係る従来の膜厚測定装置であり、図ておいて被測定
シート（？）を送る回転軸（帽に遮光板（ｓ）が並設さ
れている。第１．第二のレーザ光源（／／）（７，２）
からの光ビームは、反射ミラーの角度が変わることてよ
って光ビームを偏向する走査機構（／Ｊ）によって集光
レンズ（／り）〜ｒ／７）へ導かれ、第７゜第一の受光
器（７ｇ）（ｉｑ）へ入射される。受光器の出力はカウ
ンタ（，２０）にｒ、ｉ）へ入力され、・演算器（２２
）で処理されたのち表示ｐ５（２Ｊ）に表示される。ま
た、第６図は回転軸（ｑ）と遮光板（古）により形成さ
れるギャップを走査機ｙ４（／Ｊ）の方向から見たもの
を示す。
）に係る従来の膜厚測定装置であり、図ておいて被測定
シート（？）を送る回転軸（帽に遮光板（ｓ）が並設さ
れている。第１．第二のレーザ光源（／／）（７，２）
からの光ビームは、反射ミラーの角度が変わることてよ
って光ビームを偏向する走査機構（／Ｊ）によって集光
レンズ（／り）〜ｒ／７）へ導かれ、第７゜第一の受光
器（７ｇ）（ｉｑ）へ入射される。受光器の出力はカウ
ンタ（，２０）にｒ、ｉ）へ入力され、・演算器（２２
）で処理されたのち表示ｐ５（２Ｊ）に表示される。ま
た、第６図は回転軸（ｑ）と遮光板（古）により形成さ
れるギャップを走査機ｙ４（／Ｊ）の方向から見たもの
を示す。
かかる構成において、回転＠（グ）は被測定シート（ｑ
Ｉ Ｋ密着して被測定シート（９）と同一速度で回転し
ている。遮光板（り）は回転軸（弼の表面から所定の距
離を隔てて設置されている。第７のＶ−ザ光源（／／）
と第二のンーザ光源（／２）は、互いに所定の角度をな
して配置されており、それぞれ発射されるレーザ光はと
もに走査機構（／Ｊ）の反射ミラー面上て入射されて互
Ａに等しい角速度で走査される。これらのＶ−ザ光はそ
れぞれノンズ（／１ｌ）（／夕）に入射され、集光され
て、遮光板（、ｔｌと回転軸（ｊ）゛または被６１１１
定シート（９）によって形成されるギャップ（Ａｌ （
Ｂｌの位置でそのビーム径が最小になり、かつ、回転軸
（ｌＩ’＋に垂真な方向に一定の速度で走査される。こ
のとき、第１、第２の受光’６（７ｇ）（／ｑ）にはギ
ャップｆＡｌ ｆＢｌをレーザ光が透過している間だけ
入射され、レーザ光が上側にあって遮光板（！；Ｉ’Ｉ
Ｃよって遮へいされている間、および下側にあって回転
軸（痢′または被測定シーＮ９１によって遮へいされて
いる間は、第１．第二の受光器（扇（１９）には光は到
達しない。したがって受光器（／ざ）（／り）の出力信
号はギャップ（支）（Ｂｌの寸法に比例した。幅のパル
ス波形となる。これをカウンタ（ｓｏ）（ａｉ）でパル
スカウントしてパルス幅に相当するカウント数を得る。
Ｉ Ｋ密着して被測定シート（９）と同一速度で回転し
ている。遮光板（り）は回転軸（弼の表面から所定の距
離を隔てて設置されている。第７のＶ−ザ光源（／／）
と第二のンーザ光源（／２）は、互いに所定の角度をな
して配置されており、それぞれ発射されるレーザ光はと
もに走査機構（／Ｊ）の反射ミラー面上て入射されて互
Ａに等しい角速度で走査される。これらのＶ−ザ光はそ
れぞれノンズ（／１ｌ）（／夕）に入射され、集光され
て、遮光板（、ｔｌと回転軸（ｊ）゛または被６１１１
定シート（９）によって形成されるギャップ（Ａｌ （
Ｂｌの位置でそのビーム径が最小になり、かつ、回転軸
（ｌＩ’＋に垂真な方向に一定の速度で走査される。こ
のとき、第１、第２の受光’６（７ｇ）（／ｑ）にはギ
ャップｆＡｌ ｆＢｌをレーザ光が透過している間だけ
入射され、レーザ光が上側にあって遮光板（！；Ｉ’Ｉ
Ｃよって遮へいされている間、および下側にあって回転
軸（痢′または被測定シーＮ９１によって遮へいされて
いる間は、第１．第二の受光器（扇（１９）には光は到
達しない。したがって受光器（／ざ）（／り）の出力信
号はギャップ（支）（Ｂｌの寸法に比例した。幅のパル
ス波形となる。これをカウンタ（ｓｏ）（ａｉ）でパル
スカウントしてパルス幅に相当するカウント数を得る。
演算器（コ２）はこれらのカウント数から厚みを計算す
る働きを持ち、被測定シート（９）の無い側のギャップ
［Ａｌを通過した光に対応する第７の受光器（７ｔ）Ｋ
対するカウント数をａ、被測定シーＸ９）のある側のギ
ャップｆＢｌを通過した光に対応する第五の受光器（／
９）に対するカウント数をｂとすると、被測定シート（
チ）の厚みｔｘはｔＸ＝ ｔｏ （／ −−） で求められ、表示器（ｓ、ｙ）で表示される。
る働きを持ち、被測定シート（９）の無い側のギャップ
［Ａｌを通過した光に対応する第７の受光器（７ｔ）Ｋ
対するカウント数をａ、被測定シーＸ９）のある側のギ
ャップｆＢｌを通過した光に対応する第五の受光器（／
９）に対するカウント数をｂとすると、被測定シート（
チ）の厚みｔｘはｔＸ＝ ｔｏ （／ −−） で求められ、表示器（ｓ、ｙ）で表示される。
ここにｔｏはギヤツブ囚の寸法である。こうして得られ
たシート全体厚からシート自体の厚みを引けば塗布膜厚
が求められる。
たシート全体厚からシート自体の厚みを引けば塗布膜厚
が求められる。
従来の膜厚測定装置は以上のように構成されているので
、幅広のシートまたはシート上の塗膜の厚さの計測は７
点のみであり、さらにレーザ光の厚さおよび傾き度合の
計測はできないという問題点があった。
、幅広のシートまたはシート上の塗膜の厚さの計測は７
点のみであり、さらにレーザ光の厚さおよび傾き度合の
計測はできないという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、計測用ギャップを形成する回転軸表面を基準
とした計測点を二点とし、厚さおよび厚さの傾き度合が
計測できる膜厚測定装置を得ることを目的とする。
たもので、計測用ギャップを形成する回転軸表面を基準
とした計測点を二点とし、厚さおよび厚さの傾き度合が
計測できる膜厚測定装置を得ることを目的とする。
この発明に係る膜厚測定装置は、検出ヘッドをツ個備え
、シート幅に合せて、回転コーラの軸方向に検出ヘッド
を移動し、２点の計測ができるようにしてなるものであ
る。
、シート幅に合せて、回転コーラの軸方向に検出ヘッド
を移動し、２点の計測ができるようにしてなるものであ
る。
この発明においては、ツつの検出ヘッドでシート幅の二
点の厚さを計測することにより一点の計測点間の距離を
もとてシート厚さの傾きを算比する。
点の厚さを計測することにより一点の計測点間の距離を
もとてシート厚さの傾きを算比する。
以下、この発明の一実施例を第１図〜第ｑ図について説
明する。第７図、第２図において、光学系の収納された
第７．第二の検出ヘッド（／ａ）フレーム（３１に装着
されている。第１．第２の遮光板（！；ａ、）（！；’
ｏ）は従来のものと同じ働きをもったものである。第１
、第２の信号処理部（ｂａ）（ｂｂ）は第１．第二の検
出ヘッド（／ａ’）（／ｂ’）にそれぞれ対応している
。距離検出器［ｆ＋は検出ヘッド（／ａ）と（／ｂ）と
の間の距離を計測する。（ワ）は厚み傾き演算処理部で
ある。
明する。第７図、第２図において、光学系の収納された
第７．第二の検出ヘッド（／ａ）フレーム（３１に装着
されている。第１．第２の遮光板（！；ａ、）（！；’
ｏ）は従来のものと同じ働きをもったものである。第１
、第２の信号処理部（ｂａ）（ｂｂ）は第１．第二の検
出ヘッド（／ａ’）（／ｂ’）にそれぞれ対応している
。距離検出器［ｆ＋は検出ヘッド（／ａ）と（／ｂ）と
の間の距離を計測する。（ワ）は厚み傾き演算処理部で
ある。
次に動作について説明する。第１．第二の検出ヘッド（
／ａ）（／’ｏ）は、従来のものに示した光源、走査機
構、集光ンンズ、受光器、遮光板をそれぞれ収納したも
ので、共にガイド（コ）テよって支承されており、回転
ローラ（Ｑ＋との１市にギャップｔＡ＋ ｔ、Ｂ）を形
成している。さらに、第１、第２の検出ヘッド（／ａ）
ｌ’／ｂ）は、ガイド（，２）に沿って回転ローラｆ＜
＋１の軸方向に移動ができ、かつ、検出ヘッドｒ／ａ）
（／ｂ）を移動させても、第１の検出ヘッド（／ａ）と
Ｂ点と第二の検出ヘッド（／ｂ）のＢ点間距離は、距離
検出器（ｆｆｌで計測ができる。
／ａ）（／’ｏ）は、従来のものに示した光源、走査機
構、集光ンンズ、受光器、遮光板をそれぞれ収納したも
ので、共にガイド（コ）テよって支承されており、回転
ローラ（Ｑ＋との１市にギャップｔＡ＋ ｔ、Ｂ）を形
成している。さらに、第１、第２の検出ヘッド（／ａ）
ｌ’／ｂ）は、ガイド（，２）に沿って回転ローラｆ＜
＋１の軸方向に移動ができ、かつ、検出ヘッドｒ／ａ）
（／ｂ）を移動させても、第１の検出ヘッド（／ａ）と
Ｂ点と第二の検出ヘッド（／ｂ）のＢ点間距離は、距離
検出器（ｆｆｌで計測ができる。
計測に際しては、従来と同様に、回転ローラ（り１と遮
光板（！；ａ）（！ｒｂ）によって形成されるそれぞれ
のギャップ（Ａｌ （Ｂｌに、回転ローラ１ｌＩｌの軸
方向と直角方向にレーザ光を走査し、ギャップ間をレー
ザ光が通過する時間によってギャップ寸法に換算する。
光板（！；ａ）（！ｒｂ）によって形成されるそれぞれ
のギャップ（Ａｌ （Ｂｌに、回転ローラ１ｌＩｌの軸
方向と直角方向にレーザ光を走査し、ギャップ間をレー
ザ光が通過する時間によってギャップ寸法に換算する。
回転ローラ（Ｑ＋が偏心した場合は誤差となるので、７
個の検出ヘッドには２つのレーザ光を通して、ギャップ
（Ａ） （Ｂｌで同じに計測することにより、被測定シ
ート（９）がギャップｆＢｌのみにあるときは、ギヤツ
ブ囚の時間とギャップｆＢｌの時間の差が被測定シート
厚さ相当の時間となり、偏心による誤差は補償できる。
個の検出ヘッドには２つのレーザ光を通して、ギャップ
（Ａ） （Ｂｌで同じに計測することにより、被測定シ
ート（９）がギャップｆＢｌのみにあるときは、ギヤツ
ブ囚の時間とギャップｆＢｌの時間の差が被測定シート
厚さ相当の時間となり、偏心による誤差は補償できる。
シート厚さを計測するときは、被測定シート（９）と検
出ヘッド（！ｒａ、）（！ｒｂ’）の関係は、第３図の
ようになり、−個の検出ヘッド（よ、’＋（ｓｂ）Ｋそ
れぞれギャップ（支）を有し、回転ローラ（＋１と遮光
板（ｓａ）（ｓｂ）間の計測を行い、同時に被測定シー
ト（？）と遮光板（よａ”）（！ｒｂ）のそれぞれのギ
ャップ［Ｂ）の計測を行い、ギャップ（支）ｆＢｌにお
けるそれぞれの計測差を信号処理部（６ａ’）（６ｂ’
）によって被測定シート（９１の厚さの算出を行う。同
様にシート上の塗膜厚さを計測するときの被測定塗膜（
１０）と検出ヘッド（！ｒａ、）（！ｒｂ’）の関係は
第１図のようになる。計測手順は上記と同じであり、回
転ローラ（４ｔ）の偏心、被測定シート（９）の厚さの
変化があっても、上記のように補償を行い、精匿よく計
測ができる。
出ヘッド（！ｒａ、）（！ｒｂ’）の関係は、第３図の
ようになり、−個の検出ヘッド（よ、’＋（ｓｂ）Ｋそ
れぞれギャップ（支）を有し、回転ローラ（＋１と遮光
板（ｓａ）（ｓｂ）間の計測を行い、同時に被測定シー
ト（？）と遮光板（よａ”）（！ｒｂ）のそれぞれのギ
ャップ［Ｂ）の計測を行い、ギャップ（支）ｆＢｌにお
けるそれぞれの計測差を信号処理部（６ａ’）（６ｂ’
）によって被測定シート（９１の厚さの算出を行う。同
様にシート上の塗膜厚さを計測するときの被測定塗膜（
１０）と検出ヘッド（！ｒａ、）（！ｒｂ’）の関係は
第１図のようになる。計測手順は上記と同じであり、回
転ローラ（４ｔ）の偏心、被測定シート（９）の厚さの
変化があっても、上記のように補償を行い、精匿よく計
測ができる。
また、第１．第二の検出ヘッド（！；ａ）（！ｒｂ）の
厚さ計測点ｆＢ］の間の距離は距離検出器１ｇ’＋によ
り計測される。検出ヘッド（＆ａ）（ｊｂ）を被測定シ
ート（１上にセットしたときに、距離検出器ｆｆｌより
出力されたものと上記により計測されたシート厚さを信
号処理部（ｔ、、）（ｂｂ）より出力されたものとを、
厚み傾き演算処理部（り）に入力し、厚さの頷き度合を
演算して表示あるいは出力としてアウトプットする。同
様に、塗膜厚さを計測した場合も塗膜厚みの傾き度合を
知ることができる。
厚さ計測点ｆＢ］の間の距離は距離検出器１ｇ’＋によ
り計測される。検出ヘッド（＆ａ）（ｊｂ）を被測定シ
ート（１上にセットしたときに、距離検出器ｆｆｌより
出力されたものと上記により計測されたシート厚さを信
号処理部（ｔ、、）（ｂｂ）より出力されたものとを、
厚み傾き演算処理部（り）に入力し、厚さの頷き度合を
演算して表示あるいは出力としてアウトプットする。同
様に、塗膜厚さを計測した場合も塗膜厚みの傾き度合を
知ることができる。
以上のようにこの発明によれば、回転ローラの軸方向に
移動しうる二つの検出ヘッドにより・被測定シートおよ
び塗膜の厚さを、シート幅に関係なく二点を計測するこ
とができるとともに厚さの傾き度合も計測することがで
きるので、製造ライン中での厚さコントロールへのフィ
ードバックが可能となり、シートおよび塗膜の厚さの精
度管理が容易となる。
移動しうる二つの検出ヘッドにより・被測定シートおよ
び塗膜の厚さを、シート幅に関係なく二点を計測するこ
とができるとともに厚さの傾き度合も計測することがで
きるので、製造ライン中での厚さコントロールへのフィ
ードバックが可能となり、シートおよび塗膜の厚さの精
度管理が容易となる。
第７図〜第ｑ図はこの発明の一実施例を示し、第１図は
要部正面図、第二図は第７図の［−１１線に沿う平面で
の断面図、第３図および第ダ図はそれぞれ作用説明のた
めの一部正面図である６第５図は従来の膜厚測定装置の
斜視図、第６図は同じく一部正面図である。 （／ａ）（／ｂ）・・第１、第２の検出ヘッド、（ダ）
・・回転ローラ、（ｓａ）（！；’ｏ）・−遮光Ｗ、（
ｂａ）（６ｂ）−−信号処理部、（り）・φ傾き演算回
路部、（す）・中距離検出器、（９）・・被測定シート
、（１０）・・被測定塗膜、（／／）（／＝）・◆レー
ザ光源、Ｃ／３）・働走査機構、（／ｌ）〜Ｃ／７）＠
鴫集光しンス群、（ｔｒｌ）（／９）＊ 傘受光器、（
ｒＯ）（，２，ｉ）１刀ウンタ。 なお、各図中、同一符号は同−又は徊轟部分を示す、 第１図 第２図 第３図 第４図 １０ ミ安）貝Ｉ］５二塗膜
要部正面図、第二図は第７図の［−１１線に沿う平面で
の断面図、第３図および第ダ図はそれぞれ作用説明のた
めの一部正面図である６第５図は従来の膜厚測定装置の
斜視図、第６図は同じく一部正面図である。 （／ａ）（／ｂ）・・第１、第２の検出ヘッド、（ダ）
・・回転ローラ、（ｓａ）（！；’ｏ）・−遮光Ｗ、（
ｂａ）（６ｂ）−−信号処理部、（り）・φ傾き演算回
路部、（す）・中距離検出器、（９）・・被測定シート
、（１０）・・被測定塗膜、（／／）（／＝）・◆レー
ザ光源、Ｃ／３）・働走査機構、（／ｌ）〜Ｃ／７）＠
鴫集光しンス群、（ｔｒｌ）（／９）＊ 傘受光器、（
ｒＯ）（，２，ｉ）１刀ウンタ。 なお、各図中、同一符号は同−又は徊轟部分を示す、 第１図 第２図 第３図 第４図 １０ ミ安）貝Ｉ］５二塗膜
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ光源と、このレーザ光源からのレーザ光を集光す
る集光レンズ群と、前記レーザ光を走査する走査機構を
備え、被測定シートを回転ローラで支持し、この回転ロ
ーラと前記被測定シートとの接触面上に所定の距離を隔
てて基準遮光板を設け、前記被測定シートの移動方向と
平行にして前記回転ローラのいずれかの方向からレーザ
光を走査し、前記遮光板を通過した前記レーザ光を受光
器で光電変換し、得られた出力より前記レーザ光を受光
している時間をカウンタでカウント数として測定し、前
記被測定シートおよび前記被測定シート上の塗膜の厚さ
の少なくともいずれかをオンラインで計測する膜厚測定
装置において、 光学系をまとめた第１、第２の検出ヘッドを備え、前記
回転ローラの軸方向の任意の位置に前記第１、第２の検
出ヘッドを移動して同時に２点の厚さ測定をするように
してなることを特徴とする膜厚測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19704686A JPS6353407A (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 膜厚測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19704686A JPS6353407A (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 膜厚測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6353407A true JPS6353407A (ja) | 1988-03-07 |
Family
ID=16367813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19704686A Pending JPS6353407A (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 膜厚測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6353407A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012233239A (ja) * | 2011-05-02 | 2012-11-29 | Ihi Corp | 粉末圧延装置 |
-
1986
- 1986-08-25 JP JP19704686A patent/JPS6353407A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012233239A (ja) * | 2011-05-02 | 2012-11-29 | Ihi Corp | 粉末圧延装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5714763A (en) | Method and apparatus for optical alignment of a measuring head in an X-Y plane | |
| EP0150945A2 (en) | Method and apparatus for measuring properties of thin materials | |
| JPH0441922B2 (ja) | ||
| JP3323510B2 (ja) | 複数の平行ビームを生じるレーザビームスプリッタ | |
| US4037958A (en) | Apparatus for determining photoelectrically the position of at least one focusing plane of an image | |
| US7554678B2 (en) | Device and method for measuring the thickness of a transparent sample | |
| JPS6353407A (ja) | 膜厚測定装置 | |
| US4725146A (en) | Method and apparatus for sensing position | |
| JPS6353406A (ja) | 膜厚測定装置 | |
| US4102571A (en) | Method for optically measuring a distance | |
| JPS6341402B2 (ja) | ||
| JPH0529887B2 (ja) | ||
| JP3781408B2 (ja) | 測定装置 | |
| JPH0729445Y2 (ja) | 透明物体厚さ測定装置 | |
| JP3282745B2 (ja) | ２次元距離計を用いた板幅・蛇行測定装置 | |
| JPH0674970B2 (ja) | 膜厚測定方法 | |
| JP2002122419A (ja) | 平坦度測定装置 | |
| JPH0441923B2 (ja) | ||
| JPH07294537A (ja) | 速度及び距離の検出装置 | |
| JPH05231856A (ja) | 厚み測定装置 | |
| JPS6234005A (ja) | 膜厚測定装置 | |
| JPH0726814B2 (ja) | 膜厚測定方法 | |
| JPH0861943A (ja) | Ｘ線測定装置 | |
| JPH0331367B2 (ja) | ||
| JPH07181006A (ja) | レーザ測長器 |