JPS6352823U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6352823U JPS6352823U JP14575386U JP14575386U JPS6352823U JP S6352823 U JPS6352823 U JP S6352823U JP 14575386 U JP14575386 U JP 14575386U JP 14575386 U JP14575386 U JP 14575386U JP S6352823 U JPS6352823 U JP S6352823U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic force
- movable body
- magnet group
- attached
- horizontal
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Description
第１図は本考案超高真空用搬送機における水平
送り及び回転装置の一部切欠側面図、第２図は同
装置の平面図、第３図は同装置の要部の一部切欠
縦断面図、第４図は同要部の縦断面図、第５図は
同装置における要部の一部切欠拡大縦断面図、第
６図は同装置と関連する送り、回転誤差の補正装
置のブロツク図である。 ａ……超高真空用搬送機、１……外管、２……
真空槽、３……外側マグネツト群、４……移動体
、５……ベアリング、６……水平移動用接続部、
７……水平移動用モータ、８……移動用ネジ、９
……ベアリング、１０……回転用モータ、１１，
１２……ギヤ、１３……内管、１４……内側マグ
ネツト群、１５……ベアリング、１６……誘導杆
。
送り及び回転装置の一部切欠側面図、第２図は同
装置の平面図、第３図は同装置の要部の一部切欠
縦断面図、第４図は同要部の縦断面図、第５図は
同装置における要部の一部切欠拡大縦断面図、第
６図は同装置と関連する送り、回転誤差の補正装
置のブロツク図である。 ａ……超高真空用搬送機、１……外管、２……
真空槽、３……外側マグネツト群、４……移動体
、５……ベアリング、６……水平移動用接続部、
７……水平移動用モータ、８……移動用ネジ、９
……ベアリング、１０……回転用モータ、１１，
１２……ギヤ、１３……内管、１４……内側マグ
ネツト群、１５……ベアリング、１６……誘導杆
。
Claims (1)
- 真空槽等に接続する外管の外周部に強磁力を有
する水平移動磁力と回転磁力とを発揮するように
組立てたマグネツト群を嵌挿した移動体を装着し
、外管内に挿入した内管の外周部に、移動体の外
側マグネツト群と引き合う強磁力を有する水平移
動磁力と回転磁力とを発揮するように組立てた内
側マグネツト群を装着し、外管に装着した移動体
を駆動部を介して水平移動又は回転させることに
より、移動体に嵌挿している外側マグネツト群と
引き合つている内側マグネツト群を同時に水平移
動又は回転させ、この水平移動又は回転によつて
内管を水平移動又は回転させることを特徴とする
超高真空用搬送機における水平送り及び回転装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14575386U JPS6352823U (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14575386U JPS6352823U (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6352823U true JPS6352823U (ja) | 1988-04-09 |
Family
ID=31057581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14575386U Pending JPS6352823U (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6352823U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020535359A (ja) * | 2017-09-29 | 2020-12-03 | マツクス−プランク−ゲゼルシヤフト ツール フエルデルング デル ヴイツセンシヤフテン エー フアウＭＡＸ−ＰＬＡＮＣＫ−ＧＥＳＥＬＬＳＣＨＡＦＴ ＺＵＲ ＦＯｅＲＤＥＲＵＮＧ ＤＥＲ ＷＩＳＳＥＮＳＣＨＡＦＴＥＮ Ｅ．Ｖ． | デバイスおよび真空チャンバ |
-
1986
- 1986-09-22 JP JP14575386U patent/JPS6352823U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020535359A (ja) * | 2017-09-29 | 2020-12-03 | マツクス−プランク−ゲゼルシヤフト ツール フエルデルング デル ヴイツセンシヤフテン エー フアウＭＡＸ−ＰＬＡＮＣＫ−ＧＥＳＥＬＬＳＣＨＡＦＴ ＺＵＲ ＦＯｅＲＤＥＲＵＮＧ ＤＥＲ ＷＩＳＳＥＮＳＣＨＡＦＴＥＮ Ｅ．Ｖ． | デバイスおよび真空チャンバ |