JPS61171482U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61171482U JPS61171482U JP5320985U JP5320985U JPS61171482U JP S61171482 U JPS61171482 U JP S61171482U JP 5320985 U JP5320985 U JP 5320985U JP 5320985 U JP5320985 U JP 5320985U JP S61171482 U JPS61171482 U JP S61171482U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target object
- attached
- drive device
- arm
- spring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例の構成を示す断面
図、第2図はこの考案の他の実施例における被駆
動体を示す平面図、第3図は従来の加速管デチユ
ーン機構を示す断面図である。 図において、1は対象物体(デチユーン棒)、
9はスプリング、12はアーム、13はリニヤモ
ータである。
図、第2図はこの考案の他の実施例における被駆
動体を示す平面図、第3図は従来の加速管デチユ
ーン機構を示す断面図である。 図において、1は対象物体(デチユーン棒)、
9はスプリング、12はアーム、13はリニヤモ
ータである。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空中の目的部位へ対象物体を移動させる
ものにおいて、上記対象物体を取り付けたアーム
をリニヤモータで駆動するようにしたことを特徴
とする駆動装置。 (2) 対象物体をスプリングを介してアームに取
り付けたことを特徴とする実用新案登録請求の範
囲第1項記載の駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5320985U JPS61171482U (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5320985U JPS61171482U (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61171482U true JPS61171482U (ja) | 1986-10-24 |
Family
ID=30573856
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5320985U Pending JPS61171482U (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61171482U (ja) |
-
1985
- 1985-04-10 JP JP5320985U patent/JPS61171482U/ja active Pending