JPS63501911A - 熱像走査方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、赤外線感知の技術分野、特に熱像の走査方法および装置に関する。

２、関連技術の詳細 基本赤外線検出器は、１１−１５ｕの波長を有する電磁放射線の存在を感知する ミサイルおよび夜間視界システムと共同してしばしば使用される。これら検出器 は光導電性の原理に基づいてしばしば動作し、赤外線放射線は放射線が入射する 材料の導電性を変化させる。この様な検出器は、ＣｄＴｅおよびＣｄＳｅのよう な材料も使用されるが、水銀−カルシウム−テルル化物でしばしば構成される。

基本赤外線検出器のアレイは、検出器が対象空間によって発生した平均的エネル ギーを感知する基本システムで使用され、また熱イメージングシステムでも使用 できる。電荷結合素子（“ＣＣＤ”）を使用するこの様なイメージングシステム では、基本検出器は次にＣＣＤ構造に注入される自由電荷キャリアを生じ、時間 遅延集積化および並列−直列走査変換を使用することによって処理される。順方 向赤外線（“ＦＬＩＲ″）イメージングセンサのような実時間熱イメージングシ ステムでは、移動ミラーが対象空間から発した放射線を基本検出器アレイを横切 って走査するために使用され、その一時的出力は対称空間からの熱放出の２次元 的表示である。

イメージングセンサの光システムは、検出器アレイ感知表面を含むプレーン（通 常焦点ブレーンと呼ばれる）上にシーン（または対象空間）の実像を投映する。

アレイは２次元でありコーナー素子は所望の像またはセンサ視界（“ＦＯＶ″） のコーナーを見る。アレイは本質的に、１次元（通常、恐らく複数列を有する線 状アレイと呼ばれる）であり、端素子はＦＯＶの２つの端を規定するが、アレイ の幅は他の像より非常に狭く、線状アレイが所望のＦＯＶをカバーするように像 をアレイの長さに対して垂直方向に移動しなければならない（すなわち走査しな ければならない）。アレイはまた本質的に検出アレイの幅と長さ所望の像または ＦＯＶより非常に小さいという意味でポイントであり、検出器が所望のＦＯＶを カバーするように像を検出器を横切って２方向に走査しなければならない。ＦＯ Ｖの一端から道端への線状アレイの相関移動またはＦＯＶの１コーナーから反対 のコーナーへのポイント検出器の相対的移動は像情報のフィールドを発生させる 。

“スターリングセンサ”と呼ばれる装置で使用される２次元検出アレイは検出ア レイと像との間に相対移動のない情報フィールドを発生させる。これら３つの場 合、検出アし・イの個々の素子はゼロではない領域および大きさを有し、検出ア レイは各フィールドの開会像領域の部分をカバーする。

一般に、個々の素子の間には空間があり、１つのフィールドの検出素子によって 掃引される領域は像の全領域より小さく、像情報の一部が失われることもある。

このために、多くのセンサはインタレースモードで動作する。例えば、隣接検出 器が検出器の高さに等しい空間だけ離れ、その高さはアレイの長さと平行した大 きさである線状アレイを仮定する。１フイールドでは、このアレイは像領域の半 分をカバーまたは掃引する。動作のインクレースモードでは、像はアレイの長さ と発生した第２のフィールドと平行に１素子の高さだけシフトされる。所望の像 を共にカバーする２つのフィールドの結合は、一般にフレームと呼ばれる。２次 元アレイ（スターリングセンサ）とポイントアレイ（一般に直列スキャナと呼ば れるもので使用される）にもこの様なアプローチが必要であり、また適用される 。所定の例では、インタレース比は、１つの完全な像（またはフレーム）を発生 させるのに２フイールド必要であるために、２：１である。インクレース動作も また信号の帯域幅を減少させるのに使用される。

各フィールドが像の半分を正確にカバーすると、フィールドの重なりはなく、セ ンサはゼロオーバースキャンを有する（通常パーセントで示される）。オーバー スキャンが望ましい。２：１のインタレースの先の例に戻ると、検出器の高さを 増加させ他の定数の全てを保持することによってフィールドは重なる。検出器の サイズが増加すると空間周波数フィルタも増加する。もう一つの例として、検出 器の大きさの定数を保持し、インクレース比を２倍すると、１００％のオーバー スキャンが生じ、偽信号による像のアーチファクト（ａｒｔｉｆａｃｔ）が減少 する。これら両方の場合、異なる検出素子の中心は同じ像点（スターリングセン サの）または像ライン（線状アレイの）を抽出しない。

あるイメージングシステムと共同して使用する場合、各基本検出器からの出力は しばしば交流結合回路を介して増幅電子装置に結合される。この様な交流結合回 路は一般に、イメージングシステムで使用する場合に、３つの利点がある。これ ら利点のうちの一つは、対象空間の良好なコントラストをは、基本検出器に与え られた直流バイアス電位を結合回路によって取除くことができ、そのためバイア ス電位は検出器出力の次の処理に影響しない。最後に、交流結合回路は処理電子 装置の検出器１／ｆ雑音の効果を最少に押えることができる。

交流結合回路を使用するとしばしばＲＣ高域通過ネットワークが必要であるため に、回路は、対象空間の平均的熱強度、を表わす直流信号が基本検出器によって 発生した場合にゼロ出力電圧を生じさせる。基本検出器は対象空間の熱強度の変 化を感知するが、平均強度は検出器出力の直流分を再生する手段がないと決定で きない。

出力が交流結合回路を通過した後検出器の出力のこの直流分を再生させるために 、イメージングセンサはしばしば走査サイクルの非活動部分の期間に熱基準源を 走査するように構成された。熱基準源はしばしばフィールドストップのようなパ ッシブソースまたは加熱ストリップのようなアクチブソースを含む。熱基準源か らの熱放出が検出器によって受信されると、最後の結合キャパシタ出力は接地点 に短絡された。この方法で結合キャパシタを短絡することによって、キャパシタ は熱基準源の熱放出を受信すると検出器によって発生した信号に等しい直流値に 急速に充電される。検出器が走査サイクルのアクチブ部分に到達すると、回路は 熱基準信号電圧の回りの信号変化の通過を可能にする通常の動作を再開する。

さらに、検出器チャンネル（つまり結合および増幅電子装置を有する検出器）間 の応答度（つまり検出器に入射した検出器／単位ｒｍｓ放射線力によって発生し たｒｍｓ信号電圧）の差を補償するために、第２の熱基準源を使用する必要がし ばしばあった。走査サイクルの非活動部分の間の異なる時間に、各基本検出器は 熱基準源から熱放射を受信する。熱基準源は、異なる強度の赤外線放射線を放射 するため、検出器の応答度は、各源からの放射線を受信した時に各検出器の出力 を比較することによって測定できた。各検出器からの出力信号は次いで多くの検 出器の中における応答度の変化を補償するように調節できた。

直流再生および前記応答度の等化方法はいくらか効果的であるが、それら方法に は走査サイクルの非活動部分の間に少なくとも１つの熱基準源を走査するイメー ジングセンサが必要であった。それ故、イメージングセンサは比較的複雑なオプ ト−メカニカル機構と共同して使用しなければならない。

必要な動作制限内で熱基準源の温度を保持しなければならないためさらに複雑に なる。

発明の概要 本発明の好ましい実施例によれば、対象空間の像を走査するイメージングセンサ が提供される。イメージングセンサは第１および第２の複数の赤外線検出器を具 備する。反射手段は走査サイクルの第１の部分の期間に第１の複数の赤外線検出 器に対象空間の予め定められた部分を反射するために設けられる。反射手段はさ らに、走査サイクルの第２の部分の期間に第２の複数の赤外線検出器に対象空間 の予め定められた部分を反射することができる。さらに別の実施例では、検出器 の方向によって各検出器は視野が重なる対の検出器の出力を順次比較することに よって他方の検出器に関して較正する本発明の多くの利点は以下の説明と図面か ら当業者には明らかとなる。

第１図は、イメージングセンサの動作の略図であり、第２図は、本発明の方法に よるイメージングセンサの基本検出器の走査パターンを示し、 第３図は、本発明による走査の方法を使用して走査されるサンプル対象空間を示 し、 第４図は、本発明による第３図に示されたサンプル対象空間を走査した時のイメ ージングセンサの基本検出器によって検出された平均温度を示し、 第５図は、本発明による方法を使用した第３図に示された対象空間を走査する時 のイメージングセンサの基本検出器の交流結合出力信号を示す。

好ましい実施例の説明 第１図には、視界の熱像を検出する検出器アレイ１０が示される。熱像はアレイ １０の視界内にある対象空間の源１２によって放出された異なる強度の熱放射線 によって発生する。検出器アレイ１０は視界内に存在する源１２の一部を走査す ることができる複数の基本検出器を具備する。図示するために、検出器Ｄコは視 野１４を走査することができる。視野１４はアレイｌＯが次に説明されるような 源１２を走査するために使用する４つのフィールドのそれぞれに相当する４つの 対象空間走査ラインを含む。検出器アレイ１０に熱像を伝えるために、走査ミラ ー１６が設けられる。走査ミラー１６は源１２からの赤外線放射線を受信し熱像 を検出器アレイ１０に方向付ける。走査ミラー１６は走査軸１８を中心に運動し て検出器アレイ１０が源１２を水平に′走査できるようにし、インタレース軸２ ０を中心に回転して垂直インタレース走査を可能にする。

源１２から受信した信号を処理するために、各検出器からアレイ１０への出力は 交流結合回路に接続される。説明の都合で、結合キャパシタ２２と抵抗２４を具 備する検出器Ｄ１のみに対する交流結合回路を図示する。キャパシタ２２と抵抗 ２４を使用してアレイ１０を形成する検出器に供給された直流バイアス電位を取 除く。キャパシタ２２の出力は信号プロセッサ２８に次に結合される増幅器２６ に結合される。プロセッサ２８の出力を使用してアレイ１０によって受信された 熱像を評価する。

検出器アレイ１０を使用する走査方法は第２図に関して最もよく説明される。対 象空間の熱像を検出するために、複数の基本検出器を使用する。検出器ＤＩ−Ｄ ＩＯはもう一つの適切なイメージングシステムの一部分であってもよいが、順方 向赤外線イメージングセンサの部分である。説明の都合で、検出器Ｄｉ−ＤＩＯ が見た対象空間はフィールド１１フイールド■、フィールド臂■、およびフィー ルド■の４つのフィールドで走査されるとする。各フィールドは以下で説明され るように一連の対象空間に分割される。検出器ＤＩ−ＤＩＯからの出力は対象空 間走査ライン１−１８に相当する電気的表示である像走査ライン１−１８を形成 する。しかしながら対象空間をより多くのまたは少ないフィールドで走査し、対 象空間はより多くのまたは少ない走査ラインを含むことができることが理解され るであろう。

フィールドＩを走査するために、検出器Ｄ２は対象空間走査ライン１を受信し、 像走査ライン１を発生させる。フィールドＩの走査中もまた、検出器Ｄ３は対象 空間走査ライン３を受信すると像走査ライン３を発生させる。同様に、検出器Ｄ ４は対象空間走査ライン５の受信によって像走査ライン５を発生さｄ、検出器Ｄ ５は対象空間走査ライン７に応じて像走査ライン７を発生させる。検出器Ｄ６− ＤＩＯもまた対象空間走査ライン９．１１．１３．１５、および１７からそれぞ れ像走査ライン９．１１．１３．１５、および１７を発生させる。フィールド■ を見る間、検出器Ｄ１は後続する処理で有用な対象空間からの赤外線放射線を受 信しない。

フィールド■を走査するために、基本検出器ＤＩ−ＤＩＯの位置は、はぼ隣接し た検出器の端の間の距離だけ対象空間に関して変位される。このようなインクレ ースシフトを設けることによって、検出器Ｄ２は対象空間走査ライン２を受信し 、像走査ライン２を発生させることができる。同様に、検出器Ｄ３−Ｄ１０は対 象空間走査ライン４．６．８．１０．１２．１４．１６、および１８を受信し、 像走査ライン４．６．８．１０．１２．１４．１６、および１８を発生°させる ことができる。フィールド■を見る間、検出器Ｄ１は後続する処理で有用な対象 空間からの赤外線放射線を受信しない。０．０００２インチの変位を典型的に与 える直角方向に振動する水平および垂直に回転するゲルマニウムプリズムミラー を使用することによって検出器ＤＩ−ＤＩＯは対象空間に関してインタレースシ フトする。

しかしながら、適切なインタレースシフトを与えることができる他の走査メカニ ズムも使用できることが理解されるであろう。

フィールド■を走査するために、検出器Ｄｉ−ＤＩＯの位置は前記のように対象 空間に関して再びシフトされる。この方７．９．１１．１３．１５および１７を 受信し、像走査ライン１．３．５．７．９．１１．１３．１５および１７をそれ ぞれ発生させることができる。フィールド■を見る間、検出器ＤＩＯは後続の処 理で使用される対象空間からの赤外線放射線を受信しない。フィールド■を走査 するために、検出器ＤＩ−ＤＩＯの方向はさらに対象空間に関してシフトされる 。検出器ＤＩ−Ｄ９はそのため、対象空間走査ライン２．４．６．８．１０．１ ２．１４．１６および１８を受信し、像走査ライン２．４．６．８．１０．１２ 、１４．１Ｂ、およびＪ８を発生させることができる。フィールド■を見る間、 検出器ＤＩＯは後続の処理で使用される対象空間から赤外線放射線を受信しない 。

フィールド■を見た後、検出器ＤＩ−ＤＩＯは隣接した検出器の端の間の距離の 約４倍だけ対象空間に関して変位され、ＤＩ−ＤＩＯの方向を検出器Ｄｉ−ＤＩ ＯがフィールドＩを見た時の方向に戻す。検出器ＤＩ−Ｄ１．Ｏをこのように変 位させることによって、検出器ＤＩ−ＤＩＯは４：１の垂直インタレースパター ンで対象空間を重なりながら走査することができる。

応答度の等化を可能にするために、隣接した対の検出器チャンネルの出力（つま り、結合および増幅電子装置を有する検出器）は、各検出器が同じ対象空間走査 ラインを見るときに比較される。例えば、フィールドＩの検出器Ｄ２を含む検出 器チャンネルの出力は検出器Ｄ３を含む検出器チャンネルのフィールド■の出力 と比較される。検出器Ｄ１とＤ２の両方は、出力が比較される時に対象空間走査 ライン１を見るので、各検出器チャンネルの出力間の差は応答度の差によるもの である。検出器Ｄ１とＤ２に相当する検出器チャンネルの出力の差を比較するこ とによって、相対的応答度を計算でき、出力が処理される時に適切な信号補償が 使用される。同様に、検出器Ｄ３を含む検出器チャンネルからのフィールドＨの 出力は、検出器Ｄ２を含む検出器チャンネルのフィールド■の出力と比較される 。出力は検出器Ｄ２とＤ３の両方が対象空間走査ライン４を見るときに比較され るため、相対的応答度による検出器チャンネルの出力の差が計算され、適切な信 号補償が実行できる。残りの検出器チャンネルの各出力が前述のように比較され ると、それらの出力は所望の等化を与えるように調節される。

検出器ＤＩ−ＤＩＯからの交流結合出力の直流分再生を可能にするために、重な ったフィールドで発生した像走査ラインは交流結合後に平均化される。第２図の パターンを使用して第３図に示されるサンプル対象空間を走査すると、検出器Ｄ Ｉ−ＤＩＯは第４図に示されたようなフィールドＩ−ＩＶを走査するときに受信 された平均的熱放出を表わす出力を発生させる。隣接した対の検出器は２つの対 象空間走査ラインによって重なった個々の視野を有することに注意されたい。検 出器ＤＩ−ＤＩＯからのこの出力は交流結合回路に供給され、第５図に示された 出力を発生させる。第５図の水平ラインセグメント３０は検出器Ｄ４によって発 生するような像走査ライン５と６からの平均的交流結合出力を表わす。同様に、 水平ラインセグメント３２は検出器Ｄ４によって生じた像走査ライン７と８から の平均交流結合出力を表わす。検出器Ｄ５に関して、水平ラインセグメント３４ は像走査ライン７と８からの平均的交流結合出力を表わし、水平ラインセグメン ト３６は像走査ラインつと１０からの平均的交流結合出力を表わす。水平ライン セグメント３８．４０．４２、および４４は検出器Ｄ６−Ｄ７からの平均的交流 結合出力に相当する同様の平均値を表わす。

検出器Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ８、Ｄ９、およびＤＩＯに対する平均的交流結合出 力は示されるようにゼロである。対の像走査ラインの平均出力は第５図に示され るが、個々の像走査ラインの平均も使用できる。

交流結合回路によってブロックされた検出器ＤＩ−ＤＩＯからの直流信号を再構 成するために、重なる検出器ＦＯＶの平均出力を表わす第５図の水平ラインセグ メント間の電圧差を計算する。共通の平均値を表わすラインセグメントを接続す る第５図で垂直の矢印として示されるこれら差は、交流結合信号と合計して次い で以下の式によって再構成された出力をＯ（。）−再構成された出力信号 ■（、）−交流結合信号 Δ（ａ、　ｏ−１）−同じ出力走査ラインを測定する２つの検出器の平均出力の 差） 本発明を使用して直流再生を得る方法の動作を示すために、再生技術はこれに限 定されない１例として示される。第５図に示されるように、Δ、２゜１．とΔ（ ３，２）の値は検出器Ｄ１、Ｄ２、およびＤ３が同じ強度の赤外線放射線を感知 する時にゼロである。Δ（４，３）の値はほぼ１．５ボルトであり、Δ（５，４ ）の値は３．５ボルトである。検出器Ｄ４に対する信号を再構成するために、前 記式の合計値はΔ（２，□、十Δ（３，２）＋Δ（４，３）＋Δ（５，４）−＋ ５ボルト（こ等しＯｏそれ故、再構成出力信号０（１）はＩ（５’）＋５ボルト に等しい。残りの検出器に対する再構成出力も同様に計算される。

本発明は、特定の例と関係して説明された。前記走査ノくターンは垂直にインタ レースされたイメージングシステムの直流再生と検出器の応答度の等化を可能に し、他の走査パターンは検出器の不等価セットが対象空間の同じ領域を見る場合 に使用される。本発明は、他のタイプの信号変換器を使用し、また電気特性の他 のタイプに関して変換器を較正するために使用する等の異なった用途にも使用で きる。他の修正は図面を参照して詳細な説明から当業者には明らかである。

国際調査報告 ＡＮＮＥＸ　Ｔｏ　ＴＨＥ　ＩＮＴＥＲＮＡτｌ０ＮＡＬ　５ＥＡＲＣ４（Ｒ三 ？ＯＲＴ　０ＮＴｈｅ　Ｅｕｒｏｐｅａｎ　Ｐａｔｅｎｔ　０ｆｆｉｃｅ　ｉｓ 　ｉｎ　ｎｏ　ｗａｙ　１ｉａｂｌｅ　ｆｏｒ　ｔｈｅｓｅｐａｒｔｉｃｕｌａ ｒｓ　ｗｈｉｃｈ　ａｒｅ　ｍａｒｅｌｙ　ｇｉｖｅｎ　ｆｏｒ　ｔｈｅ　ｐｕ ｒｐｏｓｅ　ｏｆＬ　ｎ　ｆ　Ｏｒｍ　Ａ　ｅ　１０　ｎ。

Claims (22)

【特許請求の範囲】
1. （１）赤外線放射線を検出する第１の手段と、赤外線放射線を検出する第２の手 段と、走査サイクルの第１の部分中に赤外線放射線を検出する前記第１の手段に 前記対象空間の予め定められた部分を反射し、前記走査サイクルの第２の部分中 に放射線を検出する前記第２の手段の前記対象空間の前記予め定められた部分を さらに反射することのできる反射手段とを備えている走査サイクルの第１および 第２の部分中に対象空間の像を走査するイメージングセンサ。
2. （２）赤外線放射線を検出する前記第１および第２の手段は、それぞれ赤外線検 出器を有する複数の赤外線検出器チャンネルを備え、前記検出器は前記検出器の 方向によって、視野が重なった前記検出器の対の出力を順次比較することによっ て前記検出器の他方に関して較正することができる請求の範囲第１項記載の装置 。
3. （３）前記イメージングセンサは重なる視野を有する検出器を具備する前記検出 器のチャンネル出力からの出力を順次比較することによって前記検出器のチャン ネルの間の応答度の等化を可能にする請求の範囲第２項記載の装置。
4. （４）前記イメージングセンサは重なる視野を有する検出器を具備する前記検出 器チャンネル出力からの出力を順次比較することによって前記赤外線検出器チャ ンネルから出力の直流再生を可能にする請求の範囲第２項記載の装置。
5. （５）前記対象空間の前記予め定められた部分は対象空間走査ラインよりなる請 求の範囲第１項記載の装置。
6. （６）第１のトランスデューサによって前記対象空間の予め定められた部分を走 査して第１の出力を発生させ、前記第２のトランスデューサによって前記対象空 間の前記予め定められた部分を走査して第２の出力を生じさせ、前記第１および 第２の出力の値の比較によって前記交流結合回路によって処理した後の前記第１ および第２の出力の直流再生を可能にする段階を備えている交流結合回路と出力 が電気的に通じている少なくとも第１および第２のトランスデューサを使用して 対象空間を走査する方法。
7. （７）前記トランスデューサは赤外線放射線を検出する請求の範囲第６項記載の 方法。
8. （８）前記対象空間は、少なくとも第１および第２のフィールドで走査され、前 記第１のトランスデューサは前記第１のフィールドを走査するときに前記対象空 間の前記予め定められた部分からの信号を受信し、前記第２のトランスデューサ は前記第２のフィールドを走査するときに前記対象空間の前記予め定められた部 分からの信号を受信する請求の範囲第６項記載の方法。
9. （９）前記対象空間は複数の対象空間走査ラインに分割され、前記対象空間の前 記予め定められた部分は前記対象空間走査ラインの一つを含んでいる請求の範囲 第８項記載の方法。
10. （１０）前記方法はさらに、前記対象空間の重なった走査を行うために前記対象 空間に関して前記トランスデューサを順次変位する追加段階を備えている請求の 範囲第６項記載の方法。
11. （１１）前記トランスデューサを順次変位する前記段階はインタレースパターン の前記対象空間を走査するように操作可能である請求の範囲第１０項記載の方法 。
12. （１２）前記トランスデューサを順次変位すろ段階は４：１のインタレースパタ ーンにするようにさらに操作可能である請求の範囲第１１項記載の方法。
13. （１３）第１のトランスデユーサチヤンネルによって対象空間の予め定められた 部分を走査して第１の出力を発生させ、第２のトランスデューサチャンネルによ って対象空間の前記予め定められた部分を走査して第２の出力を発生させ、前記 第１および第２の出力を比較することにによって前記第１のトランスデューサチ ャンネルと第２のトランスデューサチャンネルとの間の応答度の差に対して補償 する段階を備えている異なる応答度を有する少なくとも第１および第２のトラン スデューサチャンネルを使用して対象空間を走査する方法。
14. （１４）前記第１のトランスデューサチャンネルと前記第２のトランスデューサ チャンネルとの間の応答度の差を補償する前記段階は、隣接したトランスデュー サを有する２つのトランスデューサチャンネルの出力を比較することを含む請求 の範囲第１３項記載の方法。
15. （１５）前記対象空間の前記予め定められた部分は複数の対象空間走査ラインよ りなる請求の範囲第１４項記載の方法。
16. （１６）前記第１のトランスデューサと第２のトランスデューサとの間の応答度 の差を補償する前記段階は２以上の前記トランスデューサチャンネルの出力を比 較し、前記２つのトランスデューサチャンネルは同じ対象空間走査ラインを見る ことを含む請求の範囲第１５項記載の方法。
17. （１７）前記方法はさらに、前記対象空間を見るときに前記トランスデューサチ ャンネルの出力を比較することによって前記トランスデューサチャンネルによっ て受信された平均信号の直流再生を可能にする追加段階を備えている請求の範囲 第１６項記載の方法。
18. （１８）直流再生を可能にする前記段階は、２以上の前記トランスデューサチャ ンネルの出力を比較し、前記２つのトランスデューサチャンネルは同じ対象空間 走査ラインを見ることを含む請求の範囲第１７項記載の方法。
19. （１９）前記方法は前記対象空間の重なった走査を可能にするために前記対象空 間に関して前記トランスデューサチャンネルのトランスデューサを順次変位する 追加段階を備えている請求の範囲第１８項記載の方法。
20. （２０）前記トランスデューサチャンネルのトランスデューサを順次変位する前 記段階はインタレースパターンの前記対象空間を走査するように操作可能である 請求の範囲第１９項記載の方法。
21. （２１）前記トランスデューサチャンネルのトランスデューサを順次変位する前 記段階は４：１の垂直インタレース走査パターンを発生させるように操作可能で ある請求の範囲第２０項記載の方法。
22. （２２）前記トランスデューサチャンネルは赤外線放射線を検出する請求の範囲 第２１項記載の方法。