DE102012009093A1

DE102012009093A1 - Anordnung zur hochdynamischen Abtastung eines Objektfeldes für ein bildgebendes radiometrisches System

Info

Publication number: DE102012009093A1
Application number: DE201210009093
Authority: DE
Inventors: Torsten May; Michael Starkloff; Hans Georg Meyer
Original assignee: Institut fur Photonische Technologien Ev (ipht); INST PHOTONISCHE TECHNOLOGIEN E V IPHT; Supracon AG
Current assignee: Supracon Ag De; Leibniz Institut fuer Photonische Technologien eV
Priority date: 2012-05-03
Filing date: 2012-05-03
Publication date: 2013-11-07

Abstract

Die Erfindung betrifft eine optisch-mechanische Anordnung zur hochdynamischen Abtastung eines Objektfeldes für ein bildgebendes radiometrisches System (Wellenlängenbereich zwischen 2 mm und 200 μm), insbesondere mit Zeilensprung zur Erhöhung der Abtastdichte und zur Sensorkalibrierung. Die Aufgabe der Erfindung, eine Anordnung anzugeben, welche die Nachteile des Standes der Technik vermeidet, in dem eine für die träge Masse der optisch-mechanischen Anordnung (Größe im Zentimeter- bis Meterbereich) eine optimale Bewegung ermöglicht wird, wird dadurch gelöst, dass die Anordnung zur hochdynamischen Abtastung eines Objektfeldes für ein bildgebendes radiometrisches System mit Zeilensprungverfahren zur Erhöhung der Abtastdichte und zur Sensorkalibrierung einen Spiegel (1) und mechanische Stellelemente umfasst, wobei ein erstes Stellelement (2) und ein zweites Stellelement (3) mit dem Spiegel (1) verbunden ist, der Spiegel (1) vermittels des ersten Stellelements (2) um seinen Drehpunkt der Hauptachse Y in einem Bereich von +/–10° zwischen zwei Endlagen (41 und 42) verkippbar ist, so dass eine Pendelbewegung des Spiegels (1) zwischen den zwei Endlagen (41 und 42) generierbar ist, und dass der Spiegel (1) vermittels des zweiten Stellelements (3) um seinen Drehpunkt der Hauptachse in einer zweiten Achse Z, welche in einem Winkel von 90° senkrecht zur Hauptachse Y verläuft, schrittweise mit einem Winkel < 0,1° in einem Bereich von +/–0,5° zwischen zwei Endlagen (51 und 52) bewegbar ist, so dass eine schrittweise Bewegung des Spiegels (1) über einzelne Zwischenschritte zwischen den zwei Endlagen (51 und 52) generierbar ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine optisch-mechanische Anordnung zur hochdynamischen Abtastung eines Objektfeldes für ein bildgebendes radiometrisches System (Wellenlängenbereich zwischen 2 mm und 200 μm), insbesondere mit Zeilensprung zur Erhöhung der Abtastdichte und zur Sensorkalibrierung.
Die Bildgebung im Wellenlängenbereich zwischen 2 mm und 200 μm ist durch das Fehlen geeigneter vollflächiger Bildempfänger bis auf weiteres auf die Zuhilfenahme geeigneter mechanischer Abtastvorrichtungen angewiesen. Bekannte Anwendungen (bspw. Abbildungen von Personen für Sicherheitsanwendungen) erfordern Bildauflösungen von mindestens 200 × 100 Bildpunkten (20.000 Pixel) zur Erfassung eines 2 × 1 Meter großen Objektfeldes mit 1 cm räumlicher Auflösung. So kennt man Arrayanordnungen von Einzeldetektoren im beschriebenen Wellenlängenbereich bei einem astrophysikalischen Großgerät mit 10.240 Einzelsensoren, welches aufgrund seiner Komplexität und den damit verbundenen Kosten für industrielle Anwendungen nicht in Frage kommt. [Audley, M. D. et al. (2004) SCUBA-2: A large-format TES array for submillimetre astronomy, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A 520, 479–482].
Eine kosteneffektivere, industriell verwertbare technische Lösung hingegen stellt eine Arrayanordnung von 64 Einzelsensoren dar. Diese technische Lösung macht die zweidimensionale Abtastung des Objektfeldes erforderlich, um angestrebte Bildauflösungen im Bereich von 200 × 100 Bildpunkten zu erzielen.
Die allgemeine Bewegungsaufgabe für eine zu schaffende Anordnung besteht darin, durch die Abtastung den Fokuspunkt einer optischen Vorrichtung mit hinreichender Dichte über das Objektfeld zu bewegen, damit dieses entsprechend dem Abtasttheorem innerhalb einer maximalen Bildaufnahmezeit von 40 ms (25 Hz) oder schneller vollständig erfasst wird. Die relativ große abzubildende Wellenlänge impliziert die Notwendigkeit der Verwendung großformatigen Optiken mit Dimensionen im Zentimeter- bis hin zum Meterbereich. Daraus resultieren spezifische dynamische Anforderungen an in Frage kommenden elektromechanischen Bewegungsapparate, welche etablierte Lösungen aus der Optik unter Verwendung der piezoelektrischen Antriebstechnik nicht erfüllen können (vgl. bspw. GB 1152730 A und kommerzielle Lösungen wie bspw. unter http://www.physikinstrumente.de offenbart).
Existierende Geräte für die Bildgebung im Wellenlängenbereich zwischen 2 mm und 200 μm setzten bislang auf unkonventionelle Abtastverfahren, bei denen die Anforderungen an die Vorrichtung zu Lasten der Bildqualität reduziert werden.
Bei fachverwandten Entwicklungen auf dem Gebiet der videofähigen Millimeterwellen-Bildgebung (Wellenlängenbereich 1 mm bis 10 mm) werden oft so genannte konische Scanner eingesetzt (siehe bspw. US 3793637 A ). Dabei entsteht durch einen schräg im optischen Strahlengang stehenden Spiegel, welcher um die optische Achse rotiert wird (fester Winkel zwischen Spiegel und Rotationsachse) im Fall einer zeilenförmigen Sensormatrix eine Abtastspur aus parallel verschobenen Kreisen (siehe 1a). Diese Variante ist mechanisch einfach zu realisieren, da faktisch nur in einer Dimension (ein Rotationsfreiheitsgrad) abgetastet wird und die notwendige zweite Dimension durch die Schrägstellung realisiert ist. Allerdings erzeugt die gewählte Bewegung ausgerechnet in den uninteressanten Randbereichen des Bildes durch die Überschneidung der Abtastspuren eine hohe Redundanz und stellt daher einen Kompromiss zu Lasten der Bildqualität dar (siehe 1a).
Eine mäanderförmige Abtastung ist unter diesem Aspekt günstiger, verschiebt aber die technische Herausforderung wieder in die Richtung der Abtastvorrichtung. Bislang sind Geräte bekannt, die auf die schnelle Video-Bildfolge verzichten und den Abtastvorgang im Sekundenbereich vollziehen. So offenbart WO 2006/013379 A2 bspw. ein derartiges System, welches in ähnlicher Form z. B. in den Geräten der Firma L3-Communications zum Einsatz kommt.
DE 10 2007 031 959 A1 offenbart eine Terahertz-Kamera für die Aufzeichnung bewegter Bilder in der Bauart eines Cassegrain-Teleskops mit beweglichem Sekundärspiegel und ausgestattet mit einer Bolometermatrix nach dem Transistion-Edge-Sensorprinzip, wobei eine gleichzeitige und phasensynchrone Bewegung des Sekundärspiegels um zwei orthogonal zueinander stehende Achsen, die sich in einem Referenzpunkt auf der Spiegeloberfläche des Sekundärspiegels schneiden, der gleichzeitig auf der optischen Achse der Kamera liegt, erfolgt. Der Sekundärspiegel bewegt sich dabei kontinuierlich um die optische Achse und ist verkippbar, so dass ein Objektfeld spiralförmig gescannt werden kann (siehe dazu 1b).
Das in DE 10 2007 031 959 A1 beschriebene Verfahren der spiralförmigen Abtastung mit einem kompakten Array stellt eine vollwertige zweidimensionale Abtastung dar (siehe 1b). Dabei kann durch diese Anordnung eine mehrfache Beschleunigung und Verzögerung des Spiegels pro Bild vermieden werden. Mechanischer Vorteil dieses Konzeptes ist, dass die Abtastung der zweiten Dimension durch eine konstante Rotation realisiert wird, wobei diese jedoch gerade im Hinblick auf die Belastung der Vorrichtung problematisch ist. Auftretende Unwuchtkräfte durch den verkippten Spiegel können nur zu einem gewissen Grad kompensiert werden und beeinträchtigen sowohl die Haltbarkeit als auch die Abbildungsqualität durch unvermeidliche Vibrationen. Diese Probleme verschärfen sich überproportional bei hohen Bildfolgefrequenzen wegen der quadratischen Zunahme der Massenträgheitskräfte. Darüber hinaus erfolgt die Abtastung nicht auf einem regulären orthogonalen Raster, so dass eine aufwändige Interpolation notwendig wird.
Unter Verwendung der in der Publikation Grossman, E. et al. (2010) Passive terahertz camera for standoff security screening, Applied Optics 49 (19), 245–259 offenbarten technischen Lösung (64 Einzelsensoren in einer Zeile) wäre im Falle einer streng orthogonalen Abtastung bei der angestrebten Objektauflösung von mindestens 200 × 100 Bildpunkten immer noch eine zweidimensionale Bewegung erforderlich (siehe dazu 1c). Diese ist hinsichtlich der Komplexität der Ansteuerung nicht ideal, da der Abtastspiegel in zwei Richtungen um einen signifikanten Winkel gekippt werden muss.
Die Aufgabe der Erfindung besteht somit darin, eine Anordnung anzugeben, welche die zuvor stehend genannten Nachteile des Standes der Technik vermeidet, in dem eine für die träge Masse der optisch-mechanischen Anordnung (Größe im Zentimeter- bis Meterbereich) eine optimale Bewegung ermöglicht wird.
Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Anordnung gemäß dem 1. Patentanspruch. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den nachgeordneten Ansprüchen angegeben.
Das Wesen der Erfindung besteht darin, dass die optisch-mechanische Anordnung zur hochdynamischen Abtastung eines Objektfeldes für ein bildgebendes radiometrisches System mit Zeilensprungverfahren zur Erhöhung der Abtastdichte und zur Sensorkalibrierung einen Spiegel und mechanische Stellelemente umfasst, wobei ein erstes Stellelement mit dem Spiegel verbunden ist, vermittels der Spiegel um seinen Drehpunkt der Hauptachse in einer ersten Raumebene in einem Bereich von +/–10° zwischen zwei Endlagen verkippbar ist (Pendelbewegung) und ein zweites Stellelement mit dem Spiegel verbunden ist, vermittels der Spiegel um seinen Drehpunkt der Hauptachse in einer zweiten Ebene, welche in einem Winkel von 90° senkrecht zur ersten Ebene verläuft, schrittweise in einem Bereich von +/–0,5° zwischen zwei Endlagen bewegbar ist (Sprungbewegung).
Die Abtastung kann vermittels dieser Anordnung quasi-eindimensional erfolgen: Eine Sensorzeile wird durch eine Teleskopanordnung auf das Bildfeld abgebildet, wobei das Beugungsbild eines Einzelsensors kleiner ist als der Abstand zweier Sensoren („ausgedünnte Zeile”). Durch den Abtastvorgang wird das Sichtfeld der Zeile über das Objektfeld ausgelenkt. Die Abtastung beim Zurückfahren der Vorrichtung erfolgt auf Zwischenspuren, so dass zwei interdigitale Halbbilder aufgenommen werden (siehe 5). Da die Auslenkung für die Zwischenspur nur sehr gering ist (< 0,1°), ist dieses Abtastverfahren quasi eindimensional und daher für die Bewegung der trägen Spiegelmasse ideal geeignet.
Zum Empfangen der radiometrischen Signale wird ein lineares Array von gekühlten Detektoren mit einer Kopplung durch konische Hornantennen eingesetzt (vgl. Offenbarung der DE 10 2007 031 959 A1 . Dadurch enstehen zwei weitere technische Probleme, die durch die beschriebene neue Anordnung gelöst werden.
Die Charakteristik einzelner Sensoren variiert innerhalb der Zeilenanordnung und verändert sich zudem im Zeitverlauf. Dies muss durch ein geeignetes Verfahren der „non-uniformity correction” ausgeglichen werden. Etabliert, bspw. in der Infrarottechnik, sind definiert zuschaltbaren Testbildern (uniforme Flächen) zum Abgleich der Sensorantwort oder iterative Verfahren unter Ausnutzung realer Bilddaten (siehe bspw. US 7,995,859 B2 ).
Unter Ausnutzung des Zeilensprungverfahrens beim Abtasten des Bildfeldes ist folgender Korrekturmodus anwendbar: Die Zeilensprung-Sequenz erfolgt nicht nur von der Ruhelage auf die Zwischenspur und zurück, sondern zunächst weiter in dieselbe Richtung auf die nächste Hauptspur und erst dann wieder über die Zwischenspur zurück. In einem linearen Array mit m Sensoren tastet dadurch der n-te Sensor (0 < n ≤ m) zunächst die n-te Spur ab, im darauf folgenden Bild die Zwischenspur zwischen n und n + 1, und danach die (n + 1)ste Spur. Da diese Spur kurz vorher vom (n + 1)ten Sensor erfasst wurde können auf diese Art die Charakteristika des n-ten und (n + 1)sten Sensors aufeinander abgeglichen werden. Unter der Randbedingung, dass sich die Bildinhalte während dieser Prozedur nur langsam ändern ist dieses Verfahren permanent während des Betriebes einsetzbar und garantiert eine stabile Sensorkalibrierung, ohne dass der Betrieb z. B. durch das Aufschalten eines Testbildes kurzfristig unterbrochen werden muss. Gleichzeitig ist es gegenüber der rein szenenbasierten Kalibrierung vorteilhaft, da durch die Spurverschiebung (Überlappung der Spuren unterschiedlicher Sensoren) tatsächlich auf identische Bildinhalte kalibriert werden kann, während ansonsten iterative Näherungsverfahren angewendet werden müssen.
Bei Verwendung des Zeilensprungverfahrens entsteht folgendes Anforderungsprofil, welches durch die beschriebene neue Anordnung erfüllt wird:

– Das zu bewegende optische Bauelement entspricht einem konkaven oder konvexen, asphärischen Spiegel mit einem Durchmesser zwischen minimal 10 cm und maximal 100 cm. Der Bewegungsmittelpunkt kann sich dabei im Vertex des Spiegels oder x,auch in einem definierten Abstand ( y, z) vom Vertex befinden.
– Die Stabilität des Spiegelbauteils muss hoch genug sein, um sich unter dem Angriff dynamische Kräfte nicht über das erlaubte Maß zu verformen. Die optisch aktive Fläche muss eine Oberflächenrauhigkeit von besser 10 μm rms (entspricht λ/100) aufweisen und die abzubildenden elektromagnetischen Wellen im Bereich zwischen 2 mm und 0,2 mm mit besser 96% Effizienz reflektieren.
– Die Bewegung des Spiegels um max. ±10° in einer Richtung und max. ±0,5° in eine dazu orthogonale Richtung muss inklusive der Beschleunigungsphasen innerhalb der Bildaufnahmezeit von 40 ms (25 Hz Bildfolge) oder schneller erfolgen.
– Für die Umkehrpunkte wird eine Totzeit von maximal 10% der eigentlichen Bildaufnahmezeit zugelassen.

Die Erfindung wird nachfolgend an Hand eines Ausführungsbeispiels und der Figuren näher erläutert. Dabei zeigen:
1a: eine schematische Darstellung des Abtastverlaufes eines 12×24 Pixel großen Objektfeldes (konischer Scanner),
1b: eine schematische Darstellung des Abtastverlaufes eines 12×24 Pixel großen Objektfeldes (Spiralscanner gemäß DE 10 2007 031 959 B4 ),
1c: eine schematische Darstellung des Abtastverlaufes eines 12×24 Pixel großen Objektfeldes (Mäanderscanner),
2: eine schematische räumliche Darstellung einer Ausführungsform der Anordnung,
2a: eine schematische Darstellung der Anordnung gemäß 2 in einem Terahertz-System (Draufsicht),
2b: eine im Winkel von 90° gedrehte schematische Darstellung des Terahertz-System gemäß 2a (Seitenansicht Ruhelage),
2c: eine im Winkel von 90° gedrehte schematische Darstellung des Terahertz-System gemäß 2a (Seitenansicht Ruhelage) (Seitenansicht ausgelenkt),
3: eine schematische Draufsicht auf den Spiegel (1) der Anordnung gemäß 2,
4: eine schematische Seitenansicht auf den Spiegel (1) der Anordnung gemäß 2,
5: eine schematische Darstellung des Abtastverlaufes eines 12×24 Pixel großen Objektfeldes (Zeilensprung),
6: eine schematische Darstellung des Bewegungsprofils der Hauptachse und des Zeilensprungs im ersten Modus „Erhöhung der Abtastdichte sowie im zweiten Modus „Sensorkalibrierung” und
7: eine schematische Darstellung der ortssynchronen Triggerung der Messwerterfassung des radiometrischen Systems.
Die in der 2 dargestellte Ausführungsform der Anordnung umfasst einen Spiegel (1) und mechanische Stellelemente, wobei ein erstes Stellelement (2) und ein zweites Stellelement (3) mit dem Spiegel (1) verbunden sind.
Der Spiegel (1) ist vermittels des ersten Stellelements (2) um seinen Drehpunkt der Hauptachse Y in einem Bereich von +/–10° zwischen zwei Endlagen (41 und 42) verkippbar, so dass eine Pendelbewegung des Spiegels (1) zwischen den zwei Endlagen (41 und 42) generierbar ist.
Dabei ist der Spiegel (1) vermittels des zweiten Stellelements (3) um seinen Drehpunkt der Hauptachse um eine zweite Achse Z, welche in einem Winkel von 90° senkrecht zur Hauptachse Y verläuft, schrittweise mit einem Winkel < 0,1° in einem Bereich von +/–0,5° zwischen zwei Endlagen (51 und 52) bewegbar, so dass eine schrittweise Bewegung des Spiegels (1) über einzelne Zwischenschritte zwischen den zwei Endlagen (51 und 52) generierbar ist.
Der Spiegel (1) besitzt einen Durchmesser von 10 bis 100 cm, kann aber auch im größeren Meterbereich liegen, und weist auf seiner einen Seite eine optisch aktive Spiegelfläche und auf der anderen Seite eine Versteifungsstruktur auf. Dabei kann der Spiegel (1) aus einem Verbundwerkstoff aus einer elektrisch leitfähigen Kohlenstoffmatrix und einer Metallbeschichtung bestehen.
Das erste Stellelement (2) ist ein elektrodynamischer Direktantrieb und kann dabei aus einem Rotor und einem Stator bestehen. Das zweite Stellelement (5) kann ein piezoelektrischer Antrieb oder ein elektrodynamischer Direktantrieb sein.
Besonders vorteilhaft verfügt der Spiegel (1), wie in den 3 und 4 dargestellt, über eine Rückstellfeder (6) mit inkrementen Winkelgeber (7).
Die Anordnung gemäß 2 wird bestimmungsgemäß für ein Verfahren verwendet, bei dem eine Zeilensprung-Sequenz nicht nur von der Ruhelage auf die Zwischenspur und zurück erfolgt, sondern zunächst weiter in dieselbe Richtung auf die nächste Hauptspur und erst dann wieder über die Zwischenspur zurück erfolgt, wobei in einem linearen Array mit m Sensoren der n-te Sensor (0 < n ≤ m) zunächst die n-te Spur abtastet, im darauf folgenden Bild die Zwischenspur zwischen n und n + 1 und danach die (n + 1)ste Spur abgetastet wird, so dass die Charakteristika des n-ten und (n + 1)sten Sensors aufeinander abgeglichen werden. Die 5 zeigt dazu den Abtastverlauf eines 12×24 Pixel großen Objektfeldes (Zeilensprung).
Die Anordnung gemäß 2 kann bspw. als Sekundärspiegel einer Terahertz-Kamera für die Aufzeichnung bewegter Bilder in der Bauart eines Cassegrain-Teleskops mit beweglichem Sekundärspiegel und ausgestattet mit einer Bolometermatrix nach dem Transistion-Edge-Sensorprinzip, wobei eine gleichzeitige und phasensynchrone Bewegung des Sekundärspiegels um zwei orthogonal zueinander stehende Achsen, die sich in einem Referenzpunkt auf der Spiegeloberfläche des Sekundärspiegels schneiden, der gleichzeitig auf der optischen Achse der Kamera liegt, erfolgt.
Der Vorteil dieser technischen Lösung gegenüber dem Stand der Technik besteht darin, dass insbesondere Spiegel mit einem großen Durchmesser (in einem Bereich von 10 bis 100 cm und größer) bei der bestimmungsgemäßen Verwendung der Anordnung geringeren mechanischen Belastungen ausgesetzt sind. So werden insbesondere die bei der Lösung gemäß DE 10 2007 031 959 B4 auftretenden Fliehkräfte des sich mit hoher Geschwindigkeit drehenden und gleichzeitig in Verkippbewegung befindlichen Spiegels vermieden, welche mit zunehmender Spiegelgröße ebenfalls zunehmen.
Alle in der Beschreibung und den nachfolgenden Ansprüchen dargestellten Merkmale können sowohl einzeln, als auch in beliebiger Kombination miteinander, erfindungswesentlich sein.
Bezugszeichenliste

1: Spiegel
2: erste Stellelement
3: zweites Stellelement
41: erste Endlage der Pendelbewegung
42: zweite Endlage der Pendelbewegung
51: erste Endlage der Schrittbewegung
52: zweite Endlage der Schrittbewegung
6: Rückstellfeder
7: inkrementeller Winkelgeber
8: Primärspiegel
9: Sensorzeile
10: Strahlungsquelle
Y: Hauptachse
Z: zweite Achse

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

GB 1152730 A [0004]
US 3793637 A [0006]
WO 2006/013379 A2 [0007]
DE 102007031959 A1 [0008, 0009, 0015]
US 7995859 B2 [0016]
DE 102007031959 B4 [0021, 0040]

Zitierte Nicht-Patentliteratur

Audley, M. D. et al. (2004) SCUBA-2: A large-format TES array for submillimetre astronomy, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A 520, 479–482 [0002]
Grossman, E. et al. (2010) Passive terahertz camera for standoff security screening, Applied Optics 49 (19), 245–259 [0010]

Claims

Anordnung zur hochdynamischen Abtastung eines Objektfeldes für ein bildgebendes radiometrisches System mit Zeilensprungverfahren zur Erhöhung der Abtastdichte und zur Sensorkalibrierung umfassend einen Spiegel (1) und mechanische Stellelemente, wobei ein erstes Stellelement (2) und ein zweites Stellelement (3) mit dem Spiegel (1) verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel (1) vermittels des ersten Stellelements (2) um seinen Drehpunkt der Hauptachse Y in einem Bereich von +/–10° zwischen zwei Endlagen (41 und 42) verkippbar ist, so dass eine Pendelbewegung des Spiegels (1) zwischen den zwei Endlagen (41 und 42) generierbar ist, und dass der Spiegel (1) vermittels des zweiten Stellelements (3) um seinen Drehpunkt der Hauptachse um eine zweite Achse Z, welche in einem Winkel von 90° senkrecht zur Hauptachse Y verläuft, schrittweise mit einem Winkel < 0,1° in einem Bereich von +/–0,5° zwischen zwei Endlagen (51 und 52) bewegbar ist, so dass eine schrittweise Bewegung des Spiegels (1) über einzelne Zwischenschritte zwischen den zwei Endlagen (51 und 52) generierbar ist.
Anordnung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel (1) einen Durchmesser von 10 bis 100 cm besitzt.
Anordnung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Stellelement (2) ein elektrodynamischer Direktantrieb ist.
Anordnung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Stellelement (3) ein piezoelektrischer Antrieb oder ein elektrodynamischer Direktantrieb ist.
Anordnung gemäß einem oder mehrerer der voran stehenden Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel (1) auf seiner einen Seite eine optisch aktive Spiegelfläche und auf seiner anderen Seite eine Versteifungsstruktur besitzt.
Anordnung gemäß einem oder mehrerer der voran stehenden Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel (1) eine Rückstellfeder (6) aufweist.
Anordnung gemäß einem oder mehrerer der voran stehenden Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel (1) einen inkrementellen Winkelgeber (7) aufweist.
Anordnung gemäß einem oder mehrerer der voran stehenden Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel (1) aus einem Verbundwerkstoff aus einer elektrisch leitfähigen Kohlenstoffmatrix und einer Metallbeschichtung besteht.
Verfahren zum Betreiben einer Anordnung gemäß einem oder mehrerer der voran stehenden Ansprüche 1 bis 7 bei dem eine Zeilensprung-Sequenz nicht nur von der Ruhelage auf die Zwischenspur und zurück erfolgt, sondern zunächst weiter in dieselbe Richtung auf die nächste Hauptspur und erst dann wieder über die Zwischenspur zurück erfolgt, wobei in einem linearen Array mit m Sensoren der n-te Sensor (0 < n ≤ m) zunächst die n-te Spur abtastet, im darauf folgenden Bild die Zwischenspur zwischen n und n + 1 und danach die (n + 1)ste Spur abgetastet wird, so dass die Charakteristika des n-ten und (n + 1)sten Sensors aufeinander abgeglichen werden.
Verwendung einer Anordnung gemäß einem oder mehrerer der voran stehenden Ansprüche 1 bis 7 als Sekundärspiegel einer Terahertz-Kamera für die Aufzeichnung bewegter Bilder mit beweglichem Sekundärspiegel und ausgestattet mit einer Bolometermatrix nach dem Transistion-Edge-Sensorprinzip.