JPS634519A - 真空バルブ - Google Patents

真空バルブ

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Publication number
JPS634519A
JPS634519A JP14692986A JP14692986A JPS634519A JP S634519 A JPS634519 A JP S634519A JP 14692986 A JP14692986 A JP 14692986A JP 14692986 A JP14692986 A JP 14692986A JP S634519 A JPS634519 A JP S634519A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
vacuum valve
performance
vacuum
conductive rod
Prior art date
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Pending
Application number
JP14692986A
Other languages
English (en)
Inventor
重左 憲男
津田 英明
黒田 勝三
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP14692986A priority Critical patent/JPS634519A/ja
Publication of JPS634519A publication Critical patent/JPS634519A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、真空バルブ電極及びその製造方法に係り、特
に、高耐電圧性、低サージ性、高遮断性を備え、かつ、
通電性の真空遮断器及び真空開閉器用真空バルブの構造
に関する。
〔従来の技術〕
従来の真空バルブは、第2図に示す様に、絶縁円筒2並
びに、端板3.4よりなる真空容器1内に、導電棒6,
7が端板3,4を貫通して設けられていて、−対の電極
が夫々真空容器1内に固着されて構成されている。−方
の導電棒7は、ベローズ10を介して端板4に気密に封
着されている。
−方の導電棒6は端板3に取付けられ、気密に封着され
ている。電極8,9の外周部は、これらを取り囲んで配
置された円筒状の金属シールド11が、シールド支え1
2によって絶縁円筒2の中間部に取付けられている。図
示していない操作機構により導電棒7が軸方向上側に駆
動されることにより、電極8,9は接触し、真空バルブ
は閉じる。
また、導電棒7が軸方向下側へ駆動されることにより、
真空バルブは開路状態へ移る。
真空バルブの電極は特開昭57−9019号公報に開示
されるように、Bi、Pb、To、Ssなどの低融点金
属を含んだ電極が使用されている。電極材料の主成分と
してCu、Ag、Coo Crなどが使用されているが
、これら電極材料中に含まれる低融点高蒸気圧特性をも
つ金属あるいは、その金属間化合物が、真空バルブ製造
時のろう付、排気加熱により、?4極の表面に多量にウ
ィスカ状となって、しみ出て来て、耐電圧性能を劣化さ
せる。
〔発明が解決しようする問題点〕
上記従来技術に、鉄系金属(G o 、 F e 、 
N i 。
Or)等の耐電圧性能に優れ、導電率が低い金属を採用
すると、(−般的に耐電圧に優れている金属は導電率が
低い)耐電圧性能が達成されるのみで、電極表面材料に
大きく左右される1本来、電極で目的とする低サージ性
能や、電接面接触抵抗及び電接面金属材料の溶着力によ
って大きく左右される短時間大電流通電、負荷電流通電
開閉性能が著しく損なわれる。
また、従来技術は膜形成後、電極本来の諸性能を達成す
るために電流開閉という方法を挙げているが、この方法
では、高融点材を溶融させるために多量のアークエネル
ギ、即ち、電流がある程度大きく、その開閉回数も数百
回が必要である。上記技術では、アークの挙動は、ある
程度確率的な現象の不確定性があるため性能にバラツキ
があるということ、また、真空バルブ製造工程上着しい
ロスとなることが欠点である。
本発明の目的は、性能のバラツキが少なく、遮断、短時
間、低サージ、負荷電流通電開閉性能を満足し、通電性
に優れた、耐電圧性能の劣化しない真空バルブを、提供
することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記目的は、短時間電流通電、負荷電流開閉通電性能に
大きな影響が及ばず、電界が最も集中する電極外周端部
近傍のみに被膜を形成し、電接面に被膜を形成させない
ことにより達成される。
〔作用〕
本発明によれば、ろう付、及び、真空加熱排気特電接面
に発生するウィスカは、数回の電極間放電あるいは、数
回の負荷電流開閉により簡単に除去されるため、耐電圧
性能の低下はなく、また、電界の集中する電極外周端部
は、耐電圧性能に優れた膜にろう付熱履歴以前に覆われ
ているので、遮断時、アーク消弧直後に印加される苛酷
な再起電圧や、開極中の電極間に印加されるインパルス
電圧などには十分耐えることができる。さらに、電接面
は、膜が形成されていないので、電極同士の接触抵抗が
小さく、通電性能が良く、また、目的とする、電極材料
成分の本来の諸性能が、確実に発揮される。
また、電極側面の耐電圧性能が向上するため。
電極とシールド間の寸法が小さくて済み、真空バルブが
小形化する。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を第1図により説明する。
導電棒6及び導電06に固着された電極8.導電棒7及
び導電棒7に固着された電極9は、C。
−A g −S e合金で構成されており、その表面に
Co膜を形成させる。Goは電接面、即ち、電極平坦部
には被膜を形成させず、電極端部近傍のみに被膜を形成
させる。この膜形成の方法は、イオンブレーティング等
のいわゆる乾式めっきや、化学めっき等の、いわゆる、
湿式めっきで、マスキングを並用する方法、イオンブレ
ーティング、蒸着では、金属発生源に垂直に、膜形成面
を当てて実施する方法(この方法は光と同じなので、垂
直な部分、即ち、電接面には、はとんどつがない)、圧
接、融接では、金属の薄いフィルム状のものを接合させ
る方法等がある。
本実施例の電極を実際に製作、追試した結果。
耐電圧性能は、実施例1と同等、また、低サージ性能(
さい断電流レベル)であるが、また、電流開閉を実施し
なくとも、当初がらさい断電流がIA以下になるという
、優れた低サージ性能を発揮することがわかった。
[発明の効果〕 本発明によれば、耐電圧が良好で、がっ、短時間性能、
負荷電流通電性能に優れた小形、軽量で安価な真空バル
ブを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の一実施例の側断面図、第2図は従来
の真空バルブの縦断面図である。 1・・−真空容器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、真空容器内に開閉自在に設けられ、導電棒に取りつ
    けられ、融点の異なる複数の金属より形成される電極と
    、前記電極の電気的接触面を除いた表面に設けた高耐電
    圧性の被膜とからなることを特徴とする真空バルブ。 2、特許請求の範囲第1項において、 前記高耐電圧性被膜を、前記電極に含有した低融点材よ
    りも融点の高い金属の膜で構成したことを特徴とする真
    空バルブ。 3、特許請求の範囲第2項において、 前記複数の金属は、Fe、Ni、Co、Cr、Mo、W
    、Ta、Mnのうちの少なくとも一種を主成分とするこ
    とを特徴とする真空バルブ。
JP14692986A 1986-06-25 1986-06-25 真空バルブ Pending JPS634519A (ja)

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JP14692986A JPS634519A (ja) 1986-06-25 1986-06-25 真空バルブ

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008021590A (ja) * 2006-07-14 2008-01-31 Hitachi Ltd 真空バルブ用電気接点とその製法、真空バルブ用電極、真空バルブ及び真空遮断器
JP2013242978A (ja) * 2012-05-18 2013-12-05 Mitsubishi Electric Corp 真空バルブ
JP2016039725A (ja) * 2014-08-08 2016-03-22 一般財団法人電力中央研究所 ガス絶縁開閉装置の状態診断方法

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JP2013242978A (ja) * 2012-05-18 2013-12-05 Mitsubishi Electric Corp 真空バルブ
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